SU1215004A1 - Устройство дл измерени перемещений - Google Patents

Устройство дл измерени перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU1215004A1
SU1215004A1 SU843757885A SU3757885A SU1215004A1 SU 1215004 A1 SU1215004 A1 SU 1215004A1 SU 843757885 A SU843757885 A SU 843757885A SU 3757885 A SU3757885 A SU 3757885A SU 1215004 A1 SU1215004 A1 SU 1215004A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
unit
lens
light
photodetector
drive
Prior art date
Application number
SU843757885A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Васильевич Макаренко
Александр Исакович Савич
Ростислав Иванович Евстигнеев
Виктор Николаевич Кириенко
Original Assignee
Омский политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Омский политехнический институт filed Critical Омский политехнический институт
Priority to SU843757885A priority Critical patent/SU1215004A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1215004A1 publication Critical patent/SU1215004A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  профил  криволинейных поверхностей. Целью изобретени   вл етс  повьшение точности измерени  и расширение функциональных возможностей за счет измерени  углов поворота объекта. Формируетс  с помощью источника 2 света, объектива 3 и цилиндрической линзы 4 выт нутое изображение световой марки, которое преобразуетс  фотоприемником 10 в электрический сигнал. При повороте объекта происходит поворот световой ,v 0 / /yy/vv /V / v A/ /v сд о о 4 9ив. 1

Description

1215004
марки относительно фотоприемника 10. На выходе усилительного блока 22 формируетс  сигнал управлени , поворачивающий цилиндрическую линзу 4 в поло те во о
I
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных и угловых перемещений объектов, имекмцих отражающую поверхность, например профил  криволинейных поверхностей лопаток турбины.
Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений и расширение функциональных возможностей за счет измерени  угла поворота объекта
На фиг.1 представлена функциональна  схема устройства; на фиг.2 - вид А на фиг.1; на фиг.З - вид Б на фиг.1 (положение изображени  световой марки относительно фотоприемника ) . 1
Устройство содержит блок 1 формировани  изображени  световой марки., состо щий из источника 2 (модулиро- ванног о) света, объектива 3, цилиндрической линзы 4, установленной в оппаве 5, кинематически св занной с дополнительным приводом 6; датчик 7 поворота; фотоприемный блок 8, состо щий из фокусирующего объектива 9, четырехквадрантного фотоприемника 10; блок 11 нахождени  разностных сигналов, состо щий из сумматоров 12 - 15, входы которых подключены к четырехквадрантному фотоприемнику 10, дифференциальных усилителей 16, 17, входы которых подключены к выходам сумматоров 12 - 15; усилительный блок 18, состо щий из последовательно соединенных фазового детектора 19, модул тора 20, усилител  21 мощности; информационный вход фазового детектора 19 подключен к выходу дифферерщиального усилител  16; усилительный блок 22, состо щий из последовательно соединенных фазового детектора 23, модул тора 24, усилител  25 мощности; информационный вход фазового детектора 23 подключен к выходу дифференложение при котором сигнал с усилительного блока 22 равен нулю. По повороту цилиндрической линзы 4 суд т о повороте объекта 29. 2 ил.
циального усилител  17-; генератор 26, выход которого соединен с управ- л 1ющими входами фазовых детекторов 19, 23 и управл ющим входом источни- ка 2 модулированного света; источник 27 переменного напр жени ; привод 28 кинематически св зан с блоком .1 формировани  изображени  световой марки и фотоприемным блоком 8; информационные входы привода 28 и дополнительного привода 6 подключены соответственно к вьгходам усилителей 21, 25 мощности; выход источника 27 переменного напр жени  со- единен с управл ющими входами модул торов 20, 24, управл ющими входами привода 28 и дополнительного привода 6.
Измер ют линейное перемещение и угол поворота объекта 29.
Устройство работает следующим образом.
Параллельные модулированные по интенсивности пучки света, форми- руемые источником 2 света, подключенным к генератору 26, преобра- зуютс  объективом 3 и цилиндрической линзой 4 в изображение выт нутой световой марки, проецируемой на от- ражающую поверхность объекта 29.
Изображение выт нутой световой марки переноситс  фокусирующим объективом 9 в плоскость установки четырехквадрантного фотоприемни- ка 10.
Оптические оси объектива 3, цилиндрической линзы 4 фокусирующего объектива 9 расположены в одной плоскости.
Электрические сигналы, снимаемые с четырехквадрантного фотоприемника 10, поступают на входы сумматоров 12 - 15, вход щих в блок 11 нахождени  разностных сигналов.
Электрические сигналы, снимаемые с выходов сумматоров 12, 13 и сумма31
торов 14, 15, поступают соответственно на входы дифференциальных усилителей 16, 17, выходные сигналы с которых поступают на информационные входы фазовых детекторов 19, 23, вхо- ДЯ1ЦИХ в усилительные блоки 18, 22, на опорные входы которых поступают сигналы с генератора 26.
Посто нные напр жени , формируемые на выходах фазовых детекторов 19, 23, преобразуютс  в переменные напр жени  модул торами 20, 24, управл емыми источником 27 переменного напр жени , усиливаютс  по мощности усилител ми 21, 25 мощности и поступают на привод 28 и дополнительный привод 6, на которые также подаютс  опорные сигналы от источника 27 переменного напр жени .
Привод 6 осуществл ет поворот оправы 5, в которой закреплена цилиндрическа  линза 4. Контроль угла поворота оправы 5 осуществл етс  датчиком 7 поворота.
Привод 28 осуществл ет одновременное продольное перемещение блока 1 формировани  изображени  световой марки и фотоприемного блока 3.
В исходном положении объекта 29 изображение выт нутой световой марки расположено симметрично относительно линий раздела фоточувствительных площадок раздела четырехквад- рантного фотоприемника 10 (фиг.2).
При этом сигналы, снимаемые с че- тырехквадрантного фотоприемника, равны между собой; напр жени , формируемые на выходах дифференциальных усилителей 16, 17, равны нулю; сигналы, поступающие с усилителей 21, 25 мощности на привод 28 и дополнительный привод 6, также равны нулю.
При смещении объекта 28 вдоль оптической оси объектива 3 происходит смещение изображени  выт нутой световой марки относительно линий раздела фоточувствительных площадок четы- рехквадрантного фотоприемника 10.
При этом сигналы, снимаемые с выходов сумматоров 12, 13, не равны между собой, на выходе дифференциального усилител  16 формируетс  посто нное напр жение, знак которого св зан с направлением смещени  объекта 29, которое преобразуетс  усилительным блоком 18 в переменное напр жение , поступающее на привод 28, перемещающий блок 1 формировани  изобра44
жени  световой марки и фотоприемный блок 8 в положение, при котором напр жение на выходе дифференциального усилител  16 становитс  равным
нулю.
По величине перемещени  блока I формировани  изображени  световой марки и фотоприемного блока 8 суд т о величине смещени  объекта 29.
При повороте объекта 29 вокруг оси, перпендикул рной оптической оси объектива 3 и цилиндрической линзы 4 и лежащей в плоскости, через которую проходит оптическа  ось
фокусирующего объектива 9, происходит поворот изображени  выт нутой световой марки относительно линий раздела фоточувствительных площадок четырехквадрантного фотоприемника 10.
При этом суммы сигналов, снимаемых с диагонально расположенных фоточувствительных площадок четырехквадрантного фотоприемника 10, не равны между собой, на выходе дифференциального усилител  17 формируетс  посто нное напр жение, знак которого св зан с направлением поворота объекта 29, которое преобразуетс  усилительным блоком 22 в переменное
напр жение, поступакнцее на привод 6, вращающий через оправу 5 цилиндрическую линзу 4 до поло:.сени , при котором напр жение на выходе дифференциального усилител  17 становитс 
равным нулю.
По углу поворота оправы 5, фиксируемой датчиком 7 поворота, суд т об угле поворота объекта 29.
Использование предлагаемого уст- ройства позвол ет исключить погрешность , св занную с поворотом объекта , а также расширить его функциональные возможности за счет измерени  угла поворота объекта.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  измерени  перемещений , содержащее оптически св занные блок формировани  изображени  световой марки, состо щий из источника света и объектива, фотоприемный блок, состо щий из фокусирующего объектива и фотоприемника, блок
    нахождени  разностных сигналов, входы которого подключены к выходам фотоприемного блока, привод, вход которого св зан с выходом блока наS12
    хождени  разностных сигналов, выход привода кинематически св зан с блоком формировани  изображени  световой марки и фотоприемным блоком, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений и расширени  функциональных возможностей за счет измерени  угла поворота объекта, блок формировани  изображени  световой марки снабжен цилиндрической линзой во вращающей50046
    с  оправе, ось вращени  которой совпадает с оптической осью источника света и обьектива, цилиндрическа  линза в оправе установлена перед
    5 объективом, дополнительным приводом, кинематически св занным с оправой, фотоприемник фотоприемного блока выполнен четырехквадрантным, блок на- .хождени  разностного сигнала снабжен
    О дополнительным выходом, св занным с дополнительным приводом
    Вид Б
    ВидА
    г/4
    и.
    Рид. 3
    Составитель Т.Айсин Редактор Н.Швьздка  Техред М.Гергель
    Заказ 900/51 Тираж 671Подписное
    ВНИИПИ Государственного комитета СССР
    по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
    Филиал П1Ш Патент, г, Ужгород, ул. Проектна , 4
    Корректор А.Зимокосов
SU843757885A 1984-05-04 1984-05-04 Устройство дл измерени перемещений SU1215004A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843757885A SU1215004A1 (ru) 1984-05-04 1984-05-04 Устройство дл измерени перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843757885A SU1215004A1 (ru) 1984-05-04 1984-05-04 Устройство дл измерени перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1215004A1 true SU1215004A1 (ru) 1986-02-28

Family

ID=21125626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843757885A SU1215004A1 (ru) 1984-05-04 1984-05-04 Устройство дл измерени перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1215004A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5279038A (en) * 1991-03-19 1994-01-18 Framatome Device for measuring the angular position of a component which is rotatably displaceable relative to a fixed component, especially of a telescope mounting in relation to its supporting structure
RU2606805C1 (ru) * 2015-10-06 2017-01-10 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 787891, кл. G 01 В 11/00, 1979. Авторское свидетельство СССР №1037070, кл. q 01 В 21/00, 1982. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5279038A (en) * 1991-03-19 1994-01-18 Framatome Device for measuring the angular position of a component which is rotatably displaceable relative to a fixed component, especially of a telescope mounting in relation to its supporting structure
RU2606805C1 (ru) * 2015-10-06 2017-01-10 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений
WO2017060803A1 (ru) * 2015-10-06 2017-04-13 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4022532A (en) Sample point interferometric system for optical figure monitoring
US5026985A (en) Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors
JP2755757B2 (ja) 変位及び角度の測定方法
SU1215004A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
US4395123A (en) Interferometric angle monitor
JPH0214588A (ja) リングレーザジャイロスコープ
WO2017060803A1 (ru) Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений
SU1613857A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
JPH0422261Y2 (ru)
JPH0617770B2 (ja) マ−ク検出機
JPS635208A (ja) 表面形状測定装置
SU1201681A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
JPS636418A (ja) エンコ−ダ
SU1582039A1 (ru) Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива
SU505220A1 (ru) Автоколлимационное устройство
SU645086A1 (ru) Устройство дл измерени скорости ленточного носител
SU1439398A1 (ru) Фотоэлектрический способ измерени перемещений излучател и устройство дл его осуществлени
SU1430747A1 (ru) Способ бесконтактного определени линейного размера детали
SU1037070A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений объектов
JPS6264904A (ja) 形状測定装置
SU1186942A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей
SU781891A1 (ru) Звукосниматель
SU763677A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени угла поворота объекта
SU1295226A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU777625A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлимационный датчик крена