SU1213504A1 - Device for photographic marking of linear scales - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к приборостроению , а именно к устройствам дл  изготовлени  шкал, диф - ракционных решеток, кодовых элементов .The invention relates to instrument making, namely, devices for the manufacture of scales, diffraction gratings, code elements.

Цель изобретени  - повышение точности разметки шкал с любым значением величины шага.The purpose of the invention is to improve the accuracy of marking the scales with any step size.

На чертеже изображена схема устройства дл  фоторазметки линейных шкал.The drawing shows a diagram of a device for photomarking linear scales.

Устройство содержит источник 1 когерентного света с плоским волновым фронтом, задающий лучом оптическую ось устройства, подвижную вдоль оптической оси платформу 2 с держателем 3 дл  заготовки со светочувствительным слоем, отражатель 4, закрепленный на платформе 2, расположенные на оптической оси светоделители 5-7, отражатель 8 и фотоприемник 9, расположенные по ходу разделенных светодилетелем 7 лучей, блок 10 управлени , представл ющий собой делитель частоты периодического сигнала (например ИКЭ-15), электрически подключенный к выходу фотоприемника 9, два электрооптических затвора 11, электрически подключенные к выходу блока 10 управлени , расположенные по ходу разделенных светоделител ми 5 и 6 лучей, сход щихс  на поверхности держател , отражатель 12, расположенный перпендикул рно лучу, отраженному отражателем 4, причем отражатель 4 крепитс  под определенным углом Т, а отражатель 12 - под углом 2 IP к оптической оси устройства.The device contains a flat wavefront coherent light source 1, which specifies the optical axis of the device, the platform 2 moving along the optical axis with the holder 3 for the workpiece with the photosensitive layer, the reflector 4 mounted on the platform 2, 5-7 on the optical axis, the reflector 8 and the photodetector 9 located along the rays separated by the light carrier 7, the control unit 10, which is a frequency divider of a periodic signal (for example, IKE-15) electrically connected to the photo-output Receiver 9, two electro optical shutters 11, electrically connected to the output of control unit 10, located along separated by beam splitters 5 and 6 rays converging on the surface of the holder, reflector 12 located perpendicular to beam reflected by reflector 4, and reflector 4 is attached under a certain angle T, and the reflector 12 - at an angle of 2 IP to the optical axis of the device.

Угол определ етс  следующим образом:The angle is defined as follows:

I. ,-.I., -.

)/- (1))/- (one)

где Д - длина волны света источника;where D is the wavelength of the source light;

- период размечаемой шкалы И - целое число. Функцию блока управлени  вьтол- н ет делитель частоты периодического сигнала. Коэффициент делени  соответствует величине N , при этом - the period of the marked scale AND is an integer. The function of the control unit eliminates the frequency divider of the periodic signal. The division factor corresponds to the value of N, while

,,

где п - целое число, соответствующее выражению (. I),where n is an integer corresponding to the expression (. I),

213504213504

m - целое число, показатель перекрыти  t экспонированных участков шкалы. Устрбйство работает следующимm is an integer, a measure of the overlap t of the exposed sections of the scale. The operation is as follows.

5 образом.5 way.

Источник 1 света посьтает пучок света через светоделители 5, 6 и 7 на отражатель 4 под определенным углом падени  У и на отража10 тель 12 под нулевым углом падени . Основные светоделители 5 и 6 направл ют отделенные пучки света через электрооптические затворы 11 в область начала разметки шкалы,The light source 1 receives a beam of light through the beam splitters 5, 6 and 7 to the reflector 4 at a certain angle of incidence Y and to the reflector 12 at a zero angle of incidence. The main beam splitters 5 and 6 direct the separated light beams through the electro-optical shutters 11 to the area where the scale marks start,

15 дл  формировани  растра (локальной шкалы) на светочувствительном ; слое. Двухлучевой интерферометр, образованный светоделителем 7 и отражател ми 4 и 8, через фотопри20 емник 9 дает в блок 10 управлени  информацию о разности фаз лучей, образующих растр. Разметка производитс  экспонированием светочувствительного сло  при сдвиге плат25 формы 2 на один (или несколько) . период размечаемой шкалы (шаг растра} , При движении платформы 2 экспонирование производитс  автоматически , так как блок 10 управ30 лени  короткими импульсами открывает электрооптические затворы-11 в моменты времени, когда сдвиг платформы 2 (измеренный интерферометром по разности фаз) точно кратен15 to form a raster (local scale) on a photosensitive one; layer. A two-beam interferometer, formed by the beam splitter 7 and reflectors 4 and 8, via photodiode 9 gives to control unit 10 information about the phase difference of the rays forming the raster. Marking is performed by exposing the photosensitive layer when the plate 25 of Form 2 is shifted by one (or several). marking scale period (raster step}; When platform 2 moves, exposure is performed automatically, as the control unit 10 controls, by short pulses, opens electro-optical gates-11 at times when the platform 2 shift (measured by the interferometer on the phase difference) is exactly a multiple of

35 периоду размечаемой шкалы.35 period marking scale.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Устройство дл  фоторазметкиPhoto marking device 40 линейных шксШ, содержащее источник когерентного света, подвижную вдоль оптической оси платформу с держателем дл  заготовки со светочувствительным слоем, отра45 жатели луча, расположенные на оптической оси светоделители, .блок управлени , фотоприемник, электрооптические затворы, при этом один отражатель закреплен на платформе,40 linear slksh containing a source of coherent light, a platform movable along the optical axis with a holder for the workpiece with a photosensitive layer, beam reflectors, beam splitters located on the optical axis, a control unit, a photodetector, electro-optical gates, one reflector mounted on the platform, 50 другой отражатель и один из светоделителей образуют двухлучевой интерферометр, оптический выход которого св зан с входом фотоприемника , а выход фотоприемника50 another reflector and one of the beam splitters form a two-beam interferometer, the optical output of which is connected to the input of the photodetector, and the output of the photodetector J5 через блок управлени  электрически подключен к электрооптическим затворам, расположенным по ходу отделенных светоделител ми лучей.J5 through the control unit is electrically connected to the electro-optical valves, located along the path of the separated beam splitters. J1213504 . J1213504. сход щихс  на поверхности держа-дополнительным отражателем, распотел , отличающеес ложенным перпендикул рно лучу, отI тем,.что, с целью повьшени  точ-раженному закрепленным на платформеconverging on the surface with an additional reflector, a rasteel, which is characterized perpendicular to the beam, from that, with the aim of directing it to the exact fixed on the platform ности разметки шкал с любым знача-отражателем, который расположенscale markings with any reflector value that is located нием величины шага, оно снабжено5 под углом к оптической оси.step size, it is provided5 at an angle to the optical axis.