SU1178257A1 - Способ энергомасс-спектрального анализа состава веществ и устройство для его осуществления - Google Patents

Abstract

1. Способ энергомасс-спектрального анализа состава веществ, заключающийся в ионизации исследуемого вещества, формировании ионного пучка линзами электронно-оптической системы, разложении его в спектр по энергии в электрическом поле электростатического анализатора и по массам в магнитном поле магнитного анализатора с одновременной фокусировкой пучка совокупным действием обоих полей по начальным направлениям и энергиям, детектирование электрических и массовых спектров и считывание информации о них с детектирующих устройств, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности, достоверности, экспрессности, упрощения анализа и повышения его информативности изменением потенциала линзы вертикальной фокусировки электронно-оптической формирующей системы, совмещают кроссовер пучка в вертикальном направлении с передним вертикальным фокусом электростатического анализатора, а детектирование осуществляют пространственно-протяженным детектором в двух взаимно ортогональных направлениях.2. Устройство для энергомасс-спектрального анализа состава веществ, содержащее последовательно расположенные источник ионов с блоком электронно-оптических линз вертикальной и горизонтальной фокусировки, электростатический тороидальный и магнитный с однородным полем анализаторы и пространственный детектор масс, соединенные по схеме Маттауха-Георцога, а также устройство для считывания информации с детектора, отличающееся тем, что в переднем вертикальном фокусе электростатического анализатора на расстоянииот электростатического анализатора симметрично относительно оптической оси установлена щелевая диафрагма, пространственный детектор выполнен двухкоординатным, при этом выполняются следующие соотношения:l = r/(tg(Φ-ε)+ctgΦ/2);гдеa= 2ctgΦ ctgΦ/2+1;a= ctgΦ/2-ctgΦ-Φ•a/2;rи r - радиусы кривизны оптической оси в электростатическом анализаторе и в магнитном анализаторе;- внешний и внутренний радиусы кривизны обкладок электростатического анализатора в вертикальном сечении;Φ, Φ - углы поворота оптической оси в электрическом и магнитном анализаторах;ε - угол между оптической осью и нормально к выходной границе магнитного анализатора,l - расстояние между магнитным анализатором и пространственным детектором. 3 ил.