Изобретение относитс к области магнитных измерений и предназначено . дл измерени параметров цилиндрических магнитных пленок в процессе производства. . Цель изобретени - повышение точности измерени за счет исключени вли ни посто нного тока на результат измерени .. На фиг. 1 представлена блок-схе ма устройства; на фиг. 2 и 3. - вектор на и временна диаграммы, по сн ющие работу устройства. . Устройство дл измерени угла скоса легкой -оси анизотропиицилиндрической магнитной пленки . содержит цепь из последовательно -соединенных подложки 1, первого согласующего резистора .2, балансировочного резистора 3, второго согласующего резистора 4 и компенсиоуюшего;. проводника 5,подключенную к первично обмотке дифференциального трансформатора 6, вторична обмотка которого соединена с входом импульсного усилител 7, а средн точка первичной о-бмотки - с выходами регулируемого генератора 8 посто нного тока и первичного формировател 9 импульсов - тока, генератор 10, первый выход которого соединен последовательно с вторым формирователем 11 импульсов тока и обмоткой 12, охватывающей подложку 1 и компенсирующий проводник 5, а второй выход - с входом первого ф10рмировател 9 импульсов тока, к выходу импульсного усилител 7 подключены последовательно соединенные первый дискриминатор 13, первый преобразователь 14 импульсных сигналов в посто нное напр жение и блок 15 вычитани , выход которого соединен с входом регулируемого генератора 8, выход импульсного усилител 7 через второй дискриминатор 1 соединен с входом второго преобразо: ател 17 импульсных сигналов в посто нное напр жение, две линии задержки 18 и 19, выходы которых подключены к вторым входам первого и второго дискриминаторов 13 и 16 соответственно, а также подключенный к регулируемому .входу балансировоч ного резистора 3 регулируемый резис-з тор 20, последовательно соединенные аналоговый перемножитель 21 и масштабирующий блок 22, причем один из. входов аналогового перемножител 21 подключен к выходу второго преобразовател 17 импульсных сигналов в посто нное напр же .ние, второй вход аналогового перемножител 21 подключен к регулируемому входу балансировочного резистора 3, выход масштабирующего блока 22 i соединен с вторым входом блока 15 вычита.ни , а входы обеих линий, .задержки. 18 и 19 соедин .ены с первым выходом генератора 10. . . Устройство работает следующим образом. Генератор 10 вьфабаттзгоает импульсы запуска формирователей 9 и 11 импульсов тока, согласованные во времени; с выхода формиров.ател 9 импульс тока Iц (фиг.З) поступает на подложку 1, намагничива :- пленку до насыщени в одно из направлений оси легкого намагничивани ,, а следующий за ним импульс с выхода формировател 11, протека по обмо- ке 12, вызывает перемагничивание пленки в направлепии результирующего пол Н р (фиг.2), равного сумме двух ортогональных магнитных полей, одно ив которых Н( создаетс импульсам тока I, и направлено по образующей п тенки, а второе Н создает .с посто нным током 1 , протекающим по подложке 1 с выхода генератора 8 посто нного тока, и лежит в плоскости, перпендикул рной оси подложки 1. В момент перемагничивани пленки в направлении, результирующего пол Н р в цепи, образованной подложкой 1, резисторами 2, 3 и 4, компенсирующим проводником 5 и первичной обмот.кой трансформатора 6 индуцируетс импульс ЭДС Е i который после усиление импульсным усилителем 7 и выделени вторым дискриминатором 16 управл емым через линию задержки 19, поступает .на второй преобразователь 17, с выхода которого посто нный уровень U , пропорционал-ьньш средн.ему значению ЭДС f, и соответственно пропорциональньм намагниченности насыщени Mq и сечению пленки S (и, К Mg-S), где К - коэффициент пропорциональности, поступает на первый вход аналогового перемножител 21, на второй вход которого поступает уровень напр жени и, с ,„ . измерительного резисто 20, пропорциональный посто нном ра току, протекающему через подложку в результате .чего на выходе анало гового перемножител 21 формирует с посто нный уровень напр жени 2 I R к. . R - сопротивление измерительрезистора , или с учетом того, ток в подложке св зан с пов пленке известным соотношё1 Н. 1. D, где D - диаметр подложки 1, уровень, поступающий на вход масштабирующего блока 22 и, 2K.M5-SRH 7;D. Масштабирующи блок 22 имеет коэффициент передачи благодар чему на 2. R1 D Н , посто нный его выходе формируетс уровень напр жени U , Iv 5 поступающий на второй вход блока вычитани 15. На спаде импульса тока I, в цепи,, образованной подложкой 1, резисторами 2, 3 и 4, ком пенсирующим проводником 5 и первичной обмоткой трансформатора 6, инду цируетс импульсЭДС з обусловленный распадом намагниченности Мд из направлени результирующего пол Н р в противоположные направл ни оси легкого намагничивани , ко торьй после усилени импульсным усилителем 7, выделени первым дискри минатором 13, управл емьм через линию задержки 18 поступает на первый преобразователь 14, на выходе которого формируетс посто нный уровень Ue пропорциональный сред нему значению а значит S , 634 пропорциональный результирзпощему составл ющей магниченносизменению ти Мд в плоскости ортогональной оси подложки 1 (или изменений проекции намагниченности на ось Y , фиг, 2). С учетом того, что при повороте части М, намагниченности в положительное направление легкого намагничивани изменение протекции на ось у составит ДМ M,Cos, М,. а при повороте части М намагниченности в отрицательное направление изменение проекции на ось Y состаН вит ДМ об - М и справедливости неравенства Н Hj, посто нный уровень Uy будет определ тьс соотнощением (M,Cosoi M, )- (M,CofioC-M, де oi - угол скоса. В момент, когда величина посто ного тока 1 такова, что резульирующее поле Нр и соответственно амагниченность направлены точо по оси трудного намагничивани на выходе первого преобазовател 14 и соответственно ервом входе блока 15 вычитани станавливаемс уровень Н 5 н7 равный уровню а втором входе блока t5, в реультате чего на выходе его сигнал тановитс равным нулю и генераор 8 фиксирует значение тока по которому рассчитываетс гол скоса oi , как oi arctgThe invention relates to the field of magnetic measurements and is intended. to measure the parameters of cylindrical magnetic films during production. . The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy by eliminating the influence of direct current on the measurement result. FIG. 1 shows the block diagram of the device; in fig. 2 and 3. - Vector on and time diagrams, which describe the operation of the device. . A device for measuring the bevel angle of a light axis of anisotropy of a cylindrical magnetic film. contains a circuit of successively-connected substrates 1, the first matching resistor .2, the balancing resistor 3, the second matching resistor 4, and the compensation ;. conductor 5 connected to the primary winding of the differential transformer 6, the secondary winding of which is connected to the input of the pulse amplifier 7, and the middle point of the primary winding is connected to the outputs of the adjustable generator 8 of the direct current and the primary driver 9 of the pulses - current, generator 10, first output which is connected in series with the second driver 11 current pulses and the winding 12, covering the substrate 1 and the compensating conductor 5, and the second output - to the input of the first generator 10 current pulses, to the output pulse Amplifier 7 is connected in series with the first discriminator 13, the first converter 14 of the pulse signals into a constant voltage and the subtraction unit 15, the output of which is connected to the input of the adjustable oscillator 8, the output of the pulse amplifier 7 through the second discriminator 1 is connected to the input of the second converter: 17 impulse signals into a constant voltage, two delay lines 18 and 19, the outputs of which are connected to the second inputs of the first and second discriminators 13 and 16, respectively, and also connected to the adjustable. During the course of the balancing resistor 3, an adjustable resistor 20, an analog multiplier 21 and a scaling unit 22 are connected in series, one of them being. the inputs of the analog multiplier 21 is connected to the output of the second converter 17 of the pulse signals into constant voltage, the second input of the analog multiplier 21 is connected to the adjustable input of the balancing resistor 3, the output of the scaling unit 22 i is connected to the second input of the subtractor 15, and the inputs both lines. delay. 18 and 19 are connected to the first output of the generator 10. . The device works as follows. The generator 10 has a pulse starting pulse forming the formers 9 and 11 current pulses, matched in time; from the output of the formatirovanny battery 9, the current impulse Ic (Fig. 3) is fed to the substrate 1, magnetized: - until saturation of the film in one of the directions of the axis of easy magnetization, and the impulse following it from the output of the imaging device 11, has flowed through the winding 12 causes a magnetic reversal of the film in the direction of the resulting field Hp (figure 2), equal to the sum of two orthogonal magnetic fields, one of which is H (created by current pulses I, and directed along the generatrix, and the second H creates direct current 1 flowing through the substrate 1 from the output of the generator 8 constant current, and lies in a plane perpendicular to the axis of the substrate 1. At the time of the remagnetization of the film in the direction of the resulting field H p in the circuit formed by the substrate 1, the resistors 2, 3 and 4, the compensating conductor 5 and the primary winding of the transformer 6 are induced the EMF pulse E i which, after amplification by the pulse amplifier 7 and extracted by the second discriminator 16 controlled through the delay line 19, enters the second transducer 17, from the output of which the constant level U is proportional to the average emf value f, and the proportional saturation magnetization Mq and the film cross section S (and, K Mg-S), where K is the proportionality coefficient, is fed to the first input of the analog multiplier 21, to the second input of which the voltage level arrives and, s, ". measuring resistor 20, proportional to the constant current flowing through the substrate as a result. at the output of the analog multiplier 21 forms a constant level of voltage 2 I R k. R is the resistance of the resistor meter, or taking into account that the current in the substrate is connected to the film by a known ratio of 1 N. 1. D, where D is the diameter of the substrate 1, the level supplied to the input of the scaling unit 22 and 2K.M5-SRH 7; D. The scaling unit 22 has a transmission coefficient so that by 2. R1 D N, a constant voltage level U, Iv 5 is generated at the second input of the subtractor 15. At the decay of the current pulse I, in the circuit formed by the substrate 1, resistors 2, 3, and 4, by the compensating conductor 5 and the primary winding of the transformer 6, an impulse EMF is induced due to the decay of the magnetization Md from the direction of the resultant field H p in opposite directions of the easy magnetization axis, which after amplification by the pulse amplifier 7, the first discriminator 13 is controlled through a delay line 18 to the first converter 14, at the output of which a constant level Ue is formed proportional to the mean value and therefore S, 634 proportional to the resultant component of the magnetoresistance of the MD in the plane orthogonal to the axis of the substrate 1 (or changes in the projection of magnetization on the Y axis, FIG. 2). Taking into account the fact that when part of M is rotated, the magnetization in the positive direction of easy magnetization, the change in protection on the y axis will be DM M, Cos, M ,. and when part of magnetization M rotates in the negative direction, the change of the projection on the Y axis makes up DM DM – M and the inequality H Hj, the constant level Uy will be determined by the ratio (M, Cosoi M,) - (M, CofioC-M, de oi is the bevel angle. At the moment when the magnitude of the direct current 1 is such that the resulting field Hp and, accordingly, magnetization are directed exactly along the axis of difficult magnetization at the output of the first converter 14 and, accordingly, the H 5 N7 level is equal to the first input of the subtraction unit 15 equal to the second t5 block inlet , as a result of which, at the output, its signal tanovits equal to zero and the generator 8 fixes the value of the current on which the bevel goal oi is calculated, as oi arctg
%.%
97 с/г. J97 s / g J