SU1173286A1 - Gas transducer - Google Patents

Gas transducer Download PDF

Info

Publication number
SU1173286A1
SU1173286A1 SU833574918A SU3574918A SU1173286A1 SU 1173286 A1 SU1173286 A1 SU 1173286A1 SU 833574918 A SU833574918 A SU 833574918A SU 3574918 A SU3574918 A SU 3574918A SU 1173286 A1 SU1173286 A1 SU 1173286A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrodes
contacts
housing
sensitive
clamp
Prior art date
Application number
SU833574918A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Иванович Базалеев
Original Assignee
Харьковский филиал Всесоюзного научно-исследовательского и проектно-конструкторского института по проблемам освоения нефтяных и газовых ресурсов континентального шельфа
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харьковский филиал Всесоюзного научно-исследовательского и проектно-конструкторского института по проблемам освоения нефтяных и газовых ресурсов континентального шельфа filed Critical Харьковский филиал Всесоюзного научно-исследовательского и проектно-конструкторского института по проблемам освоения нефтяных и газовых ресурсов континентального шельфа
Priority to SU833574918A priority Critical patent/SU1173286A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1173286A1 publication Critical patent/SU1173286A1/en

Links

Abstract

. ДАТЧИК ГАЗА, состо щий из корпуса, съемного чувствительного 13,:;.;:;::;:. I KMMDimA элемента с полупроводниковым чувствительным слоем на инертной подложке , системы электрических выводов в в1еде электродов с кентактами, отличающийс  тем, что, с . целью повышени  надежности работы и расширени  функциональных возможностей , он снабжен соединенным с корпусом прижимом, по крайней мере один электрод снабжен резистивным нагревателем и термистором, контакты, установленные на торцах электродов, выведены из корпуса, выполненного герметичным , и установлены в прижиме с возможностью теплового и электрического контактов с чувствительным слоем чувствительного элемента. СО hO ЭО. GAS SENSOR consisting of a housing, removable sensitive 13,:;.;:; ::;:. I KMMDimA element with a semiconductor sensing layer on an inert substrate, an electrical terminal system in the middle of electrodes with kentakts, characterized in that, c. In order to increase reliability and expand functionality, it is equipped with a clamp attached to the case, at least one electrode is equipped with a resistive heater and a thermistor, the contacts installed at the ends of the electrodes are removed from the case made sealed and installed in the clamp with the possibility of thermal and electrical contacts with a sensitive layer of a sensitive element. CO hO EO

Description

1 Изобретение относитс  к аналитическому приборостроению и может использоватьс  в газовой, химической и других от-расл х промышленности дл  определени  содержани  различных газов , например , в газовых смес х. Целью изобретени   вл етс  повышение надежности работы и расширение функциональных возможностей датчика . На чертеже представлена принципиальна  схема конструкции датчика газа . Датчик газа содержит герметичный корпус 1, с которым соединен прижим 2 съемного чувствительного элемента 3, содержащего полупроводниковый чувствительньй слой 4 на инертной подложке 5, помещенную в корпус сиетему электрических выводов 6 в виде электродов 7 с контактами 8. Один электрод снабжен резистивным нагревателем 9 и термистором 10. Контакты 8, установленные на торцах электродов 7, выведены из корпуса и уста новлены в прижиме 2 с возможностью теплового и электрического контактов с чувствительным слоем чувствительного элемента 3. К контактам 11 резистивного нагревател  9 подключен терморегул тор 12. Далее привод тс  особенности конструкции датчика на H,S. Подложкой может быть любой материал со стабильными свойствами в области 130-200°С, обладающий необходимой теплопроводностью и к которому тонка  пленка полупроводника обладает адгезией (керамика,. фарфор окись алюмини  и пр.).Чувствительный слой 4 изготавливаетс , например, в 86 виде пленки из полупроводника типа п (SnOj+Al), который при контакте с HjS увеличивает электропроводность пропорционально концентрации сероводорода . Оптимальна  рабоча  температура , чувствительного сло  4, составл ет 130-150 С. Электроды 7 выполн ютс  из токопровод щего материала, имеющего необходимую теплопроводность , например, меди. Контакты 8 изготавливаютс  из того же материала , что и чувствительный слой 4 или другого токопровод щего материала , исключающего загр знение полупроводника (например Sn и др.).Корпус обеспечивает герметизацию системы , электрических выводов (больую часть электродов. Нагреватель 9, термистор to), предохран ет их от воздействи  агрессивной среды H,S. Часть электродов с нанесенными на нее контактами 8, вытесненна  за пределы корпуса, защищена покрытием, стойким к разрушающему воздействию . Датчик газа, например ,работает следующим образом. Чувствительный элемент 3 датчика нагреваетс  до в свободной от H,S атмосфере. Сопротивление пленки измер етс  между электродами 7 с помощью регистрирующего устройства (не показано). При приведении чувствительного элемента 3 датчика в контакт с сероводородом чувствительный слой 4 измен ет свое сопротивление пропорционально концентрации сероводорода в газовой смеси. Сигнал Изменени  сопротивлени  через электроды 7 подаетс  на регистрирующее устройство.1 The invention relates to analytical instrumentation and can be used in gas, chemical and other industries to determine the content of various gases, for example, in gas mixtures. The aim of the invention is to increase the reliability and enhance the functionality of the sensor. The drawing shows a schematic diagram of the design of the gas sensor. The gas sensor contains a sealed housing 1, which is connected to the clamp 2 removable sensitive element 3 containing a semiconductor sensitive layer 4 on an inert substrate 5, placed in the case of the electrical leads 6 in the form of electrodes 7 with contacts 8. One electrode is equipped with a resistive heater 9 and a thermistor 10. Contacts 8, mounted on the ends of the electrodes 7, are removed from the housing and installed in clamp 2 with the possibility of thermal and electrical contacts with the sensitive layer of the sensing element 3. Contact Contac s 11 of the resistive heater 9 is connected thermoregulatory torus 12. The following are design features sensor H, S. The substrate can be any material with stable properties in the range of 130-200 ° C, which has the necessary thermal conductivity and to which a thin semiconductor film has adhesion (ceramics, porcelain alumina, etc.). Sensitive layer 4 is made, for example, in 86 film form from a semiconductor of type n (SnOj + Al), which, in contact with HjS, increases the electrical conductivity in proportion to the concentration of hydrogen sulfide. The optimum operating temperature of the sensitive layer 4 is 130-150 ° C. Electrodes 7 are made of conductive material having the necessary thermal conductivity, for example copper. Contacts 8 are made of the same material as the sensitive layer 4 or another conductive material that excludes contamination of the semiconductor (for example, Sn, etc.). The housing provides sealing of the system, electrical leads (most of the electrodes. Heater 9, thermistor to), protects them from exposure to aggressive environments H, S. A part of electrodes with contacts 8 deposited on it, displaced out of the case, is protected by a coating resistant to destructive influence. The gas sensor, for example, works as follows. The sensor element 3 is heated to an atmosphere free from H, S. The film resistance is measured between the electrodes 7 using a recording device (not shown). When the sensor element 3 is brought into contact with hydrogen sulfide, the sensitive layer 4 changes its resistance in proportion to the concentration of hydrogen sulfide in the gas mixture. The resistance change signal through the electrodes 7 is fed to a recording device.

Claims (1)

ДАТЧИК ГАЗА, состоящий из корпуса, съемного чувствительного элемента с полупроводниковым чувствительным слоем на инертной подложке, системы электрических выводов в виде электродов с контактами, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы и расширения функциональных возможностей, он снабжен соединенным с корпусом прижимом, по крайней мере один электрод снабжен резистивным нагревателем и термистором, контакты, установленные на торцах электродов, выведены из корпуса, выполненного герметичным, и установлены в прижиме с возможностью теплового и электрического контактов с чувствительным слоем чувствительного элемента.GAS SENSOR, consisting of a housing, a removable sensing element with a semiconductor sensitive layer on an inert substrate, a system of electrical terminals in the form of electrodes with contacts, characterized in that, in order to increase the reliability of operation and expand the functionality, it is equipped with a clamp connected to the housing at least one electrode is equipped with a resistive heater and a thermistor, the contacts mounted on the ends of the electrodes are removed from the housing, which is sealed, and installed in the clamp with ozhnostyu thermal and electrical contact with the sensitive layer sensitive element. а» 1173286a "1173286
SU833574918A 1983-04-07 1983-04-07 Gas transducer SU1173286A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833574918A SU1173286A1 (en) 1983-04-07 1983-04-07 Gas transducer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833574918A SU1173286A1 (en) 1983-04-07 1983-04-07 Gas transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1173286A1 true SU1173286A1 (en) 1985-08-15

Family

ID=21057561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833574918A SU1173286A1 (en) 1983-04-07 1983-04-07 Gas transducer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1173286A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент GB №1502844, кл. G 01 N 27/12, 1978. Патент US № 3901067, кл. кл. G 01 N 27/04, 1975. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4307373A (en) Solid state sensor element
US5891395A (en) Chemical switch for detection of chemical components
US4587104A (en) Semiconductor oxide gas combustibles sensor
EP0252627A2 (en) Hydrogen sulphide sensor
DK0603945T3 (en) Semiconductor oxide gas sensor, for the determination of gaseous hydrocarbons
JPH0517650Y2 (en)
IE781829L (en) Temperature sensitive element
US4424507A (en) Thin film thermistor
DE59009247D1 (en) Sensor for the detection of reducing gases.
US6786076B2 (en) Thin film gas sensor
SU1173286A1 (en) Gas transducer
GB2142147A (en) Gas sensor
CZ393190A3 (en) Sensor based on self-supporting fiber and process for producing thereof
US3522732A (en) Sensing element for hygrometers
Watson The stannic oxide gas sensor
US3243792A (en) Detection devices
EP0086415B1 (en) Humidity sensitive device
SU1741041A1 (en) Conductometric gas analyzer sensitive element
RU22557U1 (en) SENSOR FOR MEASURING CARBON OXIDE CONCENTRATION
KR20240006109A (en) Gas sensor
KR200170012Y1 (en) Thick film type prophane gas sensor
US4214967A (en) Technique for reducing solid electrolyte cell drift
JPH0618477A (en) Electrochemical gas sensor
SU381011A1 (en) GAS ANALYZER
KR960010688B1 (en) Gas sensor and its manufacturing method