SU1166020A1 - Устройство дл измерени потенциала зар женных слоев - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДНЯ ИЗМЕРЕНИЯ nOTEfflWAJlA ЗАРЯЖЕННЫХ СЛОЕВ, содержащее коро нруюций электрод измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором, а также соединенный с электроприводом цилиндрический каркас, вдоль оси которого закреплен коронируюций электрод, а бокова  поверхность снабжена экранизирующими по- . лосками,несущими зонда,о тли ч аю щ е е с   тем,что,с целью повышени  его быстродействи  и рас1вирени  функциональных возможностей, экра- . нирующие полоски размещены вдоль винтовой линии.

Description

Изобретение относитс  к электроизмерительной технике и может быть использовано при определении потенциала зар жаемых коронным разр дом тонких дизлектрических пленок, фот полупроводниковых слоев. Цель изобретени  -. повьппение быстродействи  и расширение функцио нальных возможностей устройства. . На чертеже изображено предлагае мое устройство , общий вид. Устройство включает в себ  коронйрующий электрод 1., окруженный цилиндрическим каркасом 2, опо сан Гным винтовой экранирующей полоской 3 с зондом 4, контакты 5, служащие дл  сн ти  сигналов с-зонда 4, и конт.акты 6 - дл  заземлени  экранирующей полоски 3,Цилиндрический каркас 2 приводитс  во вращение приводом 7. Исследуемый слой 8 помещаетс  под каркас 2. (Источники питани  коронирующего электрода 1 и привода 7 не показан ). Регистрирующий прибор 9 подключен к контактам 5 измерительного зонда 4, параллельно прибору подключен резистор to. , Измерени  потенциала зар женных слоев провод тс  следующим образом. На коронирующий электрод 1 подаетс  высокое напр жение .и исследуемый слой зар жаетс  в поле коронного разр да. Одновременно приводитс  во вращение каркас 2 с зондом 4. Поверхностный зар д на слое 8 вызывает в проход щем над ним зонде ЭДС электростатической индукции. Ток, проход щий через резистор 10, фиксируетс  прибором 9, например осциллографом . При вращении цилиндрического каркаса 2 относительно неподвижного исследуемого сло 8 в первый момент зонд 4 .своей крайней частью приближаетс  к слою 8. Затем, по мере вращени , нижн   и ближайша  часть к слою 8 зонда 4 будет перемещатьс  вдоль сло , т.е. вращающийс  винтообразный зонд 4 по отношению к слою 8 будет перемещатьс  линейно вдоль него. Следовательно, на приближакнцемс  к слою зонде 4 в силу электростатической индукции возникает сигнал, пропорциональный величине зар да в данном месте поверхности сло . При перемещении зонда вдоль сло  8 сигнал с зонда 4 зависит от колебаний зар да вдоль сло  8. Св занный р зондом 4 прибор 9, например осциллограф фиксирует кривую , соответствующую распределению зар да вдоль сло  8.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ЗАРЯЖЕННЫХ СЛОЕВ, содержащее коронирующнй электрод, измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединенным с электроприводом и регистрирующим прибором, а также соединенный с электроприводом цилиндрический каркас, вдоль оси которого закреплен коронирующий электрод, а боковая поверхность снабжена экранизирующими по- . лосками,несущими зонды,о тли ч аю щ е е с я тем,что,с целью повышения его быстродействия и расширения функциональных возможностей, экранирующие полоски размещены вдоль винтовой линии.

   I

   1 1166020 2