SU1151060A1 - Coordinate measuring machine - Google Patents

Coordinate measuring machine Download PDF

Info

Publication number
SU1151060A1
SU1151060A1 SU843696951A SU3696951A SU1151060A1 SU 1151060 A1 SU1151060 A1 SU 1151060A1 SU 843696951 A SU843696951 A SU 843696951A SU 3696951 A SU3696951 A SU 3696951A SU 1151060 A1 SU1151060 A1 SU 1151060A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
portal
bearings
aerostatic
coordinate measuring
base
Prior art date
Application number
SU843696951A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
А.А. Гапшис
Ю.П. Куметайтис
А.Ю. Каспарайтис
Original Assignee
Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков filed Critical Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority to SU843696951A priority Critical patent/SU1151060A1/en
Priority to DD26552484A priority patent/DD258544A3/en
Priority to DE19843441426 priority patent/DE3441426A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1151060A1 publication Critical patent/SU1151060A1/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings
    • F16C29/025Hydrostatic or aerostatic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0662Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
    • F16C32/0666Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  линейно-угловых измерений, а именно к координатным измерительным машинам, предназначенным дл  измерени  сложных деталей типа корпусов, штампов, лопаток турбин и тому подобных объектов в машиностроении.The invention relates to devices for linear-angular measurements, namely, coordinate measuring machines for measuring complex parts such as housings, dies, turbine blades and the like in mechanical engineering.

Известны координатные измерительные машины,. содержащие основание, подвижные на аэростатических подшипниках по координатным ос м узлы, несшие ош,упывающую систему, и регул торы расхода воздуха через аэростатические подшипники, управл емые по прогибам узлов, несущих ощупывак цую .систему.Known coordinate measuring machines ,. containing the base, moving on aerostatic bearings along axial axles, units that carried osh, the floating system, and air flow regulators through aerostatic bearings, which are controlled along the deflections of nodes that carry the system.

Однако эти машины сложны и не обепечивают необходимой точности из-за сравнительно больших зазоров в подшипниках .However, these machines are complex and do not provide the necessary accuracy due to the relatively large gaps in the bearings.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  координатна  измерительна  машина, содержаща  основание портал с ощупывающей головкой и опорами на основании , оснащенными аэростатическими подшипниками. Closest to the invention, in technical terms, is a coordinate measuring machine, comprising a portal base with a groping head and supports on the base, equipped with aerostatic bearings.

Осадка подшипников портала компенсируетс  изменением рассто ни  между его аэростатическими подшипниками в одном конце портала, прикрепленными к стойкам, установленным под углом между собой и под углом.к направл юшлм основани . Рассто ние между подшипниками мен етс  посредством механического регулировочного устройства , кинематически св занного с кареткой , несущей ощупьюающую головку.The draft of the portal bearings is compensated for by changing the distance between its aerostatic bearings at one end of the portal, attached to the uprights mounted at an angle between themselves and at an angle to the bottom of the base. The distance between the bearings is varied by means of a mechanical adjusting device, kinematically connected with the carriage carrying the grope head.

Существенным недостатком известной машины  вл етс  невысока  точность из-за механического воздействи  на каретку со стороны регулировочного устройства и некомпенсируемой осадки портала под действием сил, не св занных с положением каретки.A significant disadvantage of the known machine is the low accuracy due to the mechanical effect on the carriage from the side of the adjusting device and uncompensated sediment of the portal under the action of forces not associated with the carriage position.

Цель изобретени  - повьш1ение точности измерени . .The purpose of the invention is to increase the measurement accuracy. .

Эта цель достигаетс  тем, что в координатной измерительной машине, содержащей основание, портал с ощупывающей головкой и опорами на основании , оснащенными аэростатическими подшипниками, между опорами и аэростатическими подашпниками установлены герметичные проставки в виде кольцевых элементов, а подости проставок сообщаютс  с аэростатическими подшип510602This goal is achieved by the fact that in a coordinate measuring machine containing a base, a portal with a groping head and supports on the base, equipped with aerostatic bearings, between the supports and aerostatic bearings, tight spacers in the form of ring elements are installed, and the legs of the spacers communicate with the aerostatic bearings510602

никами и через дроссели с источником сжатого воздуха.through chokes with a source of compressed air.

Устройство координатной измерительной машины по сн етс  чертежами. 5 На фиг. 1 изображена координатна  измерительна  машина, общий вид; на фиг. 2 - сечение:А-А на фиг. 1 аэростатического подаипника и опоры портала , в исполнении жесткого соедине0 НИН последней с порталом; на фиг. 3 .сечение А-А на фиг. 1 аэростатичес- кого подшипника и опоры портала, в исполнении шарнирного соединени  последней с порталом; на фиг. 4 - графики изменени  рабочего зазора аэростатического подшипника (а) и рассто ни  опоры портала от направл ющей (б, в) при увеличении нагрузки на них. . .The device of the coordinate measuring machine is shown in the drawings. 5 In FIG. 1 shows the coordinate measuring machine, general view; in fig. 2 - section: A-A in FIG. 1 aerostatic distributor and support of the portal, performed by the rigid connection of the NIN of the latter with the portal; in fig. 3 .A-A section in FIG. 1 aerostatic bearing and support of the portal, performed by the hinge joint of the latter with the portal; in fig. 4 - graphs of the change in the working gap of the aerostatic bearing (a) and the distance of the portal support from the guide (b, c) with increasing load on them. . .

0 Координатна  измерительна  машина содержит основание 1, портал 2, подвижную по порталу каретку 3 с ощупывающей головкой 4, опоры 5 портала 2 на основании, которые соединены с0 Coordinate measuring machine contains a base 1, a portal 2, a carriage 3 moving along a portal, with a groping head 4, supports 5 of a portal 2 on the base, which are connected to

5 аэростатически: подшипниками 6 через герметичные проставки - упругие кольцевые элементы 7 и могут быть выполнены как одно целое с аэростатическими подшипниками . или опорами5 aerostatically: bearings 6 through sealed spacers are elastic ring elements 7 and can be made in one piece with aerostatic bearings. or supports

Q портала. Таким образом, опорными поверхност ми 8 и 9 опоры портала и аэростатического подшипника и кольцевым упругим элементом 7 образована закрыта  полость 10, котора  сообщаетс  через отверсти  11 с отверсти 5 ми 12 аэростатического подш51пника 6, а через дроссель 13 и трубку 14 с источником сжатого воздуха. Опора 5 с порталом 2 может быть соединена с помощью шарнира 15. Площадь опорной поверхности 8 больше площади торцовой поверхности 16 подшипника.Q portal. Thus, the bearing surfaces 8 and 9 of the support of the portal and aerostatic bearing and the annular elastic element 7 form a closed cavity 10, which communicates through the holes 11 with the holes 5 of the aerostatic headlight 6 and through the choke 13 and the tube 14 with a source of compressed air. Bearing 5 with the portal 2 can be connected using a hinge 15. The area of the support surface 8 is larger than the area of the end surface 16 of the bearing.

Сжатый воздух через трубку 14 и дроссель 13 поступает в полость 10, создава  зазор- Hj величиной 0,005 . 0,01 мм, что определ етс  жесткостью элемента 7. Из полости 10 воздух через отверсти  П и 12 попадает в зазор Hg между подшипником 6 и основанием 1. Величина-зазора Hg составл ет 0,003-0,006 мм.Compressed air through the tube 14 and the choke 13 enters the cavity 10, creating a gap-Hj value of 0.005. 0.01 mm, which is determined by the stiffness of the element 7. From the cavity 10, the air through the holes P and 12 enters the gap Hg between the bearing 6 and the base 1. The gap value Hg is 0.003-0.006 mm.

Следовательно, портал поднимаетс  вверх на величину Н Н;| + Н. Т жесть портала принимают, по меньшей мере, .три аэростатических подшипника. Портал на аэростатических подшипниках по направл ющим основани  пере- .мещаетс  по горизонтальной оси X.Consequently, the portal rises by an amount HH; | + N. T tin of the portal accept, at least. Three aerostatic bearings. The portal, on aerostatic bearings, moves along the base rails on the horizontal axis X.

На направл ющих портала по горизонтальной оси У перемещаетс  каретка 3. В корпусе каретки по вертикальной оси Z перемещаетс  ощупывающа  головка 4. .On the portal guides, the carriage 3 moves along the horizontal axis Y. In the carriage body along the vertical axis Z, the feeling head 4 moves.

В процессе измерени , перемеща сь по порталу, каретка 3 мен ет нагрузку на портал и его аэростатические подшипни1 и 6, что отражаетс  на величинах зазоров Н и Н.In the process of measurement, moving around the portal, the carriage 3 changes the load on the portal and its aerostatic bearings 1 and 6, which is reflected in the values of the gaps H and N.

С увеличением нагрузки на подшипник зазор Hg уменьшаетс  согласно кривой, увеличива  давление в полости 10 увеличиваетс  и зазор Н, а сумма Н зазоров согласно кривой (б) в ripeделах рабочей зоны не мен етс  (см. фиг. 4).With increasing load on the bearing, the gap Hg decreases according to the curve, increasing the pressure in cavity 10 increases and the gap H, and the sum H of the gaps according to curve (b) in the ripe parts of the working area does not change (see Fig. 4).

Компенсирующее действие герметичной пррставки, завис щее от жесткостиThe compensating effect of the pressurized installation, depending on the stiffness

кольцевого элемента,,подбираетс  в каждой уже изготовленной опоре при настроечных- испытани х координатной измерительной машины силированием или обтачиванием кольцевого элемента 7. При этом также могут быть учтены деформации портала. В этом случае добиваютс  увеличени  суммы зазоров при увеличении нагрузки на опору согласно кривой (в). Таким образом, введение упругих кольцевых элементов между опорами и аэростатическими подшипниками и св зь их с источникомсжатого воздуха с одной стороны и с аэростатическими подшипниками с другой обеспечивают компенсацию деформаций портала и изменени  зазоров между подшипниками и основанием и тем самым повышают точность измерени .the annular element, is selected in each already made support during adjustment tests of the coordinate measuring machine by siliconizing or turning the annular element 7. In this case, the portal deformations can also be taken into account. In this case, an increase in the amount of gaps is achieved by increasing the load on the support according to curve (c). Thus, the introduction of elastic annular elements between bearings and aerostatic bearings and their connection with a source of compressed air on one side and with aerostatic bearings on the other provide compensation for portal deformations and changes in the gaps between the bearings and the base and thereby increase the accuracy of measurement.

Л-АLA

8eight

1212

Фиг.11

- / лл/ууух хххххх - / ll / uuuh xxxxxxx

иг.Зig.Z

Claims (1)

(.54)(.57) КООРДИНАТНАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ” МАШИНА, содержащая основание, портал с ощупывающей головкой и опорами на основании, оснащенными аэростатическими подшипниками, отличающаяся тем,.что, с целью повышения точности измерения, между опорами и аэростатическими подшипниками установлены герметичные проставки в виде упругих кольцевых элементов, а полости проставок сообщаются с аэро-(.54) (. 57) COORDINATE MEASURING ”MACHINE, comprising a base, a portal with a picking head and bearings on the base equipped with aerostatic bearings, characterized in that. In order to increase the accuracy of measurement, sealed spacers are installed between the bearings and aerostatic bearings in the form of elastic ring elements, and the cavity of the spacers communicate with the aero-
SU843696951A 1984-02-13 1984-02-13 Coordinate measuring machine SU1151060A1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843696951A SU1151060A1 (en) 1984-02-13 1984-02-13 Coordinate measuring machine
DD26552484A DD258544A3 (en) 1984-02-13 1984-07-23 COORDINATE MEASURING MACHINE
DE19843441426 DE3441426A1 (en) 1984-02-13 1984-11-13 Coordinate measuring machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843696951A SU1151060A1 (en) 1984-02-13 1984-02-13 Coordinate measuring machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1151060A1 true SU1151060A1 (en) 1985-11-23

Family

ID=21102156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843696951A SU1151060A1 (en) 1984-02-13 1984-02-13 Coordinate measuring machine

Country Status (3)

Country Link
DD (1) DD258544A3 (en)
DE (1) DE3441426A1 (en)
SU (1) SU1151060A1 (en)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435310A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Mitutoyo Corp Multidimensional measuring machine
FR2620223B1 (en) * 1987-09-09 1994-03-25 Institut Superieur Etat Surface METHOD FOR SLIDING A MOBILE MEDIUM ON A REFERENCE SURFACE AND ASSOCIATED DEVICE
DE4125802A1 (en) * 1991-08-03 1993-02-04 Zeiss Carl Fa GAS PRESSURE BEARING
KR100368075B1 (en) 2000-02-07 2003-01-15 마이크로 인스펙션 주식회사 Inspection apparatus and method adapted to a scanning technique employing a rolling wire probe
DE10120553A1 (en) 2001-04-26 2002-10-31 Werth Messtechnik Gmbh Storage for a coordinate measuring machine in particular
DE102010006297A1 (en) 2010-01-21 2011-07-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH, 73447 Machine and method for operating a machine
CN102128206B (en) * 2011-03-15 2013-02-06 中国科学院光电技术研究所 Air static-pressure thrust bearing
WO2013110337A1 (en) 2012-01-26 2013-08-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Machine having an improved preloaded fluid bearing
DE102013200595B4 (en) 2013-01-16 2019-09-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Controlling an operation of a coordinate measuring machine or machine tool with a moving part
DE102014212748A1 (en) * 2014-07-01 2016-01-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Bearing assembly for a linear fluid bearing guide of a coordinate measuring machine and coordinate measuring machine

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1509709A (en) * 1974-10-08 1978-05-04 Agfa Gevaert Fluid bearing assembly
GB2099151B (en) * 1981-02-14 1985-09-04 Lk Tool Co Ltd Measuring machine
DE3121373A1 (en) * 1981-05-29 1982-12-23 C. Stiefelmayer Kg, 7300 Esslingen Device for, in particular, three-dimensional measurement and/or marking out and/or scanning of workpieces

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 518161, кл. G 01 В 5/02, 1972. Патент GB № 2099151 кл. G 01 В 5/03, 1982. (Л СП о а (54)С57) КООРДИНАТНАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ МАШИНА, содержаща основание, портал с ощупывающей головкой и опорами на основании, оснащенными аэростатическими подшипниками, отличающа с тем,,что, с целью повы- щени точности измерени , между опорами и аэростатическими подшипниками установлены герметичные проставки в виде упругих кольцевых элементов, а полости проставок сообщаютс с аэростатическими подшипниками и через дроссели с источником сжатого воздуха. *

Also Published As

Publication number Publication date
DE3441426C2 (en) 1992-12-03
DE3441426A1 (en) 1985-08-14
DD258544A3 (en) 1988-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1151060A1 (en) Coordinate measuring machine
US3639993A (en) Improvements relating to machines and apparatus having a support for guiding a movable member
CA1280888C (en) Coordinate measuring machine
EP0322740B1 (en) Coordinate measuring machine with a probe shaft counter balance system
US3231319A (en) Precision slide
US2759378A (en) Machine-tool
EP0027060A1 (en) Coordinate measuring machine
US5715888A (en) Ingot mould for continuous casting
US2621552A (en) Machine tool construction
ES8301766A1 (en) Press drive.
US4525930A (en) Apparatus for carrying machine elements
US4564300A (en) Bearing support stand
GB2080954A (en) Attaching a measuring table to the base frame of a coordinate measuring machine
GB2048422A (en) Piston rod guiding means
SU658406A1 (en) Linear dimension measuring arrangement
KR890005086B1 (en) Compound damper system
US3190007A (en) Extensometer
SU684282A1 (en) Coordinate-type measuring machine
RU1787096C (en) Coordinate table
DE3503007A1 (en) Method for measuring geometrical variables and device for carrying out the method
SU1014679A1 (en) Apparatus for automatic compensation of force deformations of precision machine frame
GB1186031A (en) Improvements relating to Machines having a Support for Guiding a Movable Member along a Path with Precision
CN220533252U (en) Cornea shaping mirror processing machine tool
CN220101960U (en) Ball screw module
CN209717392U (en) Device is fixed in the processing alignment rolling of long size work surface grinding machine