SU1147850A1 - Mechanical vacuum pump - Google Patents

Abstract

МЕХАНИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, ра.змещенные в нем рабочие камеры, в которых З становлены роторы первой и второй ступеней, камеру дл  обезгаживани  масла и источник инертного газа, подключенный к рабочей камере второй ступени посредством канала, о тл ич.а ющи и с   тем, что, с целью снижени  предельного остаточного давлени  и повышени  эксплуатационной надежности при откачке агрессивньк газов, камера дл  обезгаживани  масла сообщена с каналом. (Л 1 эо У1MECHANICAL VACUUM PUMP, comprising a housing, working chambers located therein, in which 3 rotors of the first and second stages are installed, a chamber for oil degassing and an inert gas source connected to the working chamber of the second stage through a channel so that, in order to reduce the limiting residual pressure and increase the operational reliability when pumping aggressive gases, the oil degassing chamber communicates with the channel. (L 1 eo U1

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к механическим вакуумным насосам, предназначенным для откачки агрессивных сред, и может найти применение в электро- 5 технической и электронной промышленности.The invention relates to vacuum equipment, namely to mechanical vacuum pumps designed for pumping aggressive media, and can find application in the electro-technical and electronic industries.

Известен механический вакуумный насос, содержащий две ступени откачки газа, систему подачи масла в рабочие камеры насоса и камеру для обезгаживания £1 ].Known mechanical vacuum pump containing two stages of gas pumping, an oil supply system to the working chamber of the pump and the chamber for degassing £ 1].

Недостатком известного решения является влияние действия дегазатора н^ вакуумные характеристики ' 15 насоса. При значительном содержании газа в масле повышение давления на входе во;вторую ступень насоса сказывается на его вакуумных характеристиках . 20A disadvantage of the known solution is the effect of the degasser n ^ vacuum characteristics of the '15 pump. With a significant gas content in the oil, an increase in pressure at the inlet to the; the second stage of the pump affects its vacuum characteristics. twenty

Наиболее близким к изобретению является механический вакуумный насос, содержащий корпус, размещенные в нем рабочие камеры, в которых установлены роторы первой и второй 25 ступеней, камеру для обезгаживания масла и источник инертного газа, подключенный к рабочей камере второй ступени посредством канала £2].Closest to the invention is a mechanical vacuum pump, comprising a housing, working chambers placed therein, in which rotors of the first and second 25 stages are installed, an oil degassing chamber and an inert gas source connected to the second stage working chamber via a £ 2 channel].

Однако.в известном насосе масло, 30 подаваемое в рабочие камеры насоса, не защищено от воздействия агрессивной откачиваемой среды.However, in the known pump, the oil 30 supplied to the working chambers of the pump is not protected from the effects of aggressive pumped medium.

Цель изобретения - снижение предельного .рстаточного давления ’ . ₃₅ и повышение эксплуатационной надежности при откачке агрессивных газов.The purpose of the invention is the reduction of marginal pressure. ₃₅ and increase operational reliability during the pumping of aggressive gases.

Указанная цель достигается тем, что в механическом вакуумном насосе, содержащем корпус, размещенные в нем рабочие камеры, в которых установлены роторы первой и второй ступеней, камеру для обезгаживания масла и источник инертного газа, подключен** ный к рабочей камере второй ступени ₄₃ посредством канала, камера для обезга-. жйвания масла сообщена с каналом.This goal is achieved by the fact that in the mechanical vacuum pump containing the housing, the working chambers placed in it, in which the rotors of the first and second stages are installed, the oil degassing chamber and an inert gas source are connected ** to the working chamber of the second stage ₄₃ via a channel , a camera for a kill. chewing oil communicated with the channel.

На чертеже изображен насос, про- . дольный разрез.The drawing shows a pump, pro. longitudinal section.

Механический вакуумный насос содер-цд жит корпус 1, размещенные в нем '. рабочие камеры 2 и 3, в которых уста новлены роторы 4. и 5 первой и второй ступеней, камеру 6 для обезгаживания масла и источник 7 инертного газа, подключенный к рабочей камере 3 второй ступени посредством канала 8. Камера 6 для обезгаживания масла сообщена с каналом 8. Это сообщение осуществляется посредством канала 9. Масло перемещается в корпусе 1 с помощью маслонасоса 10.A mechanical vacuum pump contains a housing 1 located therein. working chambers 2 and 3, in which rotors 4. and 5 of the first and second stages are installed, a chamber 6 for degassing the oil and an inert gas source 7 connected to the working chamber 3 of the second stage through the channel 8. The chamber 6 for degassing the oil is in communication with the channel 8. This message is carried out through the channel 9. The oil moves in the housing 1 using the oil pump 10.

При работе вакуумного насоса откачиваемая среда проходит первую и вторую ступени откачки. При этом, когда отключен источник 7 инертного газа, в канале 8 подачи инертного газа давление газа изменяется в зависимости от положения ротора 5 второй ступени от 10¹мм рт;ст. до нескольких миллиметров ртутного столба. Ротором 4 приводится в действие маслонасос ГО. Первой ступенью маслонасоса 10 рабочая жидкость (масло) подается в камеру 6 для обезгаживания масла. В камере 6 благодаря наличию канала 9 поддерживается давление от 1 О'¹ мм рт.ст. до нескольких миллиметров ртутного ' столба, достаточное для практически полного.обезгаживания масла. Из камеры 6 второй ступенью маслонасоса 10 масло подается в рабочие камеры 2 и 3 вакуумного насоса. При подключении источника 7 инертного газа в канале 9 и, соответственно, в камере 6 для обезгаживания масла поддерживается постоянное давление инертного или слабоактивного газа, близкое к атмосферному. В этих условиях, происходит насыщение масла инертным или слабоактивным газом, которое затем подается в рабочие камеры 2 и 3 насоса.During the operation of the vacuum pump, the pumped medium passes the first and second stages of pumping. Moreover, when the inert gas source 7 is turned off, the gas pressure in the inert gas supply channel 8 changes depending on the position of the rotor 5 of the second stage from 10 ¹ mm Hg; up to several millimeters of mercury. The rotor 4 drives the oil pump GO. The first stage of the oil pump 10, the working fluid (oil) is fed into the chamber 6 for degassing the oil. In the chamber 6, due to the presence of the channel 9, a pressure of 1 O ′ ¹ mm Hg is maintained. up to several millimeters of mercury, sufficient for almost complete oil degassing. From the chamber 6, the second stage of the oil pump 10 supplies oil to the working chambers 2 and 3 of the vacuum pump. When the inert gas source 7 is connected in the channel 9 and, accordingly, in the oil degassing chamber 6, a constant pressure of an inert or weakly active gas is maintained close to atmospheric. Under these conditions, the oil is saturated with an inert or weakly active gas, which is then fed into the working chambers 2 and 3 of the pump.

Достигаемый результат обусловлен .тем, что, с одной стороны, уменьтиается проникновение первоначально растворенных в масле газов во впускдую полость насоса, а с другой стороны, насыщением масла инертным газом при работе насоса предотвращается проникновение агрессивных газов· в рабочую жидкость (масло).The achieved result is due to the fact that, on the one hand, the penetration of gases originally dissolved in oil into the inlet cavity of the pump is reduced, and on the other hand, the saturation of the oil with an inert gas during pump operation prevents the penetration of aggressive gases into the working fluid (oil).

Claims (1)

. МЕХАНИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ 'НАСОС, содержащий корпус, размещен ные в нем рабочие камеры, в которых установлены роторы первой и второй ступеней, камеру для обезгаживания масла и источник инертного газа, подключенный к рабочей камере второй ступени посредством канала, о тлич.ающийся тем, что, с целью снижения предельного остаточного давления и повышения эксплуатационной надежности при откачке агрессивных газов, камера для обезгаживания масла сообщена с каналом.. MECHANICAL VACUUM PUMP containing a housing, working chambers placed in it, in which rotors of the first and second stages are installed, an oil degassing chamber and an inert gas source connected to the second stage working chamber via a channel, characterized in that, in order to reduce the ultimate residual pressure and increase operational reliability during pumping of aggressive gases, a chamber for degassing the oil is in communication with the channel.