Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А.Н. ЩербаковfiledCriticalА.Н. Щербаков
Priority to SU3375512/27ApriorityCriticalpatent/SU1123349A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU1123349A1publicationCriticalpatent/SU1123349A1/ru
Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer
(AREA)
Abstract
Устройство для прижима, преимущественно, склеиваемых деталей, содержащее корпус с вакуумной камерой и рабочей камерой, в которой размещен прижимной элемент, соединенный с источником давления, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей за счет обеспечения прижима на детали с криволинейной поверхностью и термообработки поверхности, оно снабжено установленным в рабочей камере гибким нагревателем, контактирующим с прижимным элементом, а корпус и прижимной элемент выполнены эластичными.
SU3375512/27A1981-12-311981-12-31Устройство для прижима
SU1123349A1
(ru)