SU1076621A1 - Криогенный вакуумный насос - Google Patents

Abstract

КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, отличающийс  тем, что, с целью повыщени  быстроты откачки, сосуд снабжен .гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с. образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизол ционного материала.

Description

dL

О5

X 05 N5

к«««4 1

(Риг.1 Изобретение относитс  к вакуумной технике . Известен криогенный насос, содержащий корпус и откачивающий элемент 1. В известном насосе обеспечиваетс  интенсивное охлаждение только части поверхности откачивающего элемента, что ограничивает быстроту действи  насоса. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  криогенный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом 2. При снижении уровн  криагента режим кипени  в известном насосе переходит в пленочный, вследствие чего резко уменьщаетс  коэффициент теплоотдачи, что ведет к снижению быстроты откачки. Цель изобретени  - повышение быстроты откачки. Указанна  цель достигаетс  тем, что в криогенном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, сосуд снабжен гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизол ционного материала. На фиг. 1 изображен предлагаемый насос продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Криогенный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающий элеCpuz .Z

/iмент , выполненный в виде сосуда 3 с криагентом . Сосуд 3 снабжен гофрированной вставкой 4, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец 5 с образованием вертикальных каналов 6 и имеющей с наружной стороны покрытие 7 из теплоизол ционного материала. Насос работает следующим образом. После откачки полости насоса до давлени  ниже 100 Па в полость экрана 2 заливают жидкий азот, а в откачивающий элемент - более низкотемпературный криагент , например, жидкий гелий. Откачиваемый газ проходит к сосуду 3 и конденсируетс  на его днище и боковых стенках. Отдаваема  откачиваемым газом теплота вызывает кипение криагента в каналах 6. Образующиес  отдельные мелкие пузырьки пара сливаютс  в крупные и течение потока приобретает порщневой характер. При этом каждый паровой порщень двигает перед собой жидкостную пробку. Поскольку плотность криагента в каналах 6 меньще, чем в самом сосуде 3 откачивающего элемента, то циркул ци  не прекращаетс  и по мере снижени  уровн  жидкого гели  в сосуде 3. Таким образом, обеспечиваетс  интенсивное охлаждение боковых стенок откачивающего элемента циркулирующим жидким гелием, -кип щим по всей высоте каналов 6. Покрытие из теплоизол ционного материала 7 уменьшает отвод теплоты от стенок каналов 6 и тем самым повышает в них интенсивность циркул ции парожидкостной смеси криагента, а следовательно, и интенсивность охлаждени  боковых стенок откачивающего элемента.

Claims (1)

1. КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда с криагентом, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, сосуд снабжен .гофрированной вставкой, прижатой к его внутренней боковой поверхности при помощи распорных колец с. образованием вертикальных каналов и имеющей с наружной стороны покрытие из теплоизоляционного материала.

   LK<«««4->»>»»U (риг.1