SU1062902A1 - Method for determining defects of object and device for effecting same - Google Patents

Abstract

1. Способ определени  дефектов объекта, основанный на преобразовании изобра сени  объекта в монохромный телевизионный сигнал с фиксированньм числом элементов разложени , квантовании телевизионного сигнала по уровню и цветовом кодировании полученных сигналов с последующим его отображением, отличающийс   тем, что, с целью уменьшени  времени определени  дефектов, после преобразовани  изображени  объекта в монохромный телевизионный сигнал каждый кадр телевизионного сигнала разбивают на равные участки с заданным числом элементов разрешени , при этом суммируют длительности импульi сов квантованного по уровню телеви (Л зионного сигнала в в каждом участке кадра телевизионного сигнала с поС следующим его преобразованием в телевизионный сигнал перед цветным кодированием .1. A method for determining object defects based on converting an image of an object into a monochrome television signal with a fixed number of decomposition elements, quantizing a television signal by level and color coding the received signals with its subsequent display, characterized in that, in order to reduce the time for determining defects, after converting an image of an object into a monochrome television signal, each frame of the television signal is divided into equal sections with a given number of elements in resolution, the summed duration impuli cos quantized by level televis (A Zeon signal in each section of the television signal frame PIC following its conversion into a color television signal before encoding.

Description

ф(/г.f 2. Устройство определени  дефектов объекта, содержащее формирователь телевизионного сигнала и последовательно соединенные блок пам ти, блок цветового кодировани  и цветной видеоконтрольный блок, отличающеес  тем, что введены последовательно соединенные амплитудный дискриминатор, вход которого соединен с сигнальным выходом формировател  телевизионного сигнала, измеритель временного интервала и сумматор , выход которого соединен с информационны входом блока пам ти, а второй вход соединен с выходом блокаf. (gf. 2. An object defect detection device comprising a television signal generator and a serially connected memory block, a color coding block and a color video monitoring block, characterized in that serially connected amplitude discriminator, whose input is connected to a television signal, time meter and adder, the output of which is connected to the information input of the memory block, and the second input is connected to the output of the block

пам ти, введены формирователь изйёри1 2 тельной решетки и формирователь зон пространственной дискретизации, входы которых соединены с синхронизирующим выходом формировател  телевизионного сигнала, при этом первый выход формировател  измерительной решетки соединен с управл ющим входом амплитудного дискриминатора, а второй выход соединен с управл ющим входом формировател  зон пространственной дискретизации, первый выход которого соединен с адресным входом блока пам ти, а второй выход - с управл ющим входом измерител  временкого интервала.memory, shunt array shaper 1 and spatial sampling zone shaper are entered, the inputs of which are connected to the clock output of the television signal shaper, while the first output of the measuring grid shaper is connected to the control input of the amplitude discriminator, and the second output is connected to the control input of the shaper zone spatial discretization, the first output of which is connected to the address input of the memory unit, and the second output - to the control input of the time meter interval.

Изобретение относитс  к области телевидени  и телевизионного (ТВ) контрол  объектов, качество которых определ етс  размерами, формой и пространстранственным расположением макро- и микродефектов и может быть использовано при неразрушающем контроле качества полупроводниковых пластин и входн{ х окон дл  фотозлект рических и электроннолучевых приборов , стекл нных подложек фотошаблонов и др. Известен способ определени  дефектов объекта, основанный на преобразовании изображени  объекта в монр хромный ТВ-сигнал с фиксированным числом элементов разложени  с последующим его отображением. Известно устройство дл  определени  дефектов объекта, содержащее фор мирователь ТВ-сигнала и черно-бельш видеоконтрольный блок. Этот способ и устройство позвол ет наблюдать весь объект одновременно с малым пространственным разрешением или исследовать его по част м с большим пространственным разрешением Недостатками известного способа и реализующего его устройс тва  вл ютс  малое отношение сигнал/шум, больша  длительность контрол  при исследовании объектов с большим пространственным разрешением, сложность работы оператора и потер  ин4)ррмации за счет нарушени  цельности контролируемого изображени . Больша  длительность контрол  при необходимости вы влени  микродефектов на большой контролируемой площади образца св зана с тем, что с увеличением пространственного разрешени  уменьшаетс  контролируема  облает образца и соответственно увеличиваетс  количество участков, подлежащих просмотру и анализу. Кроме того,врем  контрол  увеличиваетс  из-за многократного перемещени  образца и его установки в новые положени . Все это в большой степени усложн ет работу оператора, приводит к утомлению, что отражаетс  в конечном итоге на качества контрол , Кроме того, при просмотре контролируемой площади образца по част м нарушаетс  св занность изображени , тер етс  информаци  о взаимном положении микродефектов на всей контролируемой площади. Например, при контроле полупроводниковых пластин информаци  о взаимном положении микродефектов определенного размера, получаема  на различных технологических этапах, может указать на основные направлени  развитии дислокаций, на нарушение теплового режима, неоднородность легировани  и т.п. Пыта сь 31 восстановить потер нную информацию, оператор вынужден либо мысленно воссоздавать цельную картину, что практически невозможно, либо регистрировать (например, фотоспособом) изображение отдельных участков, а затем совмещать их друг с другом (сшивать). Помимо большой трудоемкости этой операции и резкого увеличени  времени контрол  часть информации неизбеж но тер етс , так как число одновременно наблюдаемых элементов изображени , разрешаемых глазом, ограничено возможностью человеческого зрени  При наблюдении всей площади образца при малом увеличении микродефекты вообще перестают быть, различимы. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  способ определени  дефектов объекта, основанный на преобразовании изображени  объекта в монохромньй ТВ-сигнал с фиксированным числом элементов разложени , квантовании ТВ-сигнала по.уровню, цветовом кодировании ТВ сигналов с последующим его отображением , I Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  устройство дл  опреедлени  дефектов объекта, содержащее формирователь ТВ сигнала и последовательно соединенные блок пам ти, блок цветового кодировани  и цветной видеоконтрольный блок. Однако цветовое кодирование в известном способе выполнено по амплитуде ТВ-сигнала исходного изображени , что позвол ет выделить полутона соответствующие различным значени м амплитуды ТВ-сигнала, неразличимые дл  человеческого глаза в черно-бело изображении, но не увеличивает пространственной разрешающей способности . Наличие в устройстве блока пам ти позвол ет работать в малокадровом режиме с выбором оптимальной длительности кадра, за счет чего сущест венно повьщ1аетс  отношение сигнал/шу Однако величина одновременно контролируемой площади образца ограничена числом элементов разложени  реальных видеоконтрольных блоков, котора  в свою очередь определе етс  воз можностью человеческого глаза. В св  зи с этим известный способ и реали02 зующее его устройство сохран ют главг ные недостатки, св занные с просмотром всей площади контролируемого объекта по част м: большое врем  контрол , сложность и трудоемкость работы оператора и потер  информации о размере и взаимном положении микродефектов на большой контролируемой площади. Цель изобретени  - уменьшение времени определени  дефектов. Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу определени  дефектов объекта, основанному на преобразовании изображени  объекта в монохромный телевизионный (ТВ) сигнал с фиксированным числом элементов разложени , квантовании ТВ-сигнала по уровню и цветовом кодировании полученных сигналов с последующим его отображением , после преобразовани  изображени  объекта в монохромный ТВ-сигнал каждый кадр ТВ-сигнала разбивают на равные участки с заданным числом элементов разрешени , при этом суммируют длительности импульсов квантованного по уровню ТВ-сигнала в каждом участке кадра ТВ-сигнала с последуюш .им его преобразованием в ТВ-сигнал перед цветным кодированием. Кроме того, в устройство дл  определени  дефектов объекта, содержащее формирователь ТВ-сигнала и последовательно соединенные блок- пам ти, блок цветового кодировани  и цветной видеоконтрольный блок, введены последовательно соединенные амплитудный дискриминатор, вход которого соединен с сигнальным выходом формировател  ТВ-сигнала, измеритель временного интервала и сумматор, выход которого соединен с информационным входом блока пам ти, а второй вход соединен с выходом блока пам ти, введены формирователь измерительной рещетки и формирователь зон пространственной дискретизации , входы которых соединены с синхронизирующим выходом формировател  ТВ-сигнала, при этом первый выход формировател  измерительной решетки соединен с управл ющим входом амплитудного дискриминатора, а второй выход соединен с управл ющим входом формировател  зон пространственной дискретизации, первый выход которого соединен с адресным входом блока пам ти, а второй выход - с управл ющим вхбдом измерител  временного интервала. Каждому элементу разложени  изоб ражени , отображаемого на экране видеоконтрольного блока соответствует определенна  эона изображени  контролируемого объекта, и, в зависимости от того, какую часть площад зоны занимает дефект, элемент отображаетс  тем или иным цветом. Число элементов разложени  изображени  контролируемого объекта выбираетс , исход  из площади контролируемого объекта и из минимальных размеров вы вл емых дефектов и значительно превышает число элементов разложени выводимых на экран видеоконтрольног блока, за счет чего кадр изображени контролируемого объекта отображает на цельном изображении объекта всю необходимую информацию о микродефектах . Отображаемый ТВ-сигнал первого изображени  с числом элементов разложени , равным числу зон, и с амплитудой , определ емой площадью дефектов в каждой зоне, при, наличии цветовой кодировки, позвол ет опера тору видеть в наиболее удобной дл  воспри ти  форме наличие микродефек тов, их взаимное расположение и раз мер. Устройство, реализующее способ, позвол ет формировать видеосигнал нового изображени  в цифровой форме запомнить его и построить новое изображение, в котором цветова  окр ка каждой точки изображени  несет информацию о размерах микродефектов Все это сокращает врем  контрол  упрощает работу оператора и повышае информативность способа. Работа оператора упрощаетс  не только за счет удобной дл  человеческого воспри ти  формы представлени  информации о дефектах, но и з счет того, что по вл етс  возможнос выбора размера зоны пространственной дискретизации, а также выбора уровней квантовани  и присвоени  этим уровн м определенного цвета. Таким образом, оператор получает возможность одновременно контролировать всю площадь образца как с сохранением детальной информации о размерах микродефектов, так и грубо, разбив контролируемые дефекты на ограниченное количество групп по площади (микродефектов). В последнем случае еще более упрощаетс  работа оператора, по вл етс  возможность проводить допусковый контроль, резко сокращаетс  врем  контрол , а дополнительна  информаци 0взаимном расположении микродефектов представл етс  в еще более удобном дл  анализа виде и коррел ци  с макроскопическими нарушени ми облегчаетс  , На фиг,1 изображена структурна  электрическа  схема устройства дл  определени  дефектов объектаj на фиг.2 - разбиение объекта на зоны; на фиг.З - диаграммы напр жений, по сн ющие работу устройства. Устройство содержит формирователь 1ТВ-сигнала, амплитудный дискриминатор 2, измеритель 3 временного интервала , сумматор 4, блок 5 пам ти, блок 6 цветового кодировани  и цветной видеоконтрольный блок 7, формирователь 8 измерительной решетки и формирователь 9 зон пространственной дискретизации. В результате указанных действий с ТВ-сигналом изображение контролируемой площади образца S (фиг.2а) разбито на равные участки зоны пространственной дискретизации S, ограниченные пунктирными вертикальными и горизонтальными лиин ми 1. Число узлов измерительной рещетки 2 (тонкие сплощные линии), или соответственно число элементов разложени  в каждой зоне пространственной дискретизации в приводимом примере выбрано равным 100. Шаг измерительной решетки выбран настолько малым, что ошибка от дискретизации по времени бинарно-квантованного сигнала по крайней мере в 25 раз меньше минимального дефекта, подлежащего обнаружению и требуемой дл  визуального контрол  точности дифференциации дефектов,по размерам. Там же изображены типичные дефекты , подлежащие обнаружению: инородное включение (левый нижний угол фиг.2а), и дефекты типа точек, расположенные в направлении с левого верхнего yrJia к правому нижнему. В то врем  как об наружение изображенного инородного включени , превьщ1ающего по всоим размерам допустимые, говорит само по себе о необходимости забраковки издели , точки, расположенные в указанном направлении, хот  л укладываю с  в предельно-допустимые размеры, несут информацию о макронеоднороднос т х (например, зона распространени  дислокаций в полупроводниковой пластине , царапина на поверхности стекла в виде прерывистой линии), что,в сво очередь, говорит о качестве технологического процесса. Эту качественно новую информацю невозможно было бы Получить при просмотре площади образ ца по част м. Поле зрени  при просмотре по част м по известным мето .дикам (фиг.2а) изображено квадратами ограниченными жирными лини ми 3, Чис ло элементов разложени  в этом поле зрени  определ етс  предельной возможностью человеческого глаза и соответствующим ей ТВ стандартом. Число элементов разложени  остаетс  тем же. Однако за счет цветового ко дировани  по площади дефектов в зон пространственной дискретизации это число элементов разложени  уже несе информацию о распределении дефектов по всей площади образца. Цифры окол каждой дефекта говор т о его площад выраженной в числе узлов измеритель ной решетки (фиг.2а). Новое изображение всей исследуемой площади образца (фиг.26) в веденном примере занимает площадь в 25 раз меньшую, чем исходное S с сохранением всей требуемой информа ции за счет цветового кодировани  (площадь дефектных участков-цвет). На фиг.2в приведен пример цветового кодировани  по площади дефектных точек в зоне пространственной дискретизации,, где площадь выражена в числе узлов измерительной решетки попавших на дефектные участки. Устройство, реализующее предложенный способ, работает следующим образом. Перед началом работы стираютс  данные, записанные ранее в блоке 5 пам ти, а также устанавливаютс  в О счетчики адреса формировател  9 ТВ-сигнал с выхода формировател  1 (фиг.Зб), содержащий информацию о геометрических параметрах дефектов (фиг.За), поступает на амплитудный дискриминатор 2, где преобразуетс  в двуградационный сигнал, дискретизированньш во времени с йомощью стробирующих импульсов (фиг.Зв), которые поступают с выхода формировател  8 измерительной решетки, формирователь 8 синхронизируетс  кадровыми и строчными синхронизирующими импульсами формировател  1 ТВ-сигнала и вырабатывает импульсы (фиг.Зд), следующие с частотой, кратной частоте стробирующих импульсов, и управл ющие работой формировател  9. Формирователь 9 с помощью строчных и кадровых синхроимпульсов, поступающих с синхронизирующего выхода формировател  1 ТВ-сигнала, вырабатывает импульсы начала и конца контролируемой области в продольном (фиг.Зб) и поперечном направлении и импульсы, соответствующие границам зон пространственной дискретизации в продольном направлении, поступающие на вход измерител  3. Кроме того, формирователь 9 вырабатывает код адреса зон пространственной дискретизации , который поступает на вход блока 5 пам ти. В измерителе 3 производитс  под- , счет импульсов, соответствующих суммарной длине дефектных участков вдоль строки в пределах зоны пространственной дискретизации. Код полученной сумг.ы поступает с выхода измерител  3 на первый вход сумматора 4, на второй вход которого поступает информаци , считываема  с  чейки пам ти блока 5, адрес которой формируетс  путем подсчета импульсов начала зон про- странственной дискретизации в продольном и вертикальном направлени х. В сумматоре А коды сигналов, поступающие по первому и второму входу, суммируютс  и занос тс  по прежнему адресу в блок 5 пам ти (Фиг.Зе), Таким образом, в каждой зоне пространственной дискретизации определ етс  и запоминаетс  величина (фиг.Зе) пропорциональна  площади дефектного участка в зоне. Записанные в блоке 5 пам ти данные о площад х дефектов в пределах каждой зоны пространственной дискретизации исходного изображени  представл ют собой запись в цифровой форме ТВ-сигнала новогоизображени , амплитуда которого в каждой точке пропорциональна площади, зан той дефектом в пределах каждого участка (зоны) изображени  контролируемого объекта (фиг.Зе). Записанньш в блоке 5 пам ти ТВ-сигнал нового изображени  считываетс  и поступает на блок 6The invention relates to the field of television and television (TV) monitoring of objects, the quality of which is determined by the size, shape and spatial distribution of macro and micro defects and can be used in non destructive quality control of semiconductor plates and input windows for photoelectric and electron beam devices, glass photomask substrates and others. A method for determining object defects is known, based on converting an image of an object into a monomer chrome TV signal with a fixed number lementov decomposition with its subsequent mapping. A device for detecting defects in an object is known, comprising a TV signal former and a black and white video monitoring unit. This method and device allows you to observe the entire object at the same time with a small spatial resolution or to investigate it in parts with a high spatial resolution. The disadvantages of the known method and device implementing it are the small signal-to-noise ratio, the longer the control time when studying objects with a large spatial resolution. , the complexity of the operator's work and the loss of in4) due to the violation of the integrity of the controlled image. The longer monitoring time, if microeffects need to be detected, over a large controlled area of the sample is associated with the fact that with increasing spatial resolution, the controlled area of the sample decreases and the number of areas to be viewed and analyzed increases accordingly. In addition, the monitoring time is increased due to the repeated movement of the sample and its installation in new positions. All this greatly complicates the work of the operator, leads to fatigue, which ultimately reflects on the quality of control. In addition, when viewing a controlled sample area, image coherence is partially disrupted, information on the relative position of microdefects is lost throughout the controlled area . For example, when monitoring semiconductor wafers, information on the relative position of microdefects of a certain size, obtained at various technological stages, may indicate the main directions of dislocation development, thermal failure, alloying heterogeneity, etc. Attempting to restore the lost information, the operator either has to mentally recreate the whole picture, which is practically impossible, either to register (for example, a photo-method) an image of individual sections, and then to combine them with each other (to stitch). In addition to the great laboriousness of this operation and the dramatic increase in monitoring time, some of the information is inevitably lost, since the number of simultaneously observed elements of the image resolved by the eye is limited by the human vision. When observing the entire sample area at low magnification, microdefects generally cease to be visible. The closest in technical essence to the present invention is a method for determining object defects based on converting an image of an object into a monochrome TV signal with a fixed number of decomposition elements, quantizing a TV signal by level, color coding of TV signals with its subsequent display, I According to the technical essence of the invention, there is a device for detecting defects of an object, comprising a TV signal conditioner and a serially connected memory block, a color-coded block Ani and color video control unit. However, the color coding in the known method is performed according to the amplitude of the TV signal of the original image, which makes it possible to single out halftones corresponding to different amplitudes of the TV signal that are indistinguishable to the human eye in a black and white image, but does not increase the spatial resolution. The presence of a memory unit in the device allows operation in a small-frame mode with a choice of the optimal frame duration, thereby significantly increasing the signal-to-shu ratio. However, the size of the simultaneously controlled sample area is limited by the number of decomposition elements of the actual video monitoring units, which in turn is determined by human eye. In this connection, the known method and device realizing it retain the main disadvantages associated with viewing the entire area of the monitored object in parts: a large monitoring time, complexity and laboriousness of the operator and loss of information about the size and relative position of microdefects over a large area. controlled area. The purpose of the invention is to reduce the time to determine defects. The goal is achieved by the method of determining object defects based on converting an image of an object into a monochrome television (TV) signal with a fixed number of decomposition elements, quantizing a TV signal by level and color-coding the received signals with its subsequent display into a monochrome TV signal, each frame of the TV signal is divided into equal sections with a given number of resolution elements, and the quantum pulses are summed up vannogo by level TV signal in each frame portion of a TV signal with posleduyush .im its conversion into a TV-signal to a color coding. In addition, a device for determining object defects, containing a TV signal conditioner and serially connected memory blocks, a color-coding unit and a color video monitoring unit, are connected in series to an amplitude discriminator whose input is connected to a signal output of a TV signal conditioner, time meter the interval and the adder, the output of which is connected to the information input of the memory block, and the second input is connected to the output of the memory block, the shaper of the measuring grid and the shapes are entered Spatial sampling zone controller, the inputs of which are connected to the clock output of the TV signal generator, while the first output of the measuring grid array is connected to the control input of the amplitude discriminator, and the second output is connected to the control input of the spatial sampling zone generator, the first output of which is connected to the address the input of the memory unit, and the second output - with the time interval meter control unit. Each element of the image decomposition displayed on the screen of a video control unit corresponds to a certain image eon of the object being monitored, and, depending on how much of the area of the defect the element takes, the element is displayed in one color or another. The number of decomposition elements of the monitored object is selected based on the area of the monitored object and from the minimum sizes of detected defects and significantly exceeds the number of decomposition elements displayed on the screen of the video monitoring unit, due to which the image frame of the monitored object displays all the necessary information on microdefects on the whole image . The displayed TV signal of the first image with the number of decomposition elements equal to the number of zones and with an amplitude determined by the area of defects in each zone, with the presence of color coding, allows the operator to see the presence of microdefects in their most convenient form, relative position and size. A device that implements the method allows to form a video signal of a new image in digital form, to memorize it and build a new image in which the color area of each image point carries information about the size of microdefects. All this reduces the monitoring time and simplifies the operator’s work and increases the information content of the method. The operator's work is simplified not only due to the human-readable form of presenting information about defects, but also due to the fact that it is possible to choose the size of the spatial sampling zone, as well as the choice of quantization levels and assign these colors to certain levels. Thus, the operator gets the opportunity to simultaneously control the entire sample area, both with preserving detailed information about the size of microdefects, and roughly, breaking the test defects into a limited number of groups by area (microdefects). In the latter case, the operator's work is even more simplified, it becomes possible to carry out tolerance control, the control time is drastically reduced, and additional information on the microdefect position is presented in an even more convenient form for analysis and correlation with macroscopic disturbances is facilitated. Figure 2 shows a structural electrical circuit of the device for detecting defects of an object j in Fig. 2 — splitting an object into zones; Fig. 3 shows voltage diagrams for the operation of the device. The device contains a 1TV signal former, an amplitude discriminator 2, a time interval meter 3, an adder 4, a memory block 5, a color-coding block 6 and a color video monitor block 7, a measuring lattice 8, and a spatial discretization zone former 9. As a result of these actions with the TV signal, the image of the controlled area of the sample S (Fig. 2a) is divided into equal parts of the spatial sampling zone S, limited by dotted vertical and horizontal lines 1. The number of nodes of the measuring grid 2 (thin flat lines), or the number of decomposition elements in each spatial discretization zone in the given example is chosen equal to 100. The grid spacing is chosen so small that the error from the time discretization of the binary quantized with I drove at least 25 times less than the minimum defect to be detected and the desired accuracy for controlling the visual differentiation defects by size. It also shows typical defects to be detected: foreign inclusion (lower left corner of FIG. 2a), and points like defects located in the direction from the upper left yrJia to the lower right. While the detection of the depicted foreign matter, which exceeds its size is permissible, speaks in itself of the need for rejection of the product, points located in the indicated direction, although stacked in the maximum permissible dimensions, carry information on macro-heterogeneity x (for example, , the distribution zone of dislocations in a semiconductor wafer, a scratch on the surface of the glass in the form of a dashed line), which, in turn, speaks of the quality of the process. This qualitatively new information could not have been obtained when viewing the sample area in parts. The field of view when viewed in parts using known methods (Fig. 2a) is shown by squares with bold lines 3, Number of decomposition elements in this field of view. determined by the marginal capability of the human eye and its corresponding TV standard. The number of decomposition elements remains the same. However, due to color coding over the area of defects in the spatial discretization zones, this number of decomposition elements already carries information about the distribution of defects over the entire area of the sample. The numbers around each defect speak of its area expressed in the number of nodes of the measuring grid (Fig. 2a). The new image of the entire sample area under investigation (Fig. 26) in the entered example covers an area 25 times smaller than the original S, with all the required information being preserved due to color coding (the area of defective parts is color). Fig. 2c shows an example of color coding over the area of defective points in the spatial sampling zone, where the area is expressed in the number of measuring grid nodes that fell on the defective areas. A device that implements the proposed method works as follows. Before starting work, the data recorded previously in memory block 5 is erased, and the TV address from the output of imaging device 1 (Fig.Zb) containing information about the geometric parameters of defects (Fig.Za) is input to the amplitude discriminator 2, where it is converted into a double-pulse signal, sampled in time with the help of gating pulses (Fig. 3b) that come from the output of the measuring array 8, the imaging unit 8 is synchronized by frame and horizontal synchronizing signals pulses of the TV signal generator 1 and generates pulses (FIG. 3D), which follow at a frequency multiple of the gating pulses, and control the operation of the imaging generator 9. Shaper 9 using horizontal and frame sync pulses from the synchronization output of the TV signal shaper 1 , produces pulses of the beginning and end of the monitored area in the longitudinal (FIG. 3b) and transverse direction and pulses corresponding to the boundaries of the spatial sampling zones in the longitudinal direction, arriving at the measurement input bodies 3. In addition, the imaging unit 9 generates an address code of the spatial sampling zones, which is fed to the input of memory block 5. Meter 3 produces a sub- counting of pulses corresponding to the total length of the defective sections along a line within the spatial sampling zone. The code of the received sum comes from the output of the meter 3 to the first input of the adder 4, the second input of which receives information read from the memory cell of block 5, the address of which is formed by counting the pulses of the beginning of the spatial discretization zones in the longitudinal and vertical directions. In adder A, the codes of signals received at the first and second inputs are summed and entered at the previous address in memory block 5 (Fig. 3e). Thus, in each spatial sampling zone, the value (Fig. Ze) is proportional to defective area in the area. The data on the areas of defects recorded in block 5 of memory within each area of spatial sampling of the original image is a digital recording of the TV signal of a new image, the amplitude of which at each point is proportional to the area occupied by the defect within each area (zone) of the image controlled object (fig.ze). Recorded in block 5 of the memory, the TV signal of the new image is read and fed to block 6

цветового кодировани , а затем в виде нового синтезированного изображени  отображаетс  в ви;7 экрана цветного 7 видеоконтрольного блока (фиг.Зж) и анализируетс  оператором.color coding, and then in the form of a newly synthesized image is displayed in video; 7 of the screen of the color 7 video control unit (Fig. ZH) and analyzed by the operator.

Таким образом, за счет формировани  цифрового ТВ-сигнала нового изображени  с амплитудой, пропорциональной площади дефектов в каждой зоне, по вилась возможность в каждой точке на экране цветного видеоконтрольного блока отобразить целую зону в пределах исходного изображени , а размер (площадь) микродефекта представить цветом этой точки.Thus, due to the formation of a digital TV signal of a new image with an amplitude proportional to the area of defects in each zone, it was possible at each point on the screen of the color video monitoring unit to display the whole area within the original image, and the size (area) of the microdefect should be represented in the color points.

При этом не только сократилось ,врем  контрол  и упростилась работаAt the same time, not only was it reduced, the time for control and simplified work

32 0 132 0 1

LJ-JLj-j

фиг, гfig, g

оператора, но и по вилась нова  информаци , которую несет взаимное расположение точек, изображающих микродефекты , на большой контролируемойoperator, but there was also a new information, which carries the relative position of the points representing microdefects, on a large controlled

площади образца. Эта нова  информаци  позвол ет контролировать технологический процесс и оперативно на него вли ть с целью улучшени  качества конечной продукции и уменьшени sample area. This new information allows us to control the technological process and promptly influence it in order to improve the quality of the final product and reduce

брака.marriage

Изобретение может найти применение не только дл  контрол  оптических стекол и полупроводниковых плас-. тин, но также при обработке материалов аэрофотосъемки и в других област х науки и те-хники.The invention can be applied not only to control optical glasses and semiconductor plastics. but also in the processing of aerial photography in other areas of science and technology.

г 1 г 1 /г 3 / 5 S /} 8 S ю п гг и к аg 1 g 1 / g 3/5 S /} 8 S 10 n yy and k a

I I 1/1 t I 1 I I i iI I 1/1 t I 1 I I i i

MM M M IMM M M I

tem euexpufrwaitmtem euexpufrwaitm

..

LLM I I I I ILLM I I I I I

1 г 3 4i S S 7 81 g 3 4i S S 7 8

KpacHifi SuHifS KpacHifi SuHifS

/a«vir, Kofo/wse--/ a "vir, Kofo / wse--

фиг.Зfig.Z

Claims (2)

1. Способ определения дефектов объекта, основанный на преобразовании изображения объекта в монохромный телевизионный сигнал с фиксированным числом элементов разложения, квантовании телевизионного сигнала по уровню и цветовом кодировании полученных сигналов с последующим его отображением, отличающийс я тем, что, с целью уменьшения времени определения дефектов, после преобразования изображения объекта в монохромный телевизионный сигнал каждый кадр телевизионного сигнала разбивают на равные участки с заданным ’ числом элементов разрешения, при этом суммируют длительности импуль- ц сов квантованного по уровню телевизионного сигнала в в каждом участке кадра телевизионного сигнала с последующим его преобразованием в телёвиэиониый сигнал перед цветным кодированием.1. A method for determining object defects based on transforming an image of an object into a monochrome television signal with a fixed number of decomposition elements, quantizing a television signal by the level and color coding of the received signals with its subsequent display, characterized in that, in order to reduce the time for determining defects, after the image of the object is converted into a monochrome television signal, each frame of the television signal is divided into equal sections with a given number of elements sheniya, wherein the summed duration pulses cos q quantized by level TV signal in each section in the television signal frame with its subsequent conversion to telovieioniy color signal before encoding. “206^901 “Ж“206 ^ 901“ W 1one 10629021062902 2. Устройство определения дефектов объекта, содержащее формирователь телевизионного сигнала и последовательно соединенные блок памяти, блок цветового кодирования и цветной видеоконтрольный блок, отличающееся тем, что введены последовательно соединенные амплитудный дискриминатор, вход которого соединен с сигнальным выходом формирователя телевизионного сигнала, из- меритель временного интервала и сумматор, выход которого соединен с информационны^ входом блока памяти, а второй вход соединен с выходом блока памяти, введены формирователь измерительной решетки и формирователь зон пространственной дискретизации, входы которых соединены с синхронизирующим выходом формирователя телевизионного сигнала, при этом первый выход формирователя измерительной решетки соединен с управляющим входом амплитудного дискриминатора, а второй выход соединен с управляющим входом формирователя зон пространственной дискретизации, первый выход которого соединен с адресным входом блока памяти, а второй выход - с управляющим входом измерителя временного интервала.2. A device for determining object defects containing a television signal former and a serially connected memory block, a color coding block and a color video monitor block, characterized in that serially connected amplitude discriminator, whose input is connected to the signal output of the television signal former, is introduced, the time interval meter and the adder, the output of which is connected to the information ^ input of the memory block, and the second input is connected to the output of the memory block, entered the imager l measuring grid and shaper areas of spatial sampling, the inputs of which are connected to the synchronizing output of the shaper television signal, the first output of the shaper measuring grid connected to the control input of the amplitude discriminator, and the second output connected to the control input of the shaper of the spatial sampling zone, the first output of which is connected to the address input of the memory unit, and the second output - with the control input of the time interval meter. 1one