SU1060938A1 - Устройство дл измерени угла поворота объекта - Google Patents

Устройство дл измерени угла поворота объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1060938A1
SU1060938A1 SU813279850A SU3279850A SU1060938A1 SU 1060938 A1 SU1060938 A1 SU 1060938A1 SU 813279850 A SU813279850 A SU 813279850A SU 3279850 A SU3279850 A SU 3279850A SU 1060938 A1 SU1060938 A1 SU 1060938A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
prism
interferometer
beam splitter
rotation
angle
Prior art date
Application number
SU813279850A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Андреевич Сойту
Лев Захарович Дич
Юрий Сергеевич Скворцов
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1705
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1705 filed Critical Предприятие П/Я А-1705
Priority to SU813279850A priority Critical patent/SU1060938A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1060938A1 publication Critical patent/SU1060938A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ . УГЛА ПОВОРОТА ОНЬЕКТА, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр , преобразователь угла поворота и регистрирукмдий блок, от ли ч а ю щ её с   тем, что, с целью расширени  диапазона- измер емых углов, оно снабжено светоделителем и пр моугольной призмой, установленными на выходе излучени  Zik/f l7 22 из источника, вторым двухлучевым интерферометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделител , преобразователь угла поворота вьтолнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каиодый из них включает оптически св занный светоделитель, в одном потоке излучени  от которого расположены пр моугольна  призма, кольцевой отражатель и призма-триэдр , а в другом - втора  и треть  пр моугольные призмы, кольцевой отражётель и призма-триэдр,,а пара призм-триэдров каждого интерферометра неподвижно располагаетс  мегкду (Л контролируемым объектом и оптическим клином на равном рассто нии от оси вращени  вала. g 05 о CD ОЭ OO

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а точнее к интерференционным устройствам дл  измерени  угла врсэдени  объектов, и может быть использовано в качестве прецизионного датчика угловых перемещений .
Известно устройство дл  измере-г йй  угла поворота объекта, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр, преобразователь угла- поворота и регистрирующий блок В- Качестве, преобразовател  угла поворота в указанном устройстве испЬльэован набор цилиндрических кварцевых дисков, который св зан жестко с осью вращени  контролируемого объекта, благодар  чему обеспечиваетс  измерение угла вращени  до 360 ri более ClJ.
Недостатком устройства  вл етс  небольшой диапазон измер емых углов вследствие малой чувствительности кварцевых дисков к изменению относительной разности хода информационных лучей при их вращении и нелинейности этого изменени , котора  практически не поддаетс  коррекции,
Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  устройство дл  измерени  угла поворота объекта, содержащее i источник излучени ,: двухлучевой интерферометр , йрёобразователь угла поворота и регистрирующий блок C2J.
В качестве преобразовател  угла поворота в известном устройстве использованы плоские концевые отражатели , которые жестко св зываютс  с осью вращени  контролируемого объекта .
Недостатком известного устройства  вл етс  небольшой диапазон измерени  угла вращени  контролируемых объектов, который ограничиваетс  угловым полем зрени  зрительной трубы и как правило не превышает . единиц угловыхградусов,
Цель изобретени  - расширение диапазона измер емых углов.
Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  угла поворота объекта, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр . Преобразователь, угла поворота и регистрирующий блок, снабжено светоделителем и пр моугольной призмой, установленными на выходе излучени  из источника, вторым двухлучевым интерфе1рометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделител , преобразователь угла поворота выполнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каждый из них йклк1чает оптически
св занные светоделитель, в одном потоке излучени  от которого расположены пр моугольна  призма, концевой отражатель и призма-триэдр, а в другом - втора  и. треть  пр моуголь5 ные призмы, кольцевой отражатель и призма-триэдр, а пара призм-триэд г ров каждого интерферометра неподвижно располагаетс  между контролируемым объектом и оптическим клином 10 на рйвнрм рассто нии от оси враицени  вала.
На фиг. 1 и 2 представлены два взаимноперпендикул рных боковых вида устройства.
5 Устройство содержит источник излучени  1, светоделитель 2,.дл  формировани  второго оптического канала , светоделитель 3-й 4 дл  формировани  двух информациойных лучей (J в первом и втором интерферометрах, оптический клин 5,  вл ющийс  оптическим преобразователем угла поворота и устанавливаемым на одном валу 6 с контролируемым объектом 7, 5 пр моугольные призмы 8 - 14 и призмы-триэдры 15 - 18, кольцевые отра . жатели 19 - 22 дл  возвращени  со- ;.. ответствующего Луча в обратном направлении , выполненные в виде зар ,. кал с отверстием дл  пропускани  соответствующего информационного луча в оптический клин 5, и регистрируквдий блок в виде фотоприемников 23 и 24, первого и второго соответственно интерферометра, и вычисли тельное устройство (не показано ). I
Устройство работает следующим образом.
Пучок света от источника 1 пада0 ет на светоделитель 2. Прошедший светоделитель 2 луч света образует первый оптический канал, а отражен ный от светоделител  2 луч света образует второй оптический канал. с Луч света первого оптического
канала претерпевает отражение в пр моугольной призме 3 и направл етс  в светоделитель 3 первого интерферометра , в котором он делитс  на два информационных луча.
Один информационный луч (прошедший через светоделитель 3/ претерперает отражени  последовательно в пp мoyгoльныk призмах 9 и 10, проходит через отверсти  в кольцевом
5 отражателе 19, а затем через оптический клин 5 претерпевает отражение в призме-триэдре 15 и направл етс  смещенным параллельно первоначальному направлению снова в опти0 ческий.клин 5, пройд  который падает на кольцевой отражателе; 19. Так как кольцевой отражатель 19 расположен перпендикул рно падающему на него информационному лучу, то пос5 ледний,возвращаетс  в обратном направлении и попадает на светоделитель 3. Второй информационный луч (отраженный от светоделител  3) претерпевает отражение в пр моугольной призме 11, проходит через кольцевой отражатель 20, а затем через оптический клин 5, претерпевает отражение в призме-триэдре 16 и направл етс  смещенным параллельно первоначальному направлению вновь в опти ческий клин 5 и, пройд  его, падает на кольцевой отражатель 20. Так как отражатель 20 также расположен перпендикул рно падающему на него информационному лучу, то последний возвращаетс  в обратном направлении и попадает тоже в светоделитель 3. На светоделительном покрытии светоделител  3 оба информационных луча первого интерферометра интерферируют друг с другом и направл -: ютс  в фотоприемник 23. Принцип действи  второго интерферометра аналогичен принципу действи  первого интерферометра. Луч света второго оптического канала делитс  в светоделителе 4 на-два информационных луча. Один информационный луч проделывает следующий оптический путь: 12, 13, через отверстие в кольцевом отражателе 21, через оптические элементы 5, 17,5, 21, 5, 17, 5, через отверстие в кольцевом отражателе 21, и через оптические элементы 13, 12 и 4, а второй 14 через отверстие в кольце вом отражателе 22, и через оптичес кие элементы 5, 18, 5, 22, 5, 18, 5, через отверстие в кольцевом отр жателе 22, и через оптические элементы 14 и 4. На светоделительном покрытии светоделител  4 оба информационных луча второго интерферометра интерферируют друг с другом и направл ютс  в фртоприемник 24. Вычислительное устройство (не показано ) обрабатывает информацию, полученную из фотоприемников 23 и . 24. При вращении оптического клина 5 вокруг оси 6 в плоскости, проход щей через ось вращени  и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20 первого интенферометра, так же как и в плоскости, проход щей через ось вращени  и центры отверстий кольцевых отражателей 21 и 22 второго интерферометра, происходит изменение толщины оптического клина, а следовательно, и изменение оптической длины пути информационных лучей, т.е. в обоих интерферометрах возникает между информационными лучами относительна  разность хода ДР . Если прин ть положение оптического клина 5, при котором ребро двугранного угла клина параллельно плоскости , проход щей через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20, за исходное и учитывать, что плоскость, проход ща  через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20, перпендикул рна плоскости , проход щей через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 21 и 22,-то при повороте оптического клина на угол Ч относительно указанного его исходного положени  толщина клина в месте прохождени  через него, как одного, так и второго луча первого интерферометра мен етс  по закону trksinS(1) Определение угла в предлагаемом устройстве требует совместной обработки информации, поступающей с регистраторов интерференционной картины первого и второго интерферометров . Каждое отдельно вз тое уравнение системы, описывающее изменение разности хода в первом или втором интерферометре, не позвол ет однозначно определить углы поворота.
20If

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА ПОВОРОТА ОБЪЕКТА, содержащей источник излучения, двухлучевой интерферометр, преобразователь угла поворота и регистрирующий блок, от ли ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширения диапазона- измеряемых углов, оно снабжено светоделителем и прямоугольной призмой, установленными на выходе излучения из источника, вторым двухлучевым интерферометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделителя, преобразователь угла поворота выполнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каждый из них включает оптически связанный светоделитель, в одном потоке излучения от которого расположены прямоугольная призма, кольцевой отражатель и призма-триэдр, а в другом - вторая и третья прямоугольные призмы, кольцевой отражатель и призма-триэдр,-а пара призм-триэдров каждого интерферометр ра неподвижно располагается между “ контролируемым объектом и оптическим клином на равном расстоянии от оси вращения вала.
    SU ,1060938 (pU9.1
SU813279850A 1981-04-27 1981-04-27 Устройство дл измерени угла поворота объекта SU1060938A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813279850A SU1060938A1 (ru) 1981-04-27 1981-04-27 Устройство дл измерени угла поворота объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813279850A SU1060938A1 (ru) 1981-04-27 1981-04-27 Устройство дл измерени угла поворота объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1060938A1 true SU1060938A1 (ru) 1983-12-15

Family

ID=20954882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813279850A SU1060938A1 (ru) 1981-04-27 1981-04-27 Устройство дл измерени угла поворота объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1060938A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство; СССР № 524075, кл. G 01 В 9/02, 1977. 2. Авторское свидетельство СССР № 696283, кл. G 01 В 11/26, 1979 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3871771A (en) Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface
JPH073344B2 (ja) エンコ−ダ−
US5305088A (en) Laser interferometric measuring machine
US5000542A (en) Optical type encoder
US4395123A (en) Interferometric angle monitor
SU1060938A1 (ru) Устройство дл измерени угла поворота объекта
JPS61130816A (ja) リニアエンコ−ダ−
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
JPS61178613A (ja) エンコーダー
SU1269026A1 (ru) Устройство дл измерени неравномерности скорости вращени
JP2629606B2 (ja) エンコーダー
JP3517506B2 (ja) 光学式変位測定装置
JPS62204126A (ja) エンコ−ダ−
JPH0416896Y2 (ru)
SU700780A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлимационный датчик угла наклона
SU731283A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
SU1603193A1 (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений объекта
JPS62163921A (ja) ロ−タリ−エンコ−ダ−
SU1582039A1 (ru) Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива
JPH01250803A (ja) 干渉計
JPS62163919A (ja) ロ−タリ−エンコ−ダ−
RU1770741C (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU491028A1 (ru) Автоколлимационное устройство дл измерени углов
SU1174886A1 (ru) Автоколлиматор
SU958852A1 (ru) Устройство дл измерени углового перемещени объекта