SU1060938A1 - Устройство дл измерени угла поворота объекта - Google Patents
Устройство дл измерени угла поворота объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1060938A1 SU1060938A1 SU813279850A SU3279850A SU1060938A1 SU 1060938 A1 SU1060938 A1 SU 1060938A1 SU 813279850 A SU813279850 A SU 813279850A SU 3279850 A SU3279850 A SU 3279850A SU 1060938 A1 SU1060938 A1 SU 1060938A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- prism
- interferometer
- beam splitter
- rotation
- angle
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ . УГЛА ПОВОРОТА ОНЬЕКТА, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр , преобразователь угла поворота и регистрирукмдий блок, от ли ч а ю щ её с тем, что, с целью расширени диапазона- измер емых углов, оно снабжено светоделителем и пр моугольной призмой, установленными на выходе излучени Zik/f l7 22 из источника, вторым двухлучевым интерферометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделител , преобразователь угла поворота вьтолнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каиодый из них включает оптически св занный светоделитель, в одном потоке излучени от которого расположены пр моугольна призма, кольцевой отражатель и призма-триэдр , а в другом - втора и треть пр моугольные призмы, кольцевой отражётель и призма-триэдр,,а пара призм-триэдров каждого интерферометра неподвижно располагаетс мегкду (Л контролируемым объектом и оптическим клином на равном рассто нии от оси вращени вала. g 05 о CD ОЭ OO
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, а точнее к интерференционным устройствам дл измерени угла врсэдени объектов, и может быть использовано в качестве прецизионного датчика угловых перемещений .
Известно устройство дл измере-г йй угла поворота объекта, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр, преобразователь угла- поворота и регистрирующий блок В- Качестве, преобразовател угла поворота в указанном устройстве испЬльэован набор цилиндрических кварцевых дисков, который св зан жестко с осью вращени контролируемого объекта, благодар чему обеспечиваетс измерение угла вращени до 360 ri более ClJ.
Недостатком устройства вл етс небольшой диапазон измер емых углов вследствие малой чувствительности кварцевых дисков к изменению относительной разности хода информационных лучей при их вращении и нелинейности этого изменени , котора практически не поддаетс коррекции,
Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл измерени угла поворота объекта, содержащее i источник излучени ,: двухлучевой интерферометр , йрёобразователь угла поворота и регистрирующий блок C2J.
В качестве преобразовател угла поворота в известном устройстве использованы плоские концевые отражатели , которые жестко св зываютс с осью вращени контролируемого объекта .
Недостатком известного устройства вл етс небольшой диапазон измерени угла вращени контролируемых объектов, который ограничиваетс угловым полем зрени зрительной трубы и как правило не превышает . единиц угловыхградусов,
Цель изобретени - расширение диапазона измер емых углов.
Указанна цель достигаетс тем, что устройство дл измерени угла поворота объекта, содержащее источник излучени , двухлучевой интерферометр . Преобразователь, угла поворота и регистрирующий блок, снабжено светоделителем и пр моугольной призмой, установленными на выходе излучени из источника, вторым двухлучевым интерфе1рометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделител , преобразователь угла поворота выполнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каждый из них йклк1чает оптически
св занные светоделитель, в одном потоке излучени от которого расположены пр моугольна призма, концевой отражатель и призма-триэдр, а в другом - втора и. треть пр моуголь5 ные призмы, кольцевой отражатель и призма-триэдр, а пара призм-триэд г ров каждого интерферометра неподвижно располагаетс между контролируемым объектом и оптическим клином 10 на рйвнрм рассто нии от оси враицени вала.
На фиг. 1 и 2 представлены два взаимноперпендикул рных боковых вида устройства.
5 Устройство содержит источник излучени 1, светоделитель 2,.дл формировани второго оптического канала , светоделитель 3-й 4 дл формировани двух информациойных лучей (J в первом и втором интерферометрах, оптический клин 5, вл ющийс оптическим преобразователем угла поворота и устанавливаемым на одном валу 6 с контролируемым объектом 7, 5 пр моугольные призмы 8 - 14 и призмы-триэдры 15 - 18, кольцевые отра . жатели 19 - 22 дл возвращени со- ;.. ответствующего Луча в обратном направлении , выполненные в виде зар ,. кал с отверстием дл пропускани соответствующего информационного луча в оптический клин 5, и регистрируквдий блок в виде фотоприемников 23 и 24, первого и второго соответственно интерферометра, и вычисли тельное устройство (не показано ). I
Устройство работает следующим образом.
Пучок света от источника 1 пада0 ет на светоделитель 2. Прошедший светоделитель 2 луч света образует первый оптический канал, а отражен ный от светоделител 2 луч света образует второй оптический канал. с Луч света первого оптического
канала претерпевает отражение в пр моугольной призме 3 и направл етс в светоделитель 3 первого интерферометра , в котором он делитс на два информационных луча.
Один информационный луч (прошедший через светоделитель 3/ претерперает отражени последовательно в пp мoyгoльныk призмах 9 и 10, проходит через отверсти в кольцевом
5 отражателе 19, а затем через оптический клин 5 претерпевает отражение в призме-триэдре 15 и направл етс смещенным параллельно первоначальному направлению снова в опти0 ческий.клин 5, пройд который падает на кольцевой отражателе; 19. Так как кольцевой отражатель 19 расположен перпендикул рно падающему на него информационному лучу, то пос5 ледний,возвращаетс в обратном направлении и попадает на светоделитель 3. Второй информационный луч (отраженный от светоделител 3) претерпевает отражение в пр моугольной призме 11, проходит через кольцевой отражатель 20, а затем через оптический клин 5, претерпевает отражение в призме-триэдре 16 и направл етс смещенным параллельно первоначальному направлению вновь в опти ческий клин 5 и, пройд его, падает на кольцевой отражатель 20. Так как отражатель 20 также расположен перпендикул рно падающему на него информационному лучу, то последний возвращаетс в обратном направлении и попадает тоже в светоделитель 3. На светоделительном покрытии светоделител 3 оба информационных луча первого интерферометра интерферируют друг с другом и направл -: ютс в фотоприемник 23. Принцип действи второго интерферометра аналогичен принципу действи первого интерферометра. Луч света второго оптического канала делитс в светоделителе 4 на-два информационных луча. Один информационный луч проделывает следующий оптический путь: 12, 13, через отверстие в кольцевом отражателе 21, через оптические элементы 5, 17,5, 21, 5, 17, 5, через отверстие в кольцевом отражателе 21, и через оптические элементы 13, 12 и 4, а второй 14 через отверстие в кольце вом отражателе 22, и через оптичес кие элементы 5, 18, 5, 22, 5, 18, 5, через отверстие в кольцевом отр жателе 22, и через оптические элементы 14 и 4. На светоделительном покрытии светоделител 4 оба информационных луча второго интерферометра интерферируют друг с другом и направл ютс в фртоприемник 24. Вычислительное устройство (не показано ) обрабатывает информацию, полученную из фотоприемников 23 и . 24. При вращении оптического клина 5 вокруг оси 6 в плоскости, проход щей через ось вращени и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20 первого интенферометра, так же как и в плоскости, проход щей через ось вращени и центры отверстий кольцевых отражателей 21 и 22 второго интерферометра, происходит изменение толщины оптического клина, а следовательно, и изменение оптической длины пути информационных лучей, т.е. в обоих интерферометрах возникает между информационными лучами относительна разность хода ДР . Если прин ть положение оптического клина 5, при котором ребро двугранного угла клина параллельно плоскости , проход щей через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20, за исходное и учитывать, что плоскость, проход ща через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 19 и 20, перпендикул рна плоскости , проход щей через ось 6 и центры отверстий кольцевых отражателей 21 и 22,-то при повороте оптического клина на угол Ч относительно указанного его исходного положени толщина клина в месте прохождени через него, как одного, так и второго луча первого интерферометра мен етс по закону trksinS(1) Определение угла в предлагаемом устройстве требует совместной обработки информации, поступающей с регистраторов интерференционной картины первого и второго интерферометров . Каждое отдельно вз тое уравнение системы, описывающее изменение разности хода в первом или втором интерферометре, не позвол ет однозначно определить углы поворота.
20If
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА ПОВОРОТА ОБЪЕКТА, содержащей источник излучения, двухлучевой интерферометр, преобразователь угла поворота и регистрирующий блок, от ли ч а ю щ ее с я тем, что, с целью расширения диапазона- измеряемых углов, оно снабжено светоделителем и прямоугольной призмой, установленными на выходе излучения из источника, вторым двухлучевым интерферометром, установленным в световом потоке, отраженном от светоделителя, преобразователь угла поворота выполнен в виде оптического клина и установлен на одном валу с контролируемым объектом, соосно с ним, оба интерферометра выполнены идентично и каждый из них включает оптически связанный светоделитель, в одном потоке излучения от которого расположены прямоугольная призма, кольцевой отражатель и призма-триэдр, а в другом - вторая и третья прямоугольные призмы, кольцевой отражатель и призма-триэдр,-а пара призм-триэдров каждого интерферометр ра неподвижно располагается между “ контролируемым объектом и оптическим клином на равном расстоянии от оси вращения вала.SU ,1060938 (pU9.1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813279850A SU1060938A1 (ru) | 1981-04-27 | 1981-04-27 | Устройство дл измерени угла поворота объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813279850A SU1060938A1 (ru) | 1981-04-27 | 1981-04-27 | Устройство дл измерени угла поворота объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1060938A1 true SU1060938A1 (ru) | 1983-12-15 |
Family
ID=20954882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813279850A SU1060938A1 (ru) | 1981-04-27 | 1981-04-27 | Устройство дл измерени угла поворота объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1060938A1 (ru) |
-
1981
- 1981-04-27 SU SU813279850A patent/SU1060938A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство; СССР № 524075, кл. G 01 В 9/02, 1977. 2. Авторское свидетельство СССР № 696283, кл. G 01 В 11/26, 1979 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3871771A (en) | Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface | |
JPH073344B2 (ja) | エンコ−ダ− | |
US5305088A (en) | Laser interferometric measuring machine | |
US5000542A (en) | Optical type encoder | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
SU1060938A1 (ru) | Устройство дл измерени угла поворота объекта | |
JPS61130816A (ja) | リニアエンコ−ダ− | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
JPS61178613A (ja) | エンコーダー | |
SU1269026A1 (ru) | Устройство дл измерени неравномерности скорости вращени | |
JP2629606B2 (ja) | エンコーダー | |
JP3517506B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JPS62204126A (ja) | エンコ−ダ− | |
JPH0416896Y2 (ru) | ||
SU700780A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлимационный датчик угла наклона | |
SU731283A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
SU1603193A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
JPS62163921A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
JPH01250803A (ja) | 干渉計 | |
JPS62163919A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
RU1770741C (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU491028A1 (ru) | Автоколлимационное устройство дл измерени углов | |
SU1174886A1 (ru) | Автоколлиматор | |
SU958852A1 (ru) | Устройство дл измерени углового перемещени объекта |