SU1057258A1 - Устройство дл двусторонней доводки деталей - Google Patents
Устройство дл двусторонней доводки деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1057258A1 SU1057258A1 SU823461826A SU3461826A SU1057258A1 SU 1057258 A1 SU1057258 A1 SU 1057258A1 SU 823461826 A SU823461826 A SU 823461826A SU 3461826 A SU3461826 A SU 3461826A SU 1057258 A1 SU1057258 A1 SU 1057258A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- base
- parts
- cartridge
- lap
- ring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ДЕТАЛЕЙ, содержащее основание с соосно смонтированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, св занна с приводом, отличающеес тем, что, с целью повышени качества обработки за счет управлени силовой разгрузкой кассеты, оно снабжено инерционным кольцом, расположенным концентрично нижнему притиру и св занным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основании свободно на направл ющих качени . (Л ел ю ел ОО
Description
Изобретение относитс к станкостроению и может быть использовано при полировании , шлифовании и доводке плоских деталей, в частности в приборостроении дл высокоэффективной размерной обработки пластин из полупроводниковых материа .i-ii и кристаллов. , Известно устройство дл двусторонней доводки, содержащее верхний и нижний притиры, , между которьши расположена кассета с детал ми, закрепленна на валу привода посредством упругого элемента 1 Однако данный станок не позвол ет упра вл ть СИЛОВОЙ разгрузкой кассеты с детал ми . Цель изобретени - повышение качества обработки плоских деталей за счет управлени силовой разгрузкой кассеты. Поставленна цель достигаетс тем, что устройство дл двусторонней доводки деталей , содержащее основание с соосно смон тированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, св занна с приводом, снабжено инерционным кольцо.м, расположенным концеНтрично нижнему притиру св занным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основаНИИ свободно на направл ющих качени . На чертеже схематично представлено устройство в разрезе содержит верхний 1 вращающийс и 2 Нижний притиры, между которыми размещены обрабатываемые детали 3, помещенные в многопозиционную кассету 4. Кассета с детал ми приводитс во вращение с помощью эксцентрика 5. Верхний притир св зан с двигателем 6 через редуктор 7. Нижний прит р 2 может вращатьс на подшипнике 8 вокруг своей оси. По периферии нижнего притира на одинаковых рассто ни х закреплены упругие элементы 9, св зывающие его с инерционным кольцом 10, которое тоже может вращатьс вокруг своей оси на подщипниках 11, но удерживаетс от вращени пружинами 12, закрепленными на основании. При перемещении деталей 3 по поверхности верхнего и нижнего притиров, происходит съем материала с обеих поверхностей деталей. Устройство работает следующим образом . В момент Начального пуска устройства и в процессе его работы происходит периодическое качание нижнего притира 2 и внещнего кольца 10 за счет непрерывного изменени услови контакта деталей с притирами . Качани нос т характер периодичесских колебаний около положени равновеси вокруг оси нижнего притира и внешнего кольца. Колебани нижнего притира описываютс дефференциальным уравнением четвертого пор дка с нелинейной возмущающей силой: j). + j.f,.г +Г +т Ur . с,2 1т;Г ,i..f/;;4( Ci,i)-f С,г где-f,- угол поворота притира от положени равновеси ; j -момент инерции внещнего кольца; - коэффициент упругости упругого элемента 9; Ci -коэффициент упругости пружин ( всех) 12; /г -момент инерции нижнего притира; ffj) -функци возмущающей внешней силы, роль которой играет момент от сил трени услови контакта деталей с поверхности нижнего и верхнего притиров. Таким образом, подбира массу инерционного кольца, а также коэффициенты упругости пружин и упругого элемента, можно достичь управлени силовой разгрузкой кассеты, измен ть величины съема материала с противоположных сторон обрабатываемых деталей, повысить качество обработки плоских деталей. И, как следствие, предлагаемое устройство может примен тьс дл тонких хрупких пластин из полупроводниковых материалов и кристаллов.
Claims (1)
- УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ДЕТАЛЕЙ, содер жащее основание с соосно смонтированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, связанная с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет управления силовой разгрузкой кассеты, оно снабжено инерционным кольцом, расположенным концентрично нижнему притиру и связанным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основании свободно на направляющих качения.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823461826A SU1057258A1 (ru) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Устройство дл двусторонней доводки деталей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823461826A SU1057258A1 (ru) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Устройство дл двусторонней доводки деталей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1057258A1 true SU1057258A1 (ru) | 1983-11-30 |
Family
ID=21019601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823461826A SU1057258A1 (ru) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Устройство дл двусторонней доводки деталей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1057258A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6336845B1 (en) | 1997-11-12 | 2002-01-08 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for polishing semiconductor wafers |
-
1982
- 1982-07-05 SU SU823461826A patent/SU1057258A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР № 359138, кл. В 24 В 37/04, 1970 (прототип). * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6336845B1 (en) | 1997-11-12 | 2002-01-08 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for polishing semiconductor wafers |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4934102A (en) | System for mechanical planarization | |
KR100425937B1 (ko) | 표면가공방법 및 장치 | |
US20120028545A1 (en) | Pivot-balanced floating platen lapping machine | |
US4315383A (en) | Inner gear drive for abrading machines | |
US4584799A (en) | Method of forming a convergent lens in a plate of transparent mineral material | |
KR950013709B1 (ko) | 연마스핀들 | |
US4240229A (en) | Immersion type grinding apparatus | |
SU1057258A1 (ru) | Устройство дл двусторонней доводки деталей | |
US3925936A (en) | Lapping machine | |
EP1048409B1 (en) | Planetary gear system parallel planer | |
GB2035863A (en) | Grinding method and apparatus | |
SU1386431A1 (ru) | Устройство дл двусторонней обработки пластин | |
JP2002025951A (ja) | 両面加工装置及びその研磨手段のツルーイング方法 | |
SU691284A1 (ru) | Устройство дл абразивной обработки плоских поверхностей | |
JPH08309659A (ja) | 被加工物の研磨方法及び装置 | |
JPS6158270B2 (ru) | ||
SU1013218A1 (ru) | Устройство дл абразивной обработки деталей | |
SU1171296A1 (ru) | Устройство дл доводки деталей | |
RU2022765C1 (ru) | Устройство для двустороннего шлифования и полирования деталей | |
SU891358A1 (ru) | Устройство дл притирки шаровых поверхностей | |
SU1106645A1 (ru) | Устройство дл пригонки плоских круговых направл ющих стола | |
SU679375A2 (ru) | Станок фкс дл шлифовани и полировани плоских поверхностей изделий | |
SU1252136A1 (ru) | Устройство дл обработки плоских поверхностей | |
SU422573A1 (ru) | Шлифовально-полировальный станок | |
SU1683998A1 (ru) | Способ двусторонней доводки |