SU1004791A1 - Способ контрол герметичности систем передачи газов - Google Patents
Способ контрол герметичности систем передачи газов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1004791A1 SU1004791A1 SU792808427A SU2808427A SU1004791A1 SU 1004791 A1 SU1004791 A1 SU 1004791A1 SU 792808427 A SU792808427 A SU 792808427A SU 2808427 A SU2808427 A SU 2808427A SU 1004791 A1 SU1004791 A1 SU 1004791A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- gas
- tightness
- transmission systems
- checking
- gas transmission
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ СИСТЕМ
1
Изобретение относитс к технике испытаний на герметичность систем передачи газов высокой степени чистоты , преимущественно в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Известен способ обнаружени утечек в вакуумных системах по проникновению контрольного вещества из окружающей среды в систему и сорбированию его индикатором 1.
Этот способ не позвол ет производить количественнуюоценку течи.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ определени утечки в системе трубопроводов, заключающийс в том, что из потоков газа в трубопроводах отбирают пробы и исследуют их на наличие контрольного газообразного вещества, окружающего систему 2.
Этот способ также не позвол ет количественно оценить герметичность ПЕРЕДАЧИ ГАЗОВ
системы без .нарушени хода технологического процесса.
Целью изобретени вл етс обеспечение возможности количественной оценки герметичности системы без нарушени хода технологического процесса . .
Эта цель достигаетс тем, что согласно способу контрол герметичнос10 ти систем передачи газов, включающему операцию определени наличи в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружающего систему, измер ют концентрации конт15 рольного вещества на входе и выходе системы и расход транспортируемого газа и по этим данным определ ют степень герметичности.
20
Произведение изменени концентрации контрольного газа на величину расхода транспортируемого газа характеризует скорость изменени количества контрольного вещества в системе, т.е. величину натекани . В качестве контрольного вещества могут быть использованы компоненты атмосферного воздуха, например, пары воды или кислород, не вход щие в состав транспортируемого газа. Формирование электрических сигналов, пропорциональных измер емым величинам, позвол ет автоматизировать способ.
Способ осуществл етс следующим образом.
Например, при контроле герметичности газовой системы диффузионной печи, предназначенной дл транспортировки высокочастотных газов, осушенных до -б5 С по точке росы, измер ют концентрацию влаги на входе и выходе системы с помощью кунолометрических преобразователей с точноетью до 1-10 об.. Расход газа в системе измер ют с помощью термоанемометрического преобразовател расхода. В диапазоне расходов газа 18-36 л/ч регистрируема величина натекани составл ет П, мг/ми
Использование предложенного способа позвол ет контролировать с высокой чувствительностью без прерывани технологического процесса количество проникающих в систему газообразных примесей и тем самым предотвратить брак при проведении таких процессов как диффузи , эпитакси , плазмохими .
Claims (2)
1.Патент Англии № 142920-t, кл. G 1 N, опублик. 1976.
2.Патент ФРГ № 1573799, кл. G 01 М 3/20, опублик. (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792808427A SU1004791A1 (ru) | 1979-08-09 | 1979-08-09 | Способ контрол герметичности систем передачи газов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792808427A SU1004791A1 (ru) | 1979-08-09 | 1979-08-09 | Способ контрол герметичности систем передачи газов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1004791A1 true SU1004791A1 (ru) | 1983-03-15 |
Family
ID=20845787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792808427A SU1004791A1 (ru) | 1979-08-09 | 1979-08-09 | Способ контрол герметичности систем передачи газов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1004791A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19536582A1 (de) * | 1995-09-29 | 1997-04-03 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung eines Volumens einer Substanz |
-
1979
- 1979-08-09 SU SU792808427A patent/SU1004791A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19536582A1 (de) * | 1995-09-29 | 1997-04-03 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bereitstellung eines Volumens einer Substanz |
| US6098449A (en) * | 1995-09-29 | 2000-08-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and apparatus for providing a volume of a substance |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0163608B1 (ko) | 극고순도의 기체분석용 측정장치 | |
| US6324892B1 (en) | Multi-gas analysis system for analyzing high-purity gases | |
| CN106501125B (zh) | 气体吸附脱附测试装置及测试方法 | |
| US3943751A (en) | Method and apparatus for continuously measuring hydrogen concentration in argon gas | |
| CN86102624A (zh) | 分析测定有机物质的方法 | |
| US4098650A (en) | Method and analyzer for determining moisture in a mixture of gases containing oxygen | |
| WO2015041115A1 (ja) | ガス透過度測定装置 | |
| JP2018533741A (ja) | 酸素を用いたリーク検知 | |
| CN109838686A (zh) | 一种钢瓶处理***及其使用方法和应用 | |
| SU1004791A1 (ru) | Способ контрол герметичности систем передачи газов | |
| CN107607676B (zh) | 气体中痕量水分标准发生*** | |
| CN114678254B (zh) | 一种化学电离的进样***及基于此进样***的质谱仪 | |
| JPH1090227A (ja) | 試料導入装置及びガス分析装置及び配管のリーク検査方法 | |
| CN210219313U (zh) | 一种钢瓶处理*** | |
| KR910008102B1 (ko) | 가스정제장치의 정제능력평가방법과 그 장치 | |
| CN116413404B (zh) | 试验***和试验方法 | |
| KR19980702364A (ko) | 외부누출량계측방법 및 계측시스템 | |
| JPS59196461A (ja) | 炭素測定器 | |
| CN114459831B (zh) | 一种带有流量控制的多通道气体采样测量方法 | |
| CN221280891U (zh) | 一种剧毒尾气吸附剂测试装置 | |
| JP7503087B2 (ja) | 排ガス除害システム | |
| CN219496302U (zh) | 气体中水和氧的测量装置 | |
| JPH10135196A (ja) | 真空薄膜堆積装置 | |
| SU1323888A1 (ru) | Способ калибровки газовых печей | |
| SU1310657A1 (ru) | Устройство дл испытаний изделий на герметичность |