SE531775C2 - Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkar - Google Patents
Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkarInfo
- Publication number
- SE531775C2 SE531775C2 SE0600916A SE0600916A SE531775C2 SE 531775 C2 SE531775 C2 SE 531775C2 SE 0600916 A SE0600916 A SE 0600916A SE 0600916 A SE0600916 A SE 0600916A SE 531775 C2 SE531775 C2 SE 531775C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- mass
- individual
- beams
- arrangement according
- frequency
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 18
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 title description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 4
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 3
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 3
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 3
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004001 molecular interaction Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000009870 specific binding Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009830 antibody antigen interaction Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000031018 biological processes and functions Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009149 molecular binding Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000006916 protein interaction Effects 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical class [H]S* 0.000 description 1
- 239000003053 toxin Substances 0.000 description 1
- 231100000765 toxin Toxicity 0.000 description 1
- 108700012359 toxins Proteins 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
- G01G3/16—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing measuring variations of frequency of oscillations of the body
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
531 ??5 Uppfinningens område Huvudsakligt teknologiområde Uppfinningen går huvudsakligen ut på att känna av kemiska och biologiska processer ge- nom att använda en mekanisk balk-(eng. cantileveÛ-liknande komponent som känneteck- nad av att den kan röra sig i en eller flera ortogonala och semiortogonala riktningar under påverkan av en extern kraft. Det huvudsakliga användningsområdet av teknologin är att detektera molekylära interaktioner som sker på ytan av denna mekaniska komponent, vil- ket gör att komponenten böjs pga. massvikten eller pga. spänningar i ytskiktet. Oftast sätts komponenten i resonans för att kunna läsa av den tillsatta massan då det ger upphov till en ändring i resonansfrekvensen.
Andra områden Andra möjliga användningsområden för uppfinningen kan vara system för digital bild- behandling, avbildningar, medicinsk, forsknings-, industriell, civil- och militär övervak- ning, bevakningssystem och automatiska sensorfunktioner. Kraftens ursprung, som skall detekteras, kan vara av alla slag och inkluderar, men är ej begränsat till, värme, ytspän- ning (eng. stress), massa och även interaktioner av olika slag såsom vanligt synligt ljus, UV-ljus, lR-ljus, THz-strålning, magnetiska krafter och polära- och dispersionskrafter.
Exempel på applikationer av denna teknologi: *rörelsedetektoren accelerationsdetektorer och kemiska detektorer * biologisk, medicinsk och kirurgisk avkänning * cell- och subcellulär avkänning * implantat * mikro- och nanostora farkoster för guidning och övervakning. 531 775 b) Känd teknik Tidigare använd tekniklteknologi (uppbyggnad och funktion) Uppfinningen av SPM (Scanning Probe Microscopy) har varit instrumentell för utveck- lingen av nanovetenskap. Användandet av resonansändringar för avbildning (non-contact mode) har gjort det möjligt att avbilda med sann atomisk upplösning. Sedan mitten av 90- talet har cantilevers använts inte bara som kraftöverförare i SPM utan även i avkännings- applikationer för att detektera förändringar av olika sorters interaktioner på en canti- leveryta som förändras till mekanisk rörelse. Principen om hur cantilevers translaterar händelser på ytan beror på antingen den absorberade massan som ändrar massan på det system som är i resonans, eller på den ytspänning som gör att cantilevem böjs. På dessa sätt har det varit möjligt att mäta olika egenskaper och storheter med större känslighet än vad konventionella mätmetoder erbjuder. Exempel är exoterma och endoterma reaktioner såsom värme, massändring, ytstress, molekylära interaktioner, detektion av gaser, protein interaktioner, DNA och nyligen antigen-antikropps interaktioner. Dessa egenskaper har studerats i olika miljöer såsom i luft, vakuum och vätska. Vanligtvis har cantilevers i des- sa miljöer dimensioner i mikroskalan där längden är typiskt 100-tals mikrometer, bredden runt 100 mikrometer och tjockleken runt 500 nanometer. Typiskt för sådana cantilever är att en ytspänning runt 103 N/m ger en böjning runt 10nm, en ändring på lHz i resonans- frekvens niotsvarar en massökning på lpg och en temperaturändring på l0'5K ger en de- flektion hos cantilevern på några nanometer. Sådana värden är relativt enkla att mäta, och baseras ofta på användandet av en optisk deflektionstelotologi som använder reflektion av fokuserat laserljus från cantileverytan riktat mot positionskänsli ga detektorer. Detta ger, med tanke på att upplösningsgränsen i SPM är runt, eller bättre än lÅ, möjlighet att de- tektera ändringar i massa på attogramnivån, ändringar i värme på femtoJoule-nivån, och ändringar av ytspänning på nivån 0,lmikroN/m, vilka är värden som redan rapporterats.
Problem med använd teknologi I de flesta applikationer där denna typ av utrustning används för biodetektion används en array av cantilevers. Antingen finns en laser per cantilever eller så finns en laser som 531 ??5 switchas mellan de olika cantilevrarna i arrayen. Detta innebär att det är svårt att få tids- upplösta mätningsresultat och information om vad som sker på ytan av detektorerna. Det- ta i sin tur begränsar tidsupplösningen och därmed är en viktig dimension förlorad, näm- ligen tidsdomänen som blir gömd och därmed skapas bara ett quasi-kontinuerligt detek- tionssystem.
Dessutom är ett relaterat problem med känd teknologi att känsligheten hos mekaniska cantilevers är beroende av cantileverns dimensioner. Därför finns det en chans att ytterli- gare utveckla känsligheten genom att förminska cantilevems dimensioner till nanoskala. Även om detta är uppenbart har väldigt få försök hitintills gjorts. Detta beror främst på att det saknas detektionsmetoder när cantilevers storleksmässigt forminskas till under laser- ljusets våglängdsintervall, vilket gör att optiska metoder blir svåra att använda.
Detaljerad beskrivning av figurer Fig 0: Schematisk vy av en cantilever med längden l, tjockleken t och bredden w.
Fig 1: Schematisk detektion. a) stor standard cantilever b) individuell nanoskalig cantile- ver och c) en array av individuella nanoskaliga cantilevers. Den gråa cirkeln symboliserar en fokuserad laserfläck för detektionen.
Fig 2: En array av nanoskaliga cantilevers.
Fig 3 En vy från ovan visande principen bakom metoden för att i en enda mätning erhålla ett spektrum av resonanserna.
Fig 4: Principiell bild av lateralt aktiverbara cantilevers.
Fig 5: Schematisk bild av en dubbelt interdigitaliserad cantilever array.
Detaljerad beskrivning av uppfinningen Detaljer Beskrivning av uppfinningen 531 775 Genom att skära upp cantilevers med t ex. en Focussed Ion Beam (FIB) är det möjligt att göra en array av cantilevers med olika längder (se ñg 3). Genom att göra en sådan array, där ljuset träffar alla de olika långa cantileverytoma vid en och samma tidpunkt, blir det möjligt att vid ett mätningstillfalle samla information från många olika cantilevers, och därmed kan man for en specifik massa som absorberas på varje individuell cantilever de- tektera i en signal alla de individuella resonansfrekvenserna och skiftningarna, och ge- nom att göra en frekvensanalys av signalen är det möjligt att studera svaret från varje can- tilever. Om varje cantilever sedan är t ex funktionaliserad for att svara på en specifik mo- lekyl (eller ett protein, antigen etc) har vi en väldigt ”elegant” och enkel metod för att göra ett ”point-of-care” verktyg som kombinerar tidsanalys med en yttersta känslighet ner till några få molekylers nivå.
De mekaniska egenskaperna hos cantilevers beror dessutom på Youngs modul (E), trög- hetsmomentet (I), densiteten (p) och på dimensionerna. I resonans-mode följer frekven- sen relationen: f=_i_{ k _(1.s7s)2_r_ Å 27: 024m 21: 12 izp -Tí- [ll där b= bredd, t= tjocklek and l= längd.
Låt oss studera masskänsligheten: Från ekv l ovan är det lätt att visa att masskänsligheten (öm/m) hos systemet är proportionell mot frekvensupplösningen och vi kan då teckna: am/m = af/f [21 531 1775 där 8m=massändring, m= initial massa, äf=frekvensändring and f=initial resonans- frekvens.
För att nu öka masskänsligheten vill man öka f (vilket ger en ökad âf signal), eller så kan man minska m (vilket ger reducering av öm); dessa ändringar hör ihop då en reduktion av m ger en ökning av f Först och främst är det längden man kan justera för att få en högre frekvens. Som ekv l visar spelar bredden ingen roll (så länge längden är ca 10 gånger större än bredden vilket är fallet när ekv l är giltig). Detta innebär att vi kan tillverka kor- tare cantilevers men då måste vi behålla en längd-/breddkvöt som är runt 10. Detta bety- der att för att behålla standard laser-deflektionssystemet för detektion så kan vi endast förminska cantilevers ner till runt 20 mikrometer i längd. Om vi dock hade haft andra me- toder hade vi emellertid kunnat fortsätta förminska längden ner till ca 1 mikrometer (och bredden då till motsvarande 100 nm). Därmed skulle känsligheten öka ytterligare med en faktor 202, jämförbart med den 20 mikrometer långa gränsen som dagens detektions- schema (ñg. la) medger. (Men då nutidens typiska cantilevers som används som sensorer dock är runt 100-tals mikrometer i längd skulle vi alltså om vi sänkte längden till någon mikrometer då erhålla en 1002 faktor högre masskänslighet, dvs 104 högre än dagens tek- nik.) Problemet som uppstår sein konsekvens till denna extrema förrninskning är hur vi ska detektera? Idag använder de flesta metoderna laserdetlektionssystem och då bredden hos cantilevers i exemplet ovan blir mindre än både våglängder och ”spot-size” för laserljus kommer vi inte kunna få en tillräckligt hög signal till bruskvot för att kunna detektera rö- relser hos dessa små cantilevers (fi g. lb). Därför måste vi utveckla nya metoder för att till fullo kunna utnyttja egenskaperna vi kan få av cantilevers i nanoskala. En metod skulle vara att ”avsyna” varje enskild cantilever med t ex en ”atomic force microscope” (eller ett STM). Även om detta är en mycket elegant metod är det givetvis så att det ej är möjligt att implementera en sådan metod i verkliga tekniska applikationer av cantilevers i nano- skala, så vi behöver alltså utveckla andra metoder. 531 F75 En metod är att skapa en array av många (n) korta och smala cantilevers som aktiveras gemensamt, vilket medför att SNR upprätthålls och att vi skulle kunna detektera en signal vilket skulle ge oss en mass-känslighet som är n gånger de individuella känsligheterna (se ñg lc och 2).
Realisering av uppfinningen En annan konfiguration av cantilevers är att vända dem 90° så vi får en array av parallella laterala aktiveringsbara cantilevers (lig 4). På detta sätt kan man tillverka strukturer som har möjlighet att uppvisa gitteregenskaper. Genom att detektera reflekterat laserljus från sådana gifter kan man detektera små variationer i cantilever-positioner. Sådant fenomen har nyligen visats och framförallt när gitterobjekten är i sub-våglängdsskala så har stora effekter rapporterats. Man kan t.o.m. detektera ändringar av gitterperioder ner till några få nm med blotta ögat. Ett sådant här system är därför av stort intresse då det kan användas i många olika typer av optiska switchande komponenter med betydligt högre prestanda än vad t ex dagens komponenter medger baserade på mikromekaniska speglar som t ex an- vänds i digitala projektorer.
En vidare utveckling av dessa strukturer kan göras om man gör en dubbel ”interdigitalise- rad” struktur som schematiskt visas i fig 5. Då vi här har cantilevers som elektriskt ledan- de kan man elektrostatiskt böja dem och därmed ändra gitterparametrar, t ex så får man därmed en avstämbar gitterstruktur. Metoder för att detektera dessa cantilevers deflektion kan antingen vara optisk, inspirerad från ovan text, eller elektrisk genom att mäta t ex S- parametrar med vars hjälp vi kan bestämma resonansfrekvenser. I detta sammanhang är strökapacitanser ett problem och för att kunna förstå det elektriska fältet i sådana här strukturer har vi beräknat den elektriska faltfñrdelningen och förutspått att kapacitanssi g- nalerna kommer vara runt några femtoFarad, en signalnivå vi kan detektera när vi vidtar nödvändiga åtgärder. De optiska svaren hos dessa strukturer är värt att undersöka. När de olika cantilevers är i storlek runt några få lOOnm har vi observerat och fastställt möjlighe- 53 'l ?'75 ter för att använda den optiska diffraktionen som signalen ger oss for att bestämma reso- nansfrekvenserna (nya data att bli publicerade).
Genom att byta ut nanocantilevers mot epitaxiella tillverkade nanotrâdar kan vi dessutom tillåta ännu högre känslighet då de mekaniska egenskaperna hos trådarna ger resonans i GHz-klassen. En möjlighet för att göra detaljerade mekaniska undersökningar är att mäta med hjälp av AFM-inducerad böjning, som vi tidigare har använt för nanostora cantile- vers. Trådarna har dock en hexagonal ytstruktur så en normal AFM-spets kommer glida av nanotrådens yta under scanning längs dess längdriktning. Om vi dock använder en FIB för att göra en gaffel-liknande spets kan vi få spetsen att stanna kvar på nanotråden.
Självklart finns det samma detektionsproblem som vi diskuterat tidigare vilka fortfarande är aktuella med nanotrådar men vi kan med liknande konfiguration placera dem i arrayer och därmed som vi diskuterat tidigare, detektera rörelser och resonanser från nanotrådar- na då de arbetar gemensamt. En intressant optisk metod skulle vara att med stroboskopisk teknik mäta resonansfrekvenser genom att använda en ultrasnabb laser (förutsatt att repe- titionshastigheten hos lasem kan kontrolleras tillräckligt väl).
De senaste åren har det varit ett ökat intresse för att använda högre ordningens resonanser för att öka Q-värdet i resonans och därmed detektionen av t ex absorberad massa på mik- ronstora cantilevers. Sådana excitations- och detektionsmetoder kommer också kunna undersökas med de förklarade strukturerna ovan. Speciellt intressant är att använda våra möjligheter att med FlB-systemet placera metallöar på väldefinierade platser vilka i sin tur kan användas som molekylära bindningsytor för att locka molekyler till platser där de högre ordningens resonanser ej har noder. Vi vill också i detta projekt försöka utveckla detektionen av inte bara ändringen i den resulterande resonansfrekv ensen utan också dy- namiken bakom ändringarna som på något sätt har att göra med den dynamiska detek- tionsmoden som använder sig av detektion av förlusten i samband med QCM-detektion, adderat med kunskap om realtids dynamik hos bindningshändelser på en cantileveryta. 531 775 För att kunna skapa specifika bindningsytor, för ex antikroppar och antigener, kommer fokus vara på att funktionalisera ytorna hos ”nanoresonatorefï Varje sub-array av lik- nande nanocantilevers kommer att märkas individuellt med en specifik antikropp (ab).
Sedan kommer alla cantilevers att exponeras för olika antigener (ag). Den specifika bind- ningen mellan ab/ag kommer att detekteras i realtid som en frekvensändring. Denna in- märkningsfria detektionsmetod för detektion av ab/ag som binder på cantilever där fre- kvensändringar kommer att korrelera med en massupplösning på några få molekylers nivå har stora möjligheter att kunna användas som en fungerande applikationsdemonstra- tor. Svängningen av nanotrâdar som känselverktyg har en hög potential så fort detek- tionsmetodiken är helt löst. Guldpartikelkatalysatorn på toppen av kedjan (en kvarleva från tillväxtproceduren) kommer att ha ett stort övertag när vi använder tiol-kemi för in- bindning. Bio-igenkännande bindande/förlösande händelser genom att använda ab/ag, kan ske i nanotrådens ände vilket även förenklar de teoretiska beräkningarna för vad olika frekvensändringar motsvarar för massa då den är bunden till en oscillerande tråd.
Claims (7)
1. Arrangemang för att detektera en första resonansfrekvens relaterande till en mekanisk balk med en absorberad massa, och för att jämföra nämnda första re- sonansfrekvens med en andra resonansfrekvens relaterande till nämnda meka- niska balk utan nämnda absorberade massa, kännetecknat därav, att en upp- sättning av individuella balkar är samlade tillsammans; att de individuella balkar- na är samtidigt belysta medelst en ljuskälla, att en detektor är anordnad att sam- tidigt detektera en total reflekterad signal som innefattar ett antal första resonans- frekvenser erhållna från mekaniska balkar med en absorberad massa, vilket därmed medger att vardera balks resonansfrekvens kan detekteras i ett fre- kvensplan samtidigt och att nämnda första resonansfrekvenser jämförs med mot- svarande andra resonansfrekvenser, varvid storleken av nämnda absorberade massa kan bestämmas utifrån frekvensskillnaden mellan nämnda första och andra resonansfrekvenser.
2. Arrangemang enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att skillnader i fre- kvens detekteras från varje individuell balk som uppkommer då de individuella balkarnas massa förändras.
3. Arrangemang enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknat därav, att en mass- ändring är relaterad till att en massa har adsorberats på något sätt på någon av balkarnas ytor.
4. Arrangemang enligt något av föregående patentkrav, kännetecknat därav, att en massändring, på minst en av balkarna, åstadkommes genom en kontrolle- rad interaktion mellan en yta och ett objekt med massa. 531 775 11
5. Arrangemang enligt något av föregående patentkrav, kännetecknat därav, att en kontrollerad interaktion består av molekylära reaktioner.
6. Arrangemang enligt något av föregående patentkrav, kännetecknat därav, att en kontrollerad interaktion består av kemiska reaktioner.
7. Arrangemang enligt något av föregående patentkrav, kännetecknat därav, att en kontrollerad interaktion består av fysikaliska reaktioner.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0600916A SE531775C2 (sv) | 2006-04-26 | 2006-04-26 | Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkar |
| EP07748069A EP2018527A4 (en) | 2006-04-26 | 2007-04-25 | ARRANGEMENT FOR DETECTING RESONANCE FREQUENCY CHANGES |
| US12/226,658 US7966881B2 (en) | 2006-04-26 | 2007-04-25 | Arrangement for detecting resonance frequency shifts |
| PCT/SE2007/000404 WO2007123473A1 (en) | 2006-04-26 | 2007-04-25 | An arrangement for detecting resonance frequency shifts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0600916A SE531775C2 (sv) | 2006-04-26 | 2006-04-26 | Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkar |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE0600916L SE0600916L (sv) | 2007-10-27 |
| SE531775C2 true SE531775C2 (sv) | 2009-08-04 |
Family
ID=38625281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE0600916A SE531775C2 (sv) | 2006-04-26 | 2006-04-26 | Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkar |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7966881B2 (sv) |
| EP (1) | EP2018527A4 (sv) |
| SE (1) | SE531775C2 (sv) |
| WO (1) | WO2007123473A1 (sv) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7915973B2 (en) * | 2005-08-25 | 2011-03-29 | The Regents Of The University Of California | Tunable multiwalled nanotube resonator |
| WO2008069247A1 (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | National University Corporation Gunma University | 質量測定装置及びカンチレバ |
| WO2013064157A1 (en) * | 2011-11-04 | 2013-05-10 | Danmarks Tekniske Universitet | Resonant fiber based aerosol particle sensor and method |
| JP6594905B2 (ja) * | 2014-02-17 | 2019-10-23 | ウニヴァジテート バーゼル | 生物学的システムの質量および／または機械的特性を決定するための測定デバイスおよび方法 |
| JP6403869B2 (ja) | 2015-03-06 | 2018-10-10 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 分子量測定方法および分子量測定装置 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2988469A (en) * | 1959-12-22 | 1961-06-13 | American Viscose Corp | Method for the production of reticulated webs |
| US3757004A (en) * | 1971-11-19 | 1973-09-04 | Stanford Research Inst | Gelatin coacervate fibers |
| US4479385A (en) * | 1982-09-23 | 1984-10-30 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Double resonator cantilever accelerometer |
| US5017324A (en) * | 1986-12-08 | 1991-05-21 | Nordson Corporation | Method for depositing particulate material into a pad of fibrous material in a forming chamber |
| US5554935A (en) * | 1995-04-03 | 1996-09-10 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Agriculture | Mass or weight determination of arbitrarily-shaped dielectric objects by microwave resonator measurements |
| US6452170B1 (en) * | 1999-04-08 | 2002-09-17 | University Of Puerto Rico | Scanning force microscope to determine interaction forces with high-frequency cantilever |
| US6575020B1 (en) * | 1999-05-03 | 2003-06-10 | Cantion A/S | Transducer for microfluid handling system |
| US6651504B1 (en) * | 1999-09-16 | 2003-11-25 | Ut-Battelle, Llc | Acoustic sensors using microstructures tunable with energy other than acoustic energy |
| US20040110439A1 (en) * | 2001-04-20 | 2004-06-10 | Chaikof Elliot L | Native protein mimetic fibers, fiber networks and fabrics for medical use |
| TWI220423B (en) | 2001-08-30 | 2004-08-21 | Hrl Lab Llc | A method of fabrication of a sensor |
| US20030068655A1 (en) | 2001-09-12 | 2003-04-10 | Protiveris, Inc. | Microcantilever apparatus and methods for detection of enzymes |
| KR100479128B1 (ko) * | 2002-07-22 | 2005-03-28 | 학교법인 한양학원 | 디앤에이 교배 검출을 위한 자기변형 바이오센서 및 그 제조방법 |
| US20050016276A1 (en) * | 2003-06-06 | 2005-01-27 | Palo Alto Sensor Technology Innovation | Frequency encoding of resonant mass sensors |
| US6987898B2 (en) * | 2003-07-23 | 2006-01-17 | Lucent Technologies Inc. | Molecular detection using an optical waveguide fixed to a cantilever |
| KR100552696B1 (ko) * | 2003-11-12 | 2006-02-20 | 삼성전자주식회사 | 발진회로가 적용된 미세 질량 측정 장치 및 방법 |
| KR100613398B1 (ko) | 2003-11-25 | 2006-08-17 | 한국과학기술연구원 | 캔틸레버 센서형 분석 시스템, 제조 방법 및 이를 이용한극미세 물질 감지 방법 |
| WO2005119233A1 (en) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Cantion A/S | Stress sensor with capture coating for detecting a target substance |
| US7671511B2 (en) * | 2006-12-12 | 2010-03-02 | Concentris Gmbh | System for oscillating a micromechanical cantilever |
| JP4924238B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2012-04-25 | 大日本印刷株式会社 | 角速度センサの製造方法 |
| JP2009008438A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
-
2006
- 2006-04-26 SE SE0600916A patent/SE531775C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-04-25 EP EP07748069A patent/EP2018527A4/en not_active Withdrawn
- 2007-04-25 US US12/226,658 patent/US7966881B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-25 WO PCT/SE2007/000404 patent/WO2007123473A1/en active Search and Examination
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7966881B2 (en) | 2011-06-28 |
| EP2018527A4 (en) | 2011-06-22 |
| WO2007123473A1 (en) | 2007-11-01 |
| US20100013456A1 (en) | 2010-01-21 |
| SE0600916L (sv) | 2007-10-27 |
| EP2018527A1 (en) | 2009-01-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6203983B1 (en) | Method for detecting chemical interactions between naturally occurring bio-polymers which are non-identical binding partners | |
| Sanii et al. | High sensitivity deflection detection of nanowires | |
| US7105358B2 (en) | Apparatus and method for visually identifying micro-forces with a palette of cantilever array blocks | |
| EP1963816B1 (en) | Optical device comprising a cantilever and method of fabrication and use thereof | |
| Sahoo et al. | Scanning probe microscopy based on magnetoresistive sensing | |
| SE531775C2 (sv) | Anordning och komponent för parallell detektion i realtid av individuella nanomekaniska rörelser hos en samling/array av individuella och oberoende oscillerande balkar | |
| US6995367B2 (en) | Nanotube, near-field light detecting apparatus and near-field light detecting method | |
| Lulec et al. | Simultaneous self-sustained actuation and parallel readout with MEMS cantilever sensor array | |
| Majstrzyk et al. | Electromagnetic cantilever reference for the calibration of optical nanodisplacement systems | |
| EP3568693A1 (en) | Method of and system for detecting structures on or below the surface of a sample using a probe including a cantilever and a probe tip | |
| CN1189746C (zh) | 一种微光机电***膜基耦合结构光声性能无损定量测试方法及装置 | |
| US9057706B2 (en) | Optical cantilever based analyte detection | |
| US7752898B2 (en) | Devices for probe microscopy | |
| Naumenko et al. | A micromechanical switchable hot spot for SERS applications | |
| Grabiec et al. | Microsystem technology as a road from macro to nanoworld | |
| JP2988788B2 (ja) | 走査型近接場光学顕微鏡 | |
| JP2008232717A (ja) | 標的物質の検出装置及び検出方法 | |
| Kan et al. | Piezoresistor-equipped fluorescence-based cantilever probe for near-field scanning | |
| Choi et al. | Development of electromagnetic probe for micro force measurement | |
| Dausch et al. | Active microcantilever device for biological agent detection | |
| Gong et al. | Design and modeling of a MEMS-based tunable optical nanoantenna | |
| Miner et al. | Nanoscale Thermal, Electrical, and Thermoelectric Measurements Using Batch-Fabricated Scanning Probes | |
| JPH07260801A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| Xiang et al. | Microcantilever sensor using photonic crystal nanocavity resonator | |
| Carr et al. | Submicron optical sources for single macromolecule detection |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |