SE513575C2 - Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordning - Google Patents
Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordningInfo
- Publication number
- SE513575C2 SE513575C2 SE9900577A SE9900577A SE513575C2 SE 513575 C2 SE513575 C2 SE 513575C2 SE 9900577 A SE9900577 A SE 9900577A SE 9900577 A SE9900577 A SE 9900577A SE 513575 C2 SE513575 C2 SE 513575C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- substrate
- optical fiber
- groove
- grooves
- optical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/40—Mechanical coupling means having fibre bundle mating means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
- G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4239—Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4246—Bidirectionally operating package structures
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
515 575 - 2 REDOGÖRELSE FÖR UPPFINNINGEN Avsikten med föreliggande uppfinning är att åtminstone reducera ovan nämnda problem.
Föreliggande uppfinning angriper ovan nämnda problem genom ett förfarande enligt kännetecknandedelen i patentkrav l och en anordning enligt kännetecknandedelen i patentkrav 6.
En fördel med föreliggande uppfinning är att mönstringen av kiselskivan kan ske oberoende av kristallorientering.
En annan fördel med uppfinningen är att U-spàren kan göras sent i processen eftersom inga aggressiva våta kemikalier ökar friheten i processföljden, används, vilket kompatibiliteten mellan processtegen samt ökar utbytet.
Ytterligare en fördel med uppfinningen är att U-spàren kan etsas med hög precision med avseende pà spàrbredd och längd samt att väggarna i U-spàren är lodräta i förhållande till en substratyta. Ännu en fördel med föreliggande uppfinning är att oberoende av spàrets geometri i ett plan parallellt med en substratyta kan dessa framställas med huvudsakligen lodräta väggar och en huvudsakligen parallell med nämnda bottenyta i spåret substratyta.
Uppfinningen kommer nu att beskrivas närmare med hjälp av föredragna utföringsformer och med. hänvisning till bifogad ritning.
FIGURBESKRIVNING Figur 1 visar en utföringsform i vy fràn ovan av en uppfinningsenlig anordning. 513 575 _ 3 FönEnRAGNA UTFöRINGsFommR I figur 1 visas en uföringsform av en anordning enligt uppfinningen vilken innefattar ett substrat 10, etsade U-spàr 22, 24 och 26, elektroder 50 samt lodanslutningar 40. Substratet vilket i en laser array 60, en lodskvallra 30, detta fall är ett kiselsubstrat kan med sin plana yta uppàt vara parallell med vilken kristallografisk riktning som helst.
Etsstoppskiktet utgörs i detta fall av ett lager av SiO2. kisel beroende på hur djupa U-spàr som avses etsas i substratet.
I kiselsubstratet finns ett begravt skikt av etsstopp.
Tjockleken av ren ovanför etsstoppskiktet väljs I denna utföringsform har fyra stycken parallella U-spàr 22 etsats vilka är linjerade i förhållande till laserarrayen 60.
I dessa spår appliceras optiska fibrer. Fibrerna kan passivt upplinjeras i Lflspàren tack vara att dessa är linjerade i förhållande till laserarrayens position samt att U-spàrens bredd och djup är exakt avpassade för fiberdimensionen.
Ortogonalt till dessa U-spàr har tre stycken tvärgàende diken 24 etsats vilka har som funktion att fördela lim mellan U- spàren 22 då den optiska fibern skall fixeras i dessa.
Ytterligare ett ortogonalt etsat dike 26 i förhållande till U-spåren 22 för fibrerna finns anordnat i slutet av U-spåren 22, vilket har som funktion att fungera som reservoar för överskottslim. Det är i allra högsta grad icke önskvärt att lim fastnar på den optiska kontaktytan pà fibern eller på lasern fasetten. Kapillärkraften pà limmet mellan fibern och ytorna i U>spàret då fibern är anordnad däri, kan vara så stor att lim skulle kunna komma ända fram till änden av den optiska fibern. Dá ett tvärgàende dike 26 anordnas i slutet av U-spåren 22 för de optiska fibrerna reduceras eller elimineras kapillärkraften vid det kritiska området i slutet av fiberänden och därmed minskar risken för att lim hamnar pà fiberns optiska kontaktyta. 513 575 - 4 Etsningen av U-spår sker medelst torretsning. Den typ av torretsningen som har använts är Deep Reactive Ion Etching (Ass) och företrädesvis Anisotropic Silicon Etching (STS).
(DRIE) från Surface Technology Systems På substratet finns anordnat lodskvallror 30 vars funktion är att bedöma lodkvaliteten samt enklare åskådliggöra när lodet smälter vid upplinjeringen av laserarrayen på substratet via lodanslutningarna 40. Elektroderna 50 anordnade på substratet används för att förse lasrarna i laserarrayen 60 med ström.
I och med att U-spåren 22 för de optiska fibrerna, de tvärgående dikena 24 samt limreservoaren 26 torretsas kan detta utföras när som helst, företrädesvis så sent som möjligt till exempel efter lodplätering, så att stora topografiska. variationer på substratytan tillkommer sent i processen och därmed åstadkommer så lite bekymmer för resterande processteg som möjligt. Det begravda skiktet med SiO2 på de noggrannhet som kan vara bättre än l/l000mm över en hel definierar djupet etsade U-spåren med en wafer. Över hela wafern blir U-spåren lika djupa som det översta kiselskiktet och med en variation motsvarande nämnda skikts tjockleksvariation.
I och med att U-spåren har lodräta väggar i förhållande till substratytan, till skillnad från etsade V-spår vars ytor lutar i förhållande till substratytan, kan fibern skjutas mot ett väldefinierat stopp och på så vis effektivare koppla fibern mot exempelvis en laser.
Uppfinningen är naturligtvis inte begränsad till det ovan beskrivna och den på ritningen visade utföringsformen, utan kan modifieras inom ramen för de bifogade patentkraven.
Claims (9)
1. 0 15 20 25 30 513 575 5» PATENTKRAV Metod för passiv upplinjering av minst en optofiber anordnad pà ett substrat till minst en optisk anordning, kânnetecknad av att ett substrat med ett begravt etsstoppskikt nönstras, att substratet etsas så att ett mönster med U-spár med vertikala väggar och vertikala ändytor framträder, varvid spàrens djup motsvarar materialtjockleken ovanför etsstoppskiktet och spàrens position pà substratet är linjerat i förhållande till den optiska anordningen och att optofibern anordnas och fixeras i ett U-spàr.
2. Metod enligt patentkrav 1, kännetecknad av att en vertikal ändyta. pà optofibern skjuts mot den, vertikala änd- och stoppytan i U-spàrets slut för optofiberns positionering och fixering i U~spàret.
3. Metod enligt patentkrav 1, kännetecknad av att i slutet av U-spåret/-spàren etsas ett ortogonalt U-spår i form av en reservoar för lim.
4. Metod enligt patentkrav 1, kânnetecknad av att den optiska anordningen är en laser, en detektor eller en transceiver.
5. Metod enligt patentkrav l, kännetecknad av att substratet med ett begravt skikt av etsstopp är en Silicon on Insulator (SOI) skiva.
6. Anordning innefattande minst en optofiber anordnad pà ett substrat och linjerad till minst en optisk anordning, kânnetecknad av att optofibern är anordnad och fixerad i ett U-spar, vars väggar och ändyta är huvudsakligen vertikala i förhållande till en substratyta och vars bottenyta är huvudsakligen parallell med den oetsade substratytan. 513 575 _ Q.
7. Anordning enligt patentkrav 6, kännetecknad av att en vertikal ändyta pà optofibern är anordnad att stà emot den huvudsakligen vertikala ändytan i U-spàrets slut.
8. Anordning enligt patentkrav 6, kånnetecknad av att i 5 slutet av U-spåret/-spàren finns det anordnat ett ortogonalt U-spår som en reservoar för lim.
9. Anordning enligt patentkrav 6, kännetecknad av att den optiska anordningen är en laser, detektor eller en transceiver.
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9900577A SE513575C2 (sv) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordning |
TW088107977A TW473618B (en) | 1999-02-19 | 1999-05-17 | A fibre aligning structure |
CNB008040451A CN1211679C (zh) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | 一种对准光纤的方法和器件 |
PCT/SE2000/000333 WO2000049442A1 (en) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | A fibre aligning structure |
US09/506,743 US6516448B1 (en) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | Fiber aligning structure |
KR1020017010408A KR100763115B1 (ko) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | 섬유 정렬 구조물 |
CA002363058A CA2363058A1 (en) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | A fibre aligning structure |
JP2000600127A JP2002537578A (ja) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | 光ファイバーを受動的に整列する方法 |
AU32046/00A AU3204600A (en) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | A fibre aligning structure |
EP00909868A EP1157294A1 (en) | 1999-02-19 | 2000-02-18 | A fibre aligning structure |
HK02106675.7A HK1045194B (zh) | 1999-02-19 | 2002-09-11 | 一種對準光纖的方法和器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9900577A SE513575C2 (sv) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordning |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9900577D0 SE9900577D0 (sv) | 1999-02-19 |
SE9900577L SE9900577L (sv) | 2000-08-20 |
SE513575C2 true SE513575C2 (sv) | 2000-10-02 |
Family
ID=20414537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9900577A SE513575C2 (sv) | 1999-02-19 | 1999-02-19 | Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordning |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6516448B1 (sv) |
EP (1) | EP1157294A1 (sv) |
JP (1) | JP2002537578A (sv) |
KR (1) | KR100763115B1 (sv) |
CN (1) | CN1211679C (sv) |
AU (1) | AU3204600A (sv) |
CA (1) | CA2363058A1 (sv) |
HK (1) | HK1045194B (sv) |
SE (1) | SE513575C2 (sv) |
TW (1) | TW473618B (sv) |
WO (1) | WO2000049442A1 (sv) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6841486B2 (en) * | 2000-10-06 | 2005-01-11 | Tyco Electronics Corporation | Optical substrate having alignment fiducials |
DE10144343A1 (de) * | 2001-09-10 | 2003-03-27 | Perkinelmer Optoelectronics | Sensor zum berührugslosen Messen einer Temperatur |
US6660548B2 (en) * | 2002-03-27 | 2003-12-09 | Intel Corporation | Packaging of multiple active optical devices |
CN100373132C (zh) * | 2004-11-25 | 2008-03-05 | 电子科技大学 | 一种探测器-光纤耦合的全方位自对准方法 |
CN100354670C (zh) * | 2005-12-29 | 2007-12-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 光纤连接器的制造方法 |
US8830466B2 (en) * | 2011-11-10 | 2014-09-09 | Cisco Technology, Inc. | Arrangement for placement and alignment of opto-electronic components |
US8798410B2 (en) | 2012-06-12 | 2014-08-05 | Laxense Inc. | Optical system with integrated photodetector using a self-aligned double U-groove structure |
JP5925062B2 (ja) * | 2012-06-18 | 2016-05-25 | シチズンホールディングス株式会社 | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 |
CN103852822B (zh) * | 2012-12-04 | 2016-04-13 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 光纤对准基座阵列的制造方法 |
US9246592B2 (en) | 2013-08-19 | 2016-01-26 | International Business Machines Corporation | Structured substrate for optical fiber alignment |
US9995881B1 (en) * | 2017-06-28 | 2018-06-12 | Cisco Technology, Inc. | TSV compatible fiber array coupler for silicon photonics |
US12044888B2 (en) * | 2020-12-22 | 2024-07-23 | Intel Corporation | Silicon groove architectures and manufacturing processes for passive alignment in a photonics die |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2184255B (en) | 1985-12-13 | 1989-01-05 | Stc Plc | Optical fibre integrated optical device coupler |
US4762387A (en) | 1986-02-21 | 1988-08-09 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Array connector for optical fibers |
US5073003A (en) * | 1988-12-23 | 1991-12-17 | At&T Bell Laboratories | Optoelectronic device package method and apparatus |
US4973126A (en) * | 1989-12-07 | 1990-11-27 | At&T Bell Laboratories | Optical fiber connector |
JPH0829638A (ja) * | 1994-05-12 | 1996-02-02 | Fujitsu Ltd | 光導波路・光ファイバ接続構造及び光導波路・光ファイバ接続方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用される光導波路基板及び同基板の製造方法並びに光導波路・光ファイバ接続に使用されるファイバ基板付き光ファイバ |
US5471552A (en) * | 1995-02-22 | 1995-11-28 | Industrial Technology Research Institute | Fabrication of static-alignment fiber-guiding grooves for planar lightwave circuits |
GB2307786B (en) * | 1996-05-16 | 1997-10-15 | Bookham Technology Ltd | Assembly of an optical component and an optical waveguide |
JPH09318849A (ja) * | 1996-05-24 | 1997-12-12 | Fujitsu Ltd | 光伝送モジュールおよびその製造方法 |
DE19647685C1 (de) * | 1996-11-07 | 1998-03-12 | Siemens Ag | Koppelanordnung |
JP2988515B2 (ja) * | 1996-12-10 | 1999-12-13 | 日本電気株式会社 | 光導波路 |
US6296789B1 (en) * | 1998-02-20 | 2001-10-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical module and a method of fabricating the same |
JP4019538B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2007-12-12 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール用基体及び光モジュール |
JP2000098188A (ja) * | 1998-09-18 | 2000-04-07 | Fujitsu Ltd | 光モジュール |
-
1999
- 1999-02-19 SE SE9900577A patent/SE513575C2/sv not_active IP Right Cessation
- 1999-05-17 TW TW088107977A patent/TW473618B/zh not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-02-18 AU AU32046/00A patent/AU3204600A/en not_active Abandoned
- 2000-02-18 CN CNB008040451A patent/CN1211679C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-02-18 WO PCT/SE2000/000333 patent/WO2000049442A1/en active Application Filing
- 2000-02-18 EP EP00909868A patent/EP1157294A1/en not_active Withdrawn
- 2000-02-18 US US09/506,743 patent/US6516448B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-02-18 KR KR1020017010408A patent/KR100763115B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-02-18 JP JP2000600127A patent/JP2002537578A/ja active Pending
- 2000-02-18 CA CA002363058A patent/CA2363058A1/en not_active Abandoned
-
2002
- 2002-09-11 HK HK02106675.7A patent/HK1045194B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HK1045194A1 (en) | 2002-11-15 |
AU3204600A (en) | 2000-09-04 |
CN1211679C (zh) | 2005-07-20 |
KR20010102194A (ko) | 2001-11-15 |
US6516448B1 (en) | 2003-02-04 |
HK1045194B (zh) | 2006-06-02 |
TW473618B (en) | 2002-01-21 |
KR100763115B1 (ko) | 2007-10-04 |
SE9900577D0 (sv) | 1999-02-19 |
EP1157294A1 (en) | 2001-11-28 |
CN1341226A (zh) | 2002-03-20 |
CA2363058A1 (en) | 2000-08-24 |
WO2000049442A1 (en) | 2000-08-24 |
SE9900577L (sv) | 2000-08-20 |
JP2002537578A (ja) | 2002-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR0172594B1 (ko) | 광섬유 접속자 및 그 제조방법 | |
EP0823063B1 (en) | A silicon substrate having a recess for receiving an element, and a method of producing such a recess | |
US5420953A (en) | Optoelectronic integration of holograms using (110) oriented silicon on (100) oriented silicon waferboard | |
US5787214A (en) | Connection between an integrated optical waveguide and an optical fibre | |
US5550942A (en) | Micromachined holes for optical fiber connection | |
SE513575C2 (sv) | Metod och anordning för passiv upplinjering av minst en optofiber till minst en optisk anordning | |
US11150409B2 (en) | Saw assisted facet etch dicing | |
US6215946B1 (en) | V-groove chip with wick-stop trench for improved fiber positioning | |
CN104364688A (zh) | 光学***件 | |
GB2310052A (en) | Securing optical fibre in v groove with feeder channels for adhesive | |
US11567285B2 (en) | High-density FAUs and optical interconnection devices including optimized arrays and related methods | |
CA2325424A1 (en) | Method for preparing optical fibers for connection to other fibers or to planar waveguides and device for such connection | |
EP1021739B1 (en) | Hybrid chip process | |
JP6268918B2 (ja) | 光ファイバ接続構造、光ファイバ接続方法、及び光モジュール | |
US20040247248A1 (en) | Passive alignment between waveguides and optical components | |
KR19990061766A (ko) | 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조 | |
WO2002073269A2 (en) | Optical coupling for mounting an optical fibre on a substrate | |
JP5294148B2 (ja) | 光デバイス、光システム及び光デバイス製造方法 | |
Hoffmann et al. | New silicon-based fibre assemblies for applications in integrated optics and optical MEMS | |
CN102608702B (zh) | 一种低表面张力的硅基光纤阵列v槽的制作方法 | |
JP2000509835A (ja) | 集積光導波路と光ファイバとの間の結合 | |
WO2001094995A2 (en) | Fiber block construction for optical switches and techniques for making the same | |
JP2001124961A (ja) | 光部品実装用基板及びその製造方法 | |
WO2003027746A1 (en) | Alignment device for optical lens, and a method for alignment | |
JPH116938A (ja) | 光導波路デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |