SE508805C2 - Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal - Google Patents

Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal

Info

Publication number
SE508805C2
SE508805C2 SE9201052A SE9201052A SE508805C2 SE 508805 C2 SE508805 C2 SE 508805C2 SE 9201052 A SE9201052 A SE 9201052A SE 9201052 A SE9201052 A SE 9201052A SE 508805 C2 SE508805 C2 SE 508805C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
light
calibration
channel
light receiver
analysis equipment
Prior art date
Application number
SE9201052A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9201052D0 (sv
SE9201052L (sv
Inventor
Svante Wallin
Original Assignee
Opsis Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from SE9103624A external-priority patent/SE9103624D0/sv
Application filed by Opsis Ab filed Critical Opsis Ab
Priority to SE9201052A priority Critical patent/SE508805C2/sv
Publication of SE9201052D0 publication Critical patent/SE9201052D0/sv
Publication of SE9201052L publication Critical patent/SE9201052L/sv
Priority to US08/281,863 priority patent/US5517314A/en
Publication of SE508805C2 publication Critical patent/SE508805C2/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/27Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
    • G01N21/274Calibration, base line adjustment, drift correction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/47Scattering, i.e. diffuse reflection
    • G01N21/49Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
    • G01N21/53Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
    • G01N21/534Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke by measuring transmission alone, i.e. determining opacity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)

Description

508 805 2 antingen genom kalibreringsröret eller genom röret.
I den europeiska patentansökan EP O 159 157 visas en liknande anordning som den i det amerikanska patentet US 4 381 153.
Den japanska skriften JP 57-207848 beskriver en kalibreringsmetod för en genomströmningsgasanalysator.
Gasanalysatorn har två gasceller med varsin ljuskälla. Den gas som ska mätas pumpas alternerande genom de båda cel- lerna samtidigt med en referensgas genom den andra cellen.
Analysatorn kalibreras genom att en kalibreringsgas pumpas in i en av cellerna och en signal tas upp då ljusstyrkan från ljuskällan varieras. Ändamålet med föreliggande uppfinning är att lösa ovannämnda problem så att det blir möjligt att kalibrera en optisk analysutrustning så ofta som önskas, t ex dagligen. Ändamålet med uppfinningen uppnås med optiska analysutrustningar enligt patentkrav 1 och patentkrav 5.
Dessa analysutrustningar kan kalibreras så ofta som det behövs med mycket liten arbetsinsats och tidsåtgång.
Det enda som behöver göras är att ställa om ljusstyr- organet så att ljusmottagaren mottar ljus från kalibre- ringsenheten i stället för som normalt ljus som trans- mitterats genom det medium som skall analyseras. Med hjälp av en dator kan kalibreringen t o m göras helt automatisk.
En annan fördel med utrustningarna är att kalibreringen sker med samma komponenter som används för mätningen, vilket bidrar till att kalibreringen blir noggrann.
Anordnandet av en kalibreringsenhet mellan ljussända- ren och ljusmottagaren löser dessutom ett ytterligare pro- blem. Det blir nämligen möjligt att mäta koncentrationen av syrgas med hjälp av den optiska analysutrustningen.
Detta har inte varit möjligt tidigare eftersom det före- kommer syre i själva mätanordningen och mätsträckan där- efter blir okänd. Eftersom kalibreringsdelen i utrust- ningarna enligt föreliggande uppfinning innehåller samma mängd syre som mätdelen kan man genom differensmätning 508 805 3 fastställa koncentrationen syrgas.
Med uppfinningen blir det dessutom möjligt att mäta dämpningen av synligt ljus i gasvolymen. Detta görs genom en differensmätning, vid vilken dämpningen i kalibrerings- delen jämförs med dämpningen i mätdelen. På samma sätt kan man också mäta partikelantal och partikelfördelning.
Kalibreringsenheten är anordnad att monteras på så sätt att den sträcker sig genom det medium som skall analyseras. Detta har fördelen att kalibreringen sker vid samma temperatur som mätningen utförs, vilket också bidrar till en noggrann kalibrering.
Kalibreringsenheten har ett inlopp för kalibrerings- medium, sà att kalibrering kan utföras för olika ämnen.
Ljusstyrorganet kan innefatta skärmningsorgan, t ex en skärm som kan inta olika lägen eller slutare, eller innefatta organ för styrning av inriktning av ljusmottaga- ren eller ljussändaren så att mottagaren valbart kan ta emot antingen ljus frán kalibreringsenheten eller ljus som transmitterats genom det medium som skall analyseras.
Analysutrustningen enligt uppfinningen innefattar vidare en mätenhet, vilken är anordnad att åstadkomma en bana för ljus fràn ljussändaren till ljusmottagaren. Mät- enheten är öppen i ett parti, så att det medium som skall analyseras fritt kan passera därigenom. Fördelen med denna mätenhet är att det öppna partiet bildar en exakt bestämd mätsträcka och att man, oberoende av exempelvis en skor- stens diameter, alltid kan ha samma mätsträcka. Mätenheten kan man naturligtvis använda oberoende av om man har kalibreringsenheten eller ej.
För att förhindra att gas vid mätning i gasformiga medier letar sig in i de slutna delarna av mätenheten och gör mätsträckan obestämd kan det i mätenheten finnas ett inlopp för spolgas som kan matas i riktning mot det öppna partiet.
Kalibreringsenheten och mätenheten kan vara rörfor- miga och monteras med fördel parallellt med varandra och förbundna med varandra för att minimera vibrationer och 508 805 4 krökningar av enheterna som kan påverka ljustransmis- sionen.
I en optisk analysutrustning enligt uppfinningen är ljussändaren och ljusmottagaren monterade mitt emot varandra.
I en annan optisk analysutrustning enligt uppfin- ningen är ljussändaren och ljusmottagaren placerade på samma sida. Denna analysutrustning är avsedd för mycket stora skorstenar eller liknande, där det kan vara besvär- ligt att anordna rör som sträcker sig över en lång sträcka genom hela skorstenen.
Föreliggande uppfinning skall nu beskrivas under hän- visning till bifogade ritningar, varvid Fig 1 visar en första utföringsform av en anordning monterad i en skorsten och kopplad till en optisk analys- utrustning och Fig 2 visar en sidovy av en andra utföringsform av en anordning monterad i en skorsten.
Fig 3 visar en planvy uppifrån av den i fig 2 visade utföringsformen av anordningen.
I fig l visas en anordning monterad i en skorsten med väggar la och lb och kopplad till en optisk analysutrust- ning, som har en sändarenhet 2, som är monterad utanför skorstenens ena vägg la och en mottagarenhet 3 som är monterad mitt för sändarenheten 2 utanför skorstenens andra vägg lb. Sändarenheten 2 innefattar en lampa 25 och två paraboliska speglar 4, 5 som är anordnade att ref- lektera ljuset från lampan i två parallella ljusknippen.
Sändarenheten 2 är förbunden med mottagarenheten 3 via en kalibreringsenhet och en mätenhet som innefattar två parallella rör 6, 7, som sträcker sig genom öppningar 8 och 9 i skorstenens väggar la resp lb och som med fördel är ihopmonterade. Det ena röret 6, som är ett kalibre- ringsrör, är helt slutet. Gaserna i skorstenen kan således inte tränga in i kalibreringsröret och ljuset som passerar genom kalibreringsröret är därför helt opåverkat av gaser- na. I den del av kalibreringsröret 6 som befinner sig mel- 508 805 5 lan skorstensväggen lb och mottagarenheten 3 finns en kalibreringscell 10, som har åtminstone ett inlopp ll, till vilket olika behållare 30 med gasformiga ämnen med känd koncentration kan anslutas via ett ventilarrangemang 31. Alternativt kan kalibreringscellen 10 vara anordnad i den del av kalibreringsröret 6 som befinner sig inuti skorstenen. Denna placering av kalibreringscellen 10 har fördelen att kalibreringen sker vid samma temperatur som gaserna i skorstenen har. Om temperaturen i skorstenen är mycket hög kan emellertid inte denna placering användas, eftersom det då finns risk för att man får avsättning på väggarna i kalibreringscellen.
Det andra röret 7, som är ett mätrör, har ett öppet parti 12, genom vilket gaserna i skorstenen kan strömma fritt. Detta öppna parti 12 åstadkommes enklast genom att man i ett slutet rör fräser ut öppningar på så sätt att endast ett fåtal stänger 13, som förbinder de slutna delarna av mätröret 7, blir kvar. Det öppna partiet 12 bildar en väldefinierad mätsträcka, som exempelvis kan ha en längd i intervallet 0,5 m - 2 m, för anordningen. I vardera änden av mätröret 7 finns vidare inlopp 14 för spolluft, som är anslutna till organ 40 för tillförsel av spolluft.
Rören 6, 7 består av rostfritt stål. Deras totala längd kan exempelvis varieras upp till 7 m. Innerdiametern är exempelvis 85 mm. Rören fästs med fördel vid skorstens- väggen endast i den ena änden. Den andra änden fästs i ett glidarrangemang (visas ej) som medger linjär expansion hos rören vid temperaturvariationer.
Mottagarenheten 3 innefattar en ljusmottagare 15, som utgörs av en optisk fiber 16, som är ansluten till en ana- lysenhet 17. Mottagarenheten 3 innefattar vidare tvà para- boliska speglar 18 och 19, som är anordnade att reflektera ljus från kalibreringsröret 6 resp mätröret 7 till ljus- mottagaren 15. Dessa speglar har liksom övriga speglar ett skikt av aluminium, täckt av ett tunt MgF2-skikt. 508 805 6 I mottagarenheten 3 finns dessutom ett skärmnings- organ 20, som styrs av en motor 21 till att inta endera av två lägen. I det ena läget (det som visas i figuren) hind- rar skärmningsorganet 20 ljus från kalibreringsröret 6 från att nå ljusmottagaren 15 och i det andra läget hind- rar det ljus från mätröret 7 från att nå ljusmottagaren 15.
Utrustningen innefattar dessutom en ej visad dator, som är anordnad att styra bl a motorn 21 och ventil- arrangemanget 31 för utförande av automatisk kalibrering.
I det följande skall funktionen hos anordningen be- skrivas.
Vid mätning ställs skärmningsorganet 20 i det i figu- ren visade läget av motorn 21. Ljus emitteras från lampan 25 mot de paraboliska speglarna 4, 5, vilka reflekterar var sitt parallellt ljusknippe mot kalibreringsröret 6 resp mätröret 7. Det genom mätröret 7 transmitterade lju- set reflekteras av den paraboliska spegeln 19 till änden på den optiska fibern 16, som leder ljuset till analys- utrustningen 17 för bestämning av parametrar för ett eller flera gasformiga ämnen som befinner sig i det öppna par- tiet 12 av mätröret 7. Ljus som transmitteras genom kalib- reringsröret 6 hindras av skärmningsorganet 20 från att nå ljusmottagaren 15.
När kalibrering skall utföras för ett visst ämne ges en signal till motorn 21, som vrider skärmningsorganet 20 till det andra läget, i vilket ljus från mätröret 7 hind- ras frán att nå ljusmottagaren 15. Därefter utförs noll- kalibrering genom att nolluft eller ren kvävgas matas in i kalibreringscellen 10 och det från lampan 25 genom kalib- reringsröret 6 och kalibreringscellen 10 transmitterade ljuset analyseras av analysenheten och jämförs med det korrekta nollvärdet för ämnet ifråga.
Därefter görs kalibrering för en eller flera koncen- trationer av det aktuella ämnet. Härvid ansluts en gas- cylinder, som innehåller en känd koncentration av ämnet till gasinloppet ll, varefter koncentration av det gas- 508 805 7 formiga ämnet i kalibreringscellen 10 bestäms och jämförs med det kända värdet. Om avvikelser föreligger korrigeras förstärkningen i analysutrustningen.
Kalibrering kan ske pà motsvarande sätt genom anslut- ning av gascylindrar med känt innehåll till gasinloppet 11 för alla gasformiga ämnen som mäts med anordningen. Kalib- reringen sker helt automatiskt under övervakning av datorn.
I fig 2 och 3 visas en andra utföringsform av en anordning monterad i en skorsten som har en vägg la. Denna utföringsform är i första hand avsedd för mycket stora skorstenar där det är besvärligt eller t o m omöjligt att montera rör som sträcker sig genom hela skorstenen. Såsom visas i fig 2 och 3 är sändarenheten 2 och mottagarenheten 3 placerade på samma sida om skorstenen. Sändarenheten 2 innefattar en lampa 25 och två paraboliska speglar 4 (endast en visas i fig 2), som är anordnade att reflvktvza ljuset från lampan som två parallella ljusknippen. Mezza- garenheten 3 är placerad bredvid sändarenheten 2 och inno- hàller liksom tidigare en ljusmottagare 15, som utgörs av en optisk fiber 16 som är ansluten till en ej visad ana- lysenhet. Sändarenheten mottar två parallella ljusknippen som reflekteras till mottagaren 15 med hjälp av två para- boliska speglar 18, 19, som är monterade under varandra.
Anordningen innefattar en kalibreringsenhet 6, som åstadkommer en bana för ljuset från sändarenheten 2 till mottagarenheten 3. Kalibreringsenheten 6 innefattar när- mare bestämt två parallella rörstycken 6a och 6b samt två prismor 61 och 62, som är placerade i den bortre änden av rörstyckena 6a och 6b i förhållande till sändarenheten 2 och mottagarenheten 3. Prismorna 61 och 62 åstadkommer en totalreflektion av ljuset. Ljuset transmitteras sålunda genom rörstycket 6a, reflekteras av prismat 61 till prismat 62 och transmitteras genom rörstycket 6b till mottagaren 15. Kalibreringsenheten 6 har ett inlopp 11 för kalibreringsgas. Företrädesvis används bara det ena rör- stycket 6b som kalibreringscell 10, varvid kalibrerings- 508 805 sträckan blir ll.
Under kalibreringsenheten finns en mätenhet 7 som också består av två rörstycken 7a och 7b och som också innefattar två prismor 7l och 72, som är placerade i den bortre änden i förhållande till sändarenheten 2 och mot- tagarenheten 3. Mätenheten 7 har ett öppet parti 12, genom vilket gaserna i skorstenen kan strömma fritt och vilket bildar mätsträckan för mätningen. I den visade utförings- formen består mätsträckan av två delsträckor 12 + 1 en mellan den slutna delen av rörstycket 7a och prismaâ 71 och en mellan prisman 72 och den slutna delen av rör- stycket 7b. Lämpligen anordnas längderna på rörstyckena och det öppna partiet så att mätsträckan 12 + 13 och kalibreringssträckan ll blir lika långa.
Anordningen innefattar också ett skärmningsorgan 20, som styrs av en motor 21 till att inta endera av två lägen.
Funktionen hos denna utföringsform av anordningen är densamma som den hos ovan beskrivna utföringsform.
Anordningen har ovan beskrivits monterad i en skor- sten. Naturligtvis kan den även användas i rör, ledningar och liknande. Anordningen kan användas för alla typer av optisk utrustning som har en ljussändare och en ljusmot- tagare och som behöver kalibreras.
Många modifieringar av den beskrivna anordningen är möjlig. I stället för att använda en kalibreringscell 10 i en del av kalibreringsröret 6 såsom visas i fig 1 kan hela röret användas som kalibreringscell. I stället för att kalibreringsenheten och mätenheten är placerade bredvid varandra, såsom visas i fig 2 och 3, kan de vara placerade under varandra. Rörstyckena 6a, 6b och 7a, 7b behöver hel- ler inte vara placerade intill varandra, utan kan vara placerade på avstånd från varandra. Rörstyckena 6a, 6b och 7a, 7b kan då vara lika långa och mätsträckan anordnas mellan rörstyckena 7a och 7b. Skärmningsorganet kan vara placerat antingen i sändaren eller i mottagaren. I stället för en vridbar skärm kan det utgöras av två slutare, som 508 805 9 alternativt skärmar ljuset från kalibreringsenheten eller mätenheten. Skärmningsorganet kan ersättas av en motor som vrider ljussändaren eller ljusmottagaren så att ljus sänds till eller mottas fràn endera av mätenheten och kalibre- ringsenheten. Mätröret 7 och kalibreringsröret 6 kan ha godtyckliga tvärsnitt. Deras längder och diametrar kan variera, liksom det material de är tillverkade av. Rören kan vidare monteras centralt i röret, exempelvis längs en diameter om röret har cirkulärt tvärsnitt, eller icke- centralt, exempelvis längs en korda i fallet med röret med cirkulärt tvärsnitt.

Claims (10)

508 805 10 PATENTKRAV
1. Optisk analysutrustning för analys av gasformiga ämnen som strömmar genom kanal, innefattande en ljus- sändare (25), som är anordnad på en sida av kanalen, en ljusmottagare (15), som är anordnad mittför ljussändaren på andra sidan av kanalen, en kalibreringsenhet (6), som sträcker sig genom kanalen, en mätenhet (7), vilken sträcker sig genom kanalen och vilken är öppen i ett parti (12), vilket genomströmmas av de gasformiga ämnena vid användning av utrustningen, k ä n n e t e c k n a d av att ljussändaren (25) är fast anordnad, att kalibrerings- enheten (6) innefattar åtminstone en kalibreringscell (10), i vilken ett kalibreringsmedium är införbart, och att analysutrustningen vidare innefattar ett fast, optiskt arrangemang (4, 5, 18, 19), som är anordnat att från ljus- sändaren (25) samtidigt åstadkomma en första och en andra stràle, att rikta den första strålen genom kalibrerings- enheten (6) mot ljusmottagaren (15), och att rikta den andra stràlen genom mätenheten (7) mot ljusmottagaren (15), och ett ljusstyrorgan (20, 21), medelst vilket ljusmottagaren valbart kan bringas att motta den första eller den andra strålen.
2. Optisk analysutrustning enligt krav 1, k ä n - n e t e c k n a d av att ljusmottagaren (15) är fast och att ljusstyrorganet innefattar skärmningsorgan.
3. Optisk analysutrustning enligt krav 1, k ä n - n e t e c k n a d av att ljusstyrorganet (20, 21) innefattar organ för styrning av inriktningen av ljus- mottagaren.
4. Optisk analysutrustning enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att kalibreringsenheten (6) och mätenheten (7) är rörformiga, monterade parallellt med varandra och förbundna med varandra. 508 805 11
5. Optisk analysutrustning för analys av gasformiga ämnen som strömmar genom kanal, innefattande en ljussända- re (25), som är anordnad på en sida av kanalen, en ljus- mottagare (15), en kalibreringsenhet (6), en mätenhet (7), som är öppen i ett parti (12), vilket genomströmmas av de gasformiga ämnena vid användning av utrustningen, k ä n - n e t e c k n a d av att ljusmottagaren (25) är anordnad på samma sida av kanalen som ljusmottagaren (15), att mät- enheten (7) sträcker sig endast ett stycke in i kanalen, att kalibreringsenheten (6) innefattar åtminstone en kalibreringscell (10), i vilken ett kalibreringsmedium är införbart, och att analysutrustningen vidare innefattar ett optiskt arrangemang (4, 5, 18, 19), som är anordnat att från ljussändaren (25) samtidigt åstadkomma en första och en andra stråle, att rikta den första stràlen genom kalibreringsenheten (6) mot ljusmottagaren (15) och att rikta den andra stràlen genom mätenheten (7) mot ljus- mottagaren (15), och ett ljusstyrorgan (20, 21), medelst vilket ljusmottagaren valbart kan bringas att motta den första eller den andra stràlen.
6. Optisk analysutrustning eligt krav 5, k ä n n e - t e c k n a d av att mätenheten (7) innefattar två paral- lella rörelement (7a, 7b), som vart och ett sträcker sig in i kanalen så att dess ena ände är skild fràn kanalens väggar, och organ (71, 72) för ändring av den andra strà- lens riktning, vilka organ är anordnade i nämnda ena ände av de två parallella rörelementen.
7. Optisk analysutrustning enligt krav 5 eller 6, k ä n n e t e c k n a d av att ljuskällan (25) och det optiska arrangemanget (4, 5, 18, 19) är fasta.
8. Optisk analysutrustning enligt krav 7, k ä n - n e t e c k n a d av att ljusstyrorganet innefattar organ för styrning av ljusmottagarens (15) riktning.
9. Optisk analysutrustning enligt krav 7, k ä n - n e t e c k n a d av att ljusmottagaren (15) är fast anordnad och att ljusstyrorganet innefattar skärmnings- organ. 508 805 12
10. Optisk analysutrustning enligt något av krav 5-9, k ä n n e t e c k n a d av att kalibreringsenheten (6) är anordnad att sträcka sig genom det medium som skall analy- seras.
SE9201052A 1991-12-04 1992-04-03 Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal SE508805C2 (sv)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9201052A SE508805C2 (sv) 1991-12-04 1992-04-03 Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal
US08/281,863 US5517314A (en) 1991-12-04 1994-07-28 Optical analysing equipment for determining parameters of gaseous substances flowing through a duct

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9103624A SE9103624D0 (sv) 1991-12-04 1991-12-04 Anordning foer bestaemning av en eller flera parametrar foer en gasvolym
SE9201052A SE508805C2 (sv) 1991-12-04 1992-04-03 Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9201052D0 SE9201052D0 (sv) 1992-04-03
SE9201052L SE9201052L (sv) 1993-06-05
SE508805C2 true SE508805C2 (sv) 1998-11-09

Family

ID=26661272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9201052A SE508805C2 (sv) 1991-12-04 1992-04-03 Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5517314A (sv)
SE (1) SE508805C2 (sv)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5742399A (en) * 1996-04-18 1998-04-21 American Air Liquide, Inc. Method for stabilizing the wavelength in a laser spectrometer system
US5818578A (en) * 1995-10-10 1998-10-06 American Air Liquide Inc. Polygonal planar multipass cell, system and apparatus including same, and method of use
US5963336A (en) 1995-10-10 1999-10-05 American Air Liquide Inc. Chamber effluent monitoring system and semiconductor processing system comprising absorption spectroscopy measurement system, and methods of use
US5949537A (en) 1996-04-18 1999-09-07 American Air Liquide Inc. In-line cell for absorption spectroscopy
US5880850A (en) * 1996-04-18 1999-03-09 American Air Liquide Inc Method and system for sensitive detection of molecular species in a vacuum by harmonic detection spectroscopy
US5977546A (en) * 1997-05-13 1999-11-02 Carlson; Lee Richard Self normalizing radiant energy monitor and apparatus for gain independent material quantity measurements
AUPP352098A0 (en) * 1998-05-15 1998-06-04 Voevodin, Trevor Richard Air shield for a particle detection system
EP0987663A1 (de) * 1998-09-14 2000-03-22 Siemens Building Technologies AG Optischer Rauchmelder nach dem Extinktionsprinzip und Verfahren zur Kompensation von dessen Temperaturdrift
US6342948B1 (en) 1998-11-20 2002-01-29 Waters Investments Limited Dual pathlength system for light absorbance detection
DE10015615C2 (de) * 2000-03-29 2002-07-11 Draegerwerk Ag Gasmesssystem
JP2002006096A (ja) * 2000-06-23 2002-01-09 Nikon Corp 電磁波発生装置、これを用いた半導体製造装置並びに半導体デバイスの製造方法
US6442736B1 (en) 2000-10-03 2002-08-27 L'air Liquide Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'expolitation Des Procedes Georges Claude Semiconductor processing system and method for controlling moisture level therein
GB2372099B (en) * 2001-02-08 2003-11-05 Status Scient Controls Ltd Gas sensor
GB0120588D0 (en) * 2001-08-24 2001-10-17 Land Instr Int Ltd Light source for open-path gas monitoring
CN1323292C (zh) * 2004-10-28 2007-06-27 聚光科技(杭州)有限公司 具有便携式终端的半导体激光分析***
EP1693665B1 (en) * 2005-02-22 2008-12-03 Siemens Aktiengesellschaft Method and apparatus for trace gas detection
CN101281129B (zh) * 2005-09-15 2011-06-15 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种具有在位标定功能的在位式气体分析***
CN100378450C (zh) * 2005-09-15 2008-04-02 聚光科技(杭州)有限公司 具有在位标定功能的在位式气体分析***
GB0700677D0 (en) * 2007-01-12 2007-02-21 Servomex Group Ltd Probe
US7826054B2 (en) * 2007-05-04 2010-11-02 Pratt & Whitney Rocketdyne, Inc. Fuel cell instrumentation system
CN101226143B (zh) * 2007-08-15 2011-01-05 武汉市天虹仪表有限责任公司 一种长光程大气监测仪
WO2011000117A1 (en) * 2009-06-29 2011-01-06 Real Tech Inc. Apparatus and method for measuring transmittance
CN102103071A (zh) * 2010-12-16 2011-06-22 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种在位式吸收光谱气体分析***
CN103852445B (zh) * 2014-03-19 2015-06-24 中国人民解放军装备学院 激光吸收谱测量的光学探头
CN104266971B (zh) * 2014-09-22 2016-06-22 南京凤光电子科技有限公司 管道气体在线检测的原位标定装置及其方法
DE102017115660A1 (de) * 2017-07-12 2019-01-17 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Optisches System
DE102017118499A1 (de) * 2017-08-14 2019-02-14 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Kalibriereinsatz und Halterung desselben
US10948408B2 (en) * 2019-06-25 2021-03-16 Battelle Memorial Institute Toroidal multipass absorption device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3809913A (en) * 1972-10-20 1974-05-07 Steel Corp Detector for particulate matter in flowing gas streams
US3838925A (en) * 1972-12-07 1974-10-01 Baldwin Electronics Inc Photoelectric opacity measuring system
US3885162A (en) * 1973-10-31 1975-05-20 Contraves Goerz Corp Optical measuring apparatus
US3872315A (en) * 1973-12-21 1975-03-18 Babcock & Wilcox Co Radiation sensitive fluid analyzer
US4023909A (en) * 1976-01-15 1977-05-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Null balance alphameter
US4231663A (en) * 1979-03-16 1980-11-04 Phillippi Conrad M Device for calibrating the photometric linearity of optical instruments
US4381153A (en) * 1980-08-28 1983-04-26 The Babcock & Wilcox Company Opacity monitor
US4445359A (en) * 1981-08-07 1984-05-01 Measurex Corporation System and process for calibrating a combustion gas analyzer
US4687337A (en) * 1981-09-02 1987-08-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Atmospheric Aerosol extinctiometer
SE8302468L (sv) * 1983-05-02 1984-11-03 Lagesson Andrasko Ludmila Anordning vid en gasflodescell for spektrofotometrisk analys av kemiska substanser
US4544273A (en) * 1983-07-29 1985-10-01 Particulate Instruments Smoke opacity meter
US4583859A (en) * 1984-03-30 1986-04-22 The Babcock & Wilcox Company Filter cleaning system for opacity monitor
SE453017B (sv) * 1985-06-13 1988-01-04 Opsis Ab Ideon Sett och anordning for bestemning av parametrar for gasformiga emnen som er nervarande vid forbrenningsprocesser och andra processer som sker vid hog temperatur
JPS63500206A (ja) * 1985-10-22 1988-01-21 ドイチエ フオルシユングス アンシユタルト フユア ルフト−ウント ラウムフア−ルト エ−.フアウ. 濃度の測定方法及び装置
US5060505A (en) * 1989-09-12 1991-10-29 Sensors, Inc. Non-dispersive infrared gas analyzer system
US5218428A (en) * 1991-10-08 1993-06-08 The Perkin-Elmer Corporation Optical transmittance apparatus for fluids

Also Published As

Publication number Publication date
SE9201052D0 (sv) 1992-04-03
SE9201052L (sv) 1993-06-05
US5517314A (en) 1996-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE508805C2 (sv) Optisk analysutrustning för gasformiga ämnen som strömmar i en kanal
US8674306B2 (en) Gas sensing system employing raman scattering
JP2003518255A (ja) 小型化された分光計
US3872315A (en) Radiation sensitive fluid analyzer
US5781306A (en) Measuring apparatus for gas analysis
KR101879614B1 (ko) 광학식 가스 측정기의 기준값 설정 및 측정값 보정장치
FI95322C (sv) Spektroskopisk mätningsgivare för analysering av medier
JP2010536042A (ja) 長光路大気監視測定装置
SE468782B (sv) Gasanalysator
EP1229322A1 (en) Cell for analyzing fluid and analyzing apparatus using the same
CN109324005A (zh) 紫外烟气分析仪的标定***及方法
US20120162651A1 (en) Apparatus and method for measuring transmittance
JP6973419B2 (ja) ガス分析装置
US20050195392A1 (en) Fluid analyzer
CN106124375A (zh) 一种低传输损耗的粉尘检测装置
CN106442354A (zh) 一种气体检测装置
GB2298712A (en) Multipurpose optical sensor
US4651004A (en) Optical gas densitometer
US11573174B2 (en) Optical gas concentration measurement apparatus
CN105223149A (zh) 测量***及其光学元件
KR20220062064A (ko) 현장 가스 분석 시스템
CN205103153U (zh) 测量***及其光学元件
KR102009196B1 (ko) 광섬유 번들을 이용한 다지점 가스 측정장치
CN108398396B (zh) 一种紫外反射式双光程高温光机组件
RU2075065C1 (ru) Анализатор газа

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed