RU97122002A - Интерферометр для измерения перемещений - Google Patents
Интерферометр для измерения перемещенийInfo
- Publication number
- RU97122002A RU97122002A RU97122002/28A RU97122002A RU97122002A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A RU 97122002/28 A RU97122002/28 A RU 97122002/28A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- interferometer
- measuring movements
- beam splitter
- measuring
- reflectors
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
Claims (1)
- Интерферометр для измерения перемещений, содержащий источник излучения, оптически связанный с ним коллиматор и светоделитель, два отражателя, каждый из которых установлен, соответственно, в одном из потоков от светоделителя, фотоприемник и блок регистрации, отличающийся тем, что отражатель, расположенный в опорном плече, заменен на два плоско-параллельных зеркала, закрепленных на пьезокерамических цилиндрах и установленных на оптической скамье под углом 90o друг к другу.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU97122002A RU2146354C1 (ru) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Интерферометр для измерения перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU97122002A RU2146354C1 (ru) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Интерферометр для измерения перемещений |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97122002A true RU97122002A (ru) | 1999-09-27 |
RU2146354C1 RU2146354C1 (ru) | 2000-03-10 |
Family
ID=20200727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97122002A RU2146354C1 (ru) | 1997-12-17 | 1997-12-17 | Интерферометр для измерения перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2146354C1 (ru) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2534811C1 (ru) * | 2013-06-25 | 2014-12-10 | Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Устройство определения пространственной ориентации объектов |
RU2587686C1 (ru) * | 2015-05-25 | 2016-06-20 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа |
-
1997
- 1997-12-17 RU RU97122002A patent/RU2146354C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2142267A1 (es) | Dispositivo para medicion de la radiacion luminosa concentrada. | |
KR900011282A (ko) | 프로젝션장치 | |
NO914639L (no) | To-farve sensoranordning med fokalplanoppstilling | |
NO883924D0 (no) | Opptikk for maaling av krummingsvariasjon. | |
RU97122002A (ru) | Интерферометр для измерения перемещений | |
NO160980C (no) | Manipulator. | |
DE3880238D1 (de) | Durchlicht-schreibprojektor. | |
RU98112567A (ru) | Оптический блок для обнаружения цели | |
MX167196B (es) | Sistema de control de fibra optica | |
SU1114879A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
RU1775597C (ru) | Прибор дл определени геометрических характеристик и оптических свойств кристаллов | |
SU1226041A1 (ru) | Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей | |
SU1631372A1 (ru) | Интерференционно-теневой прибор | |
JPS56118609A (en) | Measuring method for azimuth angle of magnetic head | |
SU1486792A1 (ru) | Устройство для записи интерферограмм | |
SU558573A1 (ru) | Голографический интерф рометр | |
SU1620823A1 (ru) | Устройство дл измерени вибраций | |
SU1610270A1 (ru) | Двухкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор | |
SU1651091A1 (ru) | Сканирующий двухлучевой интерферометр | |
SU1411577A1 (ru) | Интерферометрическое устройство дл измерени угловых перемещений объекта | |
RU96124432A (ru) | Устройство контроля малых угловых смещений | |
RU1791701C (ru) | Интерферометр дл контрол качества поверхностей оптических деталей | |
SU1411580A1 (ru) | Устройство дл контрол пр молинейности перемещений | |
SU815490A1 (ru) | Устройство дл измерени угловыхпЕРЕМЕщЕНий Об'ЕКТА | |
RU96119139A (ru) | Устройство измерения взаимного углового положения отражателей |