RU97122002A - Интерферометр для измерения перемещений - Google Patents

Интерферометр для измерения перемещений

Info

Publication number
RU97122002A
RU97122002A RU97122002/28A RU97122002A RU97122002A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A RU 97122002/28 A RU97122002/28 A RU 97122002/28A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A RU 97122002 A RU97122002 A RU 97122002A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
interferometer
measuring movements
beam splitter
measuring
reflectors
Prior art date
Application number
RU97122002/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2146354C1 (ru
Inventor
Г.И. Долгих
И.А. Корень
Original Assignee
Тихоокеанский океанологический институт Дальневосточного отделения РАН
Filing date
Publication date
Application filed by Тихоокеанский океанологический институт Дальневосточного отделения РАН filed Critical Тихоокеанский океанологический институт Дальневосточного отделения РАН
Priority to RU97122002A priority Critical patent/RU2146354C1/ru
Priority claimed from RU97122002A external-priority patent/RU2146354C1/ru
Publication of RU97122002A publication Critical patent/RU97122002A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2146354C1 publication Critical patent/RU2146354C1/ru

Links

Claims (1)

  1. Интерферометр для измерения перемещений, содержащий источник излучения, оптически связанный с ним коллиматор и светоделитель, два отражателя, каждый из которых установлен, соответственно, в одном из потоков от светоделителя, фотоприемник и блок регистрации, отличающийся тем, что отражатель, расположенный в опорном плече, заменен на два плоско-параллельных зеркала, закрепленных на пьезокерамических цилиндрах и установленных на оптической скамье под углом 90o друг к другу.
RU97122002A 1997-12-17 1997-12-17 Интерферометр для измерения перемещений RU2146354C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97122002A RU2146354C1 (ru) 1997-12-17 1997-12-17 Интерферометр для измерения перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97122002A RU2146354C1 (ru) 1997-12-17 1997-12-17 Интерферометр для измерения перемещений

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97122002A true RU97122002A (ru) 1999-09-27
RU2146354C1 RU2146354C1 (ru) 2000-03-10

Family

ID=20200727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97122002A RU2146354C1 (ru) 1997-12-17 1997-12-17 Интерферометр для измерения перемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2146354C1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2534811C1 (ru) * 2013-06-25 2014-12-10 Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" Устройство определения пространственной ориентации объектов
RU2587686C1 (ru) * 2015-05-25 2016-06-20 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2142267A1 (es) Dispositivo para medicion de la radiacion luminosa concentrada.
KR900011282A (ko) 프로젝션장치
NO914639L (no) To-farve sensoranordning med fokalplanoppstilling
NO883924D0 (no) Opptikk for maaling av krummingsvariasjon.
RU97122002A (ru) Интерферометр для измерения перемещений
NO160980C (no) Manipulator.
DE3880238D1 (de) Durchlicht-schreibprojektor.
RU98112567A (ru) Оптический блок для обнаружения цели
MX167196B (es) Sistema de control de fibra optica
SU1114879A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
RU1775597C (ru) Прибор дл определени геометрических характеристик и оптических свойств кристаллов
SU1226041A1 (ru) Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей
SU1631372A1 (ru) Интерференционно-теневой прибор
JPS56118609A (en) Measuring method for azimuth angle of magnetic head
SU1486792A1 (ru) Устройство для записи интерферограмм
SU558573A1 (ru) Голографический интерф рометр
SU1620823A1 (ru) Устройство дл измерени вибраций
SU1610270A1 (ru) Двухкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор
SU1651091A1 (ru) Сканирующий двухлучевой интерферометр
SU1411577A1 (ru) Интерферометрическое устройство дл измерени угловых перемещений объекта
RU96124432A (ru) Устройство контроля малых угловых смещений
RU1791701C (ru) Интерферометр дл контрол качества поверхностей оптических деталей
SU1411580A1 (ru) Устройство дл контрол пр молинейности перемещений
SU815490A1 (ru) Устройство дл измерени угловыхпЕРЕМЕщЕНий Об'ЕКТА
RU96119139A (ru) Устройство измерения взаимного углового положения отражателей