RU97110173A - Матрица тонкопленочных приводных зеркал и способ для ее изготовления - Google Patents
Матрица тонкопленочных приводных зеркал и способ для ее изготовленияInfo
- Publication number
- RU97110173A RU97110173A RU97110173/09A RU97110173A RU97110173A RU 97110173 A RU97110173 A RU 97110173A RU 97110173/09 A RU97110173/09 A RU 97110173/09A RU 97110173 A RU97110173 A RU 97110173A RU 97110173 A RU97110173 A RU 97110173A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thin
- thin film
- layer
- matrix
- electrically
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims 36
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 25
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 4
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc monoxide Chemical group [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
Claims (11)
1. Матрица тонкопленочных приводных зеркал размерностью М х N, где М и N - целые числа, для использования в оптической проекционной системе, при этом каждое тонкопленочное приводное зеркало имеет биморфную структуру, содержащая: активную матрицу, имеющую верхнюю поверхность и включающую подложку с матрицей соединительных выводов размерностью М х N и матрицу транзисторов размерностью М х N, и матрицу приводных структур размерностью М х N, причем каждая приводная структура имеет ближние и отдаленные концы, и каждая приводная структура включает в себя второй тонкопленочный электрод для работы в качестве второго электрода смещения, нижний элемент, перемещаемый электрическим способом, имеющий верхнюю и нижнюю поверхности, промежуточный тонкопленочный электрод для работы в качестве сигнального электрода, верхний элемент, перемещаемый электрическим способом, имеющий верхнюю и нижнюю поверхности и первый тонкопленочный электрод для работы в качестве зеркала, а также первый электрод смещения, в котором верхние и нижние элементы, перемещаемые электрическим способом, отделены промежуточным тонкопленочным электродом, причем первый тонкопленочный электрод размещен на верхней поверхности верхнего элемента, перемещаемого электрическим способом, второй тонкопленочный электрод размещают на нижней поверхности нижнего элемента, перемещаемого электрическим способом, промежуточный тонкопленочный электрод электрическим способом подсоединен к каждому транзистору через каждый соединительный вывод, и ближний конец каждой приводной структуры прикрепляют к верхней поверхности активной матрицы, формируя таким образом тонкопленочное приводное зеркало, имеющее биморфную структуру.
2. Матрица по п. 1, в которой первый тонкопленочный электрод электрически подсоединен ко второму тонкопленочному электроду.
3. Способ для изготовления матрицы тонкопленочных приводных зеркал размерностью М х N, где М и N - целые числа, для использования в оптической проекционной системе, при этом каждое тонкопленочное приводное зеркало имеет биморфную структуру, способ содержит операции, по которым: выполняют активную матрицу, имеющую верхнюю поверхность, при этом активная матрица включает в себя подложку с матрицей транзисторов размерностью М х N и матрицу соединительных выводов размерностью М х N, осаждают тонкопленочный защитный слой на верхней поверхности активной матрицы, удаляют части тонкопленочного защитного слоя, сформированного наверху каждого соединительного вывода на активной матрице, формируют второй тонкопленочный электродный слой, изготовленный из второго проводящего электрической ток материала наверху активной матрицы, включающей в себя тонкопленочный защитный слой, удаляют части второго тонкопленочного электродного слоя, сформированного наверху каждого соединительного вывода в активной матрице, осаждают нижний слой, перемещаемый электрическим способом наверху активной матрицы, и второй тонкопленочный электродный слой, создают матрицу отверстий размерностью М х N, каждое из которых имеет внутренние поверхности и проходящие от верхней части нижнего слоя, перемещаемого электрическим способом, до верхней части каждого соединительного вывода, формируют промежуточный электродный слой, изготовленный из первого материала, проводящего электрический ток, наверху нижнего слоя, перемещаемого электрическим способом, включающий в себя внутренние поверхности каждого отверстия, осаждают верхний слой, перемещаемый электрическом способом, наверху промежуточного электродного слоя при заполнении отверстий, формируют первый тонкопленочный электродный слой, изготовленный из проводящего электрический ток и отражающего свет материала наверху верхнего слоя, перемещаемого электрическим способом, формируя таким образом многослойную структуру, включающую в себя первый тонкопленочный электродный слой, верхний слой, перемещаемый электрическим способом, промежуточный электродный слой, нижний слой, перемещаемый электрическим способом, и второй тонкопленочный электродный слой, выполняют образец многослойной структуры в матрице с полузаконченными приводными структурами размерностью М х N, в которой каждая из полузаконченных приводных структур включает в себя первый тонкопленочный электрод, верхний элемент, перемещаемый электрическим способом, промежуточный тонкопленочный электрод, нижний элемент, перемещаемый электрическим способом, и второй тонкопленочный электрод, и удаляют тонкопленочный защитный слой, формируя таким образом упомянутую матрицу тонкопленочных приводных зеркал размерностью М х N.
4. Способ по п. 3, в котором верхний и нижний слои, перемещаемые электрическим способом, изготавливают из ассимметричного материала с точки зрения кристаллографии.
5. Способ по п. 4, в котором асимметричным материалом с точки зрения кристаллографии является ZnO.
6. Способ по п. 3, в котором верхний и нижний слои, перемещаемые электрическим способом, формируют с толщиной 0,1 - 2 мкм.
7. Способ по п. 3, в котором верхний и нижний слои, перемещаемые электрическим способом, формируют с использованием способа вакуумного напыления или распыления.
8. Способ по п. 3, в которым тонкопленочный защитный слой изготовлен из окиси или полимера.
9. Способ по п. 3, в котором тонкопленочный защитный слой формируют с использованием способа распыления или вакуумного напыления, если тонкопленочный защитный слой изготовлен из окиси, и способа покрытия с вращением, если тонкопленочный защитный слой изготовлен из полимера.
10. Способ по п. 3, в котором слой первой тонкой пленки, слой второй тонкой пленки и промежуточный электродный слой формируют с использованием способа распыления и вакуумного напыления.
11. Способ по п. 3, в котором второй тонкопленочный электродный слой, промежуточный электродный слой и первый тонкопленочный электродный слой формируют с толщиной 0,1 - 2 мкм.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1994/29763 | 1994-11-14 | ||
KR1019940029763A KR960018646A (ko) | 1994-11-14 | 1994-11-14 | 광로조절장치의 제조방법 |
PCT/KR1995/000133 WO1996015630A1 (en) | 1994-11-14 | 1995-10-17 | Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97110173A true RU97110173A (ru) | 1999-05-27 |
RU2143715C1 RU2143715C1 (ru) | 1999-12-27 |
Family
ID=19397806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97110173/09A RU2143715C1 (ru) | 1994-11-14 | 1995-10-17 | Матрица тонкопленочных приводных зеркал и способ ее изготовления |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5606452A (ru) |
EP (1) | EP0712021B1 (ru) |
JP (1) | JPH10508952A (ru) |
KR (1) | KR960018646A (ru) |
CN (1) | CN1061203C (ru) |
AU (1) | AU701168B2 (ru) |
BR (1) | BR9510396A (ru) |
CA (1) | CA2205168A1 (ru) |
CZ (1) | CZ288386B6 (ru) |
DE (1) | DE69522898T2 (ru) |
HU (1) | HU221360B1 (ru) |
MY (1) | MY132060A (ru) |
PE (1) | PE36497A1 (ru) |
PL (1) | PL178550B1 (ru) |
RU (1) | RU2143715C1 (ru) |
TW (1) | TW305944B (ru) |
UY (1) | UY24087A1 (ru) |
WO (1) | WO1996015630A1 (ru) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6969635B2 (en) * | 2000-12-07 | 2005-11-29 | Reflectivity, Inc. | Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates |
KR970054559A (ko) * | 1995-12-22 | 1997-07-31 | 배순훈 | 광로 조절 장치의 제조 방법 |
TW357271B (en) * | 1996-02-26 | 1999-05-01 | Seiko Epson Corp | Light regulator, display and the electronic machine |
KR100229788B1 (ko) * | 1996-05-29 | 1999-11-15 | 전주범 | 광로 조절 장치의 제조 방법 |
EP0810458B1 (en) * | 1996-05-29 | 2001-09-19 | Daewoo Electronics Co., Ltd | Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
US5930025A (en) * | 1996-05-29 | 1999-07-27 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
US5945898A (en) * | 1996-05-31 | 1999-08-31 | The Regents Of The University Of California | Magnetic microactuator |
KR100212539B1 (ko) * | 1996-06-29 | 1999-08-02 | 전주범 | 박막형 광로조절장치의 엑츄에이터 및 제조방법 |
US5991064A (en) * | 1996-06-29 | 1999-11-23 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array and a method for the manufacture thereof |
WO1998008127A1 (en) * | 1996-08-21 | 1998-02-26 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system |
JP3920351B2 (ja) * | 1996-08-21 | 2007-05-30 | デーウー・エレクトロニクス・コーポレイション | 光ピックアップシステム用薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ |
US5949568A (en) * | 1996-12-30 | 1999-09-07 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Array of thin film actuated mirrors having a levelling member |
EP1033037B1 (en) * | 1997-06-30 | 2006-12-13 | Daewoo Electronics Corporation | Thin film actuated mirror including a seeding member and an electrodisplacive member made of materials having the same crystal structure and growth direction |
US7281808B2 (en) * | 2003-06-21 | 2007-10-16 | Qortek, Inc. | Thin, nearly wireless adaptive optical device |
JP4037394B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2008-01-23 | 株式会社東芝 | マイクロメカニカルデバイス |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3544201A (en) * | 1968-01-02 | 1970-12-01 | Gen Telephone & Elect | Optical beam deflector |
US4615595A (en) * | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
US4793699A (en) * | 1985-04-19 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element |
US5172262A (en) * | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5126836A (en) * | 1989-11-01 | 1992-06-30 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
GB2239101B (en) * | 1989-11-17 | 1993-09-22 | Marconi Gec Ltd | Optical device |
US5085497A (en) * | 1990-03-16 | 1992-02-04 | Aura Systems, Inc. | Method for fabricating mirror array for optical projection system |
US5216537A (en) * | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5170283A (en) * | 1991-07-24 | 1992-12-08 | Northrop Corporation | Silicon spatial light modulator |
US5159225A (en) * | 1991-10-18 | 1992-10-27 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric actuator |
US5175465A (en) * | 1991-10-18 | 1992-12-29 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric and electrostrictive actuators |
US5247222A (en) * | 1991-11-04 | 1993-09-21 | Engle Craig D | Constrained shear mode modulator |
KR970003007B1 (ko) * | 1993-05-21 | 1997-03-13 | 대우전자 주식회사 | 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 구동방법 |
US5481396A (en) * | 1994-02-23 | 1996-01-02 | Aura Systems, Inc. | Thin film actuated mirror array |
-
1994
- 1994-11-14 KR KR1019940029763A patent/KR960018646A/ko not_active Application Discontinuation
-
1995
- 1995-10-17 BR BR9510396A patent/BR9510396A/pt not_active IP Right Cessation
- 1995-10-17 AU AU36744/95A patent/AU701168B2/en not_active Ceased
- 1995-10-17 WO PCT/KR1995/000133 patent/WO1996015630A1/en active IP Right Grant
- 1995-10-17 CZ CZ19971487A patent/CZ288386B6/cs not_active IP Right Cessation
- 1995-10-17 CN CN95196202A patent/CN1061203C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1995-10-17 JP JP8515934A patent/JPH10508952A/ja not_active Abandoned
- 1995-10-17 PL PL95320161A patent/PL178550B1/pl unknown
- 1995-10-17 HU HU9800822A patent/HU221360B1/hu not_active IP Right Cessation
- 1995-10-17 RU RU97110173/09A patent/RU2143715C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1995-10-17 CA CA002205168A patent/CA2205168A1/en not_active Abandoned
- 1995-10-19 TW TW084111042A patent/TW305944B/zh active
- 1995-10-19 MY MYPI95003145A patent/MY132060A/en unknown
- 1995-10-20 EP EP95116566A patent/EP0712021B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-20 DE DE69522898T patent/DE69522898T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-10-25 US US08/548,034 patent/US5606452A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-11-14 PE PE1995284565A patent/PE36497A1/es not_active Application Discontinuation
- 1995-11-14 UY UY24087A patent/UY24087A1/es not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU97110173A (ru) | Матрица тонкопленочных приводных зеркал и способ для ее изготовления | |
US6218911B1 (en) | Planar airbridge RF terminal MEMS switch | |
RU97108573A (ru) | Матрица тонкопленочного возбуждаемого отражателя для оптических проекционных систем | |
US7068474B2 (en) | Thin film piezoelectric element; actuator, head support mechanism, and disc recording and reproducing device using the thin film piezoelectric element; and method of manufacturing the thin film piezoelectric element | |
WO1987004301A1 (en) | Electrically variable piezoelectric hybrid capacitor | |
RU96112195A (ru) | Тонкопленочная приводимая в действие зеркальная матрица для использования в оптической проекционной системе и способ ее изготовления | |
CN100547723C (zh) | 微移动器件及使用湿蚀刻的制造方法 | |
CN1061203C (zh) | 薄膜致动反射镜阵列及其制造方法 | |
RU2129759C1 (ru) | Периодическая структура из тонкопленочных связанных с приводом зеркал для оптических проекционных систем и способ ее изготовления | |
JP3797682B2 (ja) | M×n個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレーの製造方法 | |
RU96119962A (ru) | Периодическая структура из тонкопленочных связанных с приводом зеркал для оптических проекционных систем и способ ее изготовления | |
JPH07174993A (ja) | 光投射型システムに用いられるエレクトロディスプレイシブアクチュエイテッドミラーアレイ | |
JPH07159709A (ja) | エレクトロディスプレーシブアクチュエーチドミラーアレーおよびその製法 | |
US5734492A (en) | Piezoelectric actuated mirror array | |
JPH07159707A (ja) | M×n電歪アクチュエーテッドミラーアレーおよびその製法 | |
JPH1082960A (ja) | 薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法 | |
JPS6132571A (ja) | 光電変換装置 | |
AU703795B2 (en) | Low temperature formed thin film actuated mirror array | |
RU97112466A (ru) | Матрица тонкопленочных возбуждаемых зеркал и способ ее изготовления | |
US7189625B2 (en) | Micromachine and manufacturing method | |
JPH06301068A (ja) | アクチュエータアレーおよびその製法 | |
JPS63122576A (ja) | サ−マルヘツド | |
KR970067565A (ko) | 광로 조절 장치용 액츄에이터 및 이의 제조 방법 | |
KR100208673B1 (ko) | 큰 구동각도를 갖는 박막형 광로 조절장치 및 그 제조 방법 | |
KR970060514A (ko) | 유전층을 갖는 박막형 광로 조절 장치 |