RU94028128A - Spatial light modulator - Google Patents

Abstract

FIELD: optics and can be used for optical data processing and in laser engineering. SUBSTANCE: spatial light modulator has a base, film of vanadium oxide and a matrix of film heating elements consisting of two groups of film electrodes made of metal and positioned one above the other in such a manner that projection of one group of electrodes on the other has intersections with this group, and a film of oxide or sulfide of the same metal is located in the areas of intersection between the electrodes of the first and second groups. When control voltages are applied to the electrode of the first group and electrode of the second group, current flows through the section of the film of metal oxide or sulfide located in the area of intersection of the given electrodes. Heat liberated in this case transfers the film section of vanadium oxide to a highly reflecting state. An example of spatial light modulator for COof laser (λ=10.6 mcm) is given in the description. EFFECT: enhanced spatial resolving power and simplified manufacturing process.

Claims (1)

Изобретение относиться к оптике и может быть использовано устройствах оптической обработки информации и лазерной технике. Целью изобретения является увеличение пространственной разрешающей способности и упрощение технологии изготовления пространства модулятора света. Пространственный модулятор света содержит подложку, пленку окисла ванадия и матрицу пленочных нагревательных элементов, состоящую из двух групп пленочных электродов, изготовленных из металла и расположенных одна над другой таким образом, что проекция одной группы электродов на другую имеет с этой группой пересечения, а в участках пересечения между электродами первой и второй группы расположена пленка окисла или сульфида того же металла. При подаче управляющих напряжений на электрод первой группы и электрод второй группы происходит протекание тока через участок пленки окисла или сульфида металла, расположенный на участке пересечения данных электродов. Выделяющееся при этом тепло переводит участок пленки окисла ванадия в высокоотражающее состояние. В описании приведен пример пространственного модулятора света для СО₂ лазера (λ = 10,6 мкм).The invention relates to optics and can be used in optical information processing devices and laser technology. The aim of the invention is to increase the spatial resolution and simplification of the manufacturing technology of the space of the light modulator. The spatial light modulator contains a substrate, a vanadium oxide film, and a matrix of film heating elements, consisting of two groups of film electrodes made of metal and arranged one above the other so that the projection of one group of electrodes onto the other has intersections with this group, and at the intersection sites between the electrodes of the first and second groups is a film of oxide or sulfide of the same metal. When control voltages are applied to the electrode of the first group and the electrode of the second group, current flows through the portion of the metal oxide or sulfide film located at the intersection of these electrodes. The heat generated in this case transfers the portion of the vanadium oxide film to a highly reflective state. The description provides an example of a spatial light modulator for a CO ₂ laser (λ = 10.6 μm).