RU93055559A - Способ получения дисилана
- Google Patents
Способ получения дисилана
Info
Publication number
RU93055559A
RU93055559ARU93055559/26ARU93055559ARU93055559ARU 93055559 ARU93055559 ARU 93055559ARU 93055559/26 ARU93055559/26 ARU 93055559/26ARU 93055559 ARU93055559 ARU 93055559ARU 93055559 ARU93055559 ARU 93055559A
Изобретение относится к способам получения дисилана, который может быть использован как источник кремния при изготовлении полупроводников. Сущность изобретения: осуществляют взаимодействие гексаэтоксидисилана с алкилалюминийгидридом, которое проводят в присутствии алкоксипроизводного алюминия или алкилалюмоксана в количестве 0,1-10,0 % от массы исходного алкилалюминийгидрада.
RU93055559/25A1993-12-131993-12-13Способ получения гидрида кремния
RU2085487C1
(ru)