RU2817826C1

RU2817826C1 - Электрооптический модулятор поляризованного излучения

Info

Publication number: RU2817826C1
Application number: RU2023130156A
Authority: RU
Inventors: Валерий Иосифович Скоморовский; Галина Ивановна Кушталь; Любовь Сергеевна Токарева; Сергей Вячеславович Фирстов; Валерий Анатольевич Химич; Сергей Евгеньевич Зайченко
Filing date: 2023-11-20
Publication date: 2024-04-22

Abstract

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается электрооптического модулятора поляризованного излучения на основе продольного электрооптического эффекта. Электрооптический модулятор содержит электрооптический кристалл, обладающий продольным электрооптическим эффектом. На рабочие поверхности кристалла последовательно нанесены два прозрачных пленочных покрытия: защитное (оксид ниобия) и токопроводящее (оксид индия-олова). Подвод модулирующего напряжения осуществлен через контактные кольца, диффузно скрепленные индием по всему периметру токопроводящего покрытия поверхностей кристалла. Рабочие поверхности кристаллов внутри колец соединены с оптическими окнами на иммерсии. Боковая поверхность кристалла между кольцами и независимо зазоры между кольцами и оптическими окнами защищены герметиком. Технический результат заключается в защите модулятора от неблагоприятных окружающих атмосферных условий, увеличении срока его службы, улучшении эксплуатационных характеристик модулятора при измерениях параметров поляризации излучения в широком диапазоне частот при любой форме управляющих напряжений. 2 ил.

Description

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к системам регулирования интенсивности и поляризации оптического излучения.

В научных исследованиях и эксперименте широко применяют электрооптический модулятор (ЭОМ), содержащий ячейку Поккельса, действие которой основано на продольном электрооптическом эффекте в твердых одноосных кристаллах, например KDP и DKDP, несмотря на необходимость приложения к ним высокого управляющего напряжения. Как модулятор поляризации в качестве управляемой напряжением волновой пластинки в сочетании с другими поляризационными элементами электрооптический модулятор используется для эффективного анализа состояния поляризации - параметров Стокса излучения, например измерениях магнитных полей на Солнце.

Требования, предъявляемые к работе модулятора с ячейкой Поккельса, касаются следующих параметров:

- Управление от источника синусоидального напряжения или от постоянного, знакопеременного импульсного напряжения, обеспечение заданной крутизны формы фронта оптического сигнала;

- Однородность сдвига фазы от управляющего напряжения по полю зрения модулятора;

- Искажения волнового фронта оптического излучения по полю зрения;

- Потери в модуляторе из-за отражения на поверхностях и поглощения;

- Наведенное двойное преломление из-за механических напряжений в модуляторе;

- Угловая апертура;

- Возможность работы в условиях влажной атмосферы и низкой температуры;

- Стабильность параметров.

Этим требованиям в их экстремальном значении должны удовлетворять электрооптические модуляторы поляризации, используемые, например, для астрофизических наблюдений. При наблюдениях солнечных магнитных полей на телескопе могут встречаться такие поляриметрические измерения, в которых могут быть нужны как длительные выдержки с высокой крутизной временного фронта, так и высокая скорость получения последовательностей кадров. Для этого необходимо, чтобы ЭОМ перекрывали широкий частотный диапазон от нуля до нескольких килогерц и выше. На линейном поле оптического окна модулятора должны сохраняться дифракционное качество волнового фронта оптического излучения и однородность фазового сдвига, чтобы измерять степень поляризации с точностью до 10^-4 В высокогорной астрофизической обсерватории ЭОМ могут эксплуатироваться в условиях влажной атмосферы, пониженного атмосферного давления и изменения окружающей температуры от -30 до +30 градусов Цельсия. Используемые в ЭОМ кристаллы KDP, DKDP очень гигроскопичны и требуют высокое управляющее напряжение. Поэтому ЭОМ должны иметь защиту от влаги и пробоя высоким напряжением.

В известном решении фазовый модулятор [1] включает в себя кристалл DKDP, защитные стекла с нанесенными прозрачными электродами, герметичный корпус, в котором между защитными стеклами в прозрачной жидкой диэлектрической иммерсии располагают электрооптический кристалл. Недостатком этого модулятора является несоответствие приложенного напряжения и действующего внутреннего поля, как проявление эффекта электрической поляризуемости электрооптического кристалла [2]. На поверхностях кристалла накапливаются заряды создающие внутри кристалла поле направленное навстречу приложенному. В результате снижается глубина модуляции на рабочих частотах, а на низких и вовсе приближается к нулю. Это приводит к невозможности использовать такой модулятор при работе с современными многоэлементными CCD фотоприемниками, для которых время считывания достаточно велико. А в астрономии к этому добавляется еще и малая освещенность фотоприемника, что требует увеличения времени экспозиции и тем самым вынуждает перейти к низким частотам модуляции.

В устройстве [3] электрооптическая ячейка с кристаллом DKDP, обладающим продольным электрооптическим эффектом, собрана в корпусе из электроизоляционного материала со световыми окнами. Напряжение подведено к рабочим поверхностям кристалла (перпендикулярным оси Z) с помощью прижатых к кристаллу непрозрачных, с центральным отверстием, кольцевых электродов, не пересекающих световой пучок. Сборка кристалл - электроды установлена в корпус, окна которого герметизированы с помощью прозрачных иллюминаторов. В корпус залита иммерсия с показателем преломления, близким к показателям преломления иллюминаторов и кристалла, чтобы уменьшить потери на отражение. Эта иммерсия служит также электроизолирующей жидкостью, так как омывает почти весь кристалл и удерживается в корпусе герметизирующими соединениями. Управляющее напряжение к электродам подведено шинами, которые также загерметизированы в корпусе. Достоинствами модулятора являются его надежная защита от электрического пробоя высоким напряжением и отсутствие на пути светового пучка прозрачных или сетчатых электродов, что обеспечивает высокое пропускание. Однако использование кольцевых электродов приводит к неоднородностям электрического поля поперек открытой апертуры. Напряженность поля по апертуре изменяется от максимума вокруг внутреннего края колец до минимума в их геометрическом центре. При таком «кольцеваний» необходимо прикладывать напряжение на 10-15 процентов выше, чем при однородном поле. Частичную компенсацию неоднородностей достигают тем, что увеличивают длину кристалла и делают приблизительно на 30 процентов больше, чем диаметр открытой апертуры. Но при этом возникают недопустимые неоднородности фазового сдвига по угловому полю зрения ячейки. Кроме того, деформация иллюминаторов, неизбежная при герметизации корпуса, приводит к деформации волнового фронта излучения, проходящего через модулятор, а давление прижатых электродов на кристалл вызывает двойное преломление, искажающее электрооптический эффект.

Известен также модулятор [4], в котором электрооптический кристалл DKDP изготовлен в форме цилиндра, ось которого совпадает с оптической осью кристалла. На концы боковой стенки цилиндра напылением нанесено токопроводящее покрытие. Два электрода в виде плоских тонких металлических колец обеспечивают мягкие контакты с токопроводящими покрытиями, чтобы не деформировать кристалл и избежать двойного преломления, вызванного этой деформацией. Кабельные разъемы прикреплены к плоским кольцам. Вся сборка для защиты от влаги и электрического пробоя помещена в заполненный иммерсией герметичный корпус, с прикрепленными регулируемыми торцевыми иллюминаторами. Параллельность иллюминаторов и их наклон к оптической оси можно регулировать дифференциальными винтами для уменьшения переотражения от поверхностей. По сравнению с предыдущим модулятором электроды ячейки Поккельса в виде цилиндров и соединительные кабели, подведенные как можно ближе к поверхности цилиндров, сводят конфигурацию к минимальной емкости и индуктивности, что на порядок улучшает однородность приложенного поля по апертуре ячейки и повышает скорость переключения. Подведение напряжения кольцевыми электродами к боковой поверхности кристалла дает преимущество в достижении максимальной оптической прозрачности ячейки Поккельса (нет поглощающих токопроводящих покрытий на пути луча света), но все же это не обеспечивает получение однородного электрического поля. Неоднородность пропускания для всех размеров ячеек не превосходит 8%, когда отношение длины кристалла к его диаметру находится в пределах от 0.8 до 2.0 [5]. Кроме того, необходимо, чтобы соотношение расстояний между электродами и апертурой самого электрода составляло ~ 1.2. Поэтому для выполнения этих условий при больших поперечных размерах ячейки увеличивают длину электрооптического кристалла, что приводит к увеличению зависимости индуцированного сдвига фаз от угла падения луча, т.е. к уменьшению угловой апертуры электрооптического модулятора, и он не может быть использован в поляризационных измерениях излучения протяженных объектов. Кроме того, невыполнение «мягкого» электрического контакта из-за несоблюдения жестких требований на диаметр при изготовлении электродных колец приводит к их давлению на кристалл и, как следствие, к неуправляемому двойному преломлению.

Решение для увеличения углового поля модулятора с сохранением фазового сдвига по полю зрения дает модулятор, в котором управляющее напряжение подведено жидкими прозрачными электродами. Они имеют высокую электропроводность, которая обеспечивает однородность поля в сочетании с низкими оптическими потерями. При использовании подвода напряжения с помощью жидких электродов можно уменьшить длину кристаллической ячейки и увеличить угловую апертуру ЭОМ. Показано [6], что применение жидких электродов увеличивает динамический диапазон электрооптических модуляторов по сравнению с применением кольцевых электродов. Однако, кристаллы ДКДР хорошо растворимы и могут быть легко разрушены. Нанесение толстых пленок для химической защиты кристалла невозможно использовать: хотя они достаточно прозрачны, но имеют высокое удельное сопротивление. Это приводит к увеличению емкости и сопротивления в цепи питания и требует значительного увеличения поля, необходимого для полуволнового вращения плоскости поляризации.

Наиболее близким техническим решением, принятым за прототип, является модулятор поляризации [7], в котором токопроводящие прозрачные покрытия оксида индия-олова (ITO) нанесены непосредственно на рабочие поверхности электрооптического кристалла, а управляющий сигнал подведен к токопроводящим прозрачным покрытиям по всему периметру через контактные кольца, которые диффузно скреплены индием с токопроводящими покрытиями кристалла. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами, установленными на иммерсии внутри контактных колец. Сборка - электрооптический кристалл с контактными кольцами и защитными оптическими окнами - помещена в оправу с герметиком.

Достоинства этого модулятора следующие:

Если электроды нанесены непосредственно на поверхность кристалла, эффект поляризации, уменьшающий и искажающий управляющее напряжение, полностью отсутствует (между прозрачным электродом и кристаллом нет клеевого или иммерсионного соединительного слоя), и это позволяет вести управление поляризацией и измерение параметров Стокса излучения в широком диапазоне частот модуляции - от доли Гц до нескольких МГц при любой форме управляющих напряжений (синусоидальной или прямоугольной).

При кольцевом подводе управляющего напряжения по всему периметру токопроводящего покрытия кольцевые контакты выдерживают значительную величину подводимых токов, возникающих при использовании напряжений с высокой крутизной фронтов.

Само контактное кольцо со стороны кристалла имеет такое же токопроводящее покрытие, как и электрооптический кристалл. Это увеличивает силу диффузионного соединения индием кольца с кристаллом. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами, расположенными на иммерсии внутри контактных колец

Недостатки модулятора, принятого за прототип:

В процессе эксплуатации модулятора в аморфных пленках прозрачных токопроводящих покрытий на обеих поверхностях электрооптического кристалла KDP (DKDP) появляются образования кристаллической секторной и слоистой структуры, рассеивающие проходящее излучение. Рассеяние меняет состояние поляризации объекта и вносит ошибку в измерения.

Причина появления этого недостатка следующая. Токопроводящую прозрачную пленку ITO осаждают в вакууме магнетронным распылением мишени из сплава индий - олово в атмосфере смеси аргона и кислорода при комнатной температуре, чтобы не разрушить электрооптический кристалл, например DKDP [8]. Получаемые в этом процессе аморфные ITO пленки обеспечивают заданные параметры сопротивления и прозрачности токопроводящих покрытий модулятора. Однако, при эксплуатации модулятора под воздействием нагревания, например, в солнечном пучке и вибраций от пьезоэффекта с течением времени начинается кристаллизация и гетероэпитаксиальное ориентирование атомов [9] образующихся кристаллов токопроводящего прозрачного покрытия ITO, нанесенного на электрооптический кристалл. При кристаллизации аморфная пленка ITO воспроизводит кристаллическую структуру Z-среза DKDP - подложки. Дислокации, имеющиеся в кристалле [10,11], переходят в слой ITO: атомы кристаллизующегося аморфного слоя стягиваются вокруг следов границ пирамид роста, дислокаций, слоев роста, плоскостей скольжения. Материалы кристаллизующейся токопроводящей прозрачной пленки ITO и подложки -кристалла DKDP -различны и жестко связаны. Из-за несоответствия коэффициентов теплового расширения и постоянных кристаллических решеток этих материалов возникают механические напряжения. При их критическом значении механизмом, допускающим упругую релаксацию напряжений, является распад кристаллической пленки на отдельные островки и формирование квазипериодического рельефа. Иммерсия, с помощью которой прикрепляют защитные окна модулятора к поверхностям электрооптического кристалла DKDP, заполняет промежутки в рельефе слоя токопроводящего прозрачного покрытия. Этот слой становится неоднородной оптической средой из-за разностей показателей преломления пленки ITO и иммерсии. Неоднородности, (которые сами малы по размеру), при расстояниях между ними больше, чем длина волны света, ведут себя как независимые вторичные источники света. Волны, которые они излучают, не когерентны и при наложении не интерферируют. Вследствие этого неоднородная среда рассеивает свет по всем направлениям. Это уменьшает точность измерений с модулятором параметров поляризованного света из-за просачивания сигналов, вызванных рассеянным светом, снижает эксплуатационные характеристики и срок работоспособности модулятора.

Для защиты от влаги электрооптический кристалл с токопроводящими покрытиями и контактными кольцами с оптическими окнами расположен в оправе. Боковая поверхность электрооптического кристалла герметизирована составом, затвердевшим в оправе. При эксплуатации в открытых атмосферных условиях, например на телескопе, под влиянием изменения окружающей температуры и нагрева в солнечном пучке оправа с герметиком деформируются и оказывают давление на электрооптический кристалл из-за разных коэффициентов расширения. В результате этого в кристалле возникает неуправляемая поляризация, искажающая полезный сигнал.

Кроме того, зазоры между боковыми поверхностями оптических окон и внутренними поверхностями контактных колец не герметизированы. Иммерсия в негерметизированных зазорах сорбирует атмосферную влагу, которая разрушает водорастворимый электрооптический кристалл. Это снижает эксплуатационные характеристики и срок работоспособности модуляторов.

Целью изобретения является увеличение срока службы и улучшение эксплуатационных характеристик модулятора при измерениях параметров поляризации излучения в широком диапазоне частот при любой форме управляющих напряжений (синусоидальной или прямоугольной).

Поставленная задача решается благодаря тому, что в электрооптическом модуляторе поляризованного излучения, в котором токопроводящие прозрачные покрытия из оксида индия-олова нанесены на рабочие поверхности электрооптического кристалла, модулирующее напряжение к кристаллу подведено по периметру покрытий контактными кольцами, скрепленными индием с токопроводящими покрытиями кристалла, кристалл защищен оптическими окнами на иммерсии и оправой, предусмотрены следующие отличия.

На рабочие поверхности кристалла DKDP перед нанесением прозрачного покрытая ITO сначала наносят прозрачное покрытие для защиты покрытия ITO от кристаллизации и гетероэпитаксиального ориентирования атомов образовавшихся кристаллов покрытия ITO и распада его на отдельные островки на поверхности кристалла DKDP. Кристаллическая решетка этого первого прозрачного покрытия не должна быть сопряженной с кристаллической решеткой электрооптического кристалла DKDP - подложки покрытия: гете-роэпитаксия в данном случае не имеет места. Например, покрытие из оксида ниобия Nb2O5, полученное реактивным магнетронным напылением при комнатной температуре, имеет аморфную структуру и параметры решетки а=3.60, в=3.61 [12]. в то время как параметр решетки аморфного покрытия ITO а=10.2 [13] более близок к параметрам решетки кристалла DKDP (а=7.45. в=7.45, с=6.97) [14]. Покрытие из оксида ниобия стабильно на воздухе и в воде, устойчиво к кислотам и щелочам. Пленка из оксида ниобия не только защищает ITO от кристаллизации и разрушения, но и предотвращает повреждение электрооптического кристалла от влаги. Для максимального пропускания света модулятором толщина d этой защитной пленки должна удовлетворять условию d = λ_раб/4n, где λ _раб - длина волны середины рабочего диапазона модулятора, n - показатель преломления вещества защитного слоя. Для оксида ниобия n = 2.34 (λ_раб=500 нм) толщина пленки равна 52 нм. При такой толщине пленки увеличение управляющего напряжения не требуется.

В предложенном модуляторе герметизированы не только боковая поверхность электрооптического кристалла между токопроводящими кольцами, но также отдельно герметизированы зазоры между токопроводящими кольцами и оптическими окнами. Твердеющие составы этих участков не связаны с оправой, в которой модулятор эластично закреплен (например, пенополиуретаном). При эксплуатации в условиях резких перепадов температур эластичное крепление не передает деформацию оправы на кристалл, предотвращает сдавливание кристалла и появление неуправляемой поляризации. Герметик в зазоре между оптическими окнами и токопроводящими кольцами не пропускает в иммерсию влагу, защищает водорастворимый электрооптический кристалл от разрушения.

Сущность изобретения поясняется чертежами:

Фиг. 1 представляет собой блок-схему варианта электрооптического модулятора.

На фиг. 2 приведены результаты испытаний электрооптического модулятора.

Схематическое изображение электрооптического модулятора в оправе представлено на рисунке 1. Электрооптический кристалл 1, например DKDP, имеет на двух рабочих поверхностях два прозрачных покрытия: оксид ниобия 2 и токопроводящее покрытие оксид индия-олова 3. Управляющий сигнал подключен к модулятору с помощью клемм 4, и далее к токопроводящим прозрачным покрытиям обеих поверхностей электрооптического кристалла напряжение подведено по всему периметру через электропроводящие контактные кольца 5. Контактные кольца изготовлены из материала, у которого коэффициент расширения близок к коэффициенту расширения электрооптического кристалла (в направлении перпендикулярном оптической оси кристалла), например, из алюминия, чтобы в кристалле не возникали деформации и напряжения при изменении окружающей температуры. Индий плохо смачивает металлический алюминий, но алюминий возможно активировать [15] с помощью эвтектики, в которой содержатся индий, олово и др. Поэтому контактные кольца со стороны кристалла также имеют токопроводящее покрытие 6. Кольца прикреплены к токопроводящим поверхностям электрооптического кристалла с помощью кольцевой прокладки из индия 7 за счет диффузии индия и в контактные кольца, и в кристалл при соединении под давлением. Рабочие поверхности электрооптического кристалла защищены от воздействия внешней атмосферы оптическими окнами 8, расположенными на иммерсии 9 внутри контактных колец. Герметик 10 в зазоре между окнами и кольцами защищает от влаги иммерсию и рабочие поверхности электрооптического кристалла, а герметик 11 - боковую поверхность кристалла между контактными кольцами. Вся сборка на эластичных опорах 12 установлена в защитную оправу 13.

Испытания модулятора показали его работоспособность в режиме постоянного и переменного управляющих сигналов, при этом электрическая прочность модулятора позволяет достигать полуволновых напряжений в видимой области спектра. На фиг.2а показана интерферограмма волнового фронта излучения по апертуре модулятора диаметром 50 мм, находящегося под импульсным управляющим напряжением частотой 0.6 Гц. Интерферограмма показывает, что однородность индуцированного двойного преломления по апертуре и искажения волнового фронта находятся в пределах 0.1 λ Растекание заряда при подаче импульсного напряжения ±1,9 кВ меньше 1% (фиг. 2б).

В предложенном устройстве линейные размеры светового окна модулятора принципиально не ограничены. Угловое поле модулятора увеличивается с уменьшением толщины кристалла. При толщине кристалла модулятора 2 мм еще не наступает электрический пробой кристалла от приложенного управляющего напряжения, и такой модулятор может быть использован для измерения поляризации протяженных объектов.

Литература

1. В.С. Марков, Г.Н. Домышев, В.И. Скоморовский. Работа электрооптического модулятора магнитографа на низких частотах. II. Нестабильность действующего напряжения в электрооптическом кристалле. Исследования по геомагнетизму, аэрономии и физике Солнца, выпуск 83, с 141-149. М.:, Наука, 1988.

2. В.М. Григорьев, Н.И. Кобанов. Исслед. по геомагнетизму, аэрономии и физике Солнца. - М.: Наука, 1980. - Вып.52. - С.155-176.

3. Patent US 3659917 POCKELSCELLS, 1979: https://patents.***.com/patent/US3659917

4. L.L. Steinmetz, Т.W. Pouliot and В.С. Johnson. Cylindrical, Ring-Electrode KD*P ElectroopticModulator," Appl. Opt 12, 1468-1471 (1973) https://opg.optica.org/ao/abstract.cfm?URI=ao-12-7-1468

5. N.P. Zanadvorov, V.A. Malinov and A.D. Starikov. Large-aperture electrooptic switches with cylindrical electrodes Soviet Journal of Quantum Electronics, Volume 18, Number 61988 American Institute of Physics.

6. W.E. Martin. Large aperture Pockels Cells, Laser Program Annual Report-1979, V.1, p 210-2-213.

7. Прошин В.А., Скоморовский В.И., Душталь Г.И., Мамченко М.С., Химич В.А. ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЙ МОДУЛЯТОР ПОЛЯРИЗОВАННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ RU 130094 U1, Опубл. 10.07.2013, Бюл. №19.

8. Бородин А., Петров А.С. СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ Патент 2 241065 С23С 14/08 2001 -2004 2 241 065.

9. Шугуров А.Р. Влияние кривизны границы раздела пленка/подложка на закономерности деформации разрушения токих металлических пленок и керамических покрытий при внешних воздействиях. Дисс. на соискание уч. степени д.ф. - м.н., Томск, 2016. http://www.ispms.ru/files/Dissertacii_D038_1/Shugurov/Dis_Shugurov.pdf

10. De-Gao Zhong, Teng Bing, Zheng-He Yu, Shu-Hua Wang, Xue-Jun Jiang, Lin-Xiang He, and Wan-Xia Huangjnvestigation on the regeneration of Z-cut KDP crystals Cryst. Res. Technol. 46, No. 9, 911-916 (2011) / https://www.researchgate.net/publication/264649530 _Investigation_on_the_regeneration_of_Z-cut_KDP_crystals

11. Akhtar F., Podder J. A Study on Structural, Optical, Electrical and Etching Characteristics of Pure and L-Alanine Doped Potassium Dihydrogen Phosphate Crystals, Journal of Crystallization Process and Technology, Vol.1 No. 3, 2011, pp.55-62. doi: 10.423 6/i cpt.2011.13 009.

12. Lomygin A.D., Paveleva A.A., Sakvin I.S. PROPERTIES OF NIOBIUM AND NIOBIUM PENTOXIDE IN MICRO- AND NANOSTRUCTURES Journal International Student Scientific Magazine. - 2018. - №6 - P. 176 УДК 620.22:669.017.

13. Zhanxu Chen, Runhong Ding Feng Wu and Wei Wan Lattice Ctonslant ITO Periodic Nanostructures and Improvement of the Light Extraction Efficiency of Ught-Emitting Diodes, Microm-achines 2021, /2(6), 693; https://doi.org/103390/mil12060693

14. Mingxia Xu, Zhengping Wang, Baoan Liu, Shaohua Ji, Xun Sun, Xinguang Xu Proceedings Volume 8206, Pacific Rim Laser Damage 2011: Optical Materials for High Power Lasers; 82062B (2012) https://doi.org/10.l 117/12.910477

15. Parmuzinaa A.V., Kravchenko O.V. Activation of aluminium metal to evolve hydrogen from water International Journal of Hydrogen Energy Volume 33, Issue 12, June 2008, P. 3073-3076.

Claims

Электрооптический модулятор поляризованного излучения на основе продольного электрооптического эффекта, содержащий кристалл с прозрачным токопроводящим покрытием из оксида индия-олова на рабочих поверхностях, к которым модулирующее напряжение подведено через контактные кольца, диффузно скрепленные индием по всему периметру покрытия, оптические окна, установленные на кристалле внутри контактных колец на иммерсии в капиллярном зазоре, и оправу, в которой герметизирована боковая поверхность электрооптического кристалла, отличающийся тем, что на рабочие поверхности электрооптического кристалла последовательно нанесены два прозрачных покрытия, первым - защитное покрытие оксида ниобия и вторым - токопроводящее покрытие оксида индия-олова, герметизированы зазоры между контактными кольцами и оптическими окнами и отдельно герметизирована боковая поверхность электрооптического кристалла модулятора, который эластично закреплен в оправе.