RU2797482C1 - Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления - Google Patents
Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2797482C1 RU2797482C1 RU2022123470A RU2022123470A RU2797482C1 RU 2797482 C1 RU2797482 C1 RU 2797482C1 RU 2022123470 A RU2022123470 A RU 2022123470A RU 2022123470 A RU2022123470 A RU 2022123470A RU 2797482 C1 RU2797482 C1 RU 2797482C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glass
- laser
- substrate
- cutting
- sheet
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Изобретение относится к области лазерной техники, а именно к способам и оборудованию для резки широкоформатного прозрачного листа стекла импульсным лазером. Лазерную резку осуществляют путем создания внутри стекла разделительной напряженной грани в виде дефектной структурной области по линии реза и по всей толщине стекла, вследствие локального оптического пробоя стекла под действием сфокусированного импульсного лазерного излучения в виде наклонного луча. Начинают создание дефектной структурной области в стекле, содержащем по меньшей мере один слой стекла в направлении от нижней его поверхности к верхней, далее луч смещается вдоль линии реза и снова повторяет процесс от низа к верху и по меньшей мере за один проход по линии реза. Лист стекла в процессе резки лежит непосредственно на подложке стола или парит на воздушной подушке над ней в состоянии левитации. Используют подложку, верхний слой которой выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, прошедшего через толщу стекла при создании в стекле дефектной структурной области у нижней его поверхности. Выполнен верхний слой подложки в виде набора площадок в виде квадратов или прямоугольников, или ромбов, или многогранников в виде сотовой структуры с погрешностью по среднему уклону к горизонтали на базисной длине 6 метров не более 300 мкм в любом горизонтальном направлении, а по вертикали в местах сопряжения смежных площадок не более 150 мкм, причем в площадках имеется по меньшей мере одно отверстие для поступления сжатого воздуха от пневматической системы для создания состояния левитации листа за счет воздушной подушки под стеклом при резке или его перемещении вдоль поверхности подложки в моменты загрузки/выгрузки. Обеспечивается повышение точности линий реза, скорости, безопасности процесса резки в отсутствии токсичных газов разложения подложки, в возможности резки многослойных стекол, снижение влияния лазерного излучения на подложку стола при левитации листа стекла во время резки. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Область техники
Изобретение относится к области лазерной техники, а именно к способам и оборудованию для резки листов стекла импульсным лазером.
Уровень техники
Существующие способы резки хрупких прозрачных материалов, в частности промышленного стекла, основаны на оптическом пробое и образовании дефектных треков в объеме материала под действием сфокусированного лазерного излучения. При этом особое внимание уделяют не только эффекту пробоя, но и тому материалу на котором лежит прозрачный материал, поскольку так или иначе он попадает действие лазерного излучения и не должен препятствовать ходу основного процесса. В качестве рабочих столов используют конструкции с металлическими щетинами или пластинами для опоры на них разрезаемого материала или мягкие пористые подложки сильно рассеивающие лазерное излучение. Однако металлическая основа под стеклом может нанести вред не только поверхности стекла, запыляя его продуктами плавления металла, но и загрязняя атмосферу выделяемыми продуктами горения, в том числе и азотными соединениями, не говоря уже о сложности выравнивания такой подложки. Мягкие подложки, с другой стороны, деформируются и не всегда выдерживают воздействие лазерного излучения, а продукты летучих фракций, образующиеся под воздействием лазерного излучения, оседают на нижней поверхности стекла, что недопустимо в технологическом процессе.
Известно изобретение RU 2720791 С1, в котором предлагается способ разделения хрупких материалов, например листов стекла, прозрачных для лазерного излучения и слабо поглощающих его, по сформированной в результате оптического пробоя материала практически сплошной напряженной грани в сечении листа стекла (Фиг. 1, общий вид на лазерную головку 100). Формируют напряженную грань 1 для разделения из прозрачного для лазерного излучения материала, например лист стекла 2, для чего в его сечении формируют массив полостей в результате локального оптического пробоя материала при его облучении сфокусированным лазерным пучком с фиксированным фокусным расстоянием в процессе наклонной развертки лазерного луча 3, при продольном смещении вдоль поверхности стекла, причем:
- формируют за один проход луча 3 по направлению от одной поверхности листа до противоположной наклонную по существу линейную цепочку 4 близких полостей в объеме материала, по меньшей мере, одну полость от каждого импульса, а
- при другом проходе луча, в результате относительного поступательного продольного смещения луча и листа стекла, формируют следующую близкую цепочку полостей и в конце такого поступательного продольного смещения и наклонной циклической развертки луча в одной плоскости, получают по существу сплошной протяженный участок оптических полостей в виде внутренней пузырчатой напряженной грани 1, по которой и осуществляют разделение листа стекла без дефектных сколов по окончании процесса продольной смещения луча вдоль его поверхности. Существенно, что устройство формирования напряженной грани в заданной плоскости в объеме прозрачного материала для последующего его разделения по указанному выше способу, содержит источник импульсного лазерного излучения 5, который может быть представлен твердотельным лазером или волоконным, с коллиматором 6, после которого пучок падает на отклоняющую систему 7, обеспечивающее циклическое сканирование луча от одной поверхности стекла до другой противоположной (направление не имеет значения - прямое или обратное). Фокусировка пучка обеспечивается фокусирующей оптической системой 8, настройка ее не изменяется на протяжении всего процесса обработки. При этом лазерный пучок падает на поверхность под острым углом. Угол падения луча по отношению к нормали поверхности при формирования напряженной грани может быть меньше 60 градусов в ортогональной плоскости (для формирования прямого скола) или лежать в любой другой наклонной плоскости под углом до 45 градусов к нормали (для формирования косого скола
- фаски, при больших углах растут потери на отражение), т.е. угол наклонной плоскости, плоскости реза, лежит в пределах 45-90 градусов к поверхности стекла и задается системой ориентации луча в координатном пространстве (по трем осям 9 пространства X, Y, Z) по отношению к поверхности стекла. А продольное поступательное смещение луча 3 вдоль поверхности стекла обеспечивает привод 10 для его однонаправленного вдоль оси X поступательного смещения, которое осуществляют по неподвижно закрепленному листу стекла с опережением относительно области формирования напряженной грани. Утверждается, что метод безразличен к направлению движения луча в сечении от верхней или тыльной поверхности стекла. Однако это не так, поскольку при движении луча от верхней стороны стекла к нижней будет наблюдаться частичное рассеяние излучения на верхнем дефекте при образовании нижнего, и кроме того при образовании пробоя у нижней стороны совершенно не ясно как подложка стола будет влиять на поверхность стекла, ввиду осаждения продуктами распада и горения, поэтому для резки широкоформатных стекол метод недоработан в плане промышленной резки листового стекла на столе.
Для промышленной резки стекла используют полезную модель RU 130308 U1 - стол для обработки неметаллических прозрачных материалов лазерным излучением, имеющий рабочую поверхность, на которой расположен по меньшей мере один покрывающий слой для позиционирования обрабатываемого материала, причем указанный по меньшей мере один покрывающий слой выполнен из материала, который является прозрачным для лазерного излучения в диапазоне длин волн 300-3000 нм и представляет собой упругоэластичный вспененный материал с закрытоячеистой структурой плотностью от 20 до 200 кг/м3 представляет из себя пенолон толщиной от 1 до 50 мм. Материал указанного по меньшей мере одного покрывающего слоя является прозрачным для импульсного лазерного излучения с длинами волн в диапазоне 1030-1120 нм, предпочтительно 1070 нм., в котором упругоэластичный вспененный материал является физически или химически сшитым и материал указанного по меньшей мере одного покрывающего слоя является прозрачным для импульсного лазерного излучения с длинами волн в диапазоне 1030-1120 нм, предпочтительно 1070 нм. Однако недостатком такого способа резки на пенолоне и самого устройства является то, что материал деформируется под весом массивного стекла, возникают перекосы и самое главное, что материал не выдерживает импульсное излучение пикосекундного лазера с центральной длиной волны 1,03-1,06 мкм с мощностью 50-200 Вт и энергией в импульсе в диапазоне 40-200 мкДж, Поскольку стол с пенолоном имеет отверстия для создания воздушной подушки при перемещении стекла, то из-за деформационного износа пенолона изменяется распределение давления воздушной подушки под листом стекла, что осложняет процесс эксплуатации стола с таким покрытием.
Указанные выше недостатки устранены в предлагаемом способе и аппаратуре для промышленной лазерной резки широкоформатных листов промышленного стекла типа "Джамбо" 1 (1) "Джамбо" ("Jumbo", англ. - огромный) - международный общепринятый формат листового стекла размером 6000×3210 мм. и других форматов заготовок до 12000×3210 мм.
Раскрытие изобретения
Целью настоящего изобретения является развитие способа лазерной резки широкоформатных листов промышленного стекла и аппаратуры для его осуществления. Технический результат состоит в повышении точности линий реза, скорости, безопасности процесса резки в отсутствии токсичных газов разложения подложки, в возможности резки многослойных стекол, в том числе триплекса, снижение влияния лазерного излучения на подложку стола при левитации листа стекла во время резки. При случайном испарении подложки в виде полиэтилена вреда от этого не более, чем при горении парафиновой свечи, отсутствуют токсичные выделения и не образуются азотные соединения.
В изобретении предлагается способ лазерной резки широкоформатного прозрачного листа стекла путем создания внутри стекла разделительной напряженной грани в виде дефектной структурной области по линии реза и по всей толщине стекла, вследствие локального оптического пробоя стекла под действием сфокусированного импульсного лазерного излучения в виде наклонного луча, отличающийся тем, что начинают создание дефектной структуры в стекле, содержащем по меньшей мере один слой стекла в направлении от нижней его поверхности к верхней и по меньшей мере за один проход по линии реза, причем лист стекла в процессе резки лежит непосредственно на подложке стола или парит на воздушной подушке над ней в состоянии левитации, причем используют подложку, верхний слой которой выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, прошедшего через толщу стекла при создании в стекле дефектной структурной области у нижней его поверхности.
Также предлагается для осуществления указанного способа аппаратура для лазерной резки широкоформатного прозрачного листа стекла, покоящегося на столе или находящегося над столом в состоянии левитации на воздушной подушке для осуществления, содержащая:
- импульсный лазер с блоком управления и лазерной головкой;
- сканирующее оптическое устройство, содержащее по меньшей мере один гальванически отклоняемый зеркальный элемент в виде зеркала или вращаемый зеркальный многогранник;
- оптическую фокусирующую систему, на выходе сканирующего оптического устройства, в виде объектива с постоянным фокусным расстоянием и наклонной фокальной плоскостью по отношению к плоскости листа;
- портал с системой координатной привязки по меньшей мере по трем степеням свободы, по трем осям X, Y, Z относительно поверхности стекла для перемещения лазерной головки лазера.
- горизонтальный стол с подложкой и с программируемым координатным приводом на портале над столом для поступательного перемещения лазерной головки в пределах стола и по вертикали, верхний слой подложки которого выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, тогда как сфокусированное лазерное излучение проникает сквозь стекло отклоняясь в направлении от нижней поверхности стекла к верхней в пределах апертуры наклонной фокальной плоскости оптической фокусирующей системы в результате отклонения луча сканирующим устройством, создавая разделительную напряженную грань в стекле по линии реза на толщину стекла или его части за один проход по линии реза;
- воздушную пневматическую систему для создания воздушной подушки под левитирующим листом стекла при резке и перемещении, при установке и снятии;
- базисные упорные фиксаторы положения листа стекла при его левитации над столом и выдвижные по вертикали опорные фрикционные механизмы с датчиками стола для перемещения листа при загрузке и выгрузке в автоматическом режиме. Другие преимущества и отличительные особенности предложенного изобретения станут очевидными из нижеследующего описания предпочтительных вариантов его осуществления, приведенных со ссылкой на прилагаемые чертежи, что иллюстрируется ниже на фигурах и в их кратком описании.
Краткое описание чертежей
Фиг. 1 (прототип RU 2720791 С1) - общий вид лазерной головки для резки стекла.
Фиг. 2 - общий вид процесса резки листа стекла, левитирующего над поверхностью стола, загружаемого или снимаемого с помощью подвижных по вертикали опорных выдвижных фрикционных механизмов 205.
Фиг. 3 - общий вид аппаратуры для процесса резки листа стекла, левитирующего над поверхностью стола.
Описание изобретения
На фиг.2 представлен вид 200 процесса резки левитирующего над столом 201 листа стекла 2, над подложкой 202. Лист лежит (парит) на воздушной подушке 203, что обеспечивается поступлением сжатого воздуха через отверстия 204 в подложке. Резку стекла можно осуществлять как в лежачем на подложке состоянии, так и в левитирующем. В левитирующем случае меньше сказываются неровности поверхности стола, его деформация как реакция на внешние климатические условия и в ряде случаев левитация предпочтительнее, чем механический контакт с подложкой. Одна из причин состоит в снижении влияния лазерного излучения на материал подложки из-за дополнительного рассеяния на границах стекло-воздух-подложка при формировании импульсным сфокусированным излучением дефектной области у нижней стороны листа стекла ввиду его оптического пробоя. После такого воздействия на стекло луч движется вверх по наклонной траектории линейной цепочки 4 дефектов, формируя импульсные локальные пробои по мере приближения в верхней границе стекла, далее следует смещение по линии реза - вдоль оси X и снова возобновляются импульсы, начиная от нижней границы стекла к верхней, не испытывая рассеяния излучения на предыдущем треке от оптического пробоя в стекле, поскольку он находится ниже.
Существенно, что в указанном способе при резке толстых листов стекла по сравнению с глубиной формируемой лазером дефектной области при движении по лини реза стекла, разделительную напряженную грань 1 по всей толщине стекла формируют по вертикали в два и более захода по линии реза, каждый раз создавая новый вертикальный слой дефектов по линии реза в направлении от нижней границы стекла к верхней во избежание рассеяния лазерного излучения на создаваемых им структурных дефектах предыдущего слоя.
Существенно, что в указанном способе при резке многослойных листов стекла, в частности триплекса, разделительную напряженную грань по всей толщине стекла формируют по вертикали по меньшей мере в два захода по линии реза, по одному для каждого слоя стекла, каждый раз создавая новый вертикальный слой дефектов по линии реза в направлении от нижней границы стекла к верхней во избежание рассеяния лазерного излучения на создаваемых им структурных дефектах предыдущего слоя.
Существенно, что в указанном способе используют импульсный пикосекундный волоконный лазер с доставкой излучения по оптическому кабелю 211 длиной до 25 м, с центральной длиной волны 1,03-1,06 мкм с мощностью 50-200 Вт и энергией в импульсе в диапазоне 40-200 мкДж, причем в качестве верхнего слоя подложки используют полиэтилен низкого давления и высокой плотности 0,94-0,96 г/см3.
Существенно, что в указанном способе используют импульсный нано-, или пико, или фемтосекундный твердотельный лазер, в том числе дисковый или волоконный. Газовые лазеры использовать нецелесообразно ввиду их технико-экономических показателей.
На фиг.3, представлена аппаратура для осуществления предлагаемого способа - для резки широкоформатного прозрачного листового стекла 2, покоящегося на столе 201, на его подложке 202 или находящимся над столом в состоянии левитации на воздушной подушке 203, в состав аппаратуры входят:
- импульсный лазер с блоком управления 206 и лазерной головкой 100;
- сканирующее оптическое устройство 7, содержащее по меньшей мере один гальванически отклоняемый зеркальный элемент в виде зеркала или вращаемый зеркальный многогранник;
- оптическую фокусирующую система 8, на выходе сканирующего оптического устройства 7, в виде объектива с постоянным фокусным расстоянием и наклонной фокальной плоскостью по отношению к плоскости листа;
- портал 210 с системой координатной привязки по меньшей мере по трем степеням свободы, по трем осям 9 - X, Y, Z относительно поверхности стекла для перемещения лазерной головки лазера.
- горизонтальный стол 201 с подложкой 202 и с программируемым координатным приводом на портале 210 над столом для поступательного перемещения лазерной головки 100 в пределах стола и по вертикали, верхний слой подложки 202 которого выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, тогда как сфокусированное лазерное излучение проникает сквозь стекло отклоняясь в направлении от нижней поверхности стекла к верхней в пределах апертуры наклонной фокальной плоскости оптической фокусирующей системы в результате отклонения луча сканирующим устройством, создавая разделительную напряженную грань 1 в стекле по линии реза на толщину стекла или его части за один проход по линии реза;
- воздушную пневматическую систему 207 для создания воздушной подушки 203 под левитирующим листом стекла при резке и перемещении при установке и снятии;
- базисные упорные фиксаторы 208, 209 положения листа стекла при его левитации над столом и подвижные по вертикали опорные фрикционные механизмы 205 с датчиками стола для перемещения листа при загрузке и выгрузке в автоматическом режиме.
Аппаратура позволяет выполнять не только прямые вертикальные резы стекла, но и криволинейные, закругленные и наклонные. При выполнении наклонных резов координатный привод имеет вращательные степени свободы.
Существенно, что в аппаратуре верхний слой подложки выполнен в виде набора площадок в виде квадратов или прямоугольников, или ромбов, или многогранников с погрешностью по среднему уклону к горизонтали на базисной длине 6 метров не более, чем 300 мкм в любом горизонтальном направлении, а по вертикали в местах сопряжения смежных площадок не более 150 мкм, причем в площадках имеется по меньшей мере одно отверстие для поступления сжатого воздуха от пневматической системы для создания состояния левитации листа за счет воздушной подушки под стеклом при резке или его перемещении вдоль поверхности подложки в моменты загрузки/выгрузки, а в качестве верхнего слоя подложки стола используют полиэтилен низкого давления и высокой плотности 0,94-0,96 г/см3. Полиэтилен может быть представлен виде пленки или массивного материала.
Существенно, что в аппаратуре используют импульсный пикосекундный волоконный лазер с доставкой излучения по оптическому кабелю длиной до 25 м, с центральной длиной волны 1,03-1,06 мкм с мощностью 50-200 Вт и энергией в импульсе в диапазоне 40-200 мкДж.
Существенно, что в аппаратуре используют импульсный нано-, или пико-, или фемтосекундный твердотельный лазер, в том числе дисковый или волоконный.
Настоящее изобретение апробировано при резке широкоформатных промышленных монолитных стекол 6000x3210 мм толщиной от 2 до 20 мм, а также при резке многослойного стекла от 3 до 7 слоев, общей толщиной заготовки до 25 мм., в том числе стекол типа триплекс, с использованием пикосекундного волоконного иттербиевого лазера YLPP-100-10-100-R-GP (ООО «НТО ИРЭ-Полюс», https://www.ipgphotonics.com/ru). Длительность импульса 10-20 пс, мощность в импульсе до 100 мкДж, частота следования до 4 МГц. Для резки стекла толщиной 20 мм применена сканирующая система на основе гальваносканера IPG 2D MidPower, фокусирующей системы на основе Ф-тета линзы 100 мм, скорость продольного смещения до 160 мм/с.
Для специалистов в данной области техники должно быть очевидным, что изобретение не ограничено вариантами осуществления, представленными выше, и что в него могут быть включены изменения в пределах объема притязаний представленной формулы изобретения. Отличительные особенности, представленные в описании совместно с другими отличительными особенностями, в случае необходимости, могут также быть использованы отдельно друг от друга.
Claims (14)
1. Способ лазерной резки широкоформатного прозрачного листа стекла путем создания внутри стекла разделительной напряженной грани в виде дефектной структурной области по линии реза и по всей толщине стекла, вследствие локального оптического пробоя стекла под действием сфокусированного импульсного лазерного излучения в виде наклонного луча, отличающийся тем, что начинают создание дефектной структурной области в стекле, содержащем по меньшей мере один слой стекла в направлении от нижней его поверхности к верхней и по меньшей мере за один проход по линии реза, причем лист стекла в процессе резки лежит непосредственно на подложке стола или парит на воздушной подушке над ней в состоянии левитации, причем используют подложку, верхний слой которой выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, прошедшего через толщу стекла при создании в стекле дефектной структурной области у нижней его поверхности.
2. Способ по п. 1, в котором используют импульсный пикосекундный волоконный лазер с доставкой излучения по оптическому кабелю длиной до 25 м, с центральной длиной волны 1,03-1,06 мкм, мощностью 50-200 Вт и энергией в импульсе в диапазоне 40-200 мкДж, причем в качестве верхнего слоя подложки используют полиэтилен низкого давления и высокой плотности 0,94-0,96 г/см3, стойкий к воздействию рассеянного лазерного излучения.
3. Способ по п. 1, в котором используют импульсный нано-, или пико- или фемтосекундный твердотельный лазер, дисковый или волоконный.
4. Аппаратура для лазерной резки широкоформатного прозрачного листа стекла, покоящегося на столе или находящегося над столом в состоянии левитации на воздушной подушке для осуществления способа по п. 1, содержащая:
- импульсный лазер с блоком управления и лазерной головкой;
- сканирующее оптическое устройство, содержащее по меньшей мере один гальванически отклоняемый зеркальный элемент в виде зеркала или вращаемый зеркальный многогранник;
- оптическую фокусирующую систему, на выходе сканирующего оптического устройства, в виде объектива с постоянным фокусным расстоянием и наклонной фокальной плоскостью по отношению к плоскости листа;
- портал с системой координатной привязки по меньшей мере по трем степеням свободы, по трем осям X, Y, Z относительно поверхности стекла для перемещения лазерной головки лазера.
- горизонтальный стол с подложкой и с программируемым координатным приводом на портале над столом для поступательного перемещения лазерной головки в пределах стола и по вертикали, верхний слой подложки которого выполнен из полиэтилена низкого давления, стойкого к воздействию рассеянного лазерного излучения, тогда как сфокусированное лазерное излучение проникает сквозь стекло, отклоняясь в направлении от нижней поверхности стекла к верхней в пределах апертуры наклонной фокальной плоскости оптической фокусирующей системы в результате отклонения луча сканирующим устройством, создавая разделительную напряженную грань в стекле по линии реза на толщину стекла или его части за один проход по линии реза;
- воздушную пневматическую систему для создания воздушной подушки под левитирующим листом стекла при резке и перемещении при установке и снятии;
- базисные упорные фиксаторы положения листа стекла при его левитации над столом и выдвижные по вертикали опорные фрикционные механизмы с датчиками стола для перемещения листа при загрузке и выгрузке в автоматическом режиме.
5. Аппаратура по п. 4, в которой верхний слой подложки выполнен в виде набора площадок в виде квадратов или прямоугольников, или ромбов, или многогранников в виде сотовой структуры с погрешностью по среднему уклону к горизонтали на базисной длине 6 метров не более 300 мкм в любом горизонтальном направлении, а по вертикали в местах сопряжения смежных площадок не более 150 мкм, причем в площадках имеется по меньшей мере одно отверстие для поступления сжатого воздуха от пневматической системы для создания состояния левитации листа за счет воздушной подушки под стеклом при резке или его перемещении вдоль поверхности подложки в моменты загрузки/выгрузки, а в качестве верхнего слоя подложки стола используют полиэтилен низкого давления и высокой плотности 0,94-0,96 г/см3, стойкий к воздействию рассеянного лазерного излучения.
6. Аппаратура по п. 5, в которой используют импульсный пикосекундный волоконный лазер с доставкой излучения по оптическому кабелю длиной до 25 м, с центральной длиной волны 1,03-1,06 мкм с мощностью 50-200 Вт и энергией в импульсе в диапазоне 40-200 мкДж.
7. Аппаратура по п. 5, в которой используют импульсный нано-, или пико- или фемтосекундный твердотельный лазер, в том числе дисковый или волоконный.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/RU2023/050133 WO2024049328A1 (ru) | 2022-09-01 | 2023-05-31 | Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2797482C1 true RU2797482C1 (ru) | 2023-06-06 |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116851925A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-10-10 | 东莞市雕润数控科技有限公司 | 一种基于全自动玻璃激光雕刻生产线的防叠片装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2024441C1 (ru) * | 1992-04-02 | 1994-12-15 | Владимир Степанович Кондратенко | Способ резки неметаллических материалов |
| RU2574634C2 (ru) * | 2014-05-13 | 2016-02-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Способ лазерной резки стекла |
| US20160318790A1 (en) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | Rofin-Sinar Technologies Inc. | Method and system for scribing heat processed transparent materials |
| RU2017104427A (ru) * | 2014-07-11 | 2018-08-13 | Корнинг Инкорпорейтед | Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора |
| RU2694089C1 (ru) * | 2015-08-10 | 2019-07-09 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Способ резки тонкого стеклянного слоя |
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2024441C1 (ru) * | 1992-04-02 | 1994-12-15 | Владимир Степанович Кондратенко | Способ резки неметаллических материалов |
| RU2574634C2 (ru) * | 2014-05-13 | 2016-02-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Способ лазерной резки стекла |
| RU2017104427A (ru) * | 2014-07-11 | 2018-08-13 | Корнинг Инкорпорейтед | Системы и методы резки стекла путем создания перфорации в стеклянных изделиях с применением импульсного оптического квантового генератора |
| US20160318790A1 (en) * | 2015-04-30 | 2016-11-03 | Rofin-Sinar Technologies Inc. | Method and system for scribing heat processed transparent materials |
| RU2694089C1 (ru) * | 2015-08-10 | 2019-07-09 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Способ резки тонкого стеклянного слоя |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116851925A (zh) * | 2023-07-05 | 2023-10-10 | 东莞市雕润数控科技有限公司 | 一种基于全自动玻璃激光雕刻生产线的防叠片装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10391588B2 (en) | Method and system for scribing brittle material followed by chemical etching | |
| TWI592244B (zh) | 於透明材料內部施行雷射絲化之方法與裝置 | |
| KR101396915B1 (ko) | 취성 재료 할단 방법 및 그 장치 | |
| EP3363771B1 (en) | Method of machining and releasing closed forms from a transparent substrate using burst of ultrafast laser pulses | |
| US20200039002A1 (en) | Laser Machining Systems and Methods with Vision Correction and/or Tracking | |
| TWI469841B (zh) | 使用經傾斜的雷射掃描來加工工作件的方法和設備 | |
| KR20240010086A (ko) | 작업물들을 레이저 가공하기 위한 레이저 가공 장치, 방법들 및 관련된 배열들 | |
| US20130266757A1 (en) | Thermal laser scribe cutting for electrochromic device production | |
| EP2272617A1 (en) | Beam processing apparatus, beam processing method, and beam processing substrate | |
| JPH03258476A (ja) | レーザ切断方法 | |
| KR101326569B1 (ko) | 레이저 스크라이브 방법 및 레이저 가공 장치 | |
| JP4467633B2 (ja) | ビーム加工装置、ビーム加工方法およびビーム加工基板 | |
| KR102428350B1 (ko) | 시트형 유리 기판의 레이저 기반 기계 가공을 위한 기판 프로세싱 스테이션 | |
| CN111151892B (zh) | 一种无锥度激光切割方法 | |
| KR20110095383A (ko) | 이동식 갠트리를 가진 레이저 스크라이빙 플렛폼 | |
| CN111055028A (zh) | 基于等离子体的扩展可控裂纹的激光切割装置及方法 | |
| RU2797482C1 (ru) | Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления | |
| KR20130094173A (ko) | 취성 재료 기판의 할단 방법 | |
| TW202120447A (zh) | 基板之加工方法及加工裝置 | |
| WO2024049328A1 (ru) | Способ лазерной резки широкоформатных листов стекла и аппаратура для его осуществления | |
| CN112427812B (zh) | 一种通过间距性超微细激光通孔实现超薄工件分离的方法 | |
| CN116833552A (zh) | 用于切割复合材料的GHz脉冲串激光光源***与方法 | |
| JP5796463B2 (ja) | 脆性板状物の切断装置および切断方法 | |
| TWI400137B (zh) | 移除玻璃板材邊緣缺陷之裝置及其方法 | |
| KR101154339B1 (ko) | 레이저 빔의 파장 변환기 및 이를 이용한 절단 시스템 |