RU2784818C1 - Local broadband ferromagnetic resonance spectrometer - Google Patents
Local broadband ferromagnetic resonance spectrometer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2784818C1 RU2784818C1 RU2022114338A RU2022114338A RU2784818C1 RU 2784818 C1 RU2784818 C1 RU 2784818C1 RU 2022114338 A RU2022114338 A RU 2022114338A RU 2022114338 A RU2022114338 A RU 2022114338A RU 2784818 C1 RU2784818 C1 RU 2784818C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- screen
- sample
- magnetic
- hole
- ferromagnetic resonance
- Prior art date
Links
- 230000005350 ferromagnetic resonance Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 230000005291 magnetic Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 7
- 230000001066 destructive Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic Effects 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля качества магнитных пленок и изучения их высокочастотных характеристик путем регистрации спектров ферромагнитного резонанса в широкой полосе частот от локальных участков тонкопленочных образцов.The invention relates to measuring technology and is intended for non-destructive quality control of magnetic films and the study of their high-frequency characteristics by recording ferromagnetic resonance spectra in a wide frequency band from local areas of thin-film samples.
Наиболее близким аналогом по совокупности существенных признаков является широкополосный спектрометр ферромагнитного резонанса [Патент РФ RU 2747912 C1, МПК G01R33/05, опубл. 17.05.2021, Бюл. №14 (прототип)], состоящий из векторного анализатора цепей, короткозамкнутой несимметричной полосковой линии, внутри которой размещается исследуемый тонкопленочный образец, магнитной системы, управляемых источников постоянного тока. Короткозамкнутая несимметричная полосковая линия размещается в электромагнитном экране, причем СВЧ-разъем расположен перпендикулярно ее плоскости таким образом, что магнитная система может свободно вращаться вокруг нормали к плоскости полосковой линии. При этом магнитная система формирует магнитное поле в плоскости исследуемого образца двумя ортогональными парами колец Гельмгольца, питание которых осуществляется от двух независимых управляемых источников постоянного тока.The closest analogue in terms of essential features is a broadband ferromagnetic resonance spectrometer [RF Patent RU 2747912 C1, IPC G01R33/05, publ. 05/17/2021, Bull. No. 14 (prototype)], consisting of a vector network analyzer, a short-circuited asymmetrical strip line, inside which the thin-film sample under study is placed, a magnetic system, and controlled DC sources. A short-circuited asymmetric strip line is placed in an electromagnetic shield, and the microwave connector is located perpendicular to its plane in such a way that the magnetic system can freely rotate around the normal to the plane of the strip line. In this case, the magnetic system generates a magnetic field in the plane of the sample under study by two orthogonal pairs of Helmholtz rings, which are powered by two independent controlled DC sources.
Существенным недостатком конструкции прототипа является невозможность проведения локальных измерений магнитных характеристик тонкопленочных образцов, т.е. измерений параметров с участка образца площадью значительно меньшей, чем площадь всего образца.A significant drawback of the design of the prototype is the impossibility of local measurements of the magnetic characteristics of thin-film samples, i.e. measurements of parameters from a sample area with an area much smaller than the area of the entire sample.
Техническим результатом заявляемого изобретения является обеспечение возможности проведения локальных измерений магнитных характеристик тонкопленочных образцов.The technical result of the claimed invention is to enable local measurements of the magnetic characteristics of thin-film samples.
Заявляемый технический результат достигается за счет того, что в локальном широкополосном спектрометре ферромагнитного резонанса, содержащем векторный анализатор цепей, размещенную в электромагнитном экране короткозамкнутую несимметричную полосковую линию, управляемые источники постоянного тока, питающие две пары ортогональных колец Гельмгольца, новым является то, что в экране несимметричной полосковой линии выполнено отверстие, а образец тонкой магнитной пленки размещается с внешней стороны электромагнитного экрана таким образом, чтобы исследуемый участок образца находился напротив отверстия в экране, при этом устройство дополнительно содержит трехкомпонентную магнитную систему, предназначенную для компенсации лабораторного магнитного поля.The claimed technical result is achieved due to the fact that in a local broadband ferromagnetic resonance spectrometer containing a vector network analyzer, a short-circuited asymmetric strip line placed in an electromagnetic screen, controlled DC sources feeding two pairs of orthogonal Helmholtz rings, what is new is that the screen has an asymmetric a hole is made in the strip line, and a sample of a thin magnetic film is placed on the outer side of the electromagnetic screen so that the test area of the sample is opposite the hole in the screen, while the device additionally contains a three-component magnetic system designed to compensate for the laboratory magnetic field.
Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявляемое устройство отличается наличием отверстия в экране несимметричной полосковой линии. Вблизи этого отверстия снаружи электромагнитного экрана несимметричной полосковой линии создается высокочастотное магнитное поле, взаимодействующее с локальным участком измеряемого образца.Comparative analysis with the prototype shows that the proposed device is characterized by the presence of a hole in the screen asymmetrical strip line. Near this hole, outside the electromagnetic screen of the asymmetrical strip line, a high-frequency magnetic field is created, which interacts with a local area of the sample being measured.
Вторым существенным отличием является размещение исследуемого образца – снаружи электромагнитного экрана несимметричной полосковой линии. При этом образец размещается таким образом, чтобы исследуемый участок пленки оказался вблизи отверстия в экране несимметричной полосковой линии.The second significant difference is the placement of the test sample - outside the electromagnetic screen of an asymmetric strip line. In this case, the sample is placed in such a way that the investigated section of the film is near the hole in the screen of the asymmetric strip line.
Третьим существенным отличием является наличие дополнительной трехкомпонентной магнитной системы, позволяющей скомпенсировать паразитное лабораторное магнитное поле (в том числе магнитное поле Земли).The third significant difference is the presence of an additional three-component magnetic system, which makes it possible to compensate for the parasitic laboratory magnetic field (including the Earth's magnetic field).
Таким образом, перечисленные выше отличительные от прототипа признаки позволяют сделать вывод о соответствии заявляемого технического решения критерию «новизна».Thus, the above distinguishing features from the prototype allow us to conclude that the proposed technical solution meets the criterion of "novelty".
Признаки, отличающие заявляемое техническое решение от прототипа, не выявлены в других технических решениях и, следовательно, обеспечивают заявляемому техническому решению соответствие критерию «изобретательский уровень».The features that distinguish the claimed technical solution from the prototype are not identified in other technical solutions and, therefore, ensure that the claimed technical solution meets the criterion of "inventive step".
Данное изобретение поясняется чертежами. На фиг. 1 показана общая схема устройства, а на фиг. 2 и фиг. 3 показан конкретный пример реализации локального широкополосного спектрометра ферромагнитного резонанса. На фиг. 4 отдельно показана магнитная система компенсации лабораторного магнитного поля. На фиг. 5 отображен столик с измеряемым образцом и чувствительный элемент устройства, конструкция которого показана на фиг. 6. На фиг. 7 и фиг. 8 показано распределение амплитуды высокочастотного магнитного поля вблизи измерительного отверстия чувствительного элемента устройства. На фиг. 9 приведены в качестве примера результаты работы локального широкополосного спектрометра ферромагнитного резонанса.This invention is illustrated by drawings. In FIG. 1 shows the general scheme of the device, and Fig. 2 and FIG. 3 shows a specific example of the implementation of a local broadband ferromagnetic resonance spectrometer. In FIG. 4 shows separately the magnetic system for compensating the laboratory magnetic field. In FIG. 5 shows a table with a measured sample and a sensitive element of the device, the design of which is shown in Fig. 6. In FIG. 7 and FIG. 8 shows the distribution of the amplitude of the high-frequency magnetic field near the measuring hole of the sensing element of the device. In FIG. Figure 9 shows, as an example, the results of the operation of a local broadband ferromagnetic resonance spectrometer.
Локальный широкополосный спектрометр ферромагнитного резонанса содержит (фиг. 1) столик (1), на котором размещается измеряемый образец (2). Над образцом (2) закреплен чувствительный элемент (3) устройства, подключенный к векторному анализатору цепей (4). Столик (1) с образцом (2) соединен с системой позиционирования (5), позволяющей перемещать столик (1) и, соответственно, образец (2) в четырех координатах – в плоскости XYZ и вращение R. Столик (1) с образцом (2) и чувствительный элемент (3) находятся внутри двух пар ортогональных колец Гельмгольца – внутренних (6) и внешних (7). Кольца Гельмгольца (6) и (7) закреплены на полой оси (8), которая может вращаться с помощью привода (9). Также кольца Гельмгольца (6) и (7) расположены внутри трехкомпонентной магнитной системы компенсации лабораторного магнитного поля, состоящей из трех пар катушек Фанселау (10), (11) и (12), подключенных к трехканальному источнику тока (13). Кольца Гельмгольца (6) и (7) подключены к двухканальному источнику тока (14). Управление источниками тока (13) и (14), а также векторным анализатором цепей (4), системой позиционирования (5) и приводом (9) осуществляется специализированным программным обеспечением, работающим на персональном компьютере.The local broadband ferromagnetic resonance spectrometer contains (Fig. 1) a table (1), on which the measured sample (2) is placed. A sensitive element (3) of the device is fixed above the sample (2), connected to a vector network analyzer (4). The table (1) with the sample (2) is connected to the positioning system (5), which allows moving the table (1) and, accordingly, the sample (2) in four coordinates - in the XYZ plane and rotation R. The table (1) with the sample (2 ) and the sensitive element (3) are inside two pairs of orthogonal Helmholtz rings - internal (6) and external (7). The Helmholtz rings (6) and (7) are fixed on a hollow shaft (8) which can be rotated by a drive (9). Also, Helmholtz rings (6) and (7) are located inside a three-component magnetic system for compensating the laboratory magnetic field, consisting of three pairs of Fanselau coils (10), (11) and (12), connected to a three-channel current source (13). Helmholtz rings (6) and (7) are connected to a two-channel current source (14). The current sources (13) and (14), as well as the vector network analyzer (4), the positioning system (5) and the drive (9) are controlled by specialized software running on a personal computer.
На фиг. 2 показан пример реализации локального широкополосного спектрометра ферромагнитного резонанса. На алюминиевой стойке (15) с верхней стороны размещается векторный анализатор цепей (16), внутри стойки (15) закреплены алюминиевые пластины (17) и (18), связанные между собой колоннами (19). На пластине (18) закреплен (фиг. 3) опорный подшипник с вращающейся платформой (20), приводимой в движение через ременную передачу (21) шаговым двигателем (22). Таким образом, вращательное движение от двигателя (22) передается к кольцам Гельмгольца (23) и (24). Через внутренне отверстие опорного подшипника на пластине (18) неподвижно закреплен механизм перемещения столика (25), включающий поворотную ось R (26), линейные ось X (27), ось Y (28) и ось Z (29). Приводы осей подключены к драйверам и управляются программным обеспечением на персональном компьютере. На верхней пластине (17) размещен механизм юстировки (30) чувствительного элемента (31), позволяющий перемещать в плоскости XY чувствительный элемент (31) и настраивать его положение относительно оси вращения R (26) столика (25). На фиг. 4 показана трехкомпонентная магнитная система компенсации лабораторного магнитного поля, состоящая из трех пар катушек Фанселау (32), (33) и (34). Магнитная система закреплена неподвижно на верхней пластине (17 на фиг. 3). Внутри магнитной системы вращаются кольца Гельмгольца (23) и (24), с верхней стороны которых размещается держатель (35) чувствительного элемента (31 на фиг. 5), а с нижней стороны размещается столик (25) с образцом (36). На фиг. 6 показана конструкция чувствительного элемента (31). В закрытом металлическом корпусе (37) с верхней части размещается СВЧ-разъем (38), а с нижней части – металлизированная подложка (39). В металлизации (40) с нижней стороны подложки (39) вытравлено измерительное отверстие (41), над которым с другой стороны подложки (39) расположена полосковая линия (42). С одной стороны линия (42) подключена к разъему (38), а с другой – закорочена на корпус (37). На фиг. 7 показано нормированное распределение амплитуды высокочастотного магнитного поля вблизи измерительного отверстия (41) на расстоянии 0,3 мм от внешней стороны металлизации (40). Полосковая линия (42) на фиг. 7 ориентирована вертикально, частота равна 1 ГГц. На фиг. 7 нанесены вспомогательные ортогональные линии (43) и (44), проходящие через центр отверстия (41). На фиг. 8 показаны нормированные зависимости амплитуды высокочастотного магнитного поля возле измерительного отверстия (41) вдоль линий (43) и (44), отмеченных на фиг. 7. Например, зависимость (45) получена по линии (44), проходящей через центр отверстия (41) перпендикулярно полосковой линии (42), а зависимость (46) – по линии (43), проходящей через центр отверстия (40), но вдоль полосковой линии (42). Зависимости (45) и (46) получены на расстоянии 0,1 мм от внешней стороны металлизации (40), зависимости (47) и (48) на расстоянии 0,3 мм, а зависимости (49) и (50) – на расстоянии 0,5 мм. Все зависимости (45–50) получены для измерительного отверстия (41) диаметром 2 мм. Из зависимостей видно, что диаметр области измерений по уровню 1/√2 примерно равен диаметру измерительного отверстия (41). Неоднородность поля вдоль линии (44), показанная на зависимостях (45), (47) и (49), вызвана нарушением целостности металлизации (40) измерительным отверстием (41). СВЧ-токи в металлизации (40) вынуждены огибать препятствие в виде отверстия (41) по пути с наименьшим импедансом, т.е. по краям отверстия (41), где образуется область повышенной плотности тока. С изменением расстояния между металлизацией (40) и измеряемым образцом (36) происходит изменение распределения амплитуды СВЧ-поля вблизи измерительного отверстия (41). Измерения должны проводиться на расстоянии более 0,1 мм, так как на меньших расстояниях высокочастотное магнитное поле существенно неоднородно.In FIG. 2 shows an example implementation of a local broadband ferromagnetic resonance spectrometer. On the aluminum stand (15), a vector network analyzer (16) is placed on the upper side, inside the stand (15) aluminum plates (17) and (18) are fixed, interconnected by columns (19). On the plate (18) is fixed (Fig. 3) a support bearing with a rotating platform (20) driven through a belt drive (21) by a stepper motor (22). Thus, the rotary motion from the motor (22) is transferred to the Helmholtz rings (23) and (24). Through the inner hole of the support bearing on the plate (18), the table movement mechanism (25) is fixedly fixed, including the rotary R axis (26), the linear X axis (27), the Y axis (28) and the Z axis (29). Axis drives are connected to drivers and controlled by software on a personal computer. On the upper plate (17) there is an adjustment mechanism (30) of the sensing element (31), which allows moving the sensing element (31) in the XY plane and adjusting its position relative to the rotation axis R (26) of the table (25). In FIG. 4 shows a three-component magnetic system for compensating a laboratory magnetic field, consisting of three pairs of Fanselau coils (32), (33) and (34). The magnetic system is fixed on the top plate (17 in Fig. 3). Inside the magnetic system, Helmholtz rings (23) and (24) rotate, on the upper side of which the holder (35) of the sensitive element (31 in Fig. 5) is placed, and on the lower side there is a table (25) with a sample (36). In FIG. 6 shows the design of the sensing element (31). In a closed metal case (37), a microwave connector (38) is located on the upper part, and a metallized substrate (39) is placed on the lower part. In metallization (40), a measuring hole (41) is etched on the bottom side of the substrate (39), above which a strip line (42) is located on the other side of the substrate (39). On the one hand, the line (42) is connected to the connector (38), and on the other hand, it is shorted to the housing (37). In FIG. 7 shows the normalized distribution of the amplitude of the high-frequency magnetic field near the measuring hole (41) at a distance of 0.3 mm from the outer side of the plating (40). The strip line (42) in FIG. 7 is oriented vertically, the frequency is 1 GHz. In FIG. 7, auxiliary orthogonal lines (43) and (44) are drawn, passing through the center of the hole (41). In FIG. 8 shows the normalized dependences of the amplitude of the high-frequency magnetic field near the measuring hole (41) along the lines (43) and (44) marked in FIG. 7. For example, dependence (45) was obtained along the line (44) passing through the center of the hole (41) perpendicular to the strip line (42), and dependence (46) was obtained along the line (43) passing through the center of the hole (40), but along the strip line (42). Dependencies (45) and (46) were obtained at a distance of 0.1 mm from the outer side of the metallization (40), dependences (47) and (48) at a distance of 0.3 mm, and dependences (49) and (50) - at a distance 0.5 mm. All dependences (45–50) were obtained for a measuring hole (41) with a diameter of 2 mm. It can be seen from the dependences that the diameter of the measurement area in terms of
Локальный широкополосный спектрометр ферромагнитного резонанса работает следующим образом. С помощью механизма юстировки (30) (фиг. 3) добиваются соосности оси вращения R (26) и измерительного отверстия (41) (фиг. 6) чувствительного элемента (31). С помощью компенсационной магнитной системы, состоящей (фиг. 4) из катушек Фанселау (32), (33), (34), компенсируют внешнее лабораторное магнитное поле таким образом, чтобы в области размещения чувствительного элемента наблюдалось минимальное значение постоянного магнитного поля, создаваемого Землей и другими источниками, например, лабораторным оборудованием. На измерительном столике (25) (фиг. 5) размещают измеряемый образец (36) таким образом, чтобы тонкая магнитная пленка была обращена к чувствительному элементу (31). В программном обеспечении на персональном компьютере настраивают величины шагов и диапазон перемещений измеряемого образца (36), а также диапазон и шаг развертки по постоянному магнитному полю и по частоте. По командам от программного обеспечения измерительный столик (25) с измеряемым образцом (36) перемещается, при этом в каждом фиксированном положении векторным анализатором цепей (16) (фиг. 3) измеряется зависимость комплексного параметра S11 от частоты при фиксированном поле, создаваемом кольцами Гельмгольца (23). Калибровка векторного анализатора цепей (16) осуществляется с помощью колец Гельмгольца (23) и (24) при параллельных СВЧ-поле и постоянном магнитном поле. Таким образом, для одного фиксированного положения столика измеряется ряд частотных зависимостей комплексного параметра S11 от частоты при различных фиксированных значения постоянного магнитного поля. Комплексные зависимости параметра S11 пересчитываются в комплексные зависимости параметра Z11, а затем в значения комплексной магнитной проницаемости μ локального участка измеряемого образца.Local broadband ferromagnetic resonance spectrometer operates as follows. Using the adjustment mechanism (30) (Fig. 3), the axis of rotation R (26) and the measuring hole (41) (Fig. 6) of the sensing element (31) are coaxial. With the help of a compensation magnetic system consisting (Fig. 4) of Fanselau coils (32), (33), (34), the external laboratory magnetic field is compensated in such a way that the minimum value of the constant magnetic field created by the Earth is observed in the area of the sensitive element and other sources such as laboratory equipment. The measured sample (36) is placed on the measuring table (25) (Fig. 5) in such a way that the thin magnetic film faces the sensitive element (31). In the software on a personal computer, the step sizes and the range of displacements of the measured sample (36), as well as the range and step of the sweep in the constant magnetic field and in frequency are adjusted. By commands from the software, the measuring stage (25) with the measured sample (36) moves, while in each fixed position the vector network analyzer (16) (Fig. 3) measures the dependence of the complex parameter S 11 on frequency at a fixed field created by Helmholtz rings (23). Calibration of the vector network analyzer (16) is carried out using Helmholtz rings (23) and (24) with a parallel microwave field and a constant magnetic field. Thus, for one fixed position of the table, a number of frequency dependences of the complex parameter S 11 on frequency are measured for various fixed values of the constant magnetic field. The complex dependences of the parameter S 11 are recalculated into the complex dependences of the parameter Z 11 , and then into the values of the complex magnetic permeability μ of the local area of the measured sample.
Исследовательские испытания заявленного локального широкополосного спектрометра ферромагнитного резонанса показали, что заявленный технический результат достигнут – устройство обеспечивает возможность проведения локальных измерений параметров ферромагнитного резонанса тонких магнитных пленок. Для примера, на фиг. 9 показаны результаты измерений локального участка диаметром 2 мм пленки пермаллоя Ni80Fe20 толщиной 100 нм, полученные при развертке по полю в диапазоне от плюс 1000 Э до минус 1000 Э, в частотном диапазоне от 0,1 ГГц до 10 ГГц. На трехмерной зависимости цветом показана амплитуда поглощения СВЧ-энергии локальным участком измеряемого образца.Research tests of the claimed local broadband ferromagnetic resonance spectrometer showed that the claimed technical result is achieved - the device provides the possibility of local measurements of ferromagnetic resonance parameters of thin magnetic films. For example, in FIG. Figure 9 shows the results of measurements of a local section with a diameter of 2 mm of a Ni 80 Fe 20 permalloy film 100 nm thick, obtained with a field sweep in the range from plus 1000 Oe to minus 1000 Oe, in the frequency range from 0.1 GHz to 10 GHz. On the three-dimensional dependence, the color shows the amplitude of the absorption of microwave energy by a local area of the measured sample.
Важно отметить, что проведение локальных измерений дает возможность не только оценить величины дисперсий магнитных параметров тонкопленочных образцов по их площади, но и наблюдать эффекты, которые нивелируются за счет усреднения при классических измерениях образца, полностью находящегося внутри СВЧ-линии.It is important to note that local measurements make it possible not only to estimate the dispersions of the magnetic parameters of thin-film samples over their area, but also to observe effects that are leveled by averaging in classical measurements of a sample completely inside the microwave line.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2784818C1 true RU2784818C1 (en) | 2022-11-29 |
Family
ID=
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008069423A1 (en) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Seoul National University Industry Foundation | Magnetoelectric susceptibility measurement method and the system thereof |
| CN103744039A (en) * | 2014-01-10 | 2014-04-23 | 兰州大学 | Method for measuring magnetic soft magnetism thin film complex permeability |
| RU2712926C1 (en) * | 2019-04-22 | 2020-02-03 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Thin-film magnetic field of weak magnetic fields |
| RU2714314C1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-02-14 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Method of measuring magnetic characteristics of ferromagnetic films and device for its implementation |
| RU2747912C1 (en) * | 2020-10-09 | 2021-05-17 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Broadband ferromagnetic resonance spectrometer |
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008069423A1 (en) * | 2006-12-07 | 2008-06-12 | Seoul National University Industry Foundation | Magnetoelectric susceptibility measurement method and the system thereof |
| CN103744039A (en) * | 2014-01-10 | 2014-04-23 | 兰州大学 | Method for measuring magnetic soft magnetism thin film complex permeability |
| RU2714314C1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-02-14 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Method of measuring magnetic characteristics of ferromagnetic films and device for its implementation |
| RU2712926C1 (en) * | 2019-04-22 | 2020-02-03 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Thin-film magnetic field of weak magnetic fields |
| RU2747912C1 (en) * | 2020-10-09 | 2021-05-17 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Broadband ferromagnetic resonance spectrometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6650430B2 (en) | Active resistive shimming for MRI equipment | |
| CN106405457B (en) | A kind of device and method detected for material ferromagnetism and magnetization property | |
| Beckonert et al. | High-resolution magic-angle-spinning NMR spectroscopy for metabolic profiling of intact tissues | |
| Casanova et al. | Two-dimensional imaging with a single-sided NMR probe | |
| Eroglu et al. | NMR spiral surface microcoils: Design, fabrication, and imaging | |
| EP0730164B1 (en) | Apparatus and method for magnetic resonance imaging | |
| US10634742B2 (en) | Magnetic nanoparticle spectrometer | |
| RU2784818C1 (en) | Local broadband ferromagnetic resonance spectrometer | |
| CN107121651A (en) | With the probe for determining the NMR MAS equipment of the device of angle between MAS rotors and magnetostatic field | |
| Gottschalk et al. | Metabolomic studies of human lung carcinoma cell lines using in vitro 1H NMR of whole cells and cellular extracts | |
| US20200069293A1 (en) | Fused ultrasound and magnetic resonance imaging apparatus | |
| CN110261800A (en) | One kind being directed to ferritic high precision low frequency complex permeability measuring device and method | |
| JP4560546B2 (en) | Apparatus and handling system for measurement of sheet charge density and mobility of conductive sheet material | |
| KR20150055156A (en) | Inspection fixture for disc of gas turbine rotor | |
| JP3121443B2 (en) | Radiation detector | |
| US10782371B2 (en) | NMR apparatus with permanent magnets, magnetic field sensors, and magnetic coils | |
| JP2007535677A (en) | RF probe apparatus for NMR gravimetric inspection system | |
| JPS62101007A (en) | Surface coil for nuclear magnetic resonance inspection | |
| CN115718273B (en) | Device for measuring object magnetic susceptibility based on magnetic induction intensity and measuring method thereof | |
| US20070029997A1 (en) | Test circuit with drive windings and sense elements | |
| RU2747912C1 (en) | Broadband ferromagnetic resonance spectrometer | |
| Belyaev et al. | Inspection probes of a ferromagnetic resonance scanning spectrometer | |
| Badics et al. | Accurate probe-response calculation in eddy current nde by finite element method | |
| Keenan et al. | Compensated high temperature SQUID gradiometer for mobile NDE in magnetically noisy environments | |
| Chang et al. | Simple mobile single-sided NMR apparatus with a relatively homogeneous B0 distribution |