RU2771640C1 - Wide-range gauge head - Google Patents
Wide-range gauge head Download PDFInfo
- Publication number
- RU2771640C1 RU2771640C1 RU2021117441A RU2021117441A RU2771640C1 RU 2771640 C1 RU2771640 C1 RU 2771640C1 RU 2021117441 A RU2021117441 A RU 2021117441A RU 2021117441 A RU2021117441 A RU 2021117441A RU 2771640 C1 RU2771640 C1 RU 2771640C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- end electrode
- photocathode
- electrode
- pressure
- disk
- Prior art date
Links
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 12
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 230000001965 increased Effects 0.000 description 4
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent Effects 0.000 description 1
- 238000001803 electron scattering Methods 0.000 description 1
- 150000002258 gallium Chemical class 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium Chemical class [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Chemical class 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910000529 magnetic ferrite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к технике измерения давления газов в областях от высокого вакуума до атмосферного давления и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 10-7 мм рт. ст. до 760 мм рт. ст.The invention relates to a technique for measuring gas pressure in areas from high vacuum to atmospheric pressure and can be used to create vacuum gauges with measurement limits from 10 -7 mm Hg. Art. up to 760 mm Hg Art.
Для измерения давления газа в диапазоне от 10-7 мм рт. ст. до 760 мм рт. ст. может быть использован компрессионный манометр [1]. Однако, он не позволяет производить непрерывное измерение давления, громоздок, и поэтому не нашел применения в промышленности.To measure gas pressure in the range from 10 -7 mm Hg. Art. up to 760 mm Hg Art. a compression manometer [1] can be used. However, it does not allow continuous measurement of pressure, is cumbersome, and therefore has not found application in industry.
Для измерения давления в данном диапазоне может использоваться широкодиапазонный вязкостный вакуумметр (10-12 - 103 мм рт. ст.) [2]. Принцип его действия основан на измерении времени, в течение которого вращающийся ротор сферической формы из феррита, подвешенный в магнитном поле, после выключения статора уменьшит число оборотов в секунду до заданного значения, а давление вычисляется по формулеTo measure pressure in this range, a wide-range viscous vacuum gauge (10 -12 - 103 mm Hg) can be used [2]. Its principle of operation is based on measuring the time during which a rotating ferrite spherical rotor suspended in a magnetic field, after turning off the stator, will reduce the number of revolutions per second to a predetermined value, and the pressure is calculated by the formula
где N - число оборотов ротора в секунду в момент времени t, a N0 - число оборотов ротора в момент времени t0, К - коэффициент, зависящий от инерциальных свойств ротора, температуры и молекулярного веса газа.where N is the number of rotor revolutions per second at time t, a N 0 is the number of rotor revolutions at time t 0 , K is a coefficient depending on the inertial properties of the rotor, temperature and molecular weight of the gas.
Если предположить, что при давлении газа 10 мм рт. ст. t-t0=10-6 с, то в соответствии с приведенной формулой при давлении 10-7 мм рт. ст. t-t0=104 с или 2,778 часа. В подавляющем большинстве технологических процессов, где используются вакуумметры, изменение давления происходит намного быстрее. Поэтому данный вакуумметр не подходит для промышленного использования в диапазоне давлений газа 10-7 - 103 мм рт. ст.Assuming that at a gas pressure of 10 mm Hg. Art. tt 0 \u003d 10 -6 s, then in accordance with the above formula at a pressure of 10 -7 mm Hg. Art. tt 0 =10 4 s or 2.778 hours. In the vast majority of technological processes where vacuum gauges are used, the pressure change occurs much faster. Therefore, this vacuum gauge is not suitable for industrial use in the gas pressure range of 10 -7 - 10 3 mm Hg. Art.
В настоящее время для измерения давления газа в диапазоне от 10-7 мм рт. ст. до 760 мм рт. ст. используются манометрические преобразователи, которые содержат в одном корпусе два манометрических преобразователя. Один для измерения в области среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. Другой - для измерения давления от атмосферного до давления соответствующего низкому вакууму. Например, пара ионизационный манометрический преобразователь Байярда-Альперта и манометр сопротивления (Пирани) (Leybold IONIVAC ITR 200S), или инверсно-магнетронный манометр и датчик на основе кварцевого резонатора (СС-10 фирмы Televac), или инверсно-магнетронный манометр и манометр сопротивления (Пирани) (Широкодиапазонный вакуумный датчик WRG). Недостатками такого решения обеспечения широкого диапазона измерения давления являются наличие измерительного блока для каждого преобразователя, ограниченный срок службы для манометрических преобразователей с накаленным катодом (порядка 1000-2000 часов), загрязнение поверхностей электродов для инверсно-магнетронных манометрических преобразователей, приводящее к дополнительной погрешности измерения давления.Currently, to measure gas pressure in the range of 10 -7 mm Hg. Art. up to 760 mm Hg Art. gauge transducers are used, which contain two gauge transducers in one housing. One for medium, high and ultra-high vacuum measurements. The other is for measuring pressure from atmospheric pressure to a pressure corresponding to low vacuum. For example, a pair of Bayard-Alpert ionization gauge and a resistance gauge (Pirani) (Leybold IONIVAC ITR 200S), or an inverse magnetron gauge and a quartz resonator based sensor (CC-10 from Televac), or an inverse magnetron gauge and a resistance gauge ( Pirani) (Wide Range Vacuum Gauge WRG). The disadvantages of this solution for providing a wide range of pressure measurement are the presence of a measuring unit for each transducer, a limited service life for gauge transducers with a heated cathode (about 1000-2000 hours), contamination of the electrode surfaces for inverse magnetron gauge transducers, leading to an additional error in pressure measurement.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению можно считать манометрический преобразователь (фиг. 1), работа которого основана на измерении давления газа с использованием рассеяния электронов молекулами газа в скрещенных электрическом и магнитном полях при индукции магнитного поля намного большей критической [3]. Он содержит фотокатод 1, устойчивый к действию воздуха, центральный цилиндрический электрод 2, на котором расположен фотокатод, первый торцевой электрод 3, второй торцевой электрод 4, анод с отверстием для пропуска ультрафиолетового излучения к катоду 5, кварцевое окно 6, прозрачное для ультрафиолетового излучения с длиной волны 254 нм 9, вакуумноплотную оболочку 7, постоянный магнит или соленоид для создания аксиального магнитного поля 8, источник ультрафиолетового излучения 10 (например, УФ светодиод UVTOP255T039BL). Торцевые электроды и центральный цилиндрический электрод выполнены в виде одной металлической детали.The closest to the claimed technical solution can be considered a manometric transducer (Fig. 1), whose operation is based on measuring gas pressure using the scattering of electrons by gas molecules in crossed electric and magnetic fields with a magnetic field induction much greater than the critical one [3]. It contains a
Принцип измерения давления основан на зависимости тока преобразователя от давления при приложении между анодом и центральным электродом постоянного напряжения, при индукции магнитного поля намного больше критической. При этом электроны могут достичь анода только за счет рассеяния на молекулах газа. Поэтому ток преобразователя становится зависимым от давления газа. При отсутствии магнитного поля производится установка тока эмиссии катода. При включении магнитного поля по величине тока катода определяется давление газа. На фиг. 2 представлена зависимость тока преобразователя от давления воздуха.The principle of pressure measurement is based on the dependence of the transducer current on pressure when a constant voltage is applied between the anode and the central electrode, with a magnetic field induction much greater than the critical one. In this case, electrons can reach the anode only due to scattering by gas molecules. Therefore, the converter current becomes dependent on the gas pressure. In the absence of a magnetic field, the cathode emission current is set. When the magnetic field is turned on, the gas pressure is determined by the magnitude of the cathode current. In FIG. 2 shows the dependence of the converter current on air pressure.
Другим способом измерения давления в этом диапазоне служит зависимость постоянной составляющей тока анода от давления при питании манометрического преобразователя знакопеременным напряжением в виде меандра [4]. Мерой давления служит величина частоты меандра, при которой постоянная составляющая тока анода уменьшается вдвое по сравнению с постоянной составляющей тока анода на более низкой частоте (например, 2 Гц). Здесь используется зависимость времени дрейфа электронов от катода к аноду от давления газа.Another way to measure pressure in this range is the dependence of the constant component of the anode current on pressure when the pressure transducer is supplied with a sign-alternating voltage in the form of a meander [4]. The measure of pressure is the value of the meander frequency, at which the constant component of the anode current is halved compared to the constant component of the anode current at a lower frequency (for example, 2 Hz). Here, the dependence of the electron drift time from the cathode to the anode on the gas pressure is used.
Манометрический преобразователь изготавливается в виде цилиндрического магнетрона с диаметром катода 10 мм, диаметром анода 14 мм, расстоянием между торцевыми электродами катода 30 мм. Эмиссия обеспечивалась облучением эмитирующей части катода (пленка галлия) площадью 49 мм2 УФ излучением с длиной волны 254 нм через сетчатый анод. Анодное напряжение составляет 7,5 В при индукции магнитного поля 63 мТл, которая превышает критическую в 14 раз.The manometric transducer is made in the form of a cylindrical magnetron with a cathode diameter of 10 mm, an anode diameter of 14 mm, and a distance between the end electrodes of the cathode of 30 mm. Emission was provided by irradiating the emitting part of the cathode (gallium film) with an area of 49 mm 2 with UV radiation at a wavelength of 254 nm through a grid anode. The anode voltage is 7.5 V at a magnetic field induction of 63 mT, which exceeds the critical one by 14 times.
При экспериментальном исследовании метода было установлено, что при давлении ниже 10-5 мм рт. ст. в манометрическом преобразователе преобладает ток, не связанный с рассеянием электронов на молекулах газа, что ограничивает нижнюю границу диапазона измеряемых давлений газа.In an experimental study of the method, it was found that at a pressure below 10 -5 mm Hg. Art. in the gauge transducer, the current that is not associated with the scattering of electrons by gas molecules predominates, which limits the lower limit of the range of measured gas pressures.
Не эффективно используется электроны, выходящие из фотокатода. При индукции магнитного поля намного большей критической длина дуги эпициклоиды составляет доли миллиметра и фотоэлектроны в основном возвращаются на фотокатод, поскольку имеют составляющую начальной скорости по радиусу. Поэтому электроны взаимодействуют с молекулами газа на длине дуги эпициклоиды размером в доли миллиметра, что обуславливает при типичных сечениях рассеяния электронов на молекулах (10-15 см2) малую вероятность рассеяния при давлениях ниже 10-4 мм рт. ст.The electrons leaving the photocathode are not efficiently used. When a magnetic field is induced much larger than the critical one, the arc length of the epicycloid is fractions of a millimeter, and the photoelectrons mainly return to the photocathode, since they have an initial velocity component along the radius. Therefore, electrons interact with gas molecules over an arc length of an epicycloid a fraction of a millimeter in size, which causes, with typical cross sections for electron scattering on molecules (10 -15 cm 2 ), a small probability of scattering at pressures below 10 -4 mm Hg. Art.
На погрешность измерения давления должна влиять неортогональность векторов электрического и магнитного полей, которую необходимо контролировать с точностью до долей градуса. При наличии неортогональности часть электронов с малыми начальными скоростями не будет возвращаться на фотокатод. Чем больше угол неортогональности, тем электроны с большей начальной скоростью будут уходить в межэлектродный промежуток. Т.е. от угла неортогональности будет зависеть число электронов, участвующих в создании полезного сигнала. Разброс этого угла от образца к образцу манометрического преобразователя будет источником погрешности измерения давления газа.The error in pressure measurement should be affected by the nonorthogonality of the vectors of the electric and magnetic fields, which must be controlled with an accuracy of fractions of a degree. In the presence of nonorthogonality, some of the electrons with low initial velocities will not return to the photocathode. The larger the non-orthogonality angle, the higher the initial velocity of electrons will go into the interelectrode gap. Those. the number of electrons participating in the creation of a useful signal will depend on the angle of nonorthogonality. The scatter of this angle from sample to sample of the gauge transducer will be a source of error in measuring gas pressure.
Кроме этого, необходимость снимать постоянные магниты для установления тока эмиссии при промышленной эксплуатации затруднительно, а использование соленоида резко увеличивает габариты манометрического преобразователя и требует постоянного пропускания тока по обмотке соленоида.In addition, the need to remove permanent magnets to establish the emission current during industrial operation is difficult, and the use of a solenoid dramatically increases the dimensions of the manometric transducer and requires constant current flow through the solenoid winding.
Перечисленные факторы ограничивают нижний предел измерения давления и увеличивают погрешность измерения давления в прототипе. Так при изменении давления на 7 порядков величина тока изменяется всего примерно в 50 раз, что обуславливает высокую погрешность измерения давления.These factors limit the lower limit of pressure measurement and increase the error in pressure measurement in the prototype. So, when the pressure changes by 7 orders of magnitude, the current value changes only about 50 times, which causes a high error in pressure measurement.
Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является расширение предела измерения в сторону малых давлений (до 10-7 мм рт. ст. и ниже) и снижение погрешности измерения давления.The technical problem to be solved by the present invention is to expand the measurement limit towards low pressures (up to 10 -7 mm Hg and below) and reduce the pressure measurement error.
Эта задача решается путем размещения фотокатода и не менее 3-х коллекторов электронов в плоскости первого торцевого электрода и электрической изоляцией от второго торца центрального цилиндрического электрода, электрически соединенного с первым торцевым электродом (фиг. 3). Для облучения фотокатода ультрафиолетовым излучением во втором торцевом электроде напротив фотокатода создается отверстие, покрытое металлической сеткой, через которое излучение попадает на фотокатод.This problem is solved by placing a photocathode and at least 3 electron collectors in the plane of the first end electrode and electrical isolation from the second end of the central cylindrical electrode electrically connected to the first end electrode (Fig. 3). To irradiate the photocathode with ultraviolet radiation, a hole is created in the second end electrode opposite the photocathode, covered with a metal mesh, through which the radiation enters the photocathode.
Предлагаемый манометрический преобразователь (фиг. 3) содержит аксиально расположенные первый торцевой электрод 2, центральный цилиндрический электрод 3, электрически соединенный с первым торцевым электродом, фотокатод 1 (например, в виде пленки галлия или индия), первый коллектор электронов 11, второй коллектор электронов 13, третий коллектор электронов 12, второй торцевой электрод 4, электрически изолированный от центрального цилиндрического электрода, анод 8, постоянный магнит или соленоид для создания аксиального магнитного поля с индукцией много большей критической 9, источник ультрафиолетового излучения 5 с длиной волны порядка 254 нм, изолятор 10, вакуумноплотная оболочка 7, кварцевое окно 6, центрирующая ось 14.The proposed manometric transducer (Fig. 3) contains axially located
Процесс измерения давления происходит следующим образом. Вначале устанавливается величина фототока. Для этого на анод и второй торцевой электрод подается положительное напряжение (порядка 4 В) относительно фотокатода. На первый торцевой электрод, центральный цилиндрический электрод, и все коллекторы электронов подается отрицательное напряжение (порядка минус 1 В) относительно фотокатода и включается источник ультрафиолетового излучения с фиксированной мощностью излучения. Электроны, выходящие из фотокатода, движутся вдоль линий индукции магнитного поля намного большей критической и попадают на второй торцевой электрод. По величине тока второго торцевого электрода определяется диапазон давления или само значение давления. Если давление находится в диапазоне 10-2 - 760 мм рт. ст., то величина тока второго торцевого электрода оказывается меньше ранее определенного фототока в условиях вакуума при заданной мощности ультрафиолетового излучения, и давление определяется по величине этого тока. С ростом давления величина тока на второй торцевой электрод уменьшается. Если давление оказывается ниже 10-2 мм рт. ст., то величина тока соответствует фиксированному значению при высоком вакууме. При этом для определения величины давления в диапазоне давлений меньших 10-2 мм рт. ст. на второй торцевой электрод, второй и третий коллекторы электронов подается отрицательное напряжение, такое же, как и на первый торцевой электрод и центральный цилиндрический электрод. На первый коллектор электронов подается положительное напряжение (порядка 1 В) относительно фотокатода. Электроны, вышедшие из фотокатода, под действием электрического поля, создаваемого анодом, будут двигаться ко второму торцевому электроду, одновременно перемещаясь по эпициклоиде под действием радиального электрического поля между анодом и центральным цилиндрическим электродом. Не доходя до второго торцевого электрода, электроны поворачивают назад к первому торцевому электроду и улавливаются первым коллектором электронов. Электроны проходят путь, равный примерно удвоенному расстоянию между торцевыми электродами. Часть электронов из электронного пучка, выходящего из фотокатода, рассеивается на молекулах газа и дрейфует к аноду, создавая ток анода, который является мерой давления газа. С ростом давления увеличивается вероятность рассеяния и ток анода. Манометрическую чувствительность можно увеличить, если увеличить путь, проходимый электронным пучком до попадания на коллектор электронов. С этой целью на первый коллектор электронов необходимо подать отрицательное напряжение, такое же, как на первый торцевой электрод, а на второй коллектор электронов положительное напряжение (порядка 1 В). При этом длина пути электронного пучка увеличится, что при том же давлении обеспечит больший ток анода. Для дальнейшего повышения чувствительности необходимо на второй коллектор электронов подать отрицательное напряжение, такое же, как на первый торцевой электрод, а на третий коллектор электронов подать положительное напряжение (порядка 1 В). Путь электронного пучка при этом станет еще больше, и при том же давлении ток анода увеличится. На фиг. 4 показана траектория движения электрона при использовании третьего коллектора электронов. Целесообразно, чтобы при переключении коллекторов электронов длина пути электронного пучка, а следовательно, и ток анода увеличивались в 10 раз.The pressure measurement process is as follows. First, the value of the photocurrent is set. To do this, a positive voltage (about 4 V) relative to the photocathode is applied to the anode and the second end electrode. A negative voltage (of the order of minus 1 V) relative to the photocathode is applied to the first end electrode, the central cylindrical electrode, and all electron collectors, and a source of ultraviolet radiation with a fixed radiation power is turned on. The electrons leaving the photocathode move along the magnetic field lines much larger than the critical one and fall on the second end electrode. The current value of the second end electrode determines the pressure range or the pressure value itself. If the pressure is in the range of 10 -2 - 760 mm Hg. Art., then the value of the current of the second end electrode is less than the previously determined photocurrent in a vacuum at a given power of ultraviolet radiation, and the pressure is determined by the value of this current. With increasing pressure, the current to the second end electrode decreases. If the pressure is below 10 -2 mm Hg. Art., then the current value corresponds to a fixed value at high vacuum. At the same time, to determine the magnitude of pressure in the pressure range less than 10 -2 mm Hg. Art. a negative voltage is applied to the second end electrode, the second and third electron collectors, the same as to the first end electrode and the central cylindrical electrode. A positive voltage (of the order of 1 V) relative to the photocathode is applied to the first electron collector. Electrons leaving the photocathode, under the action of the electric field created by the anode, will move to the second end electrode, simultaneously moving along the epicycloid under the action of a radial electric field between the anode and the central cylindrical electrode. Before reaching the second end electrode, the electrons turn back to the first end electrode and are captured by the first electron collector. The electrons travel a path equal to approximately twice the distance between the end electrodes. Some of the electrons from the electron beam leaving the photocathode are scattered by the gas molecules and drift towards the anode, creating an anode current, which is a measure of gas pressure. As the pressure increases, the probability of scattering and the anode current increase. The gauge sensitivity can be increased by increasing the path traveled by the electron beam before hitting the electron collector. To this end, it is necessary to apply a negative voltage to the first electron collector, the same as to the first end electrode, and a positive voltage (of the order of 1 V) to the second electron collector. In this case, the length of the path of the electron beam will increase, which at the same pressure will provide a larger anode current. To further increase the sensitivity, it is necessary to apply a negative voltage to the second electron collector, the same as to the first end electrode, and to apply a positive voltage (about 1 V) to the third electron collector. In this case, the path of the electron beam will become even longer, and at the same pressure, the anode current will increase. In FIG. 4 shows the trajectory of the electron when using the third electron collector. It is advisable that when switching the electron collectors, the path length of the electron beam, and hence the anode current, increases by a factor of 10.
На фиг. 5 представлена экспериментальная зависимость тока анода от давления азота в диапазоне 10-7 - 10-3 мм рт. ст. при установленном токе эмиссии катода на второй торцевой электрод 1 нА, при напряжении на аноде 4 В, напряжении на первом и втором торцевых электродах -1 В, Напряжении на центральном цилиндрическом электроде -1 В, напряжении на первом и втором коллекторах электронов -1 В, напряжении на третьем коллекторе электронов 1 В и индукции магнитного поля 63 мТл. Как видно из хода зависимости при изменении давления на три порядка ток манометрического преобразователя изменяется на три порядка в отличие от прототипа.In FIG. 5 shows the experimental dependence of the anode current on nitrogen pressure in the range 10 -7 - 10 -3 mm Hg. Art. at a set cathode emission current to the second end electrode of 1 nA, at anode voltage of 4 V, voltage at the first and second end electrodes -1 V, Voltage at the central cylindrical electrode -1 V, voltage at the first and second electron collectors -1 V, voltage on the third electron collector 1 V and magnetic field induction 63 mT. As can be seen from the course of the dependence when the pressure changes by three orders of magnitude, the current of the gauge transducer changes by three orders of magnitude, in contrast to the prototype.
В отличие от прототипа, электроны, выходящие из фотокатода, движутся вдоль линий индукции магнитного поля. Поэтому нет возврата электронов на катод. Это позволяет более эффективно использовать источник ультрафиолетового излучения и расширить диапазон измерения давления в область низких давлений.Unlike the prototype, the electrons leaving the photocathode move along the lines of magnetic field induction. Therefore, there is no return of electrons to the cathode. This makes it possible to use the ultraviolet radiation source more efficiently and extend the pressure measurement range to the low pressure region.
В отличие от прототипа, в предлагаемом устройстве для определения диапазона давления нет необходимости снятия магнита или выключения соленоида, поскольку установка тока происходит при движении электронов вдоль линий индукции магнитного поля. Существенно, за счет увеличения длины траектории электронов пучка, повышается чувствительность манометрического преобразователя, а, следовательно, уменьшается погрешность измерения давления и расширяется диапазон измеряемых давлений в область высокого вакуума.Unlike the prototype, in the proposed device for determining the pressure range, there is no need to remove the magnet or turn off the solenoid, since the current is set when the electrons move along the magnetic field lines. Significantly, by increasing the length of the beam electron trajectory, the sensitivity of the manometric transducer increases, and, consequently, the pressure measurement error decreases and the range of measured pressures expands to the high vacuum region.
Таким образом, в предлагаемом манометрическом преобразователе устраняются причины, которые ограничивали диапазон измеряемых давлений в области высокого вакуума, неудобство эксплуатации в прототипе и реализуется измерение давления в диапазоне 10-7 - 760 мм рт. ст. с помощью одного манометрического преобразователя.Thus, in the proposed gauge transducer, the reasons that limited the range of measured pressures in the high vacuum region, the inconvenience of operation in the prototype are eliminated, and pressure measurement is realized in the range of 10 -7 - 760 mm Hg. Art. with a single gauge transducer.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2771640C1 true RU2771640C1 (en) | 2022-05-11 |
Family
ID=
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2649066C1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-03-29 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gauge of orbitron type |
| RU2656091C1 (en) * | 2016-12-13 | 2018-05-31 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gage head |
| RU2682067C2 (en) * | 2017-03-29 | 2019-03-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет "(ЮЗГУ) | High-sensitive ionization vacuum-gauge transducer |
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2656091C1 (en) * | 2016-12-13 | 2018-05-31 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gage head |
| RU2649066C1 (en) * | 2016-12-30 | 2018-03-29 | Общество с ограниченной ответственностью "Московский электроламповый завод" | Ion gauge of orbitron type |
| RU2682067C2 (en) * | 2017-03-29 | 2019-03-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Юго-Западный государственный университет "(ЮЗГУ) | High-sensitive ionization vacuum-gauge transducer |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Базылев В.К. Известия РАН. Сер. Физ. - 2000. - Т. 64, N 7. стр.1382-1383. Базылев В.К. Известия РАН. Сер. Физ. - 2003. - Т. 67, N 9. стр.1256-1258. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7332714B2 (en) | Quadrupole mass spectrometer and vacuum device using the same | |
| US2155419A (en) | Apparatus for the detection of displacements | |
| Beck et al. | A cylindrical magnetron ionisation gauge | |
| RU2771640C1 (en) | Wide-range gauge head | |
| US4672323A (en) | Device for measuring the internal pressure of an operationally built built-in vacuum switch | |
| Peterson | Contact charging between a borosilicate glass and nickel | |
| US3575656A (en) | Method and apparatus for measuring pressure in vacuum interrupters | |
| RU2389990C2 (en) | Combined ionisation vacuum-gauge transducer | |
| KR102473925B1 (en) | gas analyzer | |
| RU2515212C2 (en) | High-sensitivity ionisation vacuum-gauge converter | |
| TWI761403B (en) | Anode electrode shield for inverted magnetron cold cathode ionization gauge | |
| US2155420A (en) | Apparatus for the detection of displacements | |
| US2745059A (en) | Device for measuring gas pressures | |
| US20070170926A1 (en) | Method and device for measuring ultrahigh vacuum | |
| US3580075A (en) | Pressure transducer for ionizable fluids | |
| SU871004A1 (en) | Magnetic discharge pressure transducer | |
| US2577066A (en) | Pressure measuring device | |
| US3399341A (en) | Vacuum pressure measurement apparatus utlizing hollow cathode discharge | |
| USRE21361E (en) | R gunn | |
| Tech et al. | II--V acuum A pparatusand A uxiliaries--II ana References Contd. | |
| RU2656091C1 (en) | Ion gage head | |
| SU504115A1 (en) | Magnetron type manometric converter | |
| SU1763997A1 (en) | Contact potential difference metering method | |
| SU697850A1 (en) | Ionization vacuum gauge | |
| US3143678A (en) | Vacuum ion gauge |