RU2754863C1 - X-ray radiation source - Google Patents

X-ray radiation source Download PDF

Info

Publication number
RU2754863C1
RU2754863C1 RU2020131046A RU2020131046A RU2754863C1 RU 2754863 C1 RU2754863 C1 RU 2754863C1 RU 2020131046 A RU2020131046 A RU 2020131046A RU 2020131046 A RU2020131046 A RU 2020131046A RU 2754863 C1 RU2754863 C1 RU 2754863C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
anode
gallium
heat exchanger
alloys
liquid metal
Prior art date
Application number
RU2020131046A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Михаил Юрьевич Русин
Валерий Дмитриевич Малыгин
Александр Васильевич Терехин
Дмитрий Владимирович Алексеев
Original Assignee
Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина»
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина» filed Critical Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина»
Priority to RU2020131046A priority Critical patent/RU2754863C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2754863C1 publication Critical patent/RU2754863C1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes

Abstract

FIELD: medical equipment.SUBSTANCE: invention relates to X-ray tubes with a rotating anode on a hydrodynamic support and can be used for X-ray apparatuses of a wide profile with high radiation power. The X-ray radiation source is comprised of a sealed vacuum chamber with an outlet window for the emergence of the X-ray beam, a cathode unit, a rotating hollow anode unit with a disk-shaped rotor on the peripheral part whereof a target is placed. A stationary liquid heat exchanger is placed inside the anode unit, a liquid metal lubricant from gallium or alloys thereof and a sealing apparatus are placed in the cavity between the inner surface of the rotor of the anode and the outer surface of the stationary heat exchanger. The sealing apparatus consists of two coaxial rings, wherein the inner ring is located on the outer surface of the heat exchanger and the outer one is located on the inner surface of the rotor of the anode, wherein the rings of the sealing apparatus are made either of materials inert to gallium or alloys thereof and not wetted by liquid metal. An annular capillary channel is located between the rings of the sealing apparatus.EFFECT: increased continuous operation time and power of the X-ray radiation source, increased operating resource, stability of operation and protection of the internal surfaces of the X-ray radiation source from chemical interaction with active liquid metals, increased reliability and simplified design.2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к рентгеновским трубкам с вращающимся анодом на гидродинамической опоре и может быть использовано для рентгеновских аппаратов широкого профиля с излучением большой мощности.The invention relates to X-ray tubes with a rotating anode on a hydrodynamic support and can be used for a wide-profile X-ray apparatus with high-power radiation.

Известна рентгеновская трубка, содержащая вакуумную колбу и размещенные внутри нее катод и анод. Эмиттер катода и анод выполнены из тугоплавкого материала. Вращающийся анод соединен с вакуумной колбой посредством шарикоподшипниковой опоры (Патент RU 2377686, 29.04.2008, МКИ H01J 35/04).Known X-ray tube containing a vacuum flask and placed inside it a cathode and anode. The cathode emitter and anode are made of refractory material. The rotating anode is connected to the vacuum flask by means of a ball bearing support (Patent RU 2377686, 04/29/2008, MKI H01J 35/04).

Недостатком известного устройства является ограничение мощности, обусловленной ограниченной теплоемкостью вращающегося дискового анода. Практически отсутствует возможность отвода тепла наружу вакуумной колбы через подшипниковую опору ввиду низкой эффективности передачи тепла через шарикоподшипниковые опоры. Кроме этого наличие шарикоподшипниковых опор вносит радиальные и осевые биения вращающегося ротора, что нарушает геометрическую стабильность фокусной дорожки, что при микронных размерах фокуса снижает технические характеристики рентгеновской трубки.The disadvantage of the known device is the limitation of the power due to the limited heat capacity of the rotating disk anode. There is practically no possibility of heat dissipation to the outside of the vacuum bulb through the bearing support due to the low efficiency of heat transfer through the ball bearing support. In addition, the presence of ball bearing supports introduces radial and axial beats of the rotating rotor, which violates the geometric stability of the focal track, which, with micron dimensions of the focus, reduces the technical characteristics of the X-ray tube.

Известна рентгеновская трубка, содержащая вращающийся анод, выполненный в виде перевернутой чаши, которая частично погружена в ванну с легкоплавким металлом и опирается на подшипник, установленный на опоре, охлаждаемой хладагентом (Авторское свидетельство СССР №531218, кл. H 01J 35/10, 1974).Known X-ray tube containing a rotating anode, made in the form of an inverted bowl, which is partially immersed in a bath with fusible metal and rests on a bearing mounted on a support cooled by a refrigerant (USSR author's certificate No. 531218, class H 01J 35/10, 1974) ...

Конструктивная схема известного технического решения предполагает наличие стационарной системы откачки рентгеновской трубки, поскольку наличие тефлоновых уплотнителей в вакуумной емкости исключают технологическую операцию высокотемпературного обезгаживания рентгеновской трубки для достижения в ней высокого вакуума перед операцией заполнения трубки жидким металлом теплоносителя. Кроме этого, уплотнительные кольца на вращающемся аноде не обеспечивают полной герметизации внутренней полости анода и вакуумной полости с катодами, что приводит к проникновению частиц жидкого металла в вакуумную емкость, осаждение частиц металла на высоковольтных изоляторах рентгеновской трубки, снижению электроизоляционных характеристик изоляторов и последующему высоковольтному пробою и выходу трубки из строя. Наличие стационарной системы откачки усложняет и удорожает рентгеновскую систему. Использование неполного заполнения объема анода жидким металлом, наличие лопастей и центральной подшипниковой опоры приводят к возникновению радиальных и осевых биений при вращении анода, что, в свою очередь, приводит к расфокусировке рентгеновской трубки и снижению ее технических характеристик. Кроме того, конструктивная схема охлаждения анода данной рентгеновской трубки исключает возможность любого ее пространственного позиционирования при применении, что также снижает эксплуатационные характеристики рентгеновской трубки.The structural diagram of the known technical solution assumes the presence of a stationary system for pumping out the X-ray tube, since the presence of Teflon seals in the vacuum vessel excludes the technological operation of high-temperature degassing of the X-ray tube to achieve a high vacuum in it before the operation of filling the tube with liquid metal of the coolant. In addition, the sealing rings on the rotating anode do not provide complete sealing of the inner cavity of the anode and the vacuum cavity with the cathodes, which leads to the penetration of liquid metal particles into the vacuum container, the deposition of metal particles on the high-voltage insulators of the X-ray tube, a decrease in the electrical insulation characteristics of the insulators and subsequent high-voltage breakdown, and tube failure. The presence of a stationary pumping system complicates and increases the cost of the X-ray system. The use of incomplete filling of the anode volume with liquid metal, the presence of blades and a central bearing support lead to the occurrence of radial and axial beats during the rotation of the anode, which, in turn, leads to defocusing of the X-ray tube and a decrease in its technical characteristics. In addition, the structural scheme of cooling the anode of this X-ray tube excludes the possibility of any spatial positioning during use, which also reduces the performance of the X-ray tube.

Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому положительному эффекту к заявляемому изобретению является источник рентгеновского излучения, содержащий герметичную вакуумную камеру с выходным окном для выхода пучка рентгеновского излучения, катодный узел, вращающийся полый анодный узел с ротором в форме диска, на периферийной части которого размещена жидкометаллическая мишень и размещенного внутри анодного узла неподвижного жидкостного теплообменника, жидкометаллической смазки из галлия или его сплавов, размещенной в полости между внутренней поверхностью ротора анода и внешней поверхностью неподвижного теплообменника и уплотнительного устройства между ними (Патент RU 2709183, 26.04.2019, МПК H01J 35/00).The closest in technical essence and the achieved positive effect to the claimed invention is an X-ray source containing a sealed vacuum chamber with an exit window for the output of the X-ray beam, a cathode assembly, a rotating hollow anode assembly with a disk-shaped rotor, on the peripheral part of which a liquid metal target is placed and placed inside the anode unit of a stationary liquid heat exchanger, liquid metal lubricant made of gallium or its alloys, placed in the cavity between the inner surface of the anode rotor and the outer surface of the stationary heat exchanger and a sealing device between them (Patent RU 2709183, 04/26/2019, IPC H01J 35/00) ...

Одним из недостатков известного устройства, принятого за прототип, является наличие жидкометаллической мишени, формируемой центробежной силой при вращении анода. Поскольку одной из целей изобретения является повышение мощности источника рентгеновского излучения, то это предполагает уменьшение размера фокусного пятна, повышение плотности электронов в электронном луче и повышение ускоряющего напряжения. При размере фокусного пятна менее 50 мкм, в фокусной дорожке будет происходить перегрев жидкого металла анода, его интенсивное испарение и выброс микрокапель (кластеров) в полость вакуумной камеры. Также проявится эффект гидродинамического удара высокоэнергетичного электронного луча о поверхность нагретого жидкого зеркала мишени с образованием каверны, что при высоких оборотах анода приведет к формированию фокусной канавки на поверхности мишени. Это приведет к изменению оптической системы «электронный луч - мишень» и, следовательно, к искажению потока рентгеновского излучения. Охлаждение в вакуумном пространстве испарившихся частиц жидкометаллической мишени анода ведет к их осаждению не только на защитную УНТ-мембрану, но и на поверхность высоковольтного изолятора рентгеновского источника, что влечет снижение электроизоляционных характеристик изолятора, его последующий высоковольтный пробой и выход источника рентгеновского излучения из строя. Частицы осажденного на анод металла жидкометаллической мишени могут вызвать загрязнение спектра рентгеновского излучения рентгеновской трубки линиями посторонних элементов. Выделяющиеся металлические пары ионизируются как электронным лучом, так и электрическим полем ускоряющего напряжения, что приводит к образованию объемного заряда в зоне катода и высоковольтному пробою межэлектродного пространства между катодом и анодом или пространства между катодом и высоковольтным изолятором. Кроме этого, устройству присуща высокая инертность в работе, поскольку для ее выключения требуется постепенное охлаждение жидкометаллической мишени до ее перехода в твердое состояние при сохранении высоких оборотов анода. Помимо этого, уплотнение для удерживания жидкометаллической смазки в зазоре между внутренней поверхностью анода и внешней поверхностью радиатора выполненное в виде кольцевых канавок лабиринтного уплотнения работает не эффективно, поскольку в работе лабиринтного уплотнения заложено явление дросселирования, т.е. уменьшение расхода газа за счет потери кинетической энергии потока при внезапном расширении газа. Поскольку металл смазки является жидкостью и не расширяется, лабиринтное уплотнение не работает. Это приводит к попаданию жидкого металла смазки в вакуумную полость и, вместе с парами и частицами жидкой мишени, к ухудшению вакуума и осаждению на поверхность высоковольтного изолятора. Это негативное явление исключает конструкцию отпаечного варианта источника рентгеновского излучения и, для уменьшения негативного влияния загрязнения вакуума металлическими парами вынуждает применять стационарную высоковакуумную откачную систему, что усложняет и удорожает источник рентгеновского излучения и исключает его использование в нестационарных условиях. Вытекание жидкометаллической смазки приводит к ухудшению условий теплопередачи от анода к жидкому теплоносителю теплообменника, заклиниванию вращающегося анода и выходу рентгеновского источника из строя. Также в известном изобретении имеется негативный момент, заключающийся в том, что жидкометаллическую мишень формируют в виде слоя расплавленного металла, относящегося к группе Sn, Li, In, Ga, Pb, Bi и их сплавов, на обращенной к оси вращения поверхности кольцевого желоба вращающегося анодного узла. Галлий и его сплавы являются весьма агрессивными металлами, особенно в нагретом состоянии, взаимодействующими практически со всеми металлами. Это может привести к деформации или разрушению кольцевого желоба анода, а также попаданию продуктов химических реакций в вакуумный объем, что также приведет источник рентгеновского излучения к выходу из строя.One of the disadvantages of the known device, taken as a prototype, is the presence of a liquid metal target formed by centrifugal force during the rotation of the anode. Since one of the objectives of the invention is to increase the power of the X-ray source, this implies a decrease in the size of the focal spot, an increase in the density of electrons in the electron beam and an increase in the accelerating voltage. When the size of the focal spot is less than 50 μm, overheating of the liquid metal of the anode will occur in the focal track, its intense evaporation and the ejection of microdroplets (clusters) into the cavity of the vacuum chamber. The effect of hydrodynamic impact of a high-energy electron beam on the surface of a heated liquid mirror of the target with the formation of a cavity will also manifest itself, which at high anode speeds will lead to the formation of a focal groove on the surface of the target. This will lead to a change in the "electron beam - target" optical system and, consequently, to a distortion of the X-ray radiation flux. Cooling in the vacuum space of the evaporated particles of the liquid metal target of the anode leads to their deposition not only on the protective CNT membrane, but also on the surface of the high-voltage insulator of the X-ray source, which entails a decrease in the electrical insulation characteristics of the insulator, its subsequent high-voltage breakdown and the failure of the X-ray source. Particles of the metal of a liquid metal target deposited on the anode can cause contamination of the X-ray spectrum of the X-ray tube with lines of foreign elements. Released metal vapors are ionized by both an electron beam and an electric field of an accelerating voltage, which leads to the formation of a space charge in the cathode region and a high-voltage breakdown of the interelectrode space between the cathode and the anode or the space between the cathode and the high-voltage insulator. In addition, the device is characterized by a high inertness in operation, since its shutdown requires gradual cooling of the liquid metal target until it becomes solid while maintaining high anode revolutions. In addition, a labyrinth seal made in the form of annular grooves of a labyrinth seal for retaining a liquid-metal lubricant in the gap between the inner surface of the anode and the outer surface of the radiator does not work effectively, since the throttling phenomenon is incorporated in the operation of the labyrinth seal, i.e. reduction of gas consumption due to the loss of kinetic energy of the flow during sudden gas expansion. Since the metal in the lubricant is liquid and does not expand, the labyrinth seal does not work. This leads to the ingress of the liquid metal of the lubricant into the vacuum cavity and, together with the vapors and particles of the liquid target, to a deterioration of the vacuum and deposition on the surface of the high-voltage insulator. This negative phenomenon excludes the design of the tap-off version of the X-ray source and, in order to reduce the negative effect of vacuum contamination by metal vapors, forces the use of a stationary high-vacuum pumping system, which complicates and increases the cost of the X-ray source and excludes its use in non-stationary conditions. Leakage of liquid-metal lubricant leads to deterioration of the conditions for heat transfer from the anode to the liquid heat-transfer agent of the heat exchanger, jamming of the rotating anode and the failure of the X-ray source. Also in the known invention there is a negative moment, which consists in the fact that the liquid metal target is formed in the form of a layer of molten metal belonging to the group of Sn, Li, In, Ga, Pb, Bi and their alloys, on the surface of the annular trough of the rotating anode node. Gallium and its alloys are highly corrosive metals, especially when heated, interacting with almost all metals. This can lead to deformation or destruction of the annular groove of the anode, as well as the ingress of products of chemical reactions into the vacuum volume, which will also lead to failure of the X-ray source.

Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является повышение времени непрерывной работы и мощности источника рентгеновского излучения за счет оптимизации его конструкции и термодинамических процессов охлаждения, увеличение рабочего ресурса и стабильности работы за счет повышения времени сохранения высокого вакуума и электроизоляционных характеристик высоковольтного изолятора, защиты внутренних поверхностей источника рентгеновского излучения от химического взаимодействия с активными жидкими металлами, повышения надежности и упрощения конструкции.The problem to be solved by the present invention is to increase the time of continuous operation and power of the X-ray source by optimizing its design and thermodynamic cooling processes, increasing the working life and stability of work by increasing the time of maintaining high vacuum and electrical insulating characteristics of the high-voltage insulator, protecting internal surfaces of the X-ray source from chemical interaction with active liquid metals, increasing the reliability and simplifying the design.

1. Источник рентгеновского излучения, содержащий герметичную вакуумную камеру с выходным окном для выхода пучка рентгеновского излучения, катодный узел, вращающийся полый анодный узел с ротором в форме диска, на периферийной части которого размещена мишень, и размещенный внутри анодного узла неподвижный жидкостный теплообменник, жидкометаллическую смазку из галлия или его сплавов размещенную в полости между внутренней поверхностью ротора анода и внешней поверхностью неподвижного теплообменника и уплотнительное устройство между ними, отличающийся тем, что мишень выполнена массивной из твердого металла в виде кольца соответствующей формы, вращающийся анод и теплообменник выполнены из материала, инертного к галлию или его сплавам, или внутренняя поверхность ротора анода и внешняя поверхность неподвижного теплообменника снабжены защитным пленочным покрытием, химически стойким к галлию или его сплавам.1. An X-ray source containing a sealed vacuum chamber with an exit window for the exit of the X-ray beam, a cathode unit, a rotating hollow anode unit with a disk-shaped rotor, on the peripheral part of which a target is located, and a stationary liquid heat exchanger located inside the anode unit, liquid metal lubricant made of gallium or its alloys located in the cavity between the inner surface of the anode rotor and the outer surface of the stationary heat exchanger and a sealing device between them, characterized in that the target is made of solid metal in the form of a ring of appropriate shape, the rotating anode and the heat exchanger are made of a material inert to gallium or its alloys, or the inner surface of the anode rotor and the outer surface of the stationary heat exchanger are provided with a protective film coating chemically resistant to gallium or its alloys.

2. Источник рентгеновского излучения по п. 1, отличающийся тем, что уплотнительное устройство состоит из двух коаксиальных колец, причем внутреннее кольцо размещено на внешней поверхности теплообменника, а внешнее на внутренней поверхности ротора анода, при этом кольца уплотнительного устройства выполнены либо из материалов, инертных к галлию или его сплавам и при этом не смачивающихся жидким металлом, либо из материалов, инертных к галлию или его сплавам, но покрытых пленкой, не смачивающейся жидким металлом.2. An X-ray source according to claim 1, characterized in that the sealing device consists of two coaxial rings, the inner ring being located on the outer surface of the heat exchanger, and the outer ring on the inner surface of the anode rotor, while the rings of the sealing device are made either of inert materials to gallium or its alloys and at the same time not wetted by liquid metal, or from materials inert to gallium or its alloys, but covered with a film that is not wetted by liquid metal.

3. Источник рентгеновского излучения по п.п. 1-2, отличающийся тем, что между кольцами уплотнительного устройства размещен кольцевой капиллярный канал, причем длина капиллярного канала выбрана из соотношения: H ≥ 4,4

Figure 00000001
, где3. X-ray source according to PP. 1-2, characterized in that an annular capillary channel is placed between the rings of the sealing device, and the length of the capillary channel is selected from the ratio: H ≥ 4.4
Figure 00000001
, where

σ - коэффициент поверхностного натяжения жидкого металла смазки;σ is the coefficient of surface tension of the liquid metal of the lubricant;

θ - угол смачивания жидким металлом стенки капиллярного канала;θ is the angle of wetting of the capillary channel wall with liquid metal;

ρ - плотность жидкого металла;ρ is the density of the liquid metal;

g - ускорение свободного падения;g is the acceleration of gravity;

b - толщина кольцевого капиллярного канала.b is the thickness of the annular capillary channel.

На фиг. 1 схематически представлен общий вид источника рентгеновского излучения, на фиг. 2 представлено уплотнительное устройство.FIG. 1 is a schematic perspective view of an X-ray source, FIG. 2 shows the sealing device.

Источник рентгеновского излучения содержит герметичную вакуумную камеру 1, выходное окно 2 пропускающее рентгеновское излучение 3, катодный узел 4 генерирующий поток электронов 5, вращающийся анодный узел 6 состоящий из ротора 7, мишени 8, вала электродвигателя 9 и внутреннего уплотнительного кольца 10. Внутреннее уплотнительное кольцо 10 выполнено из материалов инертных к галлию или его сплавам и, при этом, не смачивающихся жидким металлом, например из графита, либо из материалов инертных к галлию или его сплавам, но покрытых пленкой не смачивающейся жидким металлом, например кварцевого стекла покрытого оксидом галлия (Ga2O3). Внутри вращающегося анодного узла размещается неподвижный жидкостный теплообменник 11 с входным каналом 12 и выходным каналом 13 для подачи жидкого теплоносителя 14 и внешнее уплотнительное кольцо 15. Ротор 7 и теплообменник 11 выполнены из материала, инертного к галлию или его сплавам, например из вольфрама, или внутренняя поверхность ротора 7 и внешняя поверхность неподвижного теплообменника 11 снабжены защитным пленочным покрытием, химически стойким к галлию или его сплавам, например вольфрамовым. Внешнее уплотнительное кольцо 15 выполнено из материалов инертных к галлию или его сплавам и, при этом, не смачивающихся жидким металлом, например из графита, либо из материалов инертных к галлию или его сплавам, но покрытых пленкой не смачивающейся жидким металлом, например кварцевого стекла покрытого оксидом галлия (Ga2O3). Направление движения жидкого теплоносителя показано стрелками на Фиг. 1. Снаружи вакуумной камеры 1 размещен статор 16. Между внутренней поверхностью ротора 7 и внешней поверхностью неподвижного теплообменника 11 размещена жидкометаллическая смазка 17. Внутренняя поверхность ротора 7 и внешняя поверхность неподвижного теплообменника 11, контактирующие с жидкометаллической смазкой 17 снабжены защитными слоями 18 и 19, например из вольфрама (см. фиг. 2). Между внешним уплотнительным кольцом 15 и внутренним уплотнительным кольцом 10 размещен кольцевой капиллярный канал длиной H и высотой b, причем кольца снабжены несмачивающими слоями 20 и 21, например из оксида галлия (Ga2O3).The X-ray source contains a sealed vacuum chamber 1, an exit window 2 transmitting X-rays 3, a cathode assembly 4 generating an electron flow 5, a rotating anode assembly 6 consisting of a rotor 7, a target 8, an electric motor shaft 9 and an inner sealing ring 10. Inner sealing ring 10 made of materials inert to gallium or its alloys and, at the same time, not wetted by liquid metal, for example, from graphite, or from materials inert to gallium or its alloys, but covered with a film not wetted by liquid metal, for example, quartz glass coated with gallium oxide (Ga 2 O 3 ). Inside the rotating anode unit is a stationary liquid heat exchanger 11 with an inlet 12 and an outlet 13 for supplying a liquid heat carrier 14 and an external sealing ring 15. The rotor 7 and heat exchanger 11 are made of a material inert to gallium or its alloys, for example, from tungsten, or internal the surface of the rotor 7 and the outer surface of the stationary heat exchanger 11 are provided with a protective film coating chemically resistant to gallium or its alloys, such as tungsten. The outer sealing ring 15 is made of materials inert to gallium or its alloys and, at the same time, not wetted by liquid metal, for example, from graphite, or from materials inert to gallium or its alloys, but covered with a film not wetted by liquid metal, for example, quartz glass coated with oxide gallium (Ga 2 O 3 ). The direction of movement of the heat transfer fluid is shown by arrows in FIG. 1. Outside the vacuum chamber 1 there is a stator 16. Between the inner surface of the rotor 7 and the outer surface of the stationary heat exchanger 11 is a liquid-metal lubricant 17. The inner surface of the rotor 7 and the outer surface of the stationary heat exchanger 11, in contact with the liquid-metal lubricant 17, are provided with protective layers 18 and 19, for example from tungsten (see Fig. 2). An annular capillary channel of length H and height b is placed between the outer sealing ring 15 and the inner sealing ring 10, and the rings are provided with non-wetting layers 20 and 21, for example, of gallium oxide (Ga 2 O 3 ).

Пример. Разработан мощный источник рентгеновского излучения отпаечного типа, в котором ротор 7 и теплообменник 11 изготовлены из бескислородной меди. Анод 8 изготовлен из вольфрама. В качестве жидкого теплоносителя 14 для охлаждения теплообменника 11 используется проточная вода. Для жидкометаллической смазки выбран сплав галинстан, состоящий из 68,5% галлия (Ga), 21,5% индия (In) и 10% олова (Sn). Температура плавления сплава составляет - 19°С, температура кипения более 1300°С, что значительно превышает температуру плавления меди и позволяет поднять тепловую мощность источника рентгеновского излучения. Таким образом, при нормальных условиях эксплуатации источника рентгеновского излучения сплав находится в жидком состоянии. Жидкометаллическая смазка в предлагаемом устройстве используется не только в качестве рабочего тела подшипника жидкостного трения при вращении анода, но и как промежуточный теплоноситель для передачи избыточного тепла от горячего анода 8 к циркулирующей воде 14 теплообменника 11. Внутренняя поверхность медного ротора 7 и внешняя поверхность медного неподвижного теплообменника 11, контактирующие с жидкометаллической смазкой 17 снабжены защитными слоями 18 и 19, выполненными из вольфрама и имеют толщину 5 ÷ 8 мкм, что в рабочем диапазоне температур исключает негативное воздействие высокой химической активности галлия к меди. Поскольку галлий и его сплавы имеют чрезвычайно низкое давление насыщенных паров порядка 10-6 Па, то это, соответственно, позволяет применять его в электровакуумных приборах с вакуумом не хуже 10-6 Па. Внешнее уплотнительное кольцо 15 и внутреннее уплотнительное кольцо 10 изготовлены из кварцевого стекла и покрыты несмачивающими слоями 20 и 21 из оксида галлия (Ga2O3) толщиной 1÷3 мкм. Это позволяет исключить просачивание жидкометаллической смазки в вакуумную полость источника рентгеновского излучения, загрязнение высоковольтного изолятора и внутренних поверхностей и заклинивание вращающегося с высокой скоростью анода.Example. A powerful tap-type X-ray source has been developed, in which the rotor 7 and the heat exchanger 11 are made of oxygen-free copper. Anode 8 is made of tungsten. Running water is used as a heat transfer fluid 14 to cool the heat exchanger 11. For the liquid metal lubricant, the galinstan alloy was chosen, consisting of 68.5% gallium (Ga), 21.5% indium (In) and 10% tin (Sn). The melting point of the alloy is - 19 ° C, the boiling point is more than 1300 ° C, which significantly exceeds the melting point of copper and allows you to increase the thermal power of the X-ray source. Thus, under normal operating conditions of the X-ray source, the alloy is in a liquid state. Liquid-metal grease in the proposed device is used not only as a working fluid of a liquid friction bearing during the rotation of the anode, but also as an intermediate heat carrier for transferring excess heat from the hot anode 8 to the circulating water 14 of the heat exchanger 11. The inner surface of the copper rotor 7 and the outer surface of the copper stationary heat exchanger 11, in contact with liquid metal lubricant 17 are equipped with protective layers 18 and 19 made of tungsten and have a thickness of 5 ÷ 8 microns, which in the operating temperature range excludes the negative impact of high chemical activity of gallium to copper. Since gallium and its alloys have an extremely low saturated vapor pressure of the order of 10 -6 Pa, this, accordingly, makes it possible to use it in electric vacuum devices with a vacuum of at least 10 -6 Pa. The outer sealing ring 15 and the inner sealing ring 10 are made of quartz glass and covered with non-wetting layers 20 and 21 of gallium oxide (Ga 2 O 3 ) with a thickness of 1 ÷ 3 microns. This makes it possible to exclude leakage of liquid metal lubricant into the vacuum cavity of the X-ray source, contamination of the high-voltage insulator and internal surfaces, and jamming of the anode rotating at a high speed.

Таким образом, настоящее изобретение позволяет значительно повысить время непрерывной работы и мощность источника рентгеновского излучения за счет оптимизации его конструкции и термодинамических процессов охлаждения, увеличить рабочий ресурс и стабильности работы за счет повышения времени сохранения высокого вакуума и электроизоляционных характеристик высоковольтного изолятора, защиты внутренних поверхностей источника рентгеновского излучения от химического взаимодействия с активными жидкими металлами, повышения надежности и упрощения конструкции.Thus, the present invention makes it possible to significantly increase the continuous operation time and power of the X-ray source by optimizing its design and thermodynamic cooling processes, to increase the working life and stability of operation by increasing the time of maintaining high vacuum and electrical insulation characteristics of the high-voltage insulator, protecting the inner surfaces of the X-ray source. radiation from chemical interaction with active liquid metals, increasing the reliability and simplifying the design.

Предложенное устройство предназначено для ряда применений, включающих материаловедение, рентгеновскую техническую диагностику, биомедицинскую и медицинскую диагностику, микроскопию.The proposed device is intended for a number of applications, including materials science, X-ray technical diagnostics, biomedical and medical diagnostics, microscopy.

Claims (4)

1. Источник рентгеновского излучения, содержащий герметичную вакуумную камеру с выходным окном для выхода пучка рентгеновского излучения, катодный узел, вращающийся полый анодный узел с ротором в форме диска, на периферийной части которого размещена мишень, и размещённый внутри анодного узла неподвижный жидкостный теплообменник, жидкометаллическую смазку из галлия или его сплавов, размещённую в полости между внутренней поверхностью ротора анода и внешней поверхностью неподвижного теплообменника, и уплотнительное устройство между ними, причём вращающийся анод и теплообменник выполнены из материала, инертного к галлию или его сплавам, или внутренняя поверхность ротора анода и внешняя поверхность неподвижного теплообменника снабжены защитным плёночным покрытием, химически стойким к галлию или его сплавам, отличающийся тем, что уплотнительное устройство состоит из двух коаксиальных колец, причём внутреннее кольцо размещено на внешней поверхности теплообменника, а внешнее на внутренней поверхности ротора анода, при этом кольца уплотнительного устройства выполнены либо из материалов, инертных к галлию или его сплавам и при этом не смачивающихся жидким металлом (гидрофобным), либо из материалов, инертных к галлию или его сплавам, но покрытых пленкой, инертной к галлию и не смачивающейся жидким металлом, при этом между кольцами уплотнительного устройства размещён кольцевой капиллярный канал, причем длина капиллярного канала выбрана из соотношения: 1. An X-ray source containing a sealed vacuum chamber with an exit window for the exit of the X-ray beam, a cathode unit, a rotating hollow anode unit with a disk-shaped rotor, on the peripheral part of which a target is located, and a stationary liquid heat exchanger located inside the anode unit, liquid metal lubricant made of gallium or its alloys, placed in a cavity between the inner surface of the anode rotor and the outer surface of the stationary heat exchanger, and a sealing device between them, and the rotating anode and the heat exchanger are made of a material inert to gallium or its alloys, or the inner surface of the anode rotor and the outer surface the stationary heat exchanger is equipped with a protective film coating chemically resistant to gallium or its alloys, characterized in that the sealing device consists of two coaxial rings, with the inner ring located on the outer surface of the heat exchanger, and the outer one on the inner surface the surface of the anode rotor, while the rings of the sealing device are made either from materials inert to gallium or its alloys and at the same time not wetted by liquid metal (hydrophobic), or from materials inert to gallium or its alloys, but covered with a film inert to gallium and not wetted by liquid metal, while an annular capillary channel is placed between the rings of the sealing device, and the length of the capillary channel is selected from the ratio: H ≥ 4,4
Figure 00000002
, где
H ≥ 4.4
Figure 00000002
, where
σ - коэффициент поверхностного натяжения жидкого металла смазки; θ - угол смачивания жидким металлом стенки капиллярного канала; ρ - плотность жидкого металла; g - ускорение свободного падения; b - толщина кольцевого капиллярного канала.σ is the coefficient of surface tension of the liquid metal of the lubricant; θ is the angle of wetting of the capillary channel wall with liquid metal; ρ is the density of the liquid metal; g is the acceleration of gravity; b is the thickness of the annular capillary channel. 2. Источник рентгеновского излучения по п.1, отличающийся тем, что внутренняя поверхность ротора анода и внешняя поверхность неподвижного теплообменника выполнены гидрофобными к галлию и его сплавам.2. The X-ray source according to claim 1, characterized in that the inner surface of the anode rotor and the outer surface of the stationary heat exchanger are made hydrophobic to gallium and its alloys.
RU2020131046A 2020-09-21 2020-09-21 X-ray radiation source RU2754863C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020131046A RU2754863C1 (en) 2020-09-21 2020-09-21 X-ray radiation source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020131046A RU2754863C1 (en) 2020-09-21 2020-09-21 X-ray radiation source

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2754863C1 true RU2754863C1 (en) 2021-09-08

Family

ID=77670033

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020131046A RU2754863C1 (en) 2020-09-21 2020-09-21 X-ray radiation source

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2754863C1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU67661U1 (en) * 2007-04-17 2007-10-27 Открытое акционерное общество "Верхневолжские магистральные нефтепроводы" ОАО "Верхневолжскнефтепровод" SHAFT UNIT FOR SHAFT AND BUSHING
US20090225950A1 (en) * 2006-12-04 2009-09-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Rotating anode x-ray tube
JP2011124151A (en) * 2009-12-11 2011-06-23 Toshiba Corp Rotating anode x-ray tube, and x-ray tube device
FR3062950A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-17 Acerde ROTARY DEVICE FOR PRODUCING X-RAYS, APPARATUS COMPRISING SUCH DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING SUCH A DEVICE
RU2709183C1 (en) * 2019-04-26 2019-12-17 Общество С Ограниченной Ответственностью "Эуф Лабс" X-ray source with liquid metal target and method of radiation generation

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090225950A1 (en) * 2006-12-04 2009-09-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Rotating anode x-ray tube
RU67661U1 (en) * 2007-04-17 2007-10-27 Открытое акционерное общество "Верхневолжские магистральные нефтепроводы" ОАО "Верхневолжскнефтепровод" SHAFT UNIT FOR SHAFT AND BUSHING
JP2011124151A (en) * 2009-12-11 2011-06-23 Toshiba Corp Rotating anode x-ray tube, and x-ray tube device
FR3062950A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-17 Acerde ROTARY DEVICE FOR PRODUCING X-RAYS, APPARATUS COMPRISING SUCH DEVICE AND METHOD FOR PROCESSING SUCH A DEVICE
RU2709183C1 (en) * 2019-04-26 2019-12-17 Общество С Ограниченной Ответственностью "Эуф Лабс" X-ray source with liquid metal target and method of radiation generation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3694685A (en) System for conducting heat from an electrode rotating in a vacuum
EP0186937B1 (en) Rotating anode x-ray tube
US4405876A (en) Liquid cooled anode x-ray tubes
US6430260B1 (en) X-ray tube anode cooling device and systems incorporating same
JP2726093B2 (en) X-ray generator cooling device
US6477231B2 (en) Thermal energy transfer device and x-ray tubes and x-ray systems incorporating same
US6875071B2 (en) Method of manufacturing x-ray tube components
US6377659B1 (en) X-ray tubes and x-ray systems having a thermal gradient device
KR101140993B1 (en) Structure of rotating anode type x-ray tube having improved thermal emitting efficiency
JPH11224627A (en) Straddle bearing assembly
JPWO2008153089A1 (en) Mechanism and X-ray tube device
JP3238566U (en) X-ray source with rotating liquid-metal target
CN111466008A (en) Rotating anode for an X-ray source
US6619842B1 (en) X-ray tube and method of manufacture
RU2709183C1 (en) X-ray source with liquid metal target and method of radiation generation
RU2754863C1 (en) X-ray radiation source
GB2038539A (en) Rotary-anode x-ray tube
JP4309290B2 (en) Liquid metal heat pipe structure for X-ray targets
JP3910468B2 (en) Rotating anode X-ray tube
US3790836A (en) Cooling means for electrodes
WO2002027752A1 (en) High emissive coatings on x-ray tube components
JP2006302648A (en) Rotary positive electrode x-ray tube device
US5173931A (en) High-intensity x-ray source with variable cooling
JP4810069B2 (en) Liquid metal gasket in X-ray tube
CN110199373B (en) High power X-ray source and method of operation