RU2720260C1 - Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes - Google Patents

Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes Download PDF

Info

Publication number
RU2720260C1
RU2720260C1 RU2019122079A RU2019122079A RU2720260C1 RU 2720260 C1 RU2720260 C1 RU 2720260C1 RU 2019122079 A RU2019122079 A RU 2019122079A RU 2019122079 A RU2019122079 A RU 2019122079A RU 2720260 C1 RU2720260 C1 RU 2720260C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
nanotubes
carbon nanotubes
conductivity
probe
substrate
Prior art date
Application number
RU2019122079A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Надим Анварович Давлеткильдеев
Денис Витальевич Соколов
Евгений Юрьевич Мосур
Валерий Викторович Болотов
Иван Андреевич Лобов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук (ОНЦ СО РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук (ОНЦ СО РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук (ОНЦ СО РАН)
Priority to RU2019122079A priority Critical patent/RU2720260C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2720260C1 publication Critical patent/RU2720260C1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B1/00Nanostructures formed by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: use for determination of electrophysical parameters of individual carbon nanotubes. Essence of the invention is that a method for contactless evaluation of conductivity of individual carbon nanotubes of given synthesis, in which: first, the nanotubes are placed on a first substrate containing a structure with microcontacts, then, the probe detects i nanotubes from nanotubes lying on two adjacent microcontacts using AFM scanning by a semi-contact method, after which two steps of calibration measurements are carried out for each of the i nanotubes, at the number of detected not less than five i≥5, at the first stage on AFM-images the length and diameter of each i nanotube is determined, then the probe captures the current of the nanotube i and, using the values of the length and diameter, calculates the conductivity σi of each of the i nanotubes, at the second stage, the profile of the ECM image of each of the nanotubes i is measured and the voltage Ui is calculated for each i of the nanotube, then, based on average values of σi and Ui, calibration dependence U=<Uii)> is constructed, then N carbon nanotubes of given synthesis are placed on the second substrate so that N carbon nanotubes are distributed chaotically, by attaching to substrate by side surface, after that, the probe detects m individual carbon nanotubes, using AFM scanning by a semi-contact method, then the EMI image of each m individual carbon nanotube is recorded, and the voltage Um is calculated and, using the corresponding voltage value Ui from the calibration curve U=<Uii)> constructed on the preliminary measurements, determining specific conductivity σm of each m individual carbon nanotube using electrostatic force microscopy method.
EFFECT: possibility of non-contact evaluation of conductivity of individual carbon nanotubes.
1 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к способам определения электрофизических параметров индивидуальных углеродных нанотрубок с применением метода электростатической силовой микроскопии и может быть использовано для бесконтактной оценки удельной проводимости индивидуальных нанотрубок.The invention relates to methods for determining the electrophysical parameters of individual carbon nanotubes using the method of electrostatic force microscopy and can be used for non-contact assessment of the conductivity of individual nanotubes.

Наиболее близким к заявляемому решению относится способ (патент US №6720553), базирующейся на применении сканирующей микроскопии поверхностного электрического потенциала, где используется численное моделирование экспериментального профиля сигнала: рассчитываются емкостные характеристики системы «зонд-нанотрубка-подложка» для учета влияния неидеальности геометрической формы зонда на контактную разность потенциалов.Closest to the claimed solution relates to a method (US patent No. 6720553), based on the use of scanning microscopy of the surface electric potential, which uses numerical simulation of the experimental signal profile: the capacitive characteristics of the probe-nanotube-substrate system are calculated to take into account the influence of non-ideal probe geometric shape on contact potential difference.

Недостаткам данного способа является: применение метода зонда Кельвина, не обеспечивающего необходимую чувствительность для исследования наноразмерных объектов, что не позволяют установить связь между экспериментальным профилем сигнала и величинами, характеризующими проводимость индивидуальной углеродной нанотрубки (УНТ).The disadvantages of this method are: the use of the Kelvin probe method, which does not provide the necessary sensitivity for the study of nanoscale objects, which does not allow us to establish a relationship between the experimental signal profile and the values characterizing the conductivity of an individual carbon nanotube (CNT).

Технической задачей заявляемого решения является получение связи между экспериментальным профилем электростатического сигнала и проводимостью индивидуальных углеродных нанотрубок с помощью бесконтактной (электростатической) и контактной (проводящей) атомной силовой микроскопии, соответственно.The technical task of the proposed solution is to obtain a connection between the experimental profile of the electrostatic signal and the conductivity of individual carbon nanotubes using non-contact (electrostatic) and contact (conductive) atomic force microscopy, respectively.

Техническим результатом заявляемого способа является бесконтактная оценка проводимости индивидуальных углеродных нанотрубок с помощью электростатической силовой микроскопии (ЭСМ) при использовании: предварительных измерений методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) и прямых контактных измерений нанотрубок заданного синтеза.The technical result of the proposed method is a non-contact assessment of the conductivity of individual carbon nanotubes using electrostatic force microscopy (ESM) using: preliminary measurements by atomic force microscopy (AFM) and direct contact measurements of nanotubes of a given synthesis.

Указанный технический результат достигается тем, что предложен способ бесконтактной оценки проводимости индивидуальных углеродных нанотрубок заданного синтеза, в котором: предварительно нанотрубки помещаются на первую подложку, содержащую структуру с микроконтактами, затем зондом производится обнаружение i нанотрубок из нанотрубок, лежащих на двух соседних микроконтактах, с помощью АСМ-сканирования полуконтактным методом, после этого проводятся два этапа калибровочных измерений для каждой из i нанотрубок, при количестве обнаруженных не менее пяти i≥5, на первом этапе по АСМ-изображениям определяется длина и диаметр каждой i нанотрубки, затем зондом производится регистрация тока i нанотрубки и, используя значения длины и диаметра, рассчитывается удельная проводимость σi каждой i нанотрубки, на втором этапе измеряется профиль ЭСМ-изображения каждой i нанотрубки и рассчитывается напряжение Ui для каждой i нанотрубки,The technical result is achieved by the fact that a method for non-contact assessment of the conductivity of individual carbon nanotubes of a given synthesis is proposed, in which: first, the nanotubes are placed on the first substrate containing the structure with microcontacts, then the probe detects i nanotubes from the nanotubes lying on two adjacent microcontacts using AFM scanning by the semi-contact method, after which two stages of calibration measurements are carried out for each of the i nanotubes, with the number detected of at least five i≥5, at the first stage, the length and diameter of each i nanotube is determined from AFM images, then the probe i current of the nanotube is recorded by the probe and using the length and diameter values, the specific conductivity σ i of each i nanotube is calculated, at the second stage the profile of the ESM image of each i nanotube is measured and the voltage U i for each i of the nanotube is calculated,

Figure 00000001
Figure 00000001

где U1 - напряжение, прикладываемое между зондом и подложкой,where U 1 is the voltage applied between the probe and the substrate,

ΔU1 - контактная разность потенциалов между зондом и подложкой,ΔU 1 - contact potential difference between the probe and the substrate,

ΔUi - дополнительное слагаемое для подгонки теоретического сигнала к экспериментальным значениямΔU i is an additional term for fitting a theoretical signal to experimental values

после этого по средним значениям σi и Ui строится калибровочная зависимостьafter that, using the average values of σ i and U i, a calibration dependence is constructed

U=<Uii)>, затем помещают N углеродных нанотрубок заданного синтеза, на вторую подложку так, что N углеродных нанотрубок распределяются хаотическим образом, прикрепляясь к подложке боковой поверхностью, после этого зондом производится обнаружение обнаружение m - индивидуальных углеродных нанотрубок, с помощью АСМ-сканирования полуконтактным методом, затем регистрируется профиль ЭСМ-изображения каждой m - идивидуальной углеродной нанотрубки и рассчитывается напряжение Um и используя соответствующее ему по величине значение напряжения Ui из построенной на предварительных измерениях калибровочной зависимости U=<Uii)> определяется удельная проводимость σm - каждой m - индивидуальной углеродной нанотрубки.U = <U ii )>, then N carbon nanotubes of a given synthesis are placed on a second substrate so that N carbon nanotubes are distributed randomly by attaching to the substrate with a lateral surface, after which the probe detects m - individual carbon nanotubes, using AFM scanning by the semi-contact method, then the profile of the ESM image of each m - individual carbon nanotube is recorded and the voltage U m is calculated and the voltage value U i corresponding to it is calculated From the calibration dependence U = <U ii )> constructed on preliminary measurements, the specific conductivity σ m - of each m - individual carbon nanotube is determined.

Для достижения поставленной технической задачи нанотрубки синтезируют методом CVD (Chemical Vapor Deposition), затем данные нанотрубки осаждаются на первую подложку, содержащую структуры с золотыми микроконтактами, фотолитографически сформированными на термически выращенном слое SiO2 толщиной 430 нм на пластине n-Si с удельным сопротивлением ρ=4.5 Ом⋅см, из суспензии, которая получена путем ультразвукового диспергирования слоев углеродных нанотрубок в дихлорметане в течение 1 часа, при этом перед измерениям и первая подложка с осажденными нанотрубками выдерживается при температуре 150°С в течение 10 мин для удаления слоя водного адсорбата с поверхности подложки и формирования более тесного контакта между нанотрубками и золотыми микроконтактами, а для исключения образования водного адсорбата и его влияния на проводимость дальнейшие измерения проводятся в атмосфере азота при относительной влажности не более 5%.To achieve the technical task, nanotubes are synthesized by CVD (Chemical Vapor Deposition), then these nanotubes are deposited on the first substrate containing structures with gold microcontacts photolithographically formed on a thermally grown SiO 2 layer 430 nm thick on an n-Si plate with specific resistance ρ = 4.5 Ohm⋅cm, from a suspension obtained by ultrasonic dispersion of layers of carbon nanotubes in dichloromethane for 1 hour, with the first substrate with deposited nanotubes before measurements it is maintained at a temperature of 150 ° C for 10 min to remove a layer of aqueous adsorbate from the substrate surface and to form a closer contact between nanotubes and gold microcontacts, and to exclude the formation of an aqueous adsorbate and its effect on conductivity, further measurements are carried out in a nitrogen atmosphere at a relative humidity of more than 5%.

Затем методом атомно-силовой микроскопии (АСМ), используя микроскоп MFP-3D SA, производится обнаружение i нанотрубок в количестве не менее 5, (при этом коэффициент корреляции RPearson, между данными измерениями составил не менее 0,9058), лежащих на двух соседних микроконтактах, после этого проводятся два этапа калибровочных измерений для каждой из i нанотрубок при i≥5, на первом этапе по АСМ-изображениям определяется длина и диаметр i нанотрубки, проводятся измерения ВАХ каждой i нанотрубки, посредством проводящей атомно-силовой микроскопии следующим образом: на один из микроконтактов через предусилитель в модуле головки АСМ подается линейно-модулированное напряжение в пределах от -1 до +1 В, к другому микроконтакту прижимается кантилевер с постоянной силой 21 нН (среднее значение силы, начиная с которого, величина тока не меняется с ростом силы прижатия). Учитывая линейный характер ВАХ контактов «электрод-нанотрубка-электрод» в данном диапазоне напряжений и вклад контактного сопротивления [1], определяется продольное электрическое сопротивление каждой σi нанотрубки. И наконец, используя данные АСМ изображений по длине и диаметру, рассчитывается удельная проводимость σi каждой i нанотрубки (при определении площади поперечного сечения нанотрубок учитывалась толщина внешней стенки, равная 0.3 нм).Then, using atomic force microscopy (AFM), using a MFP-3D SA microscope, i nanotubes are detected in an amount of at least 5 (the correlation coefficient R Pearson between these measurements was at least 0.9058) lying on two adjacent microcontacts, after that two stages of calibration measurements are carried out for each of i nanotubes at i≥5, at the first stage, the length and diameter i of the nanotube are determined from AFM images, the I – V characteristics of each i nanotube are measured using conducting atomic force microscopy as follows way: a linearly modulated voltage ranging from -1 to +1 V is applied to one of the microcontacts through the preamplifier in the AFM head module, a cantilever with a constant force of 21 nN is pressed to the other microcontact (the average value of the force, starting from which, the current value does not change with the growth of the pressing force). Given the linear nature of the I – V characteristics of the electrode – nanotube – electrode contacts in this voltage range and the contribution of the contact resistance [1], the longitudinal electrical resistance of each σ i of the nanotube is determined. And finally, using AFM image data along the length and diameter, the specific conductivity σ i of each i nanotube is calculated (when determining the cross-sectional area of the nanotubes, the thickness of the outer wall equal to 0.3 nm was taken into account).

На втором этапе измеряется электростатический отклик каждой i нанотрубки, и по профилю ЭСМ-изображения, рассчитывается напряжение Ui для каждой индивидуальной углеродной i нанотрубки, для этого проводится ЭСМ-сканирование каждой i нанотрубки с прикладываемым фиксированным смещением на зонде равным +5 В, согласно методике [2]. ЭСМ-профиль представляет собой зависимость сдвига фазы колебаний зонда ΔФ от его продольной координаты х. Затем осуществляется подгонка теоретического ЭСМ-профиля к экспериментальному в области пика с наибольшим значением сдвига фаз с помощью метода наименьших квадратов. Критерием, которому должно соответствовать решение, является минимум суммы квадратов отклонений теоретического фазового сдвига от экспериментального:At the second stage, the electrostatic response of each i nanotube is measured, and the voltage U i for each individual carbon i nanotube is calculated from the profile of the ESM image; for this, an ESM scan of each i nanotube with a fixed fixed offset at the probe of +5 V is performed, according to the method [2]. The ESM profile is the dependence of the phase shift of the probe ΔF on the longitudinal coordinate x. Then, the theoretical ESM profile is adjusted to the experimental one in the peak region with the largest phase shift using the least squares method. The criterion that the solution must meet is the minimum of the sum of the squares of the deviations of the theoretical phase shift from the experimental:

Figure 00000002
Figure 00000002

где Ф(xi) и Фэксп(xi) - теоретический и экспериментальный фазовые сдвиги в узловой точке с координатой xi,where f (x i ) and f exp (x i ) are the theoretical and experimental phase shifts at the nodal point with the coordinate x i ,

n - количество узловых точек, а выражение для теоретического сдвига фазы колебаний зонда имеет вид:n is the number of nodal points, and the expression for the theoretical phase shift of the probe oscillations has the form:

Figure 00000003
Figure 00000003

где Q - добротность кантилевера,where Q is the quality factor of the cantilever,

k - коэффициент жесткости кантилевера,k is the cantilever stiffness coefficient,

U1 - напряжение, прикладываемое между зондом и подложкой,U 1 is the voltage applied between the probe and the substrate,

ΔU1 - контактная разность потенциалов между зондом и подложкой.ΔU 1 is the contact potential difference between the probe and the substrate.

На фиг. 1 представлена зависимость сдвига фазы колебаний зонда ΔФ от его продольной координаты x. На фиг. 2 представлена модель, учитывающая емкостные связи: «зонд-подложка», «зонд-нанотрубка», «нанотрубка-подложка. При этом, используются следующие приближения:In FIG. Figure 1 shows the dependence of the phase shift of the probe oscillations ΔΦ on its longitudinal coordinate x. In FIG. Figure 2 shows a model that takes into account capacitive coupling: probe-substrate, probe-nanotube, and nanotube-substrate. In this case, the following approximations are used:

1) полусферическая форма зонда заменяется диском с радиусом, равным радиусу закругления зонда R;1) the hemispherical shape of the probe is replaced by a disk with a radius equal to the radius of curvature of the probe R;

2) в емкостной связи «зонд-нанотрубка» углеродная нанотрубка представляется как прямоугольник со стороной, равной диаметру нанотрубки.2) in the capacitive probe-nanotube coupling, a carbon nanotube is represented as a rectangle with a side equal to the diameter of the nanotube.

С учетом этих приближений можно записать формулы для вышеназванных емкостей:Given these approximations, we can write the formulas for the above containers:

- емкость «зонд-подложка»- capacity "probe-substrate"

Figure 00000004
Figure 00000004

где S1 - площадь зонда, неперекрывающаяся с УНТ;where S 1 - probe area, non-overlapping with CNTs;

ε и d - диэлектрическая проницаемость и толщина слоя SiO2, соответственно;ε and d are the dielectric constant and thickness of the SiO 2 layer, respectively;

h - высота подъема зонда над образцом;h is the height of the probe above the sample;

- емкость «зонд-нанотрубка»- capacity "probe-nanotube"

Figure 00000005
Figure 00000005

где S2 - площадь перекрытия зонда с УНТ;where S 2 is the area of overlap of the probe with CNT;

- емкость «нанотрубка-подложка» (емкость уединенного цилиндрического проводника (УНТ) над бесконечно проводящей поверхностью (подложка))- “nanotube-substrate” capacity (capacity of a solitary cylindrical conductor (CNT) over an infinitely conductive surface (substrate))

Figure 00000006
Figure 00000006

где L - длина нанотрубки.where L is the length of the nanotube.

На фиг. 2. представлено уравнение траектории движения зонда при сканировании нанотрубки.In FIG. 2. The equation of the trajectory of the probe during scanning a nanotube is presented.

При этом, уравнение траектории движения зонда при сканировании нанотрубки задается с помощью модельной траектории движения шара радиуса R по поверхности шара радиуса r:Moreover, the equation of the trajectory of the probe during scanning of the nanotube is set using the model trajectory of the ball of radius R along the surface of the ball of radius r:

Figure 00000007
Figure 00000007

где R - радиус зонда,where R is the radius of the probe,

r - радиус нанотрубки,r is the radius of the nanotube,

х - координата.x is the coordinate.

При моделировании ЭСМ-профилей используются реальные параметры проводящего зонда (Q=350, k=6.6 Н/м, R=35 нм), подложки (d=430 нм, ε=3.9, ΔU1=+0.15 B), высоты подъема при ЭСМ-сканировании (h=50 нм), радиусов и длин нанотрубок. В результате моделирования вычисляется параметр, характеризующий электрическую проводимость индивидуальной УНТ - напряжение «зонд-нанотрубка» Ui:When modeling the ESM profiles, the real parameters of the conductive probe (Q = 350, k = 6.6 N / m, R = 35 nm), substrates (d = 430 nm, ε = 3.9, ΔU 1 = + 0.15 B), and lift heights at ESM scanning (h = 50 nm), radii and lengths of nanotubes. As a result of the simulation, a parameter is calculated that characterizes the electrical conductivity of an individual CNT — the probe-nanotube voltage U i :

Figure 00000008
Figure 00000008

где ΔU - дополнительное слагаемое для подгонки теоретического сигнала к экспериментальным значениям (подгоночный параметр для выполнения условия (1)).where ΔU is an additional term for fitting the theoretical signal to the experimental values (fitting parameter for condition (1) to be fulfilled).

Величина Ui лимитируется плотностью заряда, локализованного на поверхности УНТ непосредственно под зондом, и который, в свою очередь, определяется концентрацией и подвижностью свободных носителей заряда, то есть проводимостью УНТ [3].The value of U i is limited by the density of the charge localized on the surface of the CNT directly under the probe, and which, in turn, is determined by the concentration and mobility of free charge carriers, that is, the conductivity of the CNT [3].

На фиг. 4 представлена калибровочная зависимость напряжения от удельной проводимости U=<Uii)>.In FIG. Figure 4 shows the calibration dependence of voltage on conductivity U = <U ii )>.

Далее помещаем углеродные нанотрубки заданного синтеза на вторую подложку, так, что нанотрубки распределяются хаотическим образом, прикрепляясь к подложке боковой поверхностью, после этого проводится АСМ-сканирование полуконтактным методом, обнаруживаются индивидуальные нанотрубки, которые сканируются ЭСМ-методом, и используя моделируемое по ЭСМ-изображениям напряжение U, и по калибровочной зависимости U=U(σ), определяется удельная проводимость индивидуальной нанотрубки σ.Next, we place carbon nanotubes of a given synthesis on a second substrate, so that the nanotubes are distributed randomly, attaching to the substrate with a lateral surface, then an AFM scan is carried out by the semi-contact method, individual nanotubes are scanned by the ESM method and using simulated by ESM images voltage U, and from the calibration dependence U = U (σ), the specific conductivity of an individual nanotube σ is determined.

Таким образом, решается техническая задача получение связи между экспериментальным профилем электростатического сигнала и проводимостью индивидуальных углеродных нанотрубок с помощью бесконтактной (электростатической) и контактной (проводящей атомной) силовой микроскопии, соответственно.Thus, the technical problem is solved to obtain a connection between the experimental profile of the electrostatic signal and the conductivity of individual carbon nanotubes using non-contact (electrostatic) and contact (conductive atomic) force microscopy, respectively.

1. An L., Friedrich C.R. Measurement of contact resistance of multiwall carbon nanotubes by electrical contact using a focused ion beam // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2012. V. 272. P. 169-172. doi 10.1016/j.nimb.2011.01.058.1. An L., Friedrich C.R. Measurement of contact resistance of multiwall carbon nanotubes by electrical contact using a focused ion beam // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2012. V. 272. P. 169-172. doi 10.1016 / j.nimb.2011.01.01.058.

2. Davletkildeev N.A., Stetsko D.V., Bolotov V.V., Stenkin Y.A., Korusenko P.M., Nesov S.N. Determination of work function in the individual carbon nanotubes using electrostatic force microscopy // Material Letters. 2015. V. 161. P. 534-537. doi 10.1016/j.matlet.2015.09.045.2. Davletkildeev N.A., Stetsko D.V., Bolotov V.V., Stenkin Y.A., Korusenko P.M., Nesov S.N. Determination of work function in the individual carbon nanotubes using electrostatic force microscopy // Material Letters. 2015. V. 161. P. 534-537. doi 10.1016 / j.matlet.2015.09.09.045.

3. Bede P., Dias R.A., Almeida C.A., Achete C.A., Fragneaud B. Local conductivity of metallic nano-materials by Electrodynamic Force Microscopy // Carbon. 2016. V. 102. P. 367-371. doi 10.1016/j.carbon.2016.02.062.3. Bede P., Dias R.A., Almeida C.A., Achete C.A., Fragneaud B. Local conductivity of metallic nano-materials by Electrodynamic Force Microscopy // Carbon. 2016. V. 102. P. 367-371. doi 10.1016 / j.carbon.2016.02.02.062.

Claims (6)

Способ бесконтактной оценки проводимости индивидуальных углеродных нанотрубок заданного синтеза, в котором: предварительно нанотрубки помещаются на первую подложку, содержащую структуру с микроконтактами, затем зондом производится обнаружение i нанотрубок из нанотрубок, лежащих на двух соседних микроконтактах, с помощью АСМ-сканирования полуконтактным методом, после этого проводятся два этапа калибровочных измерений для каждой из i нанотрубок, при количестве обнаруженных не менее пяти i≥5, на первом этапе по АСМ-изображениям определяется длина и диаметр каждой i нанотрубки, затем зондом производится регистрация тока i нанотрубки и, используя значения длины и диаметра, рассчитывается удельная проводимость σi каждой i нанотрубки, на втором этапе измеряется профиль ЭСМ-изображения каждой i нанотрубки и рассчитывается напряжение Ui для каждой i нанотрубки,A method for non-contact assessment of the conductivity of individual carbon nanotubes of a given synthesis, in which: first, the nanotubes are placed on the first substrate containing the structure with microcontacts, then the probe detects i nanotubes from the nanotubes lying on two adjacent microcontacts using AFM scanning using the semi-contact method, after which two stages of calibration measurements are carried out for each of the i nanotubes, with the number of detected at least five i≥5, at the first stage by AFM images, , lengths and the diameter of each i nanotubes, and then the probe is made the current register i nanotubes and using the values of length and diameter, calculated conductivity σ i of each i nanotubes in the second stage is measured profile SEM-images of each i nanotubes and calculated U i voltage for each i nanotubes
Figure 00000009
Figure 00000009
где U1 - напряжение, прикладываемое между зондом и подложкой,where U 1 is the voltage applied between the probe and the substrate, ΔU1 - контактная разность потенциалов между зондом и подложкой,ΔU 1 - contact potential difference between the probe and the substrate, ΔUi - дополнительное слагаемое для подгонки теоретического сигнала к экспериментальным значениям,ΔU i is an additional term for fitting a theoretical signal to experimental values, после этого по средним значениям σi и Ui строится калибровочная зависимость U=<Uii)>, затем помещают N углеродных нанотрубок заданного синтеза на вторую подложку так, что N углеродных нанотрубок распределяются хаотическим образом, прикрепляясь к подложке боковой поверхностью, после этого зондом производится обнаружение m индивидуальных углеродных нанотрубок, с помощью АСМ-сканирования полуконтактным методом, затем регистрируется профиль ЭСМ-изображения каждой m идивидуальной углеродной нанотрубки и рассчитывается напряжение Um и, используя соответствующее ему по величине значение напряжения Ui из построенной на предварительных измерениях калибровочной зависимости U=<Uii)>, определяется удельная проводимость σm каждой m индивидуальной углеродной нанотрубки.after that, based on the average values of σ i and U i, the calibration dependence U = <U ii )> is constructed, then N carbon nanotubes of a given synthesis are placed on the second substrate so that N carbon nanotubes are distributed randomly, attaching to the substrate by the side surface, after this detection probe produced m individual carbon nanotube AFM scan semicontact method then registered profile SEM images each m idividualno carbon nanotubes and calculated voltage U m and isp lzuya corresponding largest value of the voltage U i of the constructed calibration on preliminary measurements depending U = <U i (σ i )>, is determined by the conductivity σ m m each individual carbon nanotubes.
RU2019122079A 2019-07-10 2019-07-10 Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes RU2720260C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019122079A RU2720260C1 (en) 2019-07-10 2019-07-10 Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019122079A RU2720260C1 (en) 2019-07-10 2019-07-10 Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2720260C1 true RU2720260C1 (en) 2020-04-28

Family

ID=70553059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019122079A RU2720260C1 (en) 2019-07-10 2019-07-10 Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2720260C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6354133B1 (en) * 2000-10-25 2002-03-12 Advanced Micro Devices, Inc. Use of carbon nanotubes to calibrate conventional tips used in AFM
US6455847B1 (en) * 2000-04-26 2002-09-24 Advanced Micro Devices, Inc. Carbon nanotube probes in atomic force microscope to detect partially open/closed contacts
US6720553B2 (en) * 2002-01-17 2004-04-13 Trustees Of The University Of Pennsylvania Tip calibration standard and method for tip calibration
RU2610383C1 (en) * 2015-10-21 2017-02-09 Некоммерческое партнерство по научной, образовательной и инновационной деятельности "Центр диагностики наноструктур и наноматериалов" Method of complex diagnosis of physical and chemical properties of nanostructured coatings based on single nanoparticles of metals and metal oxides

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6455847B1 (en) * 2000-04-26 2002-09-24 Advanced Micro Devices, Inc. Carbon nanotube probes in atomic force microscope to detect partially open/closed contacts
US6354133B1 (en) * 2000-10-25 2002-03-12 Advanced Micro Devices, Inc. Use of carbon nanotubes to calibrate conventional tips used in AFM
US6720553B2 (en) * 2002-01-17 2004-04-13 Trustees Of The University Of Pennsylvania Tip calibration standard and method for tip calibration
RU2610383C1 (en) * 2015-10-21 2017-02-09 Некоммерческое партнерство по научной, образовательной и инновационной деятельности "Центр диагностики наноструктур и наноматериалов" Method of complex diagnosis of physical and chemical properties of nanostructured coatings based on single nanoparticles of metals and metal oxides

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Н.А. Давлеткильдеев, Д.В. Соколов, В.В. Болотов, И.А. Лобов. Применение электростатической силовой микроскопии для оценки проводимости индивидуальных многостенных углеродных нанотрубок, Письма в ЖТФ, том 43, вып. 4, стр. 47-55, 26 февраля *
Н.А. Давлеткильдеев, Д.В. Соколов, В.В. Болотов, И.А. Лобов. Применение электростатической силовой микроскопии для оценки проводимости индивидуальных многостенных углеродных нанотрубок, Письма в ЖТФ, том 43, вып. 4, стр. 47-55, 26 февраля 2017. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zhao et al. Subsurface characterization of carbon nanotubes in polymer composites via quantitative electric force microscopy
McConney et al. Probing soft matter with the atomic force microscopies: imaging and force spectroscopy
Lei et al. Quantitative electrostatic force microscopy-phase measurements
Gramse et al. Dynamic electrostatic force microscopy in liquid media
Cadena et al. Sub-surface imaging of carbon nanotube–polymer composites using dynamic AFM methods
Thompson et al. Subsurface imaging of carbon nanotube networks in polymers with DC-biased multifrequency dynamic atomic force microscopy
Wang et al. Single-electron tunneling study of two-dimensional gold clusters
Liscio et al. Quantitative Measurement of the Local Surface Potential of π‐Conjugated Nanostructures: A Kelvin Probe Force Microscopy Study
Hahn et al. Electron tunneling across an interfacial water layer inside an STM junction: tunneling distance, barrier height and water polarization effect
Cadena et al. Sub-surface AFM imaging using tip generated stress and electric fields
Bayerl et al. Three‐dimensional Kelvin probe microscopy for characterizing in‐plane piezoelectric potential of laterally deflected ZnO micro‐/nanowires
Otsuka et al. Point-contact current-imaging atomic force microscopy: Measurement of contact resistance between single-walled carbon nanotubes in a bundle
Cadena et al. High resolution subsurface imaging using resonance-enhanced detection in 2nd-harmonic KPFM
RU2720260C1 (en) Method for non-contact assessment of conductivity of individual carbon nanotubes
Casuso et al. Nanoscale electrical conductivity of the purple membrane monolayer
Glatzel et al. Principles of Kelvin probe force microscopy
Kalinin et al. Scanning probe microscopy imaging of frequency dependent electrical transport through carbon nanotube networks in polymers
Albonetti et al. Quantitative phase‐mode electrostatic force microscopy on silicon oxide nanostructures
Kurokawa et al. Gap dependence of the tip-sample capacitance
Bertolazzi et al. Exploring flatland: AFM of mechanical and electrical properties of graphene, MoS2 and other low-dimensional materials
Fumagalli et al. Probing dielectric constant at the nanoscale with scanning probe microscopy
KR101435630B1 (en) Probe for scanning capacitance microscope
Benitez et al. Dielectric properties of self-assembled layers of octadecylamine on mica in dry and humid environments
JP3936148B2 (en) Single electronic device evaluation system
Mao et al. Quantitative analysis of the resolution and sensitivity of Kelvin probe force microscopy using carbon nanotube functionalized probes