RU2698495C2 - Method of calibrating laser thickness gauge - Google Patents

Method of calibrating laser thickness gauge Download PDF

Info

Publication number
RU2698495C2
RU2698495C2 RU2017144978A RU2017144978A RU2698495C2 RU 2698495 C2 RU2698495 C2 RU 2698495C2 RU 2017144978 A RU2017144978 A RU 2017144978A RU 2017144978 A RU2017144978 A RU 2017144978A RU 2698495 C2 RU2698495 C2 RU 2698495C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
thickness
standard
etj
calibration
thickness gauge
Prior art date
Application number
RU2017144978A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2017144978A3 (en
RU2017144978A (en
Inventor
Владимир Иванович Шлычков
Кирилл Владимирович Макаров
Павел Евгеньевич Кунавин
Владимир Александрович Топоров
Иван Тимофеевич Тоцкий
Александр Сергеевич Ананьев
Андрей Иванович Горинов
Original Assignee
Публичное акционерное общество "Северский трубный завод" (ПАО "СТЗ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Публичное акционерное общество "Северский трубный завод" (ПАО "СТЗ") filed Critical Публичное акционерное общество "Северский трубный завод" (ПАО "СТЗ")
Priority to RU2017144978A priority Critical patent/RU2698495C2/en
Publication of RU2017144978A3 publication Critical patent/RU2017144978A3/ru
Publication of RU2017144978A publication Critical patent/RU2017144978A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2698495C2 publication Critical patent/RU2698495C2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: laser thickness gauge is additionally equipped with calibration device. Calibration device is rigidly fixed by a pin-like screw connection on the thickness gauge housing, which provides perpendicularity of laser radiation beams to the reference position plane, and comprises a control board, linear step motor for reference displacement tetj, fixed in measurement zone on common base with photoelectric modules. When calibrating reference - tetj discretely move to other boundary of measurement zone and for each position of reference tetj, 1<i<N, where N is the number of measurements, fixing the elements n1i, n2i corresponding to this position on linear multi-element photodetectors. Presented sequence of operations is repeated for all standards 1<j<M. To determine calibration coefficients k1, k2, g1, g2, C method of least squares is used, which minimizes measurement error of current thickness ti relative to reference thickness tetj.
EFFECT: technical result is reduction of measurement error.
3 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для калибровки лазерного толщиномера, построенного по триангуляционным схемам и предназначенного для измерения толщины, в частности, холодного проката в металлургической промышленности.The invention relates to measuring technique and can be used to calibrate a laser thickness gauge, built according to triangulation schemes and designed to measure thickness, in particular, cold rolled in the metallurgical industry.

Наиболее близкий способ калибровки раскрыт в описании патента РФ №2542633 «Лазерный толщиномер и способ его калибровки» МПК GO1B 11/02 опубликован 20.02.2015 БИ №5.The closest calibration method is disclosed in the description of the RF patent No. 2542633 "Laser thickness gauge and method of calibration" MPK GO1B 11/02 published 02/20/2015 BI No. 5.

Толщина, в которой измеряется в соответствие с соотношением, t=R0-(R1i+R2i) , где: R0 - база толщиномера это расстояние между фотоэлектрическими модулями a, R1i, R2i - расстояния, измеренные верхним R1i фотоэлектрическим модулем и R2i нижним, соответственно, до верхней и нижней контролируемой поверхности. Для калибровки эталон толщины tetj размещают в зоне измерения толщиномера. Эталон перемещают дискретно с шагом δ от нижней границы до верхней, фиксируя на каждом шаге расстояния от верхнего фотоэлектрического модуля до верхней поверхности эталона R1i и от нижнего фотоэлектрического модуля до нижней поверхности R2i эталона и, соответствующие этим расстояниям номера элементов n1i и n2i, зафиксированные многоэлементными линейными приемниками. Полученные градуировочные характеристики верхнего (Rn1i, n1i) и нижнего (Rn2i, n2i) фотоэлектрических модулей запоминают и используют для расчетов угловых коэффициентов k1, k2 и смещений b1, b2, которые необходимы для вычисления текущих расстояний верхним R1i=k1in1i+b1, и нижним R2i=k2i n2i+b2 фотоэлектрическими модулями.The thickness in which is measured in accordance with the relation, t = R 0 - (R 1i + R 2i ), where: R 0 - the base of the thickness gauge is the distance between the photoelectric modules a, R 1i , R 2i are the distances measured by the upper R 1i photoelectric module and R 2i lower, respectively, to the upper and lower controlled surface. For calibration, a standard of thickness t etj is placed in the measurement zone of the thickness gauge. The standard is moved discretely with a step δ from the lower boundary to the upper, fixing at each step the distances from the upper photovoltaic module to the upper surface of the standard R 1i and from the lower photovoltaic module to the lower surface of the standard R 2i and corresponding to these distances element numbers n 1i and n 2i fixed by multi-element linear receivers. The obtained calibration characteristics of the upper (Rn 1i , n 1i ) and lower (R n2i , n 2i ) photovoltaic modules are stored and used to calculate the angular coefficients k 1 , k 2 and the displacements b 1 , b 2 , which are necessary to calculate the current distances by the upper R 1i = k 1i n 1i + b 1 , and lower R 2i = k 2i n 2i + b 2 photovoltaic modules.

Недостаток данного способа калибровки состоит в конструктивных ограничениях измерения расстояний от фотоэлектрических модулей до верхней и нижней поверхности эталона в составе толщиномера. При The disadvantage of this calibration method is the structural limitations of measuring distances from photovoltaic modules to the upper and lower surfaces of the standard in the thickness gauge. At

калибровке погрешности фиксации расстояний R1i или R2i должны быть меньше требуемой погрешности измерения толщины проката. Например, если требуемая погрешность измерения толщины проката 20 мкм, то обеспечение работы калибровочного устройства должно быть с погрешностью фиксации R1i или R2i в ~ (5-10) мкм. В составе толщиномера, при его эксплуатации, такие требования конструктивно ограниченны.calibration of errors in fixing the distances R 1i or R 2i should be less than the required error in measuring the thickness of the rental. For example, if the required error in measuring the thickness of the rolled product is 20 μm, then the operation of the calibration device should be with a fixing error of R 1i or R 2i in ~ (5-10) microns. In the composition of the thickness gauge, during its operation, such requirements are structurally limited.

В связи с этим калибровку фотоэлектрических модулей проводят автономно. Для калибровки используют микрометрический подвижный механизм с эталонной поверхностью и отсчетной шкалой для измерений R1i, или R2i.In this regard, the calibration of photovoltaic modules is carried out autonomously. For calibration, a micrometric moving mechanism with a reference surface and a reference scale for measurements of R 1i , or R 2i is used .

Кроме того, как показали измерения, погрешность измерения при таком способе калибровки зависит от установки фотоэлектрических модулей в толщиномер после их автономной калибровки.In addition, as the measurements showed, the measurement error with this calibration method depends on the installation of the photovoltaic modules in the thickness gauge after they are independently calibrated.

Целью изобретения является уменьшение погрешности измерений и устранение перечисленных выше конструктивных ограничений калибровки без необходимости автономных измерений градуировочных характеристики для каждого фотоэлектрического модуля.The aim of the invention is to reduce the measurement error and eliminate the above design limitations of the calibration without the need for offline measurements of the calibration characteristics for each photovoltaic module.

Поставленная цель достигается за счет того, что получают градуировочную характеристику (tetj, n1i, n2i) всего толщиномера при перемещении эталона tetj в зоне измерения от одной границы до другой с шагом 8 и фиксации на каждом шаге номеров элементов n1i, n2i, где 1<i<N, число шагов в зоне измерения, а 1<j<М, число эталонов. (В этом случае необходимость измерения расстояний R1i, R2i отсутствует, а для калибровки необходимы только эталоны толщина которых соответствует требуемому диапазону измерений. Отсутствует необходимость в автономной калибровке фотоэлектрических модулей с последующей установкой в толщиномер).The goal is achieved due to the fact that get the calibration characteristic (t etj , n 1i , n 2i ) of the entire thickness gauge when moving the standard t etj in the measurement zone from one boundary to another with step 8 and fixing at each step the element numbers n 1i , n 2i , where 1 <i <N, the number of steps in the measurement zone, and 1 <j <M, the number of standards. (In this case, there is no need to measure distances R 1i , R 2i , and calibration requires only standards whose thickness corresponds to the required measurement range. There is no need for autonomous calibration of photovoltaic modules with subsequent installation in a thickness gauge).

Толщину рассчитывают, как

Figure 00000001
, а для определения коэффициентов: С, k1, k2,g1,g2 используют метод Thickness is calculated as
Figure 00000001
, and to determine the coefficients: C, k 1 , k 2 , g 1 , g 2 use the method

наименьших квадратов при котором минимизируется ошибка измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,least squares at which the error in measuring the current thickness t i with respect to the standard thickness t etj is minimized,

Figure 00000002
Figure 00000002

Для калибровки используют по меньшей мере два эталона толщины, принадлежащих требуемому динамическому диапазону измерений.For calibration using at least two standards of thickness belonging to the desired dynamic range of measurements.

Калибровку производят в следующей последовательности. Эталон толщины tetj размещают на одной из границ зоны измерения лазерного толщиномера. фиксируют соответствующие этому положению номера элементов на линейных многоэлементных приемниках, верхнем n11 и нижнем n21, (n11, n21, tetj), Эталон толщины tetj смещают по направлению к другой границе на величину δ и фиксируют соответствующие номера элементов (n12, n22, tetj). На другой границе зоны измерения будет зафиксировано. (n1N, n2N, tetj), где N - число измерений. Приведенная последовательность операций (n11, n21, tetj), (n12, n22, tetj), … (n1N, n2N, tetj), повторяется для М-эталонов 1<j<М., принадлежащих к требуемому диапазону измерения толщины. Толщину рассчитывают в соответствии с соотношением t=R0-(R1i+R2i), в котором расстояния R1i, R2i, аппроксимируют следующим образом:Calibration is carried out in the following sequence. A standard of thickness t etj is placed at one of the boundaries of the measurement zone of the laser thickness gauge. they fix the element numbers corresponding to this position on linear multi-element receivers, the upper n 11 and lower n 21 , (n 11 , n 21 , t etj ), The standard of thickness t etj is shifted towards the other boundary by δ and the corresponding element numbers (n 12 , n 22 , t etj ). At the other boundary of the measurement zone will be fixed. (n 1N , n 2N , t etj ), where N is the number of measurements. The above sequence of operations (n 11 , n 21 , t etj ), (n 12, n 22 , t etj ), ... (n 1N , n 2N , t etj ), is repeated for M-standards 1 <j <M., belonging to to the required thickness measurement range. The thickness is calculated in accordance with the relation t = R 0 - (R 1i + R 2i ), in which the distances R 1i , R 2i are approximated as follows:

Figure 00000003
Figure 00000004
, где: k1 k2, g1,g2, b1, b2 коэффициенты. Толщину можно рассчитать, как
Figure 00000005
, где: C=R0-b1-b2.
Figure 00000003
Figure 00000004
where: k 1 k 2 , g 1 , g 2 , b 1 , b 2 are coefficients. Thickness can be calculated as
Figure 00000005
where: C = R 0 -b 1 -b 2 .

Следует отметить, что для определения С не требуется измерять R0, и рассчитывать b1, b2., так как коэффициент С определяется при решении задачи минимизации ошибки измерения.It should be noted that to determine C, it is not necessary to measure R 0 and calculate b1, b2., Since the coefficient C is determined when solving the problem of minimizing the measurement error.

Для определения коэффициентов: k1, k2,g1, g2, С используют метод наименьших квадратов (МНК), для минимизации ошибки измерения е текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,

Figure 00000006
Figure 00000007
To determine the coefficients: k 1 , k 2 , g 1 , g 2 , C, the least squares method (least squares) is used to minimize the measurement error e of the current thickness t i relative to the standard thickness t etj ,
Figure 00000006
Figure 00000007

В соответствие с методами решения МНК, чтобы найти минимум функции ε воспользуемся пакетами программ решения МНК: Mathcad, Maxima и другими, которые позволяют получить требуемые коэффициенты k1, k2, g1, g2, C.In accordance with the methods for solving the least squares method, in order to find the minimum of the function ε, we use the software packages for solving the least squares method: Mathcad, Maxima and others, which allow us to obtain the required coefficients k 1 , k 2 , g 1 , g 2 , C.

Предлагаемый способ поясняется чертежами на которых изображены:The proposed method is illustrated by drawings which depict:

фиг. 1 Лазерный толщиномер с установленным калибровочным устройством,FIG. 1 Laser thickness gauge with installed calibration device,

фиг. 2 Алгоритм калибровки лазерного толщиномера.FIG. 2 Algorithm for calibrating a laser thickness gauge.

Лазерный толщиномер (фиг. 1) содержит калибровочное устройство 1 жестко закрепленное на корпусе 2 толщиномера, включающее винты 3 и 4, штифты 5 и 6. Соединение калибровочного устройства 1 с корпусом толщиномера 2 и размещенными на нем фотоэлектрическими модулями 7, 8 обеспечивает однозначность установки калибровочного устройства при многократных повторениях операций калибровки с последующим переходом толщиномера в режим измерения.The laser thickness gauge (Fig. 1) contains a calibration device 1 rigidly mounted on the thickness gauge body 2, including screws 3 and 4, pins 5 and 6. The connection of the calibration device 1 with the thickness gauge body 2 and the photoelectric modules 7, 8 placed on it ensures that the calibration devices for repeated repetitions of calibration operations with the subsequent transition of the thickness gauge to the measurement mode.

Фотоэлектрические модули 7, 8 содержат лазерные излучатели 13, 14 с формирующей оптикой 15, 16 и приемный канал с многоэлементными приемниками 17, 18, усилителями видеосигнала 31, и микроконтроллерами 26, 27, приемными объективами 19, 20.Photovoltaic modules 7, 8 contain laser emitters 13, 14 with forming optics 15, 16 and a receiving channel with multi-element receivers 17, 18, video signal amplifiers 31, and microcontrollers 26, 27, receiving lenses 19, 20.

Калибровочное устройство 1 содержит электромеханический привод в качестве которого используется линейный шаговый двигатель -10 актуатор на валу которого 11 устанавливают сменный эталон толщины 12.The calibration device 1 contains an electromechanical drive which uses a linear stepper motor -10 actuator on the shaft of which 11 establish a replaceable standard thickness 12.

Кроме того в корпусе 2 толщиномера размещается вычислительное устройство 23.In addition, in the housing 2 of the thickness gauge is a computing device 23.

Способ калибровки выполняют в соответствие с алгоритмом приведенным на фиг. 2 в следующей последовательности. На калибровочное устройство 1, зафиксированное на корпусе толщиномера 2 устанавливают эталон толщины 12 в требуемом динамическом диапазоне измерений. С помощью электромеханического привода 10 калибровочного устройства эталон размещают на одной из границ зоны измерения, например, 28 или 29, и фиксируют номера элементов n11 и n21, вычисленные расположенными в верхнем 7 и нижним 8 фотоэлектрическими модулями микроконтроллерами 26 и 27. Затем эталон смещают на величину (шаг) δ с последующей фиксацией номеров n12, n22. Вышеперечисленная последовательность операций повторяется до достижения другой границы зоны измерения с фиксацией номеров n1N, n2N для всех эталонов 1≤i≤М и всех 1≤j≤N измерений. Полученный массив данных (n1i, n2i, tetj) для 1≤i≤М и 1≤j≤N является градуировочной характеристикой толщиномера и запоминается в вычислительном устройстве 23 в котором численно решается задача минимизации ошибки измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj.The calibration method is performed in accordance with the algorithm shown in FIG. 2 in the following sequence. On the calibration device 1, fixed on the housing of the thickness gauge 2 set the standard thickness 12 in the desired dynamic range of measurements. Using the electromechanical drive 10 of the calibration device, the standard is placed on one of the boundaries of the measurement zone, for example, 28 or 29, and the element numbers n 11 and n 21 are fixed, calculated by the microcontrollers 26 and 27 located in the upper 7 and lower 8 photovoltaic modules. Then the standard is shifted by the value (step) δ with subsequent fixation of numbers n 12 , n 22 . The above sequence of operations is repeated until reaching another boundary of the measurement zone with fixing numbers n 1N , n 2N for all standards 1≤i≤M and all 1≤j≤N measurements. The resulting data array (n 1i , n 2i , t etj ) for 1≤i≤M and 1≤j≤N is a calibration characteristic of the thickness gauge and is stored in a computing device 23 in which the problem of minimizing the measurement error of the current thickness t i relative to the standard thickness is numerically solved t etj .

Пример реализации способа калибровки лазерного толщиномера, предназначенного для измерения холодного проката толщиной от 2 мм до 8 мм: При калибровке были использованы эталоны толщиной: 2,33±0,001 мм.; 6,26±0.002 мм и 7,7±0,001 мм. Для получения градуировочной характеристики толщиномера (n1i, n2i, tetj) эталоны смещались в зоне измерения с шагом δ=3 мм. Число измерений N для разных эталонов составляло от 4 до 12, число эталонов М=3.An example of the implementation of a method for calibrating a laser thickness gauge designed to measure cold rolled products from 2 mm to 8 mm thick: When calibrating, standards were used with a thickness of 2.33 ± 0.001 mm .; 6.26 ± 0.002 mm and 7.7 ± 0.001 mm. To obtain the calibration characteristics of the thickness gauge (n 1i , n 2i , t etj ), the standards were shifted in the measurement zone with a step of δ = 3 mm. The number of measurements N for different standards ranged from 4 to 12, the number of standards M = 3.

Численное решение задачи минимизации ошибки измерения позволило рассчитать коэффициенты: C=26002,5, k1=8.215, k2=9.063, g1=2.012×10-4, g2=2.997×10-4. Ошибка измерения эталонов при их произвольном размещении в зоне измерения не превысила ε<20 мкм. При уменьшении числа эталонов до 2, погрешность измерения не изменилась.The numerical solution of the problem of minimizing the measurement error made it possible to calculate the coefficients: C = 26002.5, k 1 = 8.215, k 2 = 9.063, g 1 = 2.012 × 10 -4 , g 2 = 2.997 × 10 -4 . The measurement error of the standards during their arbitrary placement in the measurement zone did not exceed ε <20 μm. When reducing the number of standards to 2, the measurement error has not changed.

Claims (4)

1. Способ калибровки лазерного толщиномера, который содержит фотоэлектрические модули, размещенные по разные стороны от контролируемого объекта и зафиксированные на корпусе толщиномера, калибровочное приспособление с электромеханическим приводом для перемещения в зоне измерения эталона толщины tet, также зафиксированное на корпусе и обеспечивающее перпендикулярность пучков лазерного излучения, которые направлены соосно навстречу друг другу относительно эталона tet и которые создают на противоположных сторонах эталона tet световые метки, а на двух линейных оптически связанных с эталоном позиционно-чувствительных многоэлементных фотоприемниках, входящих в состав фотоэлектрических модулей, фиксируют номера элементов, соответствующих изображению световых меток, эталон перемещают в зоне измерения с шагом
Figure 00000008
 и для каждого положения фиксируют расстояния R1i, R2i от фотоэлектрических модулей до каждой стороны эталона tet и соответствующие этим расстояниям номера элементов n1i, n2i на многоэлементных фотоприемниках, отличающийся тем, что получают градуировочную характеристику (tetj, n1i, n2i) всего толщиномера при перемещении эталона tetj в зоне измерения от одной границы до другой с шагом
Figure 00000008
 и фиксации на каждом шаге номеров элементов n1i, n2i, где 1<i<N, число шагов в зоне измерения, а 1<j<М, число эталонов.1. A method for calibrating a laser thickness gauge, which contains photovoltaic modules located on opposite sides of the test object and fixed on the thickness gauge body, a calibration device with an electromechanical drive for moving a standard of thickness t et in the measurement zone, also fixed on the body and ensuring the perpendicularity of laser beams which are directed coaxially towards each other relative to the standard t et and which create light m on opposite sides of the standard t et grids, and on two linear positionally sensitive multi-element photodetectors that are part of the photovoltaic modules optically connected to the standard, the numbers of elements corresponding to the image of light marks are fixed, the standard is moved in the measurement zone in increments
Figure 00000008
 and for each position, fix the distances R 1i , R 2i from the photovoltaic modules to each side of the standard t et and the element numbers n 1i , n 2i corresponding to these distances on multi-element photodetectors, characterized in that a calibration characteristic is obtained (t etj , n 1i , n 2i ) the entire thickness gauge when moving the standard t etj in the measurement zone from one boundary to another with a step
Figure 00000008
 and fixing at each step the element numbers n 1i , n 2i , where 1 <i <N, the number of steps in the measurement zone, and 1 <j <M, the number of standards. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что толщину измеряют как
Figure 00000009
, а для определения коэффициентов: С, k1, k2, g1, g2 используют метод наименьших квадратов, при котором минимизируется ошибка измерения текущей толщины ti относительно толщины эталона tetj,2. The method according to p. 1, characterized in that the thickness is measured as
Figure 00000009
and to determine the coefficients: C, k 1 , k 2 , g 1 , g 2 , the least squares method is used, in which the error in measuring the current thickness t i with respect to the standard thickness t etj is minimized,
Figure 00000010
Figure 00000010
 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для калибровки используют по меньшей мере два эталона толщины, принадлежащих требуемому динамическому диапазону измерений.3. The method according to p. 1, characterized in that for calibration using at least two standards of thickness belonging to the desired dynamic range of measurements.
RU2017144978A 2017-12-20 2017-12-20 Method of calibrating laser thickness gauge RU2698495C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017144978A RU2698495C2 (en) 2017-12-20 2017-12-20 Method of calibrating laser thickness gauge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017144978A RU2698495C2 (en) 2017-12-20 2017-12-20 Method of calibrating laser thickness gauge

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2017144978A3 RU2017144978A3 (en) 2019-06-20
RU2017144978A RU2017144978A (en) 2019-06-20
RU2698495C2 true RU2698495C2 (en) 2019-08-28

Family

ID=66947351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017144978A RU2698495C2 (en) 2017-12-20 2017-12-20 Method of calibrating laser thickness gauge

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2698495C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110274563B (en) * 2019-07-25 2024-04-05 中国计量大学 Error detection and calibration device and method for non-metal plate thickness gauge

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1233208A1 (en) * 1984-01-02 1986-05-23 Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко Method of measuring thickness of multilayer polymeric film
WO1998048252A1 (en) * 1997-04-22 1998-10-29 The Regents Of The University Of California Laser detection of material thickness
EP0961915B1 (en) * 1997-01-21 2005-02-16 Neil Colin Hamilton Thickness measuring apparatus
RU2009126291A (en) * 2009-07-08 2011-01-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный университет им. А.М. Гор METHOD OF THICKNESS MEASUREMENT AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
RU2549211C1 (en) * 2013-11-05 2015-04-20 федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский радиофизический институт" Method of remote control of surface shape and thickness of coatings produced in process of magnetron vacuum sputtering, and device for its realisation
RU2672036C1 (en) * 2017-07-21 2018-11-08 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of measuring the thickness of coating in the process of plasma-electrolytic oxidation and the device for its implementation

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1233208A1 (en) * 1984-01-02 1986-05-23 Киевский Ордена Ленина Государственный Университет Им.Т.Г.Шевченко Method of measuring thickness of multilayer polymeric film
EP0961915B1 (en) * 1997-01-21 2005-02-16 Neil Colin Hamilton Thickness measuring apparatus
WO1998048252A1 (en) * 1997-04-22 1998-10-29 The Regents Of The University Of California Laser detection of material thickness
RU2009126291A (en) * 2009-07-08 2011-01-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный университет им. А.М. Гор METHOD OF THICKNESS MEASUREMENT AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
RU2549211C1 (en) * 2013-11-05 2015-04-20 федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Научно-исследовательский радиофизический институт" Method of remote control of surface shape and thickness of coatings produced in process of magnetron vacuum sputtering, and device for its realisation
RU2672036C1 (en) * 2017-07-21 2018-11-08 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Method of measuring the thickness of coating in the process of plasma-electrolytic oxidation and the device for its implementation

Also Published As

Publication number Publication date
RU2017144978A3 (en) 2019-06-20
RU2017144978A (en) 2019-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10209048B2 (en) Double ball-bar measuring system and errors compensation method thereof
CN1304879C (en) Bidimension photoelectric self collimating device based on optical length multiplication compensation method and its measuring method
US7960981B2 (en) Apparatus for obtaining planarity measurements with respect to a probe card analysis system
JP2000258153A (en) Plane flatness measurement device
KR102350332B1 (en) Optical measurement apparatus and method
EP3455617B1 (en) Apparatus and method for the determination of the absolute coefficient of thermal expansion in ultralow expansion materials
TW390957B (en) Two piece mirror arrangement for interferometrically controlled stage
KR101798322B1 (en) shape measuring device, processing device and reforming method of shape measuring device
RU2698495C2 (en) Method of calibrating laser thickness gauge
US8500326B2 (en) Probe for temperature measurement, temperature measuring system and temperature measuring method using the same
CN102290362B (en) Method for correcting positioning error of wafer during laser processing
KR101854177B1 (en) Processing implement position alignment device for component and method thereof
CN108662992B (en) Surface measurement method and surface measurement system
KR101226807B1 (en) Stage Device for transfering a Specimen and Drive Method of the Same
JP2524390B2 (en) Linear displacement detector
US8681345B2 (en) System and method for measuring photovoltaic module thickness
US10247890B2 (en) Method of adjusting the parallelism of a fiber block with a chip surface
US20120257217A1 (en) Systems and methods for calibrating an optical non-contact surface roughness measurement device
US7649622B1 (en) Multi-site optical power calibration system and method
CN114144898A (en) Temperature control for Hall bar sensor calibration
US6446350B1 (en) Method and arrangement for reducing temperature-related dimensional discrepancies in measurement systems arranged in parallel
KR101890330B1 (en) Apparatus for measuring surface profile of object
CN110715795A (en) Calibration and measurement method for fast reflector in photoelectric tracking system
CN114993166B (en) Calibration method, device and system of position-sensitive detector
JP5009560B2 (en) Apparatus for measuring the shape of a thin object to be measured