RU2663552C1 - Способ измерения давления - Google Patents
Способ измерения давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2663552C1 RU2663552C1 RU2017133599A RU2017133599A RU2663552C1 RU 2663552 C1 RU2663552 C1 RU 2663552C1 RU 2017133599 A RU2017133599 A RU 2017133599A RU 2017133599 A RU2017133599 A RU 2017133599A RU 2663552 C1 RU2663552 C1 RU 2663552C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- resonator
- pressure
- oscillations
- resonant frequency
- measurement
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 title description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 29
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 26
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относится к промышленной метрологии и может быть использовано для высокоточного измерения статического и динамического давления. Способ измерения давления, при котором в объемном резонаторе в виде отрезка волновода с одной из торцевых стенок в виде металлической мембраны, воспринимающей измеряемое давление, в первом цикле измерений возбуждают электромагнитные колебания одного из его типов Н(n= 0, 1, 2,…; m= 0, 1, 2,…, p=1 ,2,…) или Е(n= 0, 1, 2,…; m= 1, 2,…, p= 1, 2,…) с ненулевым индексом p и измеряют резонансную частоту ƒэлектромагнитных колебаний. При этом дополнительно, во втором цикле измерений, возбуждают в этом объемном резонаторе электромагнитные колебания типа Ес нулевыми индексами n и p и измеряют резонансную частоту ƒэлектромагнитных колебаний, производят совместное функциональное преобразование резонансных частот ƒи ƒ, по результату которого судят об измеряемом давлении. Технический результат - увеличение функциональных возможностей за счет упрощения реализации способа и повышения точности измерения. 1 ил.
Description
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ
Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточного измерения статического и динамического давления.
Известны способ измерения давления и реализующее его устройство (US 4604898 А, 12.08.1986). Эти технические решения заключаются в возбуждении электромагнитных колебаний в отрезке коаксиальной длинной линии с торцевым чувствительным элементом. Измеряя резонансную частоту колебаний, возбуждаемых в этом отрезке длинной линии, определяют величину прогиба деформируемой торцевой стенки резонатора. В устройстве торцевой чувствительный элемент представляет собой конденсатор, образованный совокупностью плоской металлической пластины, подсоединенной к внутреннему проводнику коаксиальной линии и установленной перпендикулярно ее продольной оси, и параллельной пластине деформируемой торцевой стенки (мембраны), воспринимающей внешнее давление. Известно также устройство для измерения давления, содержащее коаксиальный резонатор, на торце которого расположены два плоских диска, выполняющих функцию конденсатора. Один из этих дисков прикреплен с помощью штока к центру мембраны, воспринимающей измеряемое давление, а другой диск закреплен на торце внутреннего проводника коаксиальной линии параллельно первому диску (RU 2221228 С2, 10.01.2004).
Известны также способ и устройство (US 3927369 А, 31.01.1973), согласно которому электромагнитные колебания возбуждают в сверхвысокочастотный (СВЧ) чувствительный элемент в виде объемного СВЧ-резонатора, который имеет упругую торцевую стенку (мембрану, диафрагму и т.п.), и измеряют резонансную частоту электромагнитных колебаний данного резонатора. Устройство содержит объемный СВЧ-резонатор и соединенный с ним блок для генерации резонансной частоты электромагнитных колебаний резонатора и блок измерения резонансной частоты данного резонатора. Выходной сигнал этого блока соответствует измеряемому давлению. Эта частота имеет обычно величину порядка нескольких гигагерц и зависит от размеров резонатора, выбранного "рабочего" типа электромагнитных колебаний. При этом изменение давления приводит к смещению гибкой стенки резонатора (это его торцевая стенка), изменяя продольный размер полости резонатора и, как следствие, его резонансную частоту.
Известен также способ измерения давления, согласно которому электромагнитные колебания возбуждают в двух объемных резонаторах и измеряют резонансную частоту каждого из них (WO 2004088266 А1, 26.03.2004). При этом один из объемных резонаторов имеет упругую стенку, на которую воздействует измеряемое давление, а другой резонатор является эталонным, находящимся вместе с первым резонатором при одной и той же температуре окружающей среды, но не подверженным влиянию измеряемого давления. Совместное функциональное преобразование (вычитание одной из другой) измеряемых резонансных частот обоих резонаторов позволяет уменьшить влияние изменений температуры на результат измерения давления первым резонатором. Недостатком этого способа является сложность его реализации, обусловленная необходимостью применения двух объемных резонаторов. Кроме того, температура, при которой находятся эти объемные резонаторы, принципиально может быть несколько различной, что приводит к некоторой погрешности измерения давления при указанной совместном преобразовании резонансных частот двух объемных резонаторов.
Известно также техническое решение (Викторов В.А., Лункин Б.В., Совлуков А.С. Радиоволновые измерения параметров технологических процессов. М.: Энергоатомиздат. 1989. 208 с. С. 118-120), которое по технической сущности наиболее близко к предлагаемому способу и принято в качестве прототипа. Согласно данному способу измерения давления, в первом цикле измерений в объемном резонаторе с одной из торцевых стенок в виде металлической мембраны, воспринимающей измеряемое давление, возбуждают электромагнитные колебания на одном из его типов Нnmp (n=0,1,2,…; m=0,1,2,…, p=1,2,…) или Еnmp (n=0,1,2,…; m=1,2,…, p=1,2,…) с ненулевым продольным индексом р и измеряют его резонансную частоту ƒ1 электромагнитных колебаний, зависящую как от измеряемого давления, так и от температуры - возмущающего фактора, снижающего точность измерения давления.. Во втором цикле измерений возбуждают в этом резонаторе электромагнитные колебания типа Е020 с нулевым продольным индексом р и измеряют резонансную частоту ƒ2 электромагнитных колебаний, зависящую только от температуры. Совместное функциональное преобразование при реализации дифференциальной схемы измерений (вычитание ƒ1 из ƒ2) измеряемых резонансных частот ƒ1 и ƒ2 позволяет уменьшить влияние изменений температуры на результат измерения давления.
Недостатком этого способа является сложность его реализации, обусловленная необходимостью возбуждения объемного резонатора во втором цикле измерений на одном из высших типов колебаний, а именно Е020, для чего необходимо принять меры для выделения (фильтрации) этого высшего типа колебаний и измерения соответствующей резонансной частоты ƒ2. Кроме того, при возможных существенных температурных изменениях значений диэлектрической и магнитной проницаемости ε и μ, соответственно, среды в полости резонатора, точность измерения остается невысокой вследствие применения в способе-прототипе (и других известных технических решениях) дифференциальной схемы совместного преобразования частот ƒ1 из ƒ2, не позволяющего в данном случае (при существенных изменениях ε и (или) μ) полностью исключить влияние возможных температурных изменений ε и (или) μ на результаты измерений давления.
Техническим результатом настоящего изобретения является упрощение реализации способа и повышение точности измерения.
Технический результат достигается тем, что в предлагаемом способе измерения давления, при котором в объемном резонаторе в виде отрезка волновода с одной из торцевых стенок в виде металлической мембраны, воспринимающей измеряемое давление, в первом цикле измерений возбуждают электромагнитные колебания одного из его типов Нnmp (n=0,1,2,…; m=0,1,2,…, p=1,2,…) или Еnmp (n=0,1,2,…; m=1,2,…, p=1,2,…) с ненулевым индексом р и измеряют резонансную частоту ƒ1 электромагнитных колебаний, дополнительно, во втором цикле измерений, возбуждают в этом объемном резонаторе электромагнитные колебания типа Е010 с нулевыми индексами n и p и измеряют резонансную частоту ƒ2 электромагнитных колебаний, производят совместное функциональное преобразование резонансных частот ƒ1 и ƒ2, по результату которого судят об измеряемом давлении.
Предлагаемый способ поясняется чертежом на фиг. 1, где приведена его структурная схема устройства для его реализации.
На фиг. 1 показаны объемный резонатор 1, металлическая мембрана 2, элемент связи 3, коммутатор 4, электронный блок 5, функциональный преобразователь 6, регистратор 7.
Сущность предлагаемого способа состоит в следующем.
Согласно данному способу, электромагнитные колебания возбуждают в цилиндрическом объемном резонаторе 1 в виде отрезка круглого волновода, имеющем на одном из его торцев тонкую металлическую мембрану 2 (фиг. 1). При воздействии извне какой-либо физической величины (на фиг. 1 такое воздействие показано стрелкой) или при изменении этого воздействия относительно его некоторого исходного значения имеет место прогиб металлической мембраны 2 объемного резонатора 1, тем самым, обеспечивается восприятие значения соответствующего давления Р (за счет измерения величины прогиба). Информативным параметром является резонансная частота электромагнитных колебаний в этом объемном резонаторе, являющаяся функцией величина прогиба мембраны, точнее, ее центральной части относительно ее исходного положения, соответствующего отсутствию воздействия извне физической величины (или изменения этого воздействия относительно его некоторого исходного значения).
В предлагаемом способе осуществляют проведение двух последовательных циклов измерений с применением одного и того же цилиндрического объемного резонатора. Электромагнитные колебания возможных типов Нnmp (n=0,1,2,…; m=0,1,2,…, p=1,2,…) и Еnmp (n=0,1,2,…; m=1,2,…, p=1,2,…) в цилиндрическом объемном резонаторе характеризуются значениями трех индексов n, m и p, входящих в выражения для компонент электрического и магнитного полей и собственных (резонансных) частот этого объемного резонатора (Лебедев И.В. Техника и приборы СВЧ. Т. 1. М: Высшая школа. 1970. С. 78-89). Индексы n, m и p характеризуют периодичность поля (число полуволн) по, соответственно, полярному углу, радиусу (то есть число полных и неполных полуволн, укладывающихся от оси до стенки цилиндрического резонатора), и длине цилиндрического резонатора.
В первом цикле измерений возбуждают в объемном резонаторе 1 электромагнитные колебания одного из его типов Нnmp или Еnmp с ненулевым продольным индексом р и измеряют резонансную частоту ƒ1 электромагнитных колебаний. Поскольку p≠0, эта резонансная частота ƒ1 является функцией длины объемного резонатора (Лебедев И.В. Техника и приборы СВЧ. Т. 1. М.: Высшая школа. 1970. С. 342-349):
где vnm и - значения, соответственно, корней функции Бесселя для волн типов Еnm и ее производной для волн типов Нnm, с - скорость света, ε и μ - соответственно, относительное значение диэлектрической и магнитной проницаемости среды в полости резонатора, а - радиус цилиндрического резонатора, - длина этого резонатора.
Длина цилиндрического резонатора 1 определяется величиной прогиба деформируемой металлической мембраны 2, зависящей от измеряемого давления. Величина прогиба этой торцевой стенки (мембраны) выражается следующей формулой (US 3927369 А, 31.01.1973):
где ΔР - разность давлений с внешней и внутренней сторон мембраны, а - радиус цилиндрической мембраны, d - ее толщина, Е - модуль упругости конкретного материала, из которого изготовлена мембрана. Формула (2) выражает максимальную величину деформации в центре мембраны. Конструкция объемного резонатора может быть изготовлена из меди, латуни и других металлов с небольшим удельным сопротивлением. Упругая торцевая стенка (мембрана) может быть изготовлена из различных металлов, например, элинваpa (RU 2221228 С2, 10.01.2004). В качестве материала для мембраны допустимо выбрать нержавеющую сталь. Толщина мембраны может составлять 0,1÷0,2 мм, а ее диаметр должна соответствовать диаметру цилиндрического резонатора, например, 10÷40 мм.
Затем дополнительно, во втором цикле измерений, возбуждают в этом же объемном резонаторе 1 электромагнитные колебания одного из его типов Enm0, в частности низшего типа Е010, с нулевыми индексами n и p и измеряют резонансную частоту электромагнитных колебаний:
Колебания типа Е010 являются низшим типом электромагнитных колебаний среди типов Еnm0 и характеризуются наименьшей резонансной частотой ƒ2, равной критической частоте волны E01 в круглом волноводе и не зависящей от длины (т.е. от величины прогиба металлической мембраны):
Следует отметить, что в цилиндрическом резонаторе первый индекс n может быть равен нулю как у колебаний типов Еnmp, так и Нnmp.Последний индекс p может быть равным нулю только у колебаний типов Еnmp, то есть возможны колебания только типов Еnm0. То есть в цилиндрическом резонаторе невозможно наличие колебаний типов Еn0p, Нn0p и Нnm0 (Гроссман Ю.С.Теоретические основы радиотехники. Минск, изд-во МВИРТУ. 1960.442 с. С. 367-376).
Во втором цикле измерений производят возбуждение электромагнитных колебаний в цилиндрическом резонаторе 1 низшего типа колебаний Е010, когда резонансная частота ƒ2 не зависит от длины (т.е. от величины прогибы торцевой мембраны), а зависит, как и резонансная частота ƒ1, от температуры окружающей среды (при этом ƒ1 зависит от величины измеряемого давления, влияющего на степень прогиба торцевой мембраны 2). Проведение измерений во втором цикле на низшем типе колебаний Е010 с нулевыми индексами n и p, характеризуемых наименьшим значением резонансной частоты ƒ2, упрощает процесс выделения этого типа колебаний и проведения измерений ƒ2.
Производя совместное функциональное преобразование резонансных частот ƒ1 и ƒ2, по его результату судят об измеряемом давлении при существенном уменьшении влияния температуры окружающей среды на результат измерения давления. Так, схема устройства, реализующего данный способ, с определением разности ƒ1 и ƒ2 (дифференциальная схема) позволяет существенно снизить влияние температуры. Также, в другом варианте выполнения совместного преобразования резонансных частот ƒ1 и ƒ2, их функциональное (логометрическое) преобразование в функциональном блоке устройства, реализующего данный способ, как следует из формул (1) и (3), согласно соотношению ƒ1/ƒ2
обеспечивает в процессе измерений инвариантность результатов измерения давления к возможным изменениям, в том числе температурным, величин ε и μ, характеризующих среду в полости объемного резонатора. Здесь индексы "1" и "2" при vnm и соответствуют проведению измерений в первом и втором тактах.
Отметим, что, как видно из рассмотрения формул (1), (3) и (4), применение дифференциальной схемы измерений с определением величины ƒ1 - ƒ2 не устраняет зависимости такого преобразования частот от величин ε и μ и, следовательно, от влияния их температурных изменений на результат измерения давления, что говорит о повышении точности измерений при возможных существенных изменениях ε и (или) μ при применении логометрического преобразования ƒ1 и ƒ2.
В устройстве, реализующем данный способ, в цилиндрическом объемном резонаторе 1, имеющем торцевую мембрану 2, подверженную влиянию внешнего давления (показано стрелкой) с помощью элемента связи 3 возбуждают электромагнитные колебания (фиг. 1). Их возбуждение осуществляют через коммутатор 4 с помощью электронного блока 5 последовательно в первом и втором тактах измерений и производят в каждом из этих тактов съем электромагнитных колебаний с помощью элемента связи 3 и измерение в электронном блоке 5 соответствующей резонансной частоты ƒ1 и ƒ2. Значения ƒ1 и ƒ2 поступают на вход функционального преобразователя 6 для их совместного преобразования (дифференциальное или логометрическое преобразование). К его выходу подсоединен регистратор 7 для определения величины измеряемого давления.
Таким образом, в данном способе измерения давления достигается упрощение его реализации и повышение точности измерений.
Claims (1)
- Способ измерения давления, при котором в объемном резонаторе в виде отрезка волновода с одной из торцевых стенок в виде металлической мембраны, воспринимающей измеряемое давление, в первом цикле измерений возбуждают электромагнитные колебания одного из его типов Нnmp (n=0, 1, 2,…; m=0, 1 ,2,…, p=1, 2,…) или Еnmp (n=0, 1, 2,…; m=1, 2,…, p=1, 2,…) с ненулевым индексом p и измеряют резонансную частоту ƒ1 электромагнитных колебаний, отличающийся тем, что дополнительно, во втором цикле измерений, возбуждают в этом объемном резонаторе электромагнитные колебания типа Е010 с нулевыми индексами n и p и измеряют резонансную частоту ƒ2 электромагнитных колебаний, производят совместное функциональное преобразование резонансных частот ƒ1 и ƒ2, по результату которого судят об измеряемом давлении.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017133599A RU2663552C1 (ru) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | Способ измерения давления |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017133599A RU2663552C1 (ru) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | Способ измерения давления |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2663552C1 true RU2663552C1 (ru) | 2018-08-07 |
Family
ID=63142740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017133599A RU2663552C1 (ru) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | Способ измерения давления |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2663552C1 (ru) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3927369A (en) * | 1973-01-31 | 1975-12-16 | Westinghouse Electric Corp | Microwave frequency sensor utilizing a single resonant cavity to provide simultaneous measurements of a plurality of physical properties |
US4604898A (en) * | 1983-10-21 | 1986-08-12 | Badin Crouzet | Pressure measuring device |
US5231881A (en) * | 1987-04-17 | 1993-08-03 | Lew Hyok S | Digital pressure sensor with a pretensioned vibrating cord |
US5844141A (en) * | 1995-12-01 | 1998-12-01 | Solartron Group Limited | Pressure sensor having stress sensitive member |
WO2004088266A1 (de) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Bosch Rexroth Ag | Hochfrequenzresonator für drucksensoren |
EP2848908A1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-03-18 | Nxp B.V. | Capacitive pressure sensor and calibration method |
RU2586388C1 (ru) * | 2015-04-27 | 2016-06-10 | Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН | Устройство для измерения давления |
-
2017
- 2017-09-27 RU RU2017133599A patent/RU2663552C1/ru active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3927369A (en) * | 1973-01-31 | 1975-12-16 | Westinghouse Electric Corp | Microwave frequency sensor utilizing a single resonant cavity to provide simultaneous measurements of a plurality of physical properties |
US4604898A (en) * | 1983-10-21 | 1986-08-12 | Badin Crouzet | Pressure measuring device |
US5231881A (en) * | 1987-04-17 | 1993-08-03 | Lew Hyok S | Digital pressure sensor with a pretensioned vibrating cord |
US5844141A (en) * | 1995-12-01 | 1998-12-01 | Solartron Group Limited | Pressure sensor having stress sensitive member |
WO2004088266A1 (de) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Bosch Rexroth Ag | Hochfrequenzresonator für drucksensoren |
EP2848908A1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-03-18 | Nxp B.V. | Capacitive pressure sensor and calibration method |
RU2586388C1 (ru) * | 2015-04-27 | 2016-06-10 | Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН | Устройство для измерения давления |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
T. Roger Billeter. Composite Temperature-Pressure Measurement Instrument for Advanced Reactors.// IEEE Transactions on Nuclear Science ( Volume: 19, Issue: 1, Feb. 1972 ), стр. 814-819. * |
T. Roger Billeter. Composite Temperature-Pressure Measurement Instrument for Advanced Reactors.// IEEE Transactions on Nuclear Science ( Volume: 19, Issue: 1, Feb. 1972 ), стр. 814-819. T. Roger Billeter. In sodium test of microwave frequency pressure/temperature sensor // апрель 1974 г. (стр. 4, 10, фиг. 1). * |
T. Roger Billeter. In sodium test of microwave frequency pressure/temperature sensor // апрель 1974 г. (стр. 4, 10, фиг. 1). * |
В.А. Викторов и др. Радиоволновые измерения параметров технологических процессов.// Москва: Энергоатомиздат, 1989 (см. стр. 118-120). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2473889C1 (ru) | Способ измерения физической величины | |
Zhu et al. | High-temperature and high-sensitivity pressure sensors based on microwave resonators | |
RU2626409C1 (ru) | Способ измерения физических свойств жидкости | |
Chen et al. | A high-frequency hydrophone using an optical fiber microknot resonator | |
Ahmed et al. | High quality factor coaxial cable Fabry-Perot resonator for sensing applications | |
RU2663552C1 (ru) | Способ измерения давления | |
Bondarenko et al. | High-Q modes in irregular hybrid structures | |
CN102252795A (zh) | 一种电容式索力传感器 | |
RU2567441C1 (ru) | Способ цифрового измерения электрических величин | |
Aftab et al. | A parallel plate dielectric resonator as a wireless passive strain sensor | |
RU2426099C1 (ru) | Устройство для определения концентрации смеси веществ | |
RU2586388C1 (ru) | Устройство для измерения давления | |
RU2536164C1 (ru) | Устройство для определения концентрации смеси веществ | |
RU2691283C1 (ru) | Устройство для измерения давления | |
RU2690971C1 (ru) | Датчик давления | |
RU2536184C1 (ru) | Концентратомер | |
RU2457451C2 (ru) | Датчик давления | |
RU2708938C1 (ru) | Устройство для измерения высоких давлений газообразных сред | |
RU2654911C1 (ru) | Устройство для измерения малых значений токов | |
RU2152024C1 (ru) | Концентратомер | |
RU2408856C9 (ru) | Устройство для измерения давления | |
RU2199731C1 (ru) | Устройство для определения влажности нефтепродуктов в трубопроводе | |
Zemlyakov et al. | A new approach to measuring the piezomodulus of a piezoceramic material under dynamic conditions | |
JP2007127606A (ja) | 複素誘電率測定装置及び方法 | |
RU2684446C1 (ru) | Способ определения напряженности магнитного поля |