RU2655947C1 - Infra-red large-format scanning array photodetector - Google Patents

Infra-red large-format scanning array photodetector Download PDF

Info

Publication number
RU2655947C1
RU2655947C1 RU2017124523A RU2017124523A RU2655947C1 RU 2655947 C1 RU2655947 C1 RU 2655947C1 RU 2017124523 A RU2017124523 A RU 2017124523A RU 2017124523 A RU2017124523 A RU 2017124523A RU 2655947 C1 RU2655947 C1 RU 2655947C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
diaphragm
mfce
hybrid
mfp
centers
Prior art date
Application number
RU2017124523A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Иванович Патрашин
Ярослав Сергеевич Бычковский
Кирилл Владимирович Козлов
Игорь Дмитриевич Бурлаков
Борис Николаевич Дражников
Антон Викторович Никонов
Original Assignee
Акционерное общество "НПО "Орион"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "НПО "Орион" filed Critical Акционерное общество "НПО "Орион"
Priority to RU2017124523A priority Critical patent/RU2655947C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2655947C1 publication Critical patent/RU2655947C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02—Details
    • G01J1/0204—Compact construction
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
    • H01J40/02—Details
    • H01J40/14—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

FIELD: optics.
SUBSTANCE: invention relates to infrared scanning array photodetector devices (MFPs) – large format devices that convert the input optical image formed by the objective and scanner into a specified spectral range, and then into the output electrical video signal. Diaphragm is performed in a non-simply-connected manner, with equal-connected simply-connected parts. Their centers are aligned with the straight lines connecting the centers of the photosensitive regions of the hybrid array of photosensitive elements (IFEI) to the center of the virtual exit pupil of the image forming lens. Number of photosensitive regions is equal to the number of simply-connected regions of the diaphragm and is multiples of the number of integral IFNCs.
EFFECT: invention allows to maintain a high value of the threshold photoelectric parameter while reducing the dimensions, heat inflows, energy consumption and mass of the MFP.
6 cl, 5 dwg

Description

Настоящее изобретение относится к инфракрасным (ИК) крупноформатным сканирующим матричным фотоприемным устройствам (МФПУ) - устройствам, преобразующим входное оптическое изображение, формируемое объективом, в выходной электрический видеосигнал. Такие МФПУ работают в следующих спектральных диапазонах чувствительности: (1-1,7) мкм, (1,7-2,4) мкм, (2,4-3) мкм, (3-5) мкм, (5-8) мкм, (8-12) мкм. Матрицы фоточувствительных элементов (МФЧЭ) МФПУ, работающие в указанных спектральных диапазонах, изготавливаются на основе полупроводниковых структур InSb, InxGa1-xAs, CdxHg1-xTe и т.д., а также на основе квантовых ям и сверхрешеток на основе полупроводников группы А3В5 и др. Крупноформатные МФПУ могут использоваться в различных системах регистрации и мониторинга больших пространств. Например, они могут быть установлены на искусственных спутниках Земли. Такие системы регистрируют, например, атмосферные явления, извержения вулканов, ураганы, распределение температуры по поверхности Земли, степень зрелости сельскохозяйственных культур и т.д.The present invention relates to infrared (IR) large format scanning matrix photodetector devices (MFPs) - devices that convert the input optical image generated by the lens into an output electrical video signal. Such MFPUs operate in the following spectral ranges of sensitivity: (1-1.7) microns, (1.7-2.4) microns, (2.4-3) microns, (3-5) microns, (5-8) μm, (8-12) μm. Matrices of photosensitive elements (MFCE) MFPUs operating in the indicated spectral ranges are fabricated on the basis of InSb, In x Ga 1-x As, Cd x Hg 1-x Te semiconductor structures, etc., as well as on the basis of quantum wells and superlattices based on group A 3 B 5 semiconductors and others. Large-format MFPs can be used in various systems for recording and monitoring large spaces. For example, they can be installed on artificial Earth satellites. Such systems record, for example, atmospheric phenomena, volcanic eruptions, hurricanes, temperature distribution over the Earth's surface, the degree of maturity of crops, etc.

Крупноформатным МФПУ мы будем называть устройство, обладающее повышенным форматом гибридной МФЧЭ, реализуемым с помощью М интегральных МФЧЭ формата m×n, расположенных в заданном порядке с перекрывающимися краевыми ФЧЭ, достигающим, например, одного-двух десятков тысяч фоточувствительных элементов (ФЧЭ) в строке.A large-format MFP, we will call a device with an increased format of a hybrid MFCE, implemented using M integrated MFCEs of the m × n format, arranged in a predetermined order with overlapping edge PSEs, reaching, for example, one to two tens of thousands of photosensitive elements (PSEs) per line.

Конструкция и формат интегральной МФЧЭ служат достижению заданных фотоэлектрических параметров, приемлемого количества дефектных ФЧЭ, возможностей технологии, процента выхода годных и т.д. МФПУ с интегральной МФЧЭ включает герметический корпус с входным окном и состыкованное с ним устройство фиксации рабочей температуры МФЧЭ, площадка с постоянной температурой (ГШТ) которого находится внутри корпуса. На ППТ расположен растр с контактными площадками, на растре установлен кремниевый мультиплексор, состыкованный с МФЧЭ с помощью индиевых столбиков. Сборка МФЧЭ-мультиплексор (ФПМ) окружена светоизолирующим экраном (СЭ), также имеющим постоянную температуру, которая, как правило, ниже температуры окружающей среды. СЭ содержит диафрагму, плоскость которой параллельна плоскостям МФЧЭ и входного окна МФПУ, а их центры лежат на перпендикулярной им оси.The design and format of the integrated MFCE serve to achieve the specified photovoltaic parameters, an acceptable number of defective MFC, technology capabilities, percent yield, etc. MFPU with integrated MFCE includes a sealed enclosure with an inlet window and a device for fixing the operating temperature of the MFCE docked with it, a platform with a constant temperature (HST) which is located inside the housing. A raster with contact pads is located on the PPT; a silicon multiplexer is installed on the raster, coupled to the MFCE using indium columns. The assembly of the MFCE multiplexer (FPM) is surrounded by a light-insulating screen (SE), also having a constant temperature, which, as a rule, is lower than the ambient temperature. The SC contains a diaphragm whose plane is parallel to the planes of the MFPE and the input window of the MFP, and their centers lie on an axis perpendicular to them.

ИК крупноформатное сканирующее МФПУ требует, по крайней мере, на порядок увеличить формат МФЧЭ по сравнению с интегральным МФПУ, доведя его, по крайней мере, до 7000-15000 ФЧЭ в строке. Сделать такую МФЧЭ интегральной из вышеуказанных полупроводников невозможно даже с помощью самой современной технологии. Действительно, при шаге ФЧЭ даже 10 мкм мы получим длину строки МФЧЭ порядка 10000⋅10 мкм = 100 мм. Такая длина строки слишком велика, поэтому ее изготавливают гибридной, т.е. составленной из интегральных МФЧЭ, расположенных, например, в шахматном порядке с перекрытием краевых ФЧЭ.The large-format IR scanning MFP requires at least an order of magnitude increase in the MFCE format compared to the integrated MFP, bringing it to at least 7000-15000 FEC in a row. It is impossible to make such an MFCE integral of the aforementioned semiconductors even with the help of the most modern technology. Indeed, even if the step of the PSE is even 10 μm, we get the string length of the MPE of the order of 10000⋅10 μm = 100 mm. This string length is too long, so it is made hybrid, i.e. composed of integrated MFCEs, arranged, for example, in a checkerboard pattern with overlapping edge PSEs.

С целью обеспечения необходимой пороговой характеристики в крупноформатном МФПУ необходимо получить заданную фоновую облученность и ее однородность по фоточувствительной площади гибридной МФЧЭ. Эти параметры обеспечивает СЭ, который вместе с диафрагмой должен будет иметь увеличенные размеры и повышенное расстояние от гибридной МФЧЭ. Такая конструкция охлаждаемого узла (МФЧЭ-мультиплексор) будет иметь увеличенный герметизированный объем корпуса крупноформатного МФПУ. Результатом будет являться непропорциональное повышение массы крупноформатного ИК МФПУ, теплопритоков корпуса и мощности устройства фиксации рабочей температуры.In order to ensure the necessary threshold characteristics in large-format MFPs, it is necessary to obtain a given background irradiation and its uniformity over the photosensitive area of the hybrid MFCE. These parameters are provided by solar cells, which, together with the diaphragm, will have to have larger sizes and an increased distance from the hybrid MFCE. This design of the cooled unit (MFCE-multiplexer) will have an increased sealed volume of the large-format MFPU case. The result will be a disproportionate increase in the mass of large-format IR MFP, heat influx of the case and the power of the device for fixing the working temperature.

Известно ИК крупноформатное сканирующее МФПУ, включающее герметичный корпус с оптическим окном, гибридную МФЧЭ, составленную из интегральных МФЧЭ заданного формата, состыкованных с интегральными БИС, и светоизолирующий экран с диафрагмой [К.В. Козлов и др. Современные сканирующие инфракрасные фотоприемные устройства для дистанционного зондирования Земли, Успехи прикладной физики, 2017 г., №2, с.63].Known infrared large-format scanning MFP, including a sealed enclosure with an optical window, a hybrid MFCE composed of integrated MFCEs of a given format, coupled with integrated LSIs, and a light-insulating screen with a diaphragm [K.V. Kozlov et al. Modern scanning infrared photodetectors for remote sensing of the Earth, Advances in Applied Physics, 2017, No. 2, p. 63].

Недостатком его являются повышенное энергопотребление, требуемое для обеспечения необходимой хладопроизводительности из-за увеличенного объема герметичного корпуса и обусловленного этим высокого теплопритока.Its disadvantage is the increased energy consumption required to ensure the necessary refrigeration capacity due to the increased volume of the sealed enclosure and the resulting high heat gain.

Целью изобретения является сохранение высокого значения порогового фотоэлектрического параметра, при одновременном снижении теплопритоков, массы, габаритов и энергопотребления устройства.The aim of the invention is to maintain a high value of the threshold photoelectric parameter, while reducing heat gain, mass, size and power consumption of the device.

Поставленная цель достигается тем, что в крупноформатном сканирующем ИК МФПУ, включающем герметичный корпус с оптическим окном, гибридную МФЧЭ, составленную из интегральных МФЧЭ, и светоизолирующий экран с диафрагмой, диафрагма является неодносвязной, односвязные части диафрагмы равны между собой, их центры расположены на прямых линиях, соединяющих центры фоточувствительных областей гибридной МФЧЭ с центром виртуального выходного зрачка объектива, формирующего изображение, а количество фоточувствительных областей равно количеству односвязных областей диафрагмы и кратно количеству интегральных МФЧЭ.This goal is achieved in that in a large-format scanning IR MFP, including a sealed enclosure with an optical window, a hybrid MFCE made up of integrated MFCEs, and a light-insulating screen with a diaphragm, the diaphragm is not simply connected, the simply connected parts of the diaphragm are equal to each other, their centers are located on straight lines connecting the centers of the photosensitive regions of the hybrid MFCE with the center of the virtual exit pupil of the image forming lens, and the number of photosensitive regions is equal to the number dnosvyaznyh areas aperture and a multiple of the number of integrated MFCHE.

Поставленная цель достигается также тем, что интегральные МФЧЭ расположены в шахматном порядке с перекрытием крайних ФЧЭ в направлении, перпендикулярном направлению сканирования.This goal is also achieved by the fact that the integrated MFCEs are staggered with the overlapping of the extreme MFCs in the direction perpendicular to the scanning direction.

Поставленная цель достигается также тем, что температура гибридной МФЧЭ стабильна во времени и не превышает минимальную температуру внешней среды.This goal is also achieved by the fact that the temperature of the hybrid MFCE is stable in time and does not exceed the minimum ambient temperature.

Поставленная цель достигается также тем, что температура светоизолирующего экрана постоянна, не превышает минимальную температуру внешней среды и не ниже температуры гибридной МФЧЭ.This goal is also achieved by the fact that the temperature of the light-insulating screen is constant, does not exceed the minimum ambient temperature and not lower than the temperature of the hybrid MFCE.

Поставленная цель достигается также тем, что на светоизолирующем экране расположены светофильтры с заданными полосами пропускания, закрывающие односвязные части диафрагмы.This goal is also achieved by the fact that on the light-insulating screen there are filters with predetermined bandwidths that cover the simply connected parts of the diaphragm.

Поставленная цель достигается также тем, что светофильтры выполнены интерференционными.This goal is also achieved by the fact that the filters are made interference.

Заявляемое изобретение поясняется следующими чертежами:The invention is illustrated by the following drawings:

Фиг. 1, фиг. 2, фиг. 3 иллюстрируют виды совмещения СЭ ИК крупноформатного сканирующего МФПУ с гибридной МФЧЭ.FIG. 1, FIG. 2, FIG. Figure 3 illustrates the types of combination of SC IR large format scanning MFPU with hybrid MFCE.

Фиг. 1 - М интегральных МФЧЭ и М односвязных областей холодной диафрагмы;FIG. 1 - M integrated MFPE and M simply connected regions of the cold diaphragm;

фиг. 2 - М интегральных МФЧЭ и М/2 односвязных областей холодной диафрагмы;FIG. 2 - M integrated MFPE and M / 2 simply connected regions of the cold diaphragm;

фиг. 3 - М интегральных МФЧЭ и М/3 односвязных областей холодной диафрагмы.FIG. 3 - M integral MFPE and M / 3 simply connected regions of the cold diaphragm.

Фиг. 4 - взаимное расположение гибридной МФЧЭ (вид совмещения на фиг. 1), СЭ и виртуального выходного зрачка оптической системы в сечении А-А (не в масштабе рисунка на фигуре).FIG. 4 - the relative position of the hybrid MFCE (the combination type in Fig. 1), the solar cell and the virtual exit pupil of the optical system in section AA (not to the scale of the figure in the figure).

Фиг. 5 - оптическая схема устройства.FIG. 5 is an optical diagram of a device.

Рассмотрим суть заявляемого устройства.Consider the essence of the claimed device.

ИК крупноформатное сканирующее МФПУ включает герметичный корпус 11 с входным окном 10 и состыкованное с ним устройство фиксации рабочей температуры МФЧЭ (не показано), площадка с постоянной температурой (ППТ) которого находится внутри корпуса 11. На ППТ, любым способом, создающим надежный тепловой контакт, например с помощью промежуточного растра, установлен кремниевый мультиплексор (мультиплексоры) 4, состыкованный с интегральными МФЧЭ 2 с помощью индиевых столбиков. Эти М интегральных МФЧЭ составляют гибридную МФЧЭ, постоянная температура которой ниже температуры окружающей среды. Гибридная МФЧЭ окружена СЭ 1. В СЭ 1 имеется неодносвязная диафрагма 3, плоскость которой параллельна плоскости гибридной МФЧЭ и входного окна МФПУ. Диафрагма включает М, или М/2, или М/3, или М/4 односвязных частей 3, симметричных относительно своих центров 9. Центры 9 односвязных частей диафрагмы 3 лежат на прямых линиях, соединяющих соответствующие центры фоточувствительных областей 8, включающих одну, или две, или три, или четыре интегральных МФЧЭ, с центром 6 выходного зрачка виртуального объектива 7, предназначенного для фокусирования изображения на гибридную МФЧЭ. Центры односвязных областей СЭ 9 по мере удаления от оптической оси гибридной МФЧЭ 5 сдвигаются к ней. Перпендикуляр к центру гибридной МФЧЭ 5 проходит через центр 6 выходного зрачка виртуального объектива 7. Односвязные части диафрагмы 3 могут быть закрыты светофильтрами 12, например интерференционными, в которых, практически, отсутствует поглощение излучения. Светофильтры 12 предназначены для формирования спектральной области излучения [λ1; λ2], предназначенной для регистрации.IR large-format scanning MFPU includes a sealed housing 11 with an input window 10 and a device for fixing the operating temperature of the MFCE (not shown) docked with it, a platform with a constant temperature (ППТ) of which is located inside the housing 11. On the ППТ, in any way that creates reliable thermal contact, for example, using an intermediate raster, a silicon multiplexer (multiplexers) 4 is installed, coupled to the integrated MFCE 2 using indium columns. These M integrated MFCEs constitute a hybrid MFCE whose constant temperature is below ambient temperature. Hybrid MFCE is surrounded by SE 1. In SE 1 there is a non-connected diaphragm 3, the plane of which is parallel to the plane of the hybrid MFCE and the input window of the MFP. The diaphragm includes M, or M / 2, or M / 3, or M / 4 of the simply connected parts 3, symmetrical with respect to their centers 9. The centers 9 of the simply connected parts of the diaphragm 3 lie on straight lines connecting the corresponding centers of the photosensitive regions 8, including one, or two, or three, or four integrated MFCEs, with the center 6 of the exit pupil of the virtual lens 7, designed to focus the image on a hybrid MFCE. The centers of the simply connected regions of the SE 9 move toward it as they move away from the optical axis of the hybrid MFCE 5. The perpendicular to the center of the hybrid MFPE 5 passes through the center 6 of the exit pupil of the virtual lens 7. The simply connected parts of the diaphragm 3 can be covered by filters 12, for example interference, in which radiation absorption is practically absent. The filters 12 are designed to form a spectral region of radiation [λ 1 ; λ 2 ] intended for registration.

Такая конструкция устройства отличается от известных тем, что холодная диафрагма ИК крупноформатного сканирующего МФПУ выполнена неодносвязной, а центры 6 односвязных частей 3 холодной диафрагмы сдвинуты относительно фоточувствительных областей 13 гибридной МФЧЭ. Величина сдвига определяется совмещением центра 6 каждой односвязной части диафрагмы с осью, соединяющей центр 8 соответствующей интегральной МФЧЭ с центром 6 виртуального выходного зрачка объектива, и нарастает по мере удаления от центра 5 гибридной МФЧЭ.This design of the device differs from the known ones in that the cold aperture of the IR large-format scanning MFP is non-connected, and the centers 6 of the simply connected parts 3 of the cold diaphragm are shifted relative to the photosensitive regions 13 of the hybrid MFCE. The magnitude of the shift is determined by combining the center 6 of each simply connected part of the diaphragm with the axis connecting the center 8 of the corresponding integrated MFCE with the center 6 of the virtual exit pupil of the lens, and increases with distance from the center 5 of the hybrid MFCE.

Работа ИК крупноформатного сканирующего МФПУ аналогична функционированию обычного МФПУ. Отличие состоит в том, что излучение от объектива и сканера падает на МФПУ, проходит через входное окно и попадает на фоточувствительные области не сквозь единую диафрагму, а сквозь односвязные части ее, согласованные с фоточувствительными областями гибридной МФЧЭ так, чтобы обеспечивать заданную облученность. Это позволяет получить высокое значение порогового фотоэлектрического параметра. В силу того что эти области гибридной МФЧЭ являются ее уменьшенными частями, удается приблизить всю диафрагму и тем самым снизить герметизируемый объем МФПУ. Таким образом, удается снизить габариты, теплопритоки, энергопотребление и массу МФПУ, сохраняя высокое значение порогового параметра, т.е. достигнуть поставленной цели.The operation of an IR large format scanning MFP is similar to that of a conventional MFP. The difference is that the radiation from the lens and scanner falls on the MFP, passes through the input window and enters the photosensitive regions not through a single aperture, but through its simply connected parts, which are aligned with the photosensitive regions of the hybrid MFCE so as to provide a given irradiation. This allows you to get a high value of the threshold photoelectric parameter. Due to the fact that these areas of the hybrid MFCE are its reduced parts, it is possible to approximate the entire diaphragm and thereby reduce the sealed volume of the MFP. Thus, it is possible to reduce the size, heat gain, power consumption and mass of the MFP, while maintaining a high value of the threshold parameter, i.e. achieve your goal.

Claims (6)

1. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ, включающее герметичный корпус с оптическим окном, гибридную МФЧЭ, составленную из интегральных МФЧЭ, и светоизолирующий экран с диафрагмой, отличающееся тем, что диафрагма является неодносвязной, односвязные части диафрагмы равны между собой, их центры расположены на прямых линиях, соединяющих центры фоточувствительных областей гибридной МФЧЭ, с центром виртуального выходного зрачка объектива, формирующего изображение, а количество фоточувствительных областей равно количеству односвязных областей диафрагмы и кратно количеству интегральных МФЧЭ.1. IR large format scanning MFP, including a sealed enclosure with an optical window, a hybrid MFCE composed of integral MFCEs, and a light-insulating screen with a diaphragm, characterized in that the diaphragm is not simply connected, the simply connected parts of the diaphragm are equal to each other, their centers are located on straight lines, connecting the centers of the photosensitive regions of the hybrid MFCE with the center of the virtual exit pupil of the imaging lens, and the number of photosensitive regions is equal to the number of simply connected regions Tay aperture and a multiple of the number of integrated MFCHE. 2. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ по п.1, отличающееся тем, что интегральные МФЧЭ расположены в шахматном порядке с перекрытием крайних ФЧЭ в направлении, перпендикулярном направлению сканирования.2. IR large-format scanning MFPU according to claim 1, characterized in that the integrated MFCEs are staggered with overlapping extreme PSEs in the direction perpendicular to the scanning direction. 3. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ по любому из пп. 1 и 2, отличающееся тем, что температура гибридной МФЧЭ стабильна во времени и не превышает минимальную температуру внешней среды.3. IR large format scanning MFP according to any one of paragraphs. 1 and 2, characterized in that the temperature of the hybrid MFCE is stable in time and does not exceed the minimum ambient temperature. 4. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ по любому из пп.1 - 3, отличающееся тем, что температура светоизолирующего экрана постоянна, не превышает минимальную температуру внешней среды и не ниже температуры гибридной МФЧЭ.4. IR large-format scanning MFPU according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the temperature of the light-insulating screen is constant, does not exceed the minimum ambient temperature and not lower than the temperature of the hybrid MFCE. 5. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ по любому из пп. 1 - 4, отличающееся тем, что на светоизолирующем экране расположены светофильтры с заданными полосами пропускания, закрывающие односвязные части диафрагмы.5. IR large format scanning MFP according to any one of paragraphs. 1 to 4, characterized in that on the light-insulating screen there are filters with predetermined bandwidths covering the simply connected parts of the diaphragm. 6. ИК крупноформатное сканирующее МФПУ по любому из пп. 1 - 5, отличающееся тем, что светофильтры выполнены интерференционными.6. IR large format scanning MFP according to any one of paragraphs. 1 to 5, characterized in that the filters are made interference.
RU2017124523A 2017-07-10 2017-07-10 Infra-red large-format scanning array photodetector RU2655947C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017124523A RU2655947C1 (en) 2017-07-10 2017-07-10 Infra-red large-format scanning array photodetector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017124523A RU2655947C1 (en) 2017-07-10 2017-07-10 Infra-red large-format scanning array photodetector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2655947C1 true RU2655947C1 (en) 2018-05-30

Family

ID=62560559

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017124523A RU2655947C1 (en) 2017-07-10 2017-07-10 Infra-red large-format scanning array photodetector

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2655947C1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5075553A (en) * 1989-10-23 1991-12-24 General Electric Company IR sensor for a scanned staggered element linear array having improved cold shielding
RU2390076C1 (en) * 2008-08-20 2010-05-20 Александр Иванович Патрашин Multielement photodetector
JP2015222260A (en) * 2013-05-17 2015-12-10 パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブアメリカＰａｎａｓｏｎｉｃ Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ Thermal image sensor and air conditioner

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5075553A (en) * 1989-10-23 1991-12-24 General Electric Company IR sensor for a scanned staggered element linear array having improved cold shielding
RU2390076C1 (en) * 2008-08-20 2010-05-20 Александр Иванович Патрашин Multielement photodetector
JP2015222260A (en) * 2013-05-17 2015-12-10 パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブアメリカＰａｎａｓｏｎｉｃ Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ Thermal image sensor and air conditioner

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2426195C1 (en) Photoelectric converter, imaging system
US5401968A (en) Binary optical microlens detector array
US8749636B2 (en) Passive multi-band aperture filters and cameras therefrom
Gunapala et al. 15-/spl mu/m 128/spl times/128 GaAs/Al/sub x/Ga/sub 1-x/As quantum well infrared photodetector focal plane array camera
US9450117B2 (en) Optoelectronic device having surface periodic grating structure
JP2014138142A (en) Solid-state image sensor and imaging apparatus
Dhar et al. Advanced imaging research and development at DARPA
RU2655947C1 (en) Infra-red large-format scanning array photodetector
US20120074321A1 (en) Variable waveband infrared imager
US11862658B2 (en) Multispectral imaging sensor provided with means for limiting crosstalk
Jhabvala et al. The QWIP focal plane assembly for NASA's Landsat Data Continuity Mission
US9257478B2 (en) Spatially resolved spectral-imaging device
Tohyama et al. Uncooled infrared detectors toward smaller pixel pitch with newly proposed pixel structure
Rieke Measuring the universe: a multiwavelength perspective
RU2699239C1 (en) Large-format scanning infrared matrix photodetector
Chorier et al. Sofradir latest developments for infrared space detectors
RU2390076C1 (en) Multielement photodetector
Crawford Electro-optical sensors overview
JP2002243908A (en) Optical element for ir ray and ir camera
Rawe Jr et al. Novel high fill-factor, small pitch, reticulated InSb IR FPA design
US7217926B1 (en) Systems involving voltage-tunable quantum-well infrared photodetectors (QWIPs) and related methods
Dem’yanenko et al. Technological limitations in readout integrated circuits for infrared focal plane arrays based on quantum-well infrared photodetectors
Hogue et al. Space mid-IR detectors from DRS
Djazovski Focal plane arrays for optical payloads
WO2024086968A1 (en) Thermal infrared imaging mechanism and electronic device