RU2610920C1 - Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam - Google Patents

Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam Download PDF

Info

Publication number
RU2610920C1
RU2610920C1 RU2015150226A RU2015150226A RU2610920C1 RU 2610920 C1 RU2610920 C1 RU 2610920C1 RU 2015150226 A RU2015150226 A RU 2015150226A RU 2015150226 A RU2015150226 A RU 2015150226A RU 2610920 C1 RU2610920 C1 RU 2610920C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
diffusely
lens
photometric
shaper
intensity
Prior art date
Application number
RU2015150226A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Михаил Владимирович Улановский
Аркадий Михайлович Райцин
Камиль Шамилевич Абдрахманов
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ")
Priority to RU2015150226A priority Critical patent/RU2610920C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2610920C1 publication Critical patent/RU2610920C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/48—Laser speckle optics
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

FIELD: laser engineering.
SUBSTANCE: device for shaping uniform distribution of intensity of a laser beam in its cross section includes coaxially located in the direction of laser radiation: a hollow truncated photometric shaper (PMS) made in the form of a truncated cone, the inner surface of which is coated with a diffusely reflecting coating, a diffusely transmitting convex-concave lens, a biconcave lens. Herewith the said elements are coaxial.
EFFECT: technical result achieved at implementation of the proposed device is higher level of radiation intensity of the laser beam within the area of the outlet window (up to Emax=0,351 relative units) at a high degree of uniformity (0,96…0,99).
4 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике и технической физике, в частности - к устройствам для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении, и может быть применено для калибровки и поверки средств измерений параметров лазерного пучка, содержащих многоэлементные измерительные преобразователи с высоким пространственным разрешением.The invention relates to measuring technique and technical physics, in particular, to devices for forming a uniform distribution of the intensity of a laser beam in its cross section, and can be used for calibration and verification of measuring instruments for laser parameters containing multi-element measuring transducers with high spatial resolution.

Из уровня техники известны устройства для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении. Одним из формирователей такого типа является фотометрический шар [Гуревич М.М. Фотометрия (теория, методы и приборы). Л.: Энергоатомиздат, 1983.], представляющий собой сферу, внутренняя поверхность которой выполнена из диффузно отражающего материала. Такой формирователь имеет ряд недостатков: отклонение излучения от диффузного, отраженного от покрытия внутренних стенок; сложность нанесения качественного покрытия на внутренние стенки сферы; зависимость характеристик покрытия от факторов окружающей среды; потеря части падающего и отраженного излучения, связанная с наличием отверстий в фотометрическом шаре; необходимость установки дополнительного экрана для защиты от прямого попадания излучения на приемную площадку поверяемого средства измерения; значительное ослабление рассеиваемого внутри сферы потока излучения. Устранение этих недостатков приводит к усложнению технологии изготовления интегрирующих сфер, а также к тому, что они становятся более громоздкими. Наиболее близким аналогом предлагаемого устройства для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении среди диффузных формирователей является устройство, содержащее линзу из диффузно пропускающего стекла, одна поверхность которой выпуклая, а вторая плоская, фотометрический цилиндр (ФЦ), внутренняя поверхность которого выполнена из диффузно отражающего стекла (покрытия), например, из молочного стекла МС-20, причем плоская поверхность диффузно пропускающей линзы прикреплена к входному окну полого цилиндра, а центр симметрии диффузно пропускающей линзы лежит на оси симметрии полого цилиндра [Иванов B.C., Золотаревский Ю.М., Котюк А.Ф., Либерман А.А. и др. Основы оптической радиометрии. - М.: Физматлит, 2003, раздел 18.4]. По результатам исследования устройство при определенном подборе размеров и материалов для ФЦ в пределах части его выходного окна создает распределение с высоким уровнем равномерности относительной интенсивности ≈0,95…0,99 (приведенной к наибольшему значению). Однако в данном техническом решении не учтены характеристики ослабления ФЦ, что делает неоптимальным его применение с указанными в нем параметрами. Так, для определения коэффициентов преобразования многоэлементных измерительных преобразователей лазерного пучка при проведении калибровки или поверки важно обеспечить не только необходимые характеристики равномерности, но и требуемый уровень энергии (мощности), приходящийся на один его элемент.The prior art devices for forming a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section. One of the shapers of this type is a photometric ball [Gurevich M.M. Photometry (theory, methods and devices). L .: Energoatomizdat, 1983.], which is a sphere whose inner surface is made of diffusely reflecting material. Such a shaper has several disadvantages: deviation of radiation from diffuse, reflected from the coating of the inner walls; the difficulty of applying a high-quality coating to the inner walls of the sphere; dependence of coating characteristics on environmental factors; loss of part of the incident and reflected radiation associated with the presence of holes in the photometric ball; the need to install an additional screen to protect against direct radiation on the receiving platform of the calibrated measuring instrument; significant attenuation of the radiation flux scattered inside the sphere. The elimination of these shortcomings leads to the complication of the manufacturing technology of integrating spheres, as well as to the fact that they become more bulky. The closest analogue of the proposed device for forming a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section among diffuse shapers is a device containing a lens of diffusely transmitting glass, one surface of which is convex and the other is a flat, photometric cylinder (FC), the inner surface of which is made of diffuse reflective glass (coating), for example, from milk glass MS-20, and the flat surface of the diffusely transmitting lens attached to the input about well, a hollow cylinder, a center of symmetry diffusely transmissive lens lies on the axis of symmetry of the hollow cylinder [Ivanov B.C., Zolotarevskii YM, Kotyukov AF, Lieberman AA et al. Fundamentals of optical radiometry. - M .: Fizmatlit, 2003, section 18.4]. According to the results of the study, the device with a certain selection of sizes and materials for the FC within the limits of part of its output window creates a distribution with a high level of uniformity of relative intensity ≈0.95 ... 0.99 (reduced to the highest value). However, in this technical solution, the characteristics of attenuation of the FC are not taken into account, which makes its use non-optimal with the parameters indicated in it. So, to determine the conversion coefficients of multi-element measuring transducers of a laser beam during calibration or verification, it is important to provide not only the necessary characteristics of uniformity, but also the required level of energy (power) per one element.

Техническая задача, решаемая заявляемым изобретением, состоит в создании устройства для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении, способного обеспечить распределения интенсивности с заданной степенью равномерности с наибольшим значением интенсивности в зоне выходного окна.The technical problem solved by the claimed invention is to create a device for forming a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section, capable of providing intensity distributions with a given degree of uniformity with the highest intensity value in the area of the output window.

Технический результат, достигаемый при реализации заявленного устройства, заключается в повышении уровня интенсивности излучения лазерного пучка в зоне выходного окна при высокой степени его равномерности (0,96…0,99).The technical result achieved by the implementation of the claimed device is to increase the level of radiation intensity of the laser beam in the area of the output window with a high degree of uniformity (0.96 ... 0.99).

Данный технический результат обеспечивается предлагаемым устройством для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении, включающим соосно расположенную по ходу лазерного излучения диффузно пропускаюпгую линзу, полый фотометрический формирователь (ФМФ), внутренняя поверхность которого выполнена из диффузно отражающего покрытия, имеющий входное и выходное окна, причем диффузно пропускающая линза закреплена на входном окне ФМФ, отличающимся тем, что устройство дополнительно содержит двояковогнутую линзу и диффузно пропускающую пластину, а полый ФМФ выполнен в виде усеченного конуса, а диффузно пропускающая линза имеет выпукло-вогнутую форму, при этом центр симметрии двояковогнутой линзы и диффузно пропускающей линзы лежит на оси симметрии полого усеченного ФМФ, а диффузно пропускающая пластина закреплена на выходном окне полого усеченного ФМФ, причем двояковогнутая линза расположена перед диффузно пропускающей линзой так, что обеспечивает полную засветку диффузно пропускающей линзы, а геометрические параметры полого усеченного ФМФ с радиусами оснований R1, R2 и высотой L выбраны из соотношений:This technical result is provided by the proposed device for forming a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section, including a diffusely passing lens coaxially located along the laser radiation, a hollow photometric shaper (FMF), the inner surface of which is made of a diffusely reflecting coating, having an input and output windows moreover, diffusely transmitting lens mounted on the input window of the FMF, characterized in that the device further comprises a biconcave lens and diffusely transmitting plate, and the hollow FMF is made in the form of a truncated cone, and the diffusely transmitting lens has a convex-concave shape, while the center of symmetry of the biconcave lens and diffusely transmitting lens lies on the axis of symmetry of the hollow truncated FMF, and the diffusely transmitting plate is fixed to the output window of the hollow truncated FMF, and the biconcave lens is located in front of the diffusely transmitting lens so that it provides full illumination of the diffusely transmitting lens, and the geometric parameters a single truncated FMF with radii of the bases R 1 , R 2 and height L are selected from the relations:

R2=r/ρ; R1=1,2R2, L=10R2/3,R 2 = r / ρ; R 1 = 1,2R 2, L = 10R 2/3

где

Figure 00000001
, Δ - коэффициент равномерности, выбранный из диапазона
Figure 00000002
, r<R2 - радиус зоны выходного окна.Where
Figure 00000001
, Δ - uniformity coefficient selected from the range
Figure 00000002
, r <R 2 is the radius of the zone of the output window.

Предлагаемое устройство содержит двояковогнутую линзу, выполненную, например, из оптического стекла К-8, диффузно пропускающую выпукло-вогнутую линзу, выполненную, например, из молочного стекла МС-23, закрепленную на входном окне полого усеченного (ФМФ), выполненного, например, из металла (дюралюминиевый сплав Д16), внутренняя поверхность которого покрыта диффузно отражающим покрытием, например светотехнической эмалью марки АК-243.The proposed device comprises a biconcave lens, made, for example, of K-8 optical glass, diffusely transmitting a convex-concave lens, made, for example, of milk glass MS-23, mounted on the entrance window of a hollow truncated (FMF) made, for example, of metal (duralumin alloy D16), the inner surface of which is coated with a diffusely reflective coating, for example, AK-243 lighting enamel.

С целью обеспечения дополнительного выравнивания распределения интенсивности диффузно пропускающая пластина выполнена, например, из молочного стекла МС-23.In order to provide additional equalization of the intensity distribution, the diffusely transmitting plate is made, for example, of milk glass MS-23.

Двояковогнутая линза расположена перед диффузно пропускающей линзой на расстоянии, необходимом для ее полной засветки, и может быть закреплена либо путем жесткого соединения с ФМФ в единой конструкции, либо автономно.The biconcave lens is located in front of the diffusely transmitting lens at a distance necessary for its full illumination, and can be fixed either by rigid connection with the FMF in a single design, or autonomously.

Устройство представляет пассивный формирователь равномерного распределения интенсивности лазерного пучка, в котором осуществляется выравнивание распределения интенсивности за счет многократных диффузных отражений излучения от внутренней поверхности ФМФ и его прохождения через диффузно пропускающие линзу и пластину. Параметры двояковогнутой линзы и ее расположение обеспечивают полную засветку диффузно пропускающей линзы и ФМФ. Схема заявляемого устройства формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении в предпочтительном варианте его осуществления представлена на чертеже. Устройство содержит соосно расположенные по ходу лазерного излучения от источника 1 двояковогнутую линзу 2, изготовленную из оптического стекла К-8, диффузно пропускающую выпукло-вогнутую линзу 3, изготовленную из молочного стекла МС-23, закрепленную на входном окне полого ФМФ 4, выполненного из металла (дюралюминиевый сплав Д16) с внутренней поверхностью 5, покрытой светотехнической эмалью АК-243, и диффузно пропускающую пластину 6 из молочного стекла МС-23, закрепленную на выходном окне ФМФ. На выходе пластины 6 установлен калибруемый или поверяемый данным устройством многоэлементный измерительный преобразователь 7.The device is a passive shaper of the uniform distribution of the intensity of the laser beam, in which the intensity distribution is equalized due to multiple diffuse reflections of radiation from the inner surface of the FMF and its passage through the diffusely transmitting lens and plate. The parameters of the biconcave lens and its location provide full illumination of a diffusely transmitting lens and FMF. A diagram of the inventive device for generating a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section in a preferred embodiment is presented in the drawing. The device comprises a biconcave lens 2 coaxially located along the laser radiation from source 1, made of K-8 optical glass, diffusely transmitting a convex-concave lens 3, made of milk glass MS-23, mounted on the entrance window of a hollow FMF 4 made of metal (duralumin alloy D16) with an inner surface 5 coated with AK-243 lighting enamel, and diffusely transmitting plate 6 made of milk glass MS-23, mounted on the exit window of the FMF. At the output of the plate 6 there is a multi-element measuring transducer 7 calibrated or verified by this device.

Исследование данного устройства, представленное в таблице, показало, что геометрические параметры ФМФ, обеспечивающие наибольшее значение относительной интенсивности Emax при высокой равномерности, соответствуют соотношениям:The study of this device, presented in the table, showed that the geometric parameters of the FMF, providing the greatest value of the relative intensity E max with high uniformity, correspond to the relations:

Figure 00000003
, где R1, R2 - входной и выходной радиусы усеченного ФМФ соответственно и
Figure 00000004
, где L - высота ФМФ. Значение интенсивности при отсутствии ФМФ приблизительно в 1,8 раза меньше. Распределение относительной интенсивности лазерного пучка Е(ρ) в пределах зоны выходного окна диффузно пропускающей линзы 6, радиуса r, предназначенного для установки калибруемого или поверяемого многоэлементного измерительного преобразователя 7, может быть аппроксимировано квадратичной зависимостью вида:
Figure 00000003
where R 1 , R 2 are the input and output radii of the truncated FMF, respectively, and
Figure 00000004
where L is the height of the FMF. The intensity value in the absence of FMF is approximately 1.8 times less. The distribution of the relative intensity of the laser beam E (ρ) within the area of the exit window of the diffusely transmitting lens 6, of radius r, intended for installation of a calibrated or verified multi-element measuring transducer 7, can be approximated by a quadratic dependence of the form:

Figure 00000005
,
Figure 00000005
,

где

Figure 00000006
,
Figure 00000007
.Where
Figure 00000006
,
Figure 00000007
.

Оптимальные параметры ФМФ определяются следующим образом:The optimal parameters of the FMF are determined as follows:

- исходя из требуемой степени равномерности Δ на границе многоэлементного измерительного преобразователя, радиуса r, выбранной из промежутка

Figure 00000008
, находят значения ρ и радиус R2 ФМФ по формулам:- based on the required degree of uniformity Δ at the boundary of the multi-element measuring transducer, radius r, selected from the gap
Figure 00000008
, find the values of ρ and the radius R 2 FMF according to the formulas:

Figure 00000009
,
Figure 00000010
;
Figure 00000009
,
Figure 00000010
;

- определяют высоту ФМФ из соотношения L=10R2/3;- determine the height of the MFF ratio L = 10R 2/3;

- определяют радиус R1 ФМФ: R1=1,2R2.- determine the radius R 1 FMF: R 1 = 1,2R 2 .

Figure 00000011
Figure 00000011

Как видно из таблицы, при значениях параметров m=0,3; γ=1,2 достигается наибольшее значение относительной интенсивности Emax=0,351 отн. ед. при высокой степени равномерности, если ρ≤0,4.As can be seen from the table, with parameter values m = 0.3; γ = 1.2, the highest value of the relative intensity E max = 0.351 rel. units with a high degree of uniformity, if ρ≤0,4.

Устройство работает следующим образом. Лазерное излучение от источника 1 падает по нормали на центр двояковогнутой линзы 2, обеспечивающей полную засветку диффузно пропускающей выпукло-вогнутой линзы 3. Такая ее форма обеспечивает выравнивание распределения интенсивности на краях за счет более интенсивного поглощения в центре и создания условий более эффективного использования ФМФ. Проходя линзу 3, излучение распределяется внутри ФМФ 4 по закону, близкому к закону Ламберта. Часть излучения достигает диффузно пропускающей пластины 6 без отражения от внутренней поверхности полого ФМФ, а другая часть - после многократных отражений от его внутренней поверхности. Поскольку внутренняя поверхность цилиндра выполнена из диффузно отражающего покрытия, то в каждой ее точке излучение также будет распределяться по закону Ламберта. В результате на входе диффузно пропускающей пластины 6 формируется распределение интенсивности, близкое к равномерному. Диффузно пропускающая пластина 6 осуществляет дополнительное выравнивание распределения интенсивности излучения, поступающего на калибруемый или поверяемый многоэлементный измерительный преобразователь 7.The device operates as follows. The laser radiation from source 1 is incident normal to the center of the biconcave lens 2, which provides full illumination of the diffusely transmitting convex-concave lens 3. This shape of the lens ensures equalization of the intensity distribution at the edges due to more intense absorption in the center and creation of conditions for more efficient use of FMF. Passing through lens 3, the radiation is distributed inside FMF 4 according to a law close to Lambert's law. Part of the radiation reaches the diffusely transmitting plate 6 without reflection from the inner surface of the hollow FMF, and the other part after multiple reflections from its inner surface. Since the inner surface of the cylinder is made of a diffusely reflecting coating, then at each of its points the radiation will also be distributed according to Lambert's law. As a result, an intensity distribution close to uniform is formed at the input of the diffusely transmitting plate 6. The diffusely transmitting plate 6 provides an additional equalization of the distribution of the intensity of the radiation entering the calibrated or verified multi-element measuring transducer 7.

Таким образом, параметры предлагаемого устройства оптимизированы как по степени равномерности, так и уровню интенсивности излучения.Thus, the parameters of the proposed device are optimized both in terms of uniformity and level of radiation intensity.

Claims (6)

1. Устройство для формирования равномерного распределения интенсивности лазерного пучка в поперечном его сечении, включающее соосно расположенные по ходу лазерного излучения диффузно пропускающую линзу, полый фотометрический формирователь, внутренняя поверхность которого выполнена из диффузно отражающего покрытия, имеющий входное и выходное окна, причем диффузно пропускающая линза закреплена на входном окне фотометрического формирователя, отличающееся тем, что устройство дополнительно содержит двояковогнутую линзу и диффузно пропускающую пластину, а полый фотометрический формирователь выполнен в виде усеченного конуса, а диффузно пропускающая линза имеет выпукло-вогнутую форму, при этом центр симметрии двояковогнутой линзы и диффузно пропускающей линзы лежит на оси симметрии полого усеченного фотометрического формирователя, а диффузно пропускающая пластина закреплена на выходном окне полого усеченного фотометрического формирователя, причем двояковогнутая линза расположена перед диффузно пропускающей линзой так, что обеспечивает полную засветку диффузно пропускающей линзы, а геометрические параметры полого усеченного фотометрического формирователя с радиусами оснований R1, R2 и высотой L выбраны из соотношений:1. A device for generating a uniform distribution of the intensity of the laser beam in its cross section, including a diffusely transmitting lens coaxially located along the laser radiation, a hollow photometric shaper, the inner surface of which is made of a diffusely reflecting coating, having an input and output windows, and the diffusely transmitting lens is fixed at the input window of the photometric former, characterized in that the device further comprises a biconcave lens and diffusely a launch plate, and the hollow photometric shaper is made in the form of a truncated cone, and the diffusely transmitting lens has a convex-concave shape, while the center of symmetry of the biconcave lens and diffusely transmitting lens lies on the symmetry axis of the hollow truncated photometric shaper, and the diffusely transmitting plate is mounted on the output window hollow truncated photometric shaper, and a biconcave lens is located in front of the diffusely transmitting lens so that it provides full diffuse illumination transmission lens, and the geometric parameters of the hollow truncated photometric shaper with radii of the bases R 1 , R 2 and a height L are selected from the relations: R2=r/ρ; R1=1,2R2, L=10R2/3,R 2 = r / ρ; R 1 = 1,2R 2, L = 10R 2/3 где
Figure 00000012
, Δ - коэффициент равномерности, выбранный из диапазона Δ=0,96÷0,99, r<R2 - радиус зоны выходного окна.Where
Figure 00000012
, Δ is the uniformity coefficient selected from the range Δ = 0.96 ÷ 0.99, r <R 2 is the radius of the zone of the output window. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что диффузно пропускающая пластина изготовлена из молочного стекла МС-23.2. The device according to claim 1, characterized in that the diffusely transmitting plate is made of milk glass MS-23. 3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что полый усеченный фотометрический формирователь выполнен, например, из дюралюминиевого сплава Д16, а в качестве диффузно отражающего покрытия используют, например, светотехническую эмаль АК-243.3. The device according to claim 1, characterized in that the hollow truncated photometric shaper is made, for example, of duralumin alloy D16, and, for example, AK-243 lighting enamel is used as a diffusely reflecting coating. 4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что двояковогнутая линза выполнена, например, из оптического стекла К-8.4. The device according to claim 1, characterized in that the biconcave lens is made, for example, of optical glass K-8.
RU2015150226A 2015-11-24 2015-11-24 Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam RU2610920C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150226A RU2610920C1 (en) 2015-11-24 2015-11-24 Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015150226A RU2610920C1 (en) 2015-11-24 2015-11-24 Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2610920C1 true RU2610920C1 (en) 2017-02-17

Family

ID=58458634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015150226A RU2610920C1 (en) 2015-11-24 2015-11-24 Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2610920C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU184251U1 (en) * 2018-05-03 2018-10-19 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") DEVICE FOR LASER RADIATION POWER MEASUREMENT

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11109280A (en) * 1997-09-30 1999-04-23 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Beam honogenizer and laser irradiation apparatus as well as laser irradiation method and semiconductor device
RU2282228C1 (en) * 2005-06-14 2006-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" Method for suppression of laser speckles in optical scanning displays and device for its realization (modifications)
US8326102B2 (en) * 2004-10-04 2012-12-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device
US8724223B2 (en) * 2009-02-18 2014-05-13 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Device for homogenizing laser radiation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11109280A (en) * 1997-09-30 1999-04-23 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Beam honogenizer and laser irradiation apparatus as well as laser irradiation method and semiconductor device
US8326102B2 (en) * 2004-10-04 2012-12-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method for manufacturing semiconductor device
RU2282228C1 (en) * 2005-06-14 2006-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского" Method for suppression of laser speckles in optical scanning displays and device for its realization (modifications)
US8724223B2 (en) * 2009-02-18 2014-05-13 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Device for homogenizing laser radiation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU184251U1 (en) * 2018-05-03 2018-10-19 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") DEVICE FOR LASER RADIATION POWER MEASUREMENT

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5055978A (en) Uniform light source
US3932023A (en) Optical coupler for transmitting light linearly between a single point and plural points
JPH07117619B2 (en) Multi-directional non-imaging device and multi-directional non-imaging system
JP2010287510A (en) Light irradiation device and inspection device
CN100419398C (en) Field radiation calibration and calibrator for large-bore photoelectric system
DE112016005440T5 (en) Light source device, lighting device and vehicle lamp device
RU2610920C1 (en) Device for shaping uniform distribution of intensity of laser beam
US20100060867A1 (en) Pseudo light pipe for coupling of light for dual paraboloid reflector (dpr) system
US20070147758A1 (en) Light integrator with circular light output
WO2009016586A1 (en) Tir collimator with improved uniformity
CN102183803A (en) Parasitic light eliminating panel for imaging process of optical system
CN109579984B (en) Laser beam homogenization attenuator
US11774755B2 (en) Near-eye optical system
US10384152B2 (en) Backscatter reductant anamorphic beam sampler
US3343449A (en) Veiling luminance measurement device
JP2005531037A (en) Laser beam automatic centering apparatus and method of manufacturing the apparatus
WO2015015893A1 (en) Acoustic wave-detecting probe and photoacoustic measurement device
JP6902523B2 (en) Side emitting optical fiber
CN204129332U (en) Optical attenuator
CN107636487B (en) Optical distance measuring device for measuring the distance to a reflective target object
CN109579983A (en) Beam sampling device for superlaser light distribution parameter measurement
CN104133290A (en) Optical attenuator
CN102252754B (en) Streak camera reflection type off-axis optical coupling device
CN211089823U (en) Light path system of turning back
RU152973U1 (en) DEVICE FOR THE FORMATION OF A HOMOGENEAR BEAM OF THE LIGHT OF THERAHZ RADIATION