RU2609443C1 - System for monitoring angular deformations of large-sized platforms - Google Patents

System for monitoring angular deformations of large-sized platforms Download PDF

Info

Publication number
RU2609443C1
RU2609443C1 RU2015133471A RU2015133471A RU2609443C1 RU 2609443 C1 RU2609443 C1 RU 2609443C1 RU 2015133471 A RU2015133471 A RU 2015133471A RU 2015133471 A RU2015133471 A RU 2015133471A RU 2609443 C1 RU2609443 C1 RU 2609443C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
control elements
angular deformations
platform
platforms
faces
Prior art date
Application number
RU2015133471A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Татьяна Леонидовна Романова
Владимир Петрович Трегуб
Анна Сергеевна Коваленко
Наталья Александровна Истомина
Николай Борисович Правоторов
Евгений Иванович Колесников
Юрий Сергеевич Скворцов
Лариса Владимировна Бордовская
Олег Леонидович Олендский
Original Assignee
Акционерное общество "ЛОМО"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "ЛОМО" filed Critical Акционерное общество "ЛОМО"
Priority to RU2015133471A priority Critical patent/RU2609443C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2609443C1 publication Critical patent/RU2609443C1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

FIELD: data processing.
SUBSTANCE: system for monitoring angular deformations of large-sized platforms comprises a large platform, having attached on it a basic control element and two control elements, which are prisms with certified mirror faces and arranged in triangle vertices, formed by normals to faces of control elements. On each side of triangle there is one two-coordinate autocollimator. In addition, system for controlling angular deformations of large-sized platforms includes a two-coordinate autocollimator, positioned between two control elements on other side of platform.
EFFECT: technical result consists in improvement of accuracy of system for controlling angular deformations of large-sized platforms, simplified design and algorithm of processing information.
1 cl, 4 dwg

Description

Предлагаемое изобретение относится к оптическому приборостроению, в частности к зеркальным и зеркально-линзовым телескопам космического базирования при решении задач высокоточного измерения взаимного углового положения между нормалями к плоским зеркальным поверхностям, привязанным к соответствующим механическим базам.The present invention relates to optical instrumentation, in particular to space-based mirror and mirror-lens telescopes in solving problems of high-precision measurement of the mutual angular position between normals to flat mirror surfaces attached to corresponding mechanical bases.

Во многих прикладных задачах требуемая точность измерения азимутального угла между нормалями к плоским зеркальным поверхностям составляет величины менее десяти угловых секунд. Есть широкий класс приборов, обеспечивающих измерение углов разворота вокруг оптической (визирной) оси, так называемых углов скручивания - С.П. Буюкян. «Видеоизмерительные системы». М.: МИИГАиК, 2008. [1].In many applications, the required accuracy of measuring the azimuthal angle between normals to flat mirror surfaces is less than ten arc seconds. There is a wide class of instruments that provide measurement of rotation angles around the optical (target) axis, the so-called torsion angles - S.P. Buyukyan. "Video measuring systems." M .: MIIGAiK, 2008. [1].

Существуют два традиционных способа решения задачи измерения угла скручивания. Первый способ решает задачу методами геометрической оптики. Этот метод ставит результирующую точность измерения в зависимость от размеров оптических баз, т.е. в конечном итоге от размеров устройств. Кроме того, существуют серьезные проблемы в получении высокой точности при наличии смещений и наклонов контрольных баз. У геометрических схем лучшие результаты соответствуют погрешности измерения угла скручивания ±15ʺ при полном измерении угла ±1,5°.There are two traditional ways to solve the problem of measuring the angle of twist. The first method solves the problem by methods of geometric optics. This method makes the resulting measurement accuracy dependent on the size of the optical bases, i.e. ultimately on device sizes. In addition, there are serious problems in obtaining high accuracy in the presence of offsets and inclinations of the control bases. In geometric schemes, the best results correspond to an error in measuring the twist angle of ± 15ʺ with a full measurement of the angle of ± 1.5 °.

Второй способ решения задачи измерения угла скручивания основан на методах физической оптики, а именно на применении поляризованного излучения.The second way to solve the problem of measuring the angle of twist is based on the methods of physical optics, namely, the use of polarized radiation.

Известно устройство вертикального переноса направления (УВПН) - О.Л. Олендский, М.Н. Сокольский, В.П. Трегуб. «Поляризационный канал переноса азимутального направления по вертикали». «Оптический журнал», №76, октябрь 2009 г. [2].A device for vertical transfer of direction (UVPN) - O.L. Olendsky, M.N. Sokolsky, V.P. Tribube. "The polarization channel of the vertical azimuthal transfer." “Optical Journal”, No. 76, October 2009 [2].

Поляризационный УВПН состоит из излучателя, поляризатора, модулятора Фарадея, анализатора и приемника. Излучатель обеспечивает световой луч нужной интенсивности, поляризатор делает этот луч плоскополяризованным. Модулятор обеспечивает раскачку плоскости поляризации по гармоническому закону без постоянной составляющей по углу. Анализатор преобразует модуляцию плоскости поляризации по углу в амплитудную модуляцию интенсивности светового потока. Фотоприемник преобразует модулированный световой поток в электрический сигнал, который проходит узкополосную фильтрацию с целью выделить сигнал с частотой модуляции. При нулевом угле скручивания поляризатора относительно анализатора электрический сигнал равен нулю. Таким образом, данная схема выполняет роль ноль-датчика в составе следящей системы, в которой привод разворачивает поляризатор относительно анализатора.The polarization UVPN consists of an emitter, a polarizer, a Faraday modulator, an analyzer, and a receiver. The emitter provides a light beam of the desired intensity, the polarizer makes this beam plane-polarized. The modulator provides a buildup of the plane of polarization according to a harmonic law without a constant component in angle. The analyzer converts the modulation of the plane of polarization by angle into amplitude modulation of the intensity of the light flux. The photodetector converts the modulated light flux into an electrical signal that undergoes narrow-band filtering in order to isolate the signal with a modulation frequency. At zero torsion angle of the polarizer relative to the analyzer, the electrical signal is zero. Thus, this circuit acts as a zero sensor in the servo system, in which the drive deploys the polarizer relative to the analyzer.

УВПН [2] обеспечивает точность передачи азимутального направления не хуже ±3ʺ, причем точность самого поляризационного канала в составе прибора не хуже ±2ʺ, а также позволяет передавать азимутальное направление по вертикали до 3-х метров при смещениях нижней контрольной базы относительно верхней в поперечном направлении до ±40 мм.UVPN [2] ensures the accuracy of transmission of the azimuthal direction is not worse than ± 3ʺ, and the accuracy of the polarization channel in the device is not worse than ± 2ʺ, and also allows you to transmit the azimuthal direction vertically up to 3 meters with displacements of the lower control base relative to the upper in the transverse direction up to ± 40 mm.

Также аналогами могут служить автоколлиматоры унифицированные АКУ-0,2; АКУ-0,5; АКУ-1 (0,2; 0,5; 1 - цена деления секундной шкалы), предназначенные для визуального измерения углов и непрямолинейности направляющих, для определения взаимного углового расположения осей и плоскостей в пространстве, а также используются в качестве нуля-индикатора.Also, unified AKU-0.2 autocollimators can serve as analogues; AKU-0.5; AKU-1 (0.2; 0.5; 1 - the price of the division of the second scale), designed for visual measurement of angles and linearity of guides, to determine the relative angular arrangement of axes and planes in space, and are also used as a zero indicator.

Автоколлиматоры имеют двухкоординатную окулярную головку, что позволяет одновременно производить измерения в двух плоскостях без дополнительной настройки. Автоколлиматоры АКУ-0,2 и АКУ-0,5 применяются для проведения измерений в лабораториях цехов прецизионного производства. Автоколлиматор АКУ-1 применяется для проведения измерений на рабочих местах в цехах машиностроительных предприятий.Autocollimators have a two-coordinate eyepiece head, which allows simultaneous measurements in two planes without additional configuration. Autocollimators AKU-0.2 and AKU-0.5 are used for measurements in the laboratories of precision manufacturing workshops. The AKU-1 autocollimator is used for measurements at workplaces in workshops of machine-building enterprises.

Главным недостатком как УВПН, так и автоколлиматоров является отсутствие возможности трехмерного измерения. То есть, в первом случае мы получаем только один угол разворота, а во втором - 2, но ни один из приведенных аналогов не дает полной картины - трех углов измерения.The main disadvantage of both OHPN and autocollimators is the lack of the possibility of three-dimensional measurement. That is, in the first case we get only one turning angle, and in the second - 2, but not one of the above analogues gives a complete picture - three measurement angles.

Наиболее близким по своей технической сущности к предлагаемому изобретению является система контроля деформации крупногабаритных платформ, представленная в статье «Стабилизация космической платформы с помощью трех автоколлиматоров», изв. ВУЗов, Приборостроение, 2014, т. 57, №7, стр. 69-75 [3].Closest in its technical essence to the proposed invention is a control system for the deformation of large platforms, presented in the article "Stabilization of a space platform using three autocollimators", Izv. Universities, Instrument Engineering, 2014, v. 57, No. 7, pp. 69-75 [3].

Изначально система контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ (Фиг. 1) представляет собой платформу 1 с закрепленными на ней базовым контрольным элементом (БКЭ) 2 и контрольными элементами (КЭ) 3, 4. БКЭ 2 и КЭ 3, КЭ 4 представляют собой призмы с аттестованными между собой зеркальными гранями и расположены так, что нормали к их граням составляют между собой треугольник. На каждой стороне образованного треугольника расположены три двухкоординатных автоколлиматора (АК) 5, 6, 7, каждый из которых выдает по два угла разворота граней КЭ 3 и КЭ 4, между которыми он расположен, друг относительно друга.Initially, the system of monitoring the angular deformations of large platforms (Fig. 1) is a platform 1 with a basic control element (BKE) 2 and control elements (KE) 3, 4 attached to it. BKE 2 and KE 3, KE 4 are prisms with certified between themselves are mirror faces and are located so that the normals to their faces make up a triangle between themselves. On each side of the formed triangle there are three two-coordinate autocollimators (AK) 5, 6, 7, each of which gives two angles of rotation of the faces KE 3 and KE 4, between which it is located, relative to each other.

БКЭ 2 считается неподвижным, и все отклонения измеряются относительно него, поэтому при измерениях автоколлиматорами АК 5 и АК 7 не возникает никаких неопределенностей, в то время как при измерении автоколлиматором АК 6 угла разворота КЭ 3 и КЭ 4 вокруг оси х возникает неопределенность, т.е. автоколлиматор АК 6 не может определить, какой из контрольных элементов КЭ 3 или КЭ 4 развернулся, в результате чего система становится двухмерной.BKE 2 is considered immovable, and all deviations are measured relative to it, therefore, when measuring with the AK 5 and AK 7 autocollimators, there are no uncertainties, while when measuring with the AK 6 autocollimator the KE 3 and KE 4 turning angle around the x axis, there is uncertainty, t. e. the AK 6 autocollimator cannot determine which of the KE 3 or KE 4 control elements has deployed, as a result of which the system becomes two-dimensional.

Для того чтобы система контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ стала трехмерной, эту задачу решают в прототипе двумя способами:In order for the control system of angular deformations of large platforms to become three-dimensional, this problem is solved in the prototype in two ways:

1) один из контрольных элементов КЭ 3 или КЭ 4 должен иметь два, заведомо известных положения в пространстве, для чего в систему контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ вводится механизм поворота контрольного элемента, что в значительной степени снижает точность контроля угловых деформаций и усложняет всю систему контроля в целом.1) one of the control elements KE 3 or KE 4 must have two obviously known positions in space, for which a rotation mechanism of the control element is introduced into the control system of angular deformations of large platforms, which significantly reduces the accuracy of control of angular deformations and complicates the entire control system generally.

2) на один из контрольных элементов КЭ 3 или КЭ 4 наклеивают небольшой зеркальный клин с аттестованным углом при вершине. Это приводит к необходимости дополнительного конструктивного решения, поскольку появляется необходимость обработки одновременно двух измерительных марок на приемнике автоколлиматора АК 6, что снижает поле зрения автоколлиматора, как минимум в 2 раза, поскольку под каждую измерительную марку необходимо будет отвести свою зону на приемнике автоколлиматора АК 5 во избежание взаимного перекрытия марок.2) a small mirror wedge with a certified angle at the apex is glued to one of the control elements KE 3 or KE 4. This leads to the need for an additional constructive solution, since it becomes necessary to simultaneously process two measuring grades at the AK 6 autocollimator receiver, which reduces the field of view of the autocollimator by at least 2 times, since it will be necessary to devote a separate zone for each AK 5 collimator receiver to avoidance of overlapping marks.

Задачей предлагаемого изобретения является улучшение характеристик системы контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ по точности измерений, упрощение конструкции и алгоритма обработки информации.The task of the invention is to improve the characteristics of the control system of angular deformations of large platforms in terms of measurement accuracy, simplifying the design and information processing algorithm.

Для решения поставленной задачи предлагается система контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ, которая, как и прототип, содержит крупногабаритную платформу с закрепленными на ней базовым контрольным элементом и двумя контрольными элементами, представляющими собой призмы с аттестованными между собой зеркальными гранями и размещенными в вершинах треугольника, образованного нормалями к граням контрольных элементов, причем на каждой стороне треугольника расположено по одному двухкоординатному автоколлиматору.To solve this problem, we propose a system for monitoring the angular deformations of large-sized platforms, which, like the prototype, contains a large-sized platform with a basic control element fixed on it and two control elements representing prisms with mirrored faces certified between each other and placed at the vertices of the triangle formed by the normals to the faces of the control elements, and on each side of the triangle there is one two-coordinate auto-collimator.

В отличие от прототипа в систему контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ дополнительно включен двухкоординатный автоколлиматор, размещенный между двумя контрольными элементами с другой стороны платформы, кроме того, один из контрольных элементов выполнен в форме призмы с крышей.In contrast to the prototype, the angular deformation control system for large-sized platforms additionally includes a two-coordinate autocollimator located between two control elements on the other side of the platform, in addition, one of the control elements is made in the form of a prism with a roof.

Сущность изобретения заключается в том, что дополнительный двухкоординатный автоколлиматор, благодаря крыше, расположенной на одной из граней контрольного элемента, не чувствует разворота грани призмы вокруг оси х, то есть он выдает значение разворота второго контрольного элемента вокруг оси х относительно базового контрольного элемента. Таким образом, устраняется неопределенность во взаимном положении контрольных элементов, и система может контролировать угловые деформации крупногабаритной платформы вокруг трех координатных осей.The essence of the invention lies in the fact that the additional two-coordinate autocollimator, thanks to the roof located on one of the faces of the control element, does not feel the turn of the prism face around the x-axis, that is, it gives the value of the turn of the second control element around the x-axis relative to the base control element. Thus, the uncertainty in the relative position of the control elements is eliminated, and the system can control the angular deformations of the large platform around three coordinate axes.

Сущность предложенного технического решения поясняется чертежами: фиг. 1 - прототип системы контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ, фиг. 2 - предлагаемая система контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ, фиг. 3 - контрольный элемент системы контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ, фиг. 4 - оптическая схема работы системы.The essence of the proposed technical solution is illustrated by drawings: FIG. 1 is a prototype of the control system of angular deformations of large platforms, FIG. 2 - the proposed system for monitoring the angular deformations of large platforms, FIG. 3 - a control element of the system for monitoring the angular deformations of large platforms, FIG. 4 is an optical diagram of the system.

Система контроля угловых деформаций крупногабаритной платформы (Фиг. 2) содержит платформу 8 с закрепленными на ней базовым контрольным элементом (БКЭ) 9, контрольными элементами (КЭ) 10 и 11. БКЭ 9, КЭ 10 представляют собой призмы с аттестованными между собой зеркальными гранями. КЭ 11 (Фиг. 3) представляет собой призму с крышей 12 с частично зеркальными аттестованными между собой гранями 13, смонтированную на оправе 14. БКЭ 9, КЭ 10 и КЭ 11 расположены так, что нормали к их граням составляют между собой треугольник. На каждой стороне образованного треугольника расположены двухкоординатные автоколлиматоры (АК) 15, 16, 17 и 18.The system for monitoring the angular deformations of a large platform (Fig. 2) contains a platform 8 with a basic control element (BKE) 9 fixed on it, control elements (CE) 10 and 11. BKE 9, CE 10 are prisms with mirror faces certified between each other. KE 11 (Fig. 3) is a prism with a roof 12 with partially mirrored faces 13 certified between each other, mounted on a frame 14. BKE 9, KE 10 and KE 11 are located so that the normals to their faces make a triangle between themselves. On each side of the formed triangle are two-coordinate autocollimators (AK) 15, 16, 17 and 18.

Система контроля угловых деформаций крупногабаритной платформы работает следующим образом.The system for monitoring the angular deformations of a large platform works as follows.

Каждый АК 15, 16, 17, 18 состоит из объектива с вынесенной передней главной плоскостью Н (Фиг. 4), в исходном состоянии во внешней системе координат xy оптическая ось объектива совпадает с осью y. Точка О - главная точка объектива, совпадающая с его узловой точкой. Измерительная марка А совмещается с точкой О. Марка А с увеличением +1 изображается в заднюю главную точку О'. На расстоянии 0,5f', где f - заднее фокусное расстояние объектива, устанавливается зеркальная грань 13 КЭ 11. Параллельный пучок лучей, вышедших из объектива АК 17, отражается от зеркальной грани КЭ 10 и в обратном ходе образует в плоскости Н автоколлимационное изображение марки А. Если зеркальная грань 13 КЭ 11 наклонена относительно оси y на угол β, то из объектива выходит параллельный пучок лучей также под углом β относительно оси y. Если зеркальная грань КЭ 10 наклонена на угол α относительно оптической оси объектива, то изображение марки А смещается в точку с координатой х' в плоскости Н, при этомEach AK 15, 16, 17, 18 consists of a lens with a remote front main plane H (Fig. 4), in the initial state in the external coordinate system xy, the optical axis of the lens coincides with the y axis. Point O is the main point of the lens, coinciding with its nodal point. Measuring mark A is combined with point O. Mark A with an increase of +1 is depicted in the rear main point O '. At a distance of 0.5f ', where f is the rear focal length of the lens, a mirror face 13 of KE 11 is installed. A parallel beam of rays emerging from the lens AK 17 is reflected from the mirror face of KE 10 and forms a self-collimating image of brand A in the plane H in the reverse direction If the mirror face 13 of KE 11 is inclined with respect to the y axis by an angle β, then a parallel beam of rays emerges from the lens also at an angle β with respect to the y axis. If the mirror face KE 10 is tilted by an angle α relative to the optical axis of the lens, then the image of brand A is shifted to a point with the coordinate x 'in the plane H, while

Figure 00000001
Figure 00000001

Такая оптическая система делает АК нерасстраиваемыми, так как малые смещения объектива АК 17 в плоскости, перпендикулярной оси y, а также малые наклоны объектива не приводят к смещению автоколлимационного изображения марки А, то есть к изменению значения координаты х' и, соответственно, не приводят к изменению контролируемой разности (α-β).Such an optical system makes AK non-detunable, since small offsets of the AK 17 lens in the plane perpendicular to the y axis, as well as small tilts of the lens, do not lead to a shift in the autocollimation image of brand A, i.e., to a change in the value of the x 'coordinate and, accordingly, do not lead to change in controlled difference (α-β).

По величине смещения изображения измерительной марки относительно центра ФПУ можно судить о величине деформаций платформы.By the magnitude of the displacement of the image of the measuring mark relative to the center of the FPU, one can judge the magnitude of the deformations of the platform.

Рассмотрим работу системы на примере угловой деформации платформы, вызвавшей разворот КЭ 10 вокруг всех трех осей x, y и z, тогда:Consider the operation of the system as an example of the angular deformation of the platform, which caused the CE 10 to rotate around all three axes x, y and z, then:

С АК 17, по смещению измерительной марки мы получим данные о взаимном развороте КЭ 10 и КЭ 11 вокруг осей х и z, но не сможем определить, какой из контрольных элементов развернулся.With AK 17, according to the offset of the measuring mark, we will receive data on the mutual reversal of KE 10 and KE 11 around the x and z axes, but we will not be able to determine which of the control elements has unfolded.

С АК 16, по смещению измерительной марки мы получим данные о развороте КЭ 11 вокруг оси х и взаимном развороте КЭ 10 и КЭ 11 вокруг оси z, но не сможем определить, какой из контрольных элементов развернулся вокруг оси z.With AK 16, according to the offset of the measuring mark, we obtain data on the KE 11 turn around the x axis and the mutual turn of KE 10 and KE 11 around the z axis, but we can’t determine which of the control elements turned around the z axis.

С АК 15, по смещению измерительной марки мы получим данные о развороте КЭ 10 вокруг осей y и z.With AK 15, according to the offset of the measuring mark, we obtain data on the KE 10 rotation around the y and z axes.

С АК 18, по смещению измерительной марки мы получим данные о развороте КЭ 11 вокруг осей y и z (исходя из данного примера, полученные данные будут равны 0, поскольку развернулся только КЭ 10).With AK 18, according to the offset of the measuring mark, we will obtain data on the KE 11 rotation around the y and z axes (based on this example, the obtained data will be 0, since only KE 10 is deployed).

По величине смещения изображения измерительной марки относительно центра ФПУ можно судить о величине угловых деформаций платформы.By the magnitude of the displacement of the image of the measuring mark relative to the center of the FPU, one can judge the magnitude of the angular deformations of the platform.

Таким образом, предлагаемое изобретение решает поставленную задачу - упрощение конструкции без введения дополнительного механизма поворота, упрощение алгоритма обработки информации, а также улучшение характеристик системы контроля угловых деформаций крупногабаритных платформ по точности измерений, без уменьшения поля зрения автоколлиматора.Thus, the present invention solves the problem - simplification of the design without introducing an additional rotation mechanism, simplification of the information processing algorithm, as well as improving the characteristics of the angular deformation control system of large platforms in terms of measurement accuracy, without reducing the field of view of the autocollimator.

Claims (1)

Система контроля деформаций крупногабаритных платформ, содержащая крупногабаритную платформу с закрепленными на ней базовым контрольным элементом и двумя контрольными элементами, представляющими собой призмы с аттестованными между собой зеркальными гранями и размещенными в вершинах треугольника, образованного нормалями к граням контрольных элементов, причем на каждой стороне треугольника расположено по одному двухкоординатному автоколлиматору, отличающаяся тем, что в систему контроля деформаций крупногабаритных платформ дополнительно включен двухкоординатный автоколлиматор, размещенный между двумя контрольными элементами с другой стороны платформы, кроме того, один из контрольных элементов выполнен в форме призмы с крышей.A deformation control system for large-sized platforms, containing a large-sized platform with a basic control element fixed on it and two control elements, which are prisms with mirrored faces certified between each other and placed at the vertices of a triangle formed by the normals to the faces of the control elements, with each side of the triangle one two-coordinate autocollimator, characterized in that in the deformation control system of large platforms is supplemented A two-coordinate autocollimator located between two control elements on the other side of the platform is included; in addition, one of the control elements is made in the form of a prism with a roof.
RU2015133471A 2015-08-10 2015-08-10 System for monitoring angular deformations of large-sized platforms RU2609443C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015133471A RU2609443C1 (en) 2015-08-10 2015-08-10 System for monitoring angular deformations of large-sized platforms

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015133471A RU2609443C1 (en) 2015-08-10 2015-08-10 System for monitoring angular deformations of large-sized platforms

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2609443C1 true RU2609443C1 (en) 2017-02-01

Family

ID=58457150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015133471A RU2609443C1 (en) 2015-08-10 2015-08-10 System for monitoring angular deformations of large-sized platforms

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2609443C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1101672A1 (en) * 1980-01-18 1984-07-07 Предприятие П/Я Г-4903 Device for touch=free measuring of deformations
SU1270555A1 (en) * 1984-02-08 1986-11-15 Ковровский филиал Владимирского политехнического института Laser interferometer for measuring dynamic deformations
JPH09126737A (en) * 1995-11-01 1997-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for inspecting optical disk
EP2392892A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-07 Canon Kabushiki Kaisha Deformation measuring apparatus and deformation measuring method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1101672A1 (en) * 1980-01-18 1984-07-07 Предприятие П/Я Г-4903 Device for touch=free measuring of deformations
SU1270555A1 (en) * 1984-02-08 1986-11-15 Ковровский филиал Владимирского политехнического института Laser interferometer for measuring dynamic deformations
JPH09126737A (en) * 1995-11-01 1997-05-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for inspecting optical disk
EP2392892A1 (en) * 2010-06-04 2011-12-07 Canon Kabushiki Kaisha Deformation measuring apparatus and deformation measuring method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10036786B2 (en) Magnetic field measuring apparatus and manufacturing method of magnetic field measuring apparatus
CN100570310C (en) Measuring optical aeolotropic parameter method and determinator
CN103791860A (en) Tiny angle measuring device and method based on vision detecting technology
CN104061895B (en) Precision detection method of high-precision angle measurement instrument
CN109655079A (en) Star sensor measures coordinate system to prism coordinate system measurement method and system
CN103308281A (en) Detection device and detection method for wedge-shaped lens
CN101221044A (en) Device and method for large distance light parallel regulation
CN102519389A (en) Rotation positioning clamp and rotation positioning method for optical element
CN102865834A (en) Even number narrow slit type photoelectric autocollimator
RU2635336C2 (en) Method of calibrating optical-electronic device and device for its implementation
KR20100041024A (en) Apparatus for six-degree-of-freedom displacement measurement using a two-dimensional grating
RU2523736C1 (en) Measurement of dihedral angles at mirror-prismatic elements and device to this end
CN108061527A (en) A kind of two-dimensional laser autocollimator of anti-air agitation
RU2609443C1 (en) System for monitoring angular deformations of large-sized platforms
JP5972061B2 (en) Polarization axis direction measuring apparatus and polarization axis direction measuring method
US3554653A (en) Autocollimator
JP2008102051A (en) Interferometer angle sensitivity calibration method
CN102288129A (en) System for testing surface shape deviation of birefringent crystal optical element
US4738532A (en) Method of calibrating an optical measuring system
US4600304A (en) Optical level
CN106969682A (en) Measurement apparatus
CN202885788U (en) Even number narrow slit type photoelectric autocollimator
CN202195805U (en) Birefringent crystal optical element surface shape test system
JPH03167404A (en) Method for measuring size of large object
CN212378715U (en) Angle measuring instrument