RU2579458C1 - Magnetic immersion lens for emission electron microscope - Google Patents

Magnetic immersion lens for emission electron microscope Download PDF

Info

Publication number
RU2579458C1
RU2579458C1 RU2014148612/07A RU2014148612A RU2579458C1 RU 2579458 C1 RU2579458 C1 RU 2579458C1 RU 2014148612/07 A RU2014148612/07 A RU 2014148612/07A RU 2014148612 A RU2014148612 A RU 2014148612A RU 2579458 C1 RU2579458 C1 RU 2579458C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gap
tip
optical axis
parts
magnetic
Prior art date
Application number
RU2014148612/07A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Алексей Алексеевич Исаев
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина") filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Исток" имени А.И. Шокина" (АО "НПП "Исток" им. Шокина")
Priority to RU2014148612/07A priority Critical patent/RU2579458C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2579458C1 publication Critical patent/RU2579458C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: invention relates to electronic lenses, particularly, to immersion magnetic lenses, and can be used when forming emission image through luminescent screen for emission electron microscope with high electro-optical increase in studies of topology surface, for example, hot cathodes. Magnetic immersion lens for emission electron microscope has housing with upper and lower pole tips made from magnetically conducting material with longitudinal channel on optical axis of system, in gap between of which is object holder with object. Upper pole tip, which is anode, isolated from case is made of two parts with gap between them in form of slot with width of S1 in plane perpendicular to optical axis. Lower pole tip can move axially. Lower part of upper tip is fixed on body through insulator, besides, it consists of two parts with gap between them in form of slot with width of S2 in plane perpendicular to optical axis, parts are connected between each other by metal ring made of nonmagnetic material. Top tip is placed in screening electrode made from nonmagnetic material, in form of truncated cone, coaxial to optical axis, secured on body via insulator. That, end surfaces of lower part of anode and cone are limited by single plane, and distance between ends of parts of lower part of the upper tip is equal to (1…1.5) d, where d is width of gap between pole tips provided that: S2=S1=(0.1…0.5)d.
EFFECT: high electro-optical increase without variation of optical microscope base, high quality of emission image of very small size and enabling operation of microscope in three modes, namely: electrostatic, with magnetic focusing and combined.
1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к электронным линзам, а точнее к иммерсионным магнитным объективам, и может быть использовано при формировании эмиссионного изображения исследуемого объекта на люминесцентном экране эмиссионного электронного микроскопа с большим электронно-оптическим увеличением при изучении топологии поверхности, например, термокатодов.The invention relates to electronic lenses, and more specifically to immersion magnetic lenses, and can be used in the formation of the emission image of the test object on the luminescent screen of the emission electron microscope with a large electron-optical magnification when studying the topology of the surface, for example, thermal cathodes.

Известен иммерсионный магнитный объектив для эмиссионного электронного микроскопа [1]. Объектив содержит герметичный корпус с верхним и нижним полюсными наконечниками, выполненными из магнитопроводящего материала, объектодержатель и катушку возбуждения.Known immersion magnetic lens for emission electron microscope [1]. The lens contains a sealed housing with upper and lower pole tips made of magnetically conductive material, an object holder and an excitation coil.

Основным недостатком такого объектива является наличие разрыва в магнитопроводе для размещения в нем изолятора, крепящего верхний полюсный наконечник, что приводит к большой потере напряженности магнитного поля в зазоре размещения объекта и не позволяет сфокусировать эмиссионное изображение достаточно четко. Следовательно, не обеспечивает электронно-оптического увеличения при наблюдении эмиссионных объектов с малыми размерами эмиссионных зон.The main disadvantage of such a lens is the presence of a gap in the magnetic circuit to accommodate an insulator in it, which fastens the upper pole tip, which leads to a large loss of magnetic field strength in the object placement gap and does not allow focusing the emission image quite clearly. Therefore, it does not provide electron-optical magnification when observing emission objects with small sizes of emission zones.

Известен иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа - прототип - [2]. Объектив содержит герметичный корпус с верхним и нижним полюсными наконечниками из магнитопроводящего материала, объектодержатель с объектом. Верхний полюсный наконечник является анодом и выполнен из двух частей с разрывом между ними в виде щели в плоскости, перпендикулярной оптической оси. Две части верхнего полюсного наконечника соединены между собой кольцом из немагнитного материала. Нижний полюсный наконечник выполнен с возможностью осевого перемещения. Повышение электронно-оптического увеличения достигается за счет возникновения на оптической оси дополнительной магнитной линзы, образующейся в щели.Known immersion magnetic objective of the emission electron microscope - prototype - [2]. The lens contains a sealed housing with upper and lower pole lugs of magnetically conductive material, an object holder with an object. The upper pole tip is an anode and is made of two parts with a gap between them in the form of a gap in a plane perpendicular to the optical axis. Two parts of the upper pole piece are interconnected by a ring of non-magnetic material. The lower pole piece is axially movable. The increase in electron-optical magnification is achieved due to the appearance on the optical axis of an additional magnetic lens formed in the gap.

Недостатками такого объектива являются:The disadvantages of this lens are:

- недостаточное электронно-оптическое увеличение и качество изображения при исследовании изделий с малыми размерами эмитирующей поверхности;- insufficient electron-optical magnification and image quality in the study of products with small dimensions of the emitting surface;

- возможность возникновения электрического пробоя между заземленным объектом исследования и нижней частью верхнего полюсного наконечника при исследовании объектов, имеющих острийные выступы.- the possibility of electrical breakdown between the grounded object of study and the lower part of the upper pole piece when examining objects having pointed protrusions.

Техническим результатом изобретения является повышение электронно-оптического увеличения без изменения оптической базы микроскопа, повышение качества эмиссионного изображения очень малых размеров и обеспечение возможности работы микроскопа в трех режимах, а именно: электростатическом, с магнитной фокусировкой и комбинированном.The technical result of the invention is to increase the electron-optical magnification without changing the optical base of the microscope, improving the quality of the emission image of very small sizes and enabling the microscope to operate in three modes, namely electrostatic, magnetic focus and combined.

Технический результат достигается тем, что иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа содержит корпус с верхним и нижним полюсными наконечниками из магнитопроводящего материала с продольным каналом по оптической оси системы, в зазоре между которыми размещен объектодержатель с объектом. Верхний полюсный наконечник, являющийся анодом, изолированный от корпуса, выполнен из двух частей с разрывом между ними в виде щели шириной S1 в плоскости, перпендикулярной оптической оси. Нижний полюсный наконечник выполнен с возможностью осевого перемещения. Нижняя часть верхнего наконечника закреплена на корпусе через изолятор, причем она выполнена из двух частей с разрывом между ними в виде щели шириной S2 в плоскости, перпендикулярной оптической оси, при этом части соединены между собой металлическим кольцом из немагнитного материала. Верхний наконечник помещен в экранирующий электрод, выполненный из немагнитного материала, в виде усеченного конуса, соосного оптической оси, закрепленный на корпусе через изолятор. Причем торцевые поверхности нижней части анода и конуса ограничены единой плоскостью, а расстояние между торцами частей нижней части верхнего наконечника равно (1…1,5)d, где d - ширина зазора между полюсными наконечниками при условии: S2=S1=(0,1…0.5)d.The technical result is achieved by the fact that the immersion magnetic objective of the emission electron microscope comprises a housing with upper and lower pole tips of magnetically conductive material with a longitudinal channel along the optical axis of the system, in the gap between which an object holder with an object is placed. The upper pole piece, which is the anode, isolated from the housing, is made of two parts with a gap between them in the form of a gap of width S 1 in a plane perpendicular to the optical axis. The lower pole piece is axially movable. The lower part of the upper tip is fixed to the housing through an insulator, moreover, it is made of two parts with a gap between them in the form of a slit of width S 2 in a plane perpendicular to the optical axis, while the parts are interconnected by a metal ring of non-magnetic material. The upper tip is placed in a shielding electrode made of non-magnetic material in the form of a truncated cone, coaxial to the optical axis, mounted on the housing through an insulator. Moreover, the end surfaces of the lower part of the anode and cone are bounded by a single plane, and the distance between the ends of the parts of the lower part of the upper tip is (1 ... 1,5) d, where d is the width of the gap between the pole pieces provided: S 2 = S 1 = (0 , 1 ... 0.5) d.

Нижняя часть верхнего наконечника закреплена на корпусе через изолятор, что позволяет подавать на каждую часть анода разные по величине электрические потенциалы. В случае когда высокий потенциал подан на верхнюю часть анода (верхнюю часть верхнего наконечника), а более низкий потенциал на нижнюю часть анода (нижнюю часть верхнего наконечника), в щели объектива образуется рассеивающая электростатическая линза, увеличивающая эмиссионное изображение на экране микроскопа. А если потенциалы поданы наоборот, то образуется собирающаяся электростатическая линза, уменьшающая эмиссионное изображение на экране микроскопа.The lower part of the upper tip is fixed to the housing through an insulator, which allows to supply electric potentials of different magnitude to each part of the anode. In the case when a high potential is applied to the upper part of the anode (upper part of the upper tip), and lower potential to the lower part of the anode (lower part of the upper tip), a scattering electrostatic lens is formed in the lens slit, which increases the emission image on the microscope screen. And if the potentials are applied on the contrary, a collecting electrostatic lens is formed, which reduces the emission image on the microscope screen.

Нижняя часть верхнего наконечника выполнена из двух частей с разрывом между ними в виде щели шириной S2 в плоскости, перпендикулярной оптической оси, что позволяет создать в зазоре дополнительную магнитную линзу, как в щели S1. Дополнительная магнитная линза производит перефокусировку эмиссионного изображения. Изображение увеличивается сначала в щели S2, затем в щели S1 и отображается на экране микроскопа. Таким образом не меняя оптической базы микроскопа получаем оптическое увеличение.The lower part of the upper tip is made of two parts with a gap between them in the form of a gap of width S 2 in a plane perpendicular to the optical axis, which allows you to create an additional magnetic lens in the gap, as in the gap S 1 . An additional magnetic lens refocuses the emission image. The image is enlarged first in the slot S 2 , then in the slot S 1 and displayed on the microscope screen. Thus, without changing the optical base of the microscope, we obtain an optical increase.

Чтобы повысить качество эмиссионного изображения за счет уменьшения ионной бомбардировки объекта исследования на верхнюю часть анода подают электрический потенциал ниже, чем потенциал на нижней части анода.To improve the quality of the emission image by reducing the ion bombardment of the test object, an electric potential lower than the potential on the lower part of the anode is supplied to the upper part of the anode.

Верхний наконечник помещен в экранирующий электрод, выполненный из немагнитного материала в виде усеченного конуса, соосного оптической оси, и закрепленный на корпусе через изолятор. Изоляция экранирующего электрода от корпуса обеспечивает возможность подачи на него невысокого электрического потенциала, что расширяет возможность фокусировки эмиссионного изображения объекта. При этом объектив может работать в разных режимах. В чисто электростатическом режиме, когда магнитное поле отсутствует, подфокусировка изображения достигается за счет изменения электрического потенциала на фокусирующем электроде. В режиме с магнитной фокусировкой электрический потенциал на фокусирующий электрод не подается, он выполняет функцию экрана, работает только фокусирующая магнитная катушка.The upper tip is placed in a shielding electrode made of non-magnetic material in the form of a truncated cone, coaxial to the optical axis, and fixed to the housing through an insulator. Isolation of the shielding electrode from the housing makes it possible to supply a low electric potential to it, which expands the possibility of focusing the emission image of the object. In this case, the lens can work in different modes. In a purely electrostatic mode, when there is no magnetic field, image focusing is achieved by changing the electric potential at the focusing electrode. In the magnetic focus mode, the electric potential is not supplied to the focusing electrode, it acts as a screen, only the focusing magnetic coil works.

Торцевые поверхности нижней части верхнего наконечника и конуса ограничены единой плоскостью, что обеспечивает оптимальную работу анода, то есть объект может быть приближен к аноду на расстояние, при котором не возникает электрический пробой.The end surfaces of the lower part of the upper tip and the cone are limited by a single plane, which ensures optimal operation of the anode, that is, the object can be approached to the anode at a distance at which electrical breakdown does not occur.

Иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа поясняется чертежом.The immersion magnetic objective of the emission electron microscope is illustrated in the drawing.

На фиг. 1 представлен иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа, где:In FIG. 1 shows an immersion magnetic objective of an emission electron microscope, where:

фланец 1;flange 1;

корпус 2;Pavilion 2;

верхний полюсный наконечник 3;top pole piece 3;

нижний полюсный наконечник 4;bottom pole piece 4;

объектодержатель 5;object holder 5;

объект 6;object 6;

верхняя часть верхнего полюсного наконечника 7;the upper part of the upper pole piece 7;

нижняя часть верхнего полюсного наконечника 8;the lower part of the upper pole piece 8;

S1 - ширина щели;S 1 is the width of the slit;

изолятор 9;insulator 9;

изолятор 10;insulator 10;

верхняя часть нижней части верхнего полюсного наконечника 11;the upper part of the lower part of the upper pole piece 11;

нижняя часть нижней части верхнего полюсного наконечника 12;the lower part of the lower part of the upper pole piece 12;

металлическое кольцо 13;a metal ring 13;

экранирующий электрод 14;shielding electrode 14;

изолятор 15;insulator 15;

S2 - ширина щели;S 2 is the width of the slit;

l1 - расстояние между торцами частей нижней части верхнего наконечника;l 1 - the distance between the ends of the parts of the lower part of the upper tip;

d - расстояние между полюсными наконечниками; катушка фокусирующая 16;d is the distance between the pole pieces; focusing coil 16;

сильфонный привод 17.bellows actuator 17.

ПримерExample

Иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа для исследования термокатодов содержит закрепленный на фланце 1 из нержавеющей стали X18Н10Т корпус 2, выполненный из стали 10895 (АРМКО), который является магнитопроводом. Соосные между собою верхний 3 и нижний 4 полюсные наконечники выполнены из стали 10895 (АРМКО) с продольным каналом по оптической оси системы. Зазор d равен около 20 мм. Между полюсными наконечниками 3 и 4 на объекте-держателе 5 закреплены термокатоды 6. Нижний полюсный наконечник 4 может перемещаться по оси с помощью сильфонного привода 17. Верхний полюсный наконечник 3 разделен на две части 7 и 8, щелью шириной S1, равной 2 мм. Верхняя часть 7 верхнего полюсного наконечника 3 крепится к корпусу 2 изолятором 9, выполненным из керамики 22ХС, а нижняя часть 8 верхнего полюсного наконечника 3 крепится к корпусу 2 изолятором 10, выполненным из 22ХС. Нижняя часть 8 верхнего полюсного наконечника 3 разделена щелью S2, шириной 2 мм, на две части: верхняя часть нижней части верхнего полюсного наконечника 11 и нижняя часть нижней части верхнего полюсного наконечника 12, между ними закреплено металлическое кольцо 13 из немагнитного материала. Ширина зазора между полюсными наконечниками 7 и 8 составляет 20 мм. Верхний наконечник 3 помещен в экранирующий электрод 14, выполненный из нержавеющей стали Х18Н10Т в виде усеченного конуса, соосного оптической оси, который закреплен на корпусе 2 через изолятор 15, выполненный из 22ХС. Расстояние между торцами частей 11 и 12 нижней части верхнего наконечника 7 равно 20 мм. Торцевые поверхности нижней части анода 8 и конуса электрода 14 ограничены единой плоскостью. Фокусирующая катушка 16 предназначена для создания магнитного поля в щели и между полюсами.An immersion magnetic objective of an emission electron microscope for studying thermal cathodes comprises a housing 2 made of steel 10895 (ARMKO), which is a magnetic circuit, mounted on a flange 1 of stainless steel X18H10T. The upper 3 and lower 4 pole pieces coaxial with each other are made of steel 10895 (ARMKO) with a longitudinal channel along the optical axis of the system. The clearance d is about 20 mm. Thermocathodes 6 are fixed between the pole pieces 3 and 4 on the holder object 5. The lower pole piece 4 can be moved axially by means of a bellows drive 17. The upper pole piece 3 is divided into two parts 7 and 8, with a slit width S 1 of 2 mm. The upper part 7 of the upper pole piece 3 is attached to the housing 2 by an insulator 9 made of 22XC ceramics, and the lower part 8 of the upper pole piece 3 is attached to the housing 2 by an insulator 10 made of 22XC. The lower part 8 of the upper pole piece 3 is divided by a slot S 2 , 2 mm wide, into two parts: the upper part of the lower part of the upper pole piece 11 and the lower part of the lower part of the upper pole piece 12, a metal ring 13 made of non-magnetic material is fixed between them. The width of the gap between the pole pieces 7 and 8 is 20 mm. The upper tip 3 is placed in a shielding electrode 14 made of stainless steel X18H10T in the form of a truncated cone, coaxial to the optical axis, which is mounted on the housing 2 through an insulator 15 made of 22XC. The distance between the ends of the parts 11 and 12 of the lower part of the upper tip 7 is 20 mm. The end surfaces of the lower part of the anode 8 and the cone of the electrode 14 are bounded by a single plane. The focusing coil 16 is designed to create a magnetic field in the gap and between the poles.

Объектив работает следующим образом.The lens works as follows.

Фланец 1 прикрепляют к камере эмиссионного электронного микроскопа. Темокатод 6 закрепляют на объектодержателе 5 и помещают в корпус 2. Камеру микроскопа откачивают до высокого вакуума (приблизительно 1·10-5 Па). Темокатоды 6 нагревают до получения термоэмиссии. Высокий потенциал (примерно 20 кВ) подают на верхнюю часть анода (верхняя часть 7 верхнего наконечника 3) и низкий потенциал (примерно 15 кВ) подают на нижнюю часть анода (нижняя часть 8 верхнего наконечника 3). Включают фокусирующую катушку 16 и получают на экране микроскопа нефокусированное эмиссионное изображение. Изменяя зазор d, перемещая нижний наконечник 4 сильфонным приводом 17, повышают четкость изображения. Зазор d может быть от 5 мм до 25 мм, в зависимости от габаритов исследуемого объекта.Flange 1 is attached to the camera emission electron microscope. Temocathode 6 is fixed on the object holder 5 and placed in the housing 2. The microscope chamber is pumped to high vacuum (approximately 1 · 10 -5 PA). Theocathodes 6 are heated to obtain thermal emission. High potential (approximately 20 kV) is applied to the upper part of the anode (upper part 7 of the upper tip 3) and low potential (approximately 15 kV) is applied to the lower part of the anode (lower part 8 of the upper tip 3). The focusing coil 16 is turned on and an unfocused emission image is obtained on the microscope screen. By changing the clearance d, moving the lower tip 4 by the bellows actuator 17, increase the clarity of the image. The gap d can be from 5 mm to 25 mm, depending on the dimensions of the investigated object.

Далее, чтобы повысить качество эмиссионного изображения за счет уменьшения ионной бомбардировки объекта исследования, на верхней части 7 верхнего наконечника 3 оставляют электрический потенциал 20 кВ, а на нижнюю часть 8 верхнего наконечника 3 подают 30 кВ. Из-за наличия разности потенциалов основная масса ионов микроскопа движется в сторону экрана и лишь небольшая часть ионов направляется к объекту.Further, in order to improve the quality of the emission image by reducing the ion bombardment of the test object, an electric potential of 20 kV is left on the upper part 7 of the upper tip 3, and 30 kV is supplied to the lower part 8 of the upper tip 3. Due to the potential difference, the bulk of the ions of the microscope moves toward the screen and only a small part of the ions is directed toward the object.

Использование предлагаемого устройства в экспериментальном образце позволило получить магнитный объектив с повышенным электронно-оптическим увеличением в 2 раза при сохранении оптической базы микроскопа. При оптической базе микроскопа L=350 мм электронно-оптическое увеличение с магнитной фокусировкой объективом - прототипом составляло до 300-крат, а с нашим образцом составило 1200-крат. При работе в чисто электростатическом режиме увеличение составило 500 крат.Using the proposed device in an experimental sample made it possible to obtain a magnetic lens with a 2-fold increased electron-optical magnification while maintaining the optical base of the microscope. With the optical base of the microscope L = 350 mm, the electron-optical magnification with magnetic focusing by the lens prototype was up to 300-fold, and with our sample it was 1,200-fold. When operating in pure electrostatic mode, the increase was 500 times.

Магнитный объектив позволяет исследовать объекты с острийными частями, поскольку не возникает пробоя из-за экранирующего электрода.The magnetic lens allows you to explore objects with tip parts, since there is no breakdown due to the shielding electrode.

Ионная бомбардировка в микроскопе с помощью предлагаемого объектива уменьшилась в 30 раз, что позволило получить более качественное изображение.Ion bombardment in a microscope using the proposed lens decreased by 30 times, which allowed to obtain a better image.

Источники информацииInformation sources

1. Авторское свидетельство СССР №241560, М. Кл. H01J 37/101. USSR author's certificate No. 241560, M. Kl. H01J 37/10

2. Патент RU №2002329 МПК Н01J 3/20 - прототип.2. Patent RU No. 2002329 IPC H01J 3/20 - prototype.

Claims (1)

Иммерсионный магнитный объектив эмиссионного электронного микроскопа, содержащий корпус с верхним и нижним полюсными наконечниками из магнитопроводящего материала с продольным каналом по оптической оси системы, в зазоре между которыми размещен объектодержатель с объектом, верхний полюсный наконечник, являющийся анодом, изолированный от корпуса, выполнен из двух частей с разрывом между ними в виде щели шириной S1 в плоскости, перпендикулярной оптической оси, нижний полюсный наконечник выполнен с возможностью осевого перемещения, отличающийся тем, что нижняя часть верхнего наконечника закреплена на корпусе через изолятор, причем она выполнена из двух частей с разрывом между ними в виде щели шириной S2 в плоскости, перпендикулярной оптической оси, при этом части соединены между собой металлическим кольцом из немагнитного материала, верхний наконечник помещен в экранирующий электрод, выполненный из немагнитного материала в виде усеченного конуса, соосного оптической оси, закрепленный на корпусе через изолятор, причем торцевые поверхности нижней части анода и конуса ограничены единой плоскостью, а расстояние между торцами частей нижней части верхнего наконечника равно (1…1,5) d, где d - ширина зазора между полюсными наконечниками при условии: S2=S1=(0,1…0.5) d. An immersion magnetic objective of an emission electron microscope, comprising a housing with upper and lower pole tips of magnetic conductive material with a longitudinal channel along the optical axis of the system, in the gap between which there is an object holder with an object, the upper pole tip, which is an anode isolated from the housing, is made of two parts with a gap between them in the form of a slit of width S 1 in a plane perpendicular to the optical axis, the lower pole tip is made with the possibility of axial movement, characterized in that the lower part of the upper tip is fixed to the housing through an insulator, moreover, it is made of two parts with a gap between them in the form of a slit of width S 2 in a plane perpendicular to the optical axis, while the parts are interconnected by a metal ring of non-magnetic material, the upper the tip is placed in a shielding electrode made of non-magnetic material in the form of a truncated cone, coaxial to the optical axis, mounted on the housing through an insulator, and the end surfaces of the lower part of the anode and cone o ourselves to a single plane, and the distance between the ends of the lower portions of the upper nozzle is equal to (1, ... 1,5) d, where d - the width of the gap between the pole pieces under the condition: S 2 = S 1 = (0,1 ... 0.5) d.
RU2014148612/07A 2014-12-02 2014-12-02 Magnetic immersion lens for emission electron microscope RU2579458C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014148612/07A RU2579458C1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Magnetic immersion lens for emission electron microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014148612/07A RU2579458C1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Magnetic immersion lens for emission electron microscope

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2579458C1 true RU2579458C1 (en) 2016-04-10

Family

ID=55793501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014148612/07A RU2579458C1 (en) 2014-12-02 2014-12-02 Magnetic immersion lens for emission electron microscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2579458C1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1045309A1 (en) * 1978-05-22 1983-09-30 Предприятие П/Я М-5912 Optronic system
GB2161018A (en) * 1984-04-17 1986-01-02 Jeol Ltd Electron microscope lenses
RU2002329C1 (en) * 1991-06-25 1993-10-30 Государственное научно-производственное предпри тие "Исток" Oil immersion magnetic lens of field-emission electron microscope
US6858843B1 (en) * 2002-06-21 2005-02-22 Kla-Tencor Technologies Corporation Immersion objective lens for e-beam inspection
US8698093B1 (en) * 2007-01-19 2014-04-15 Kla-Tencor Corporation Objective lens with deflector plates immersed in electrostatic lens field

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1045309A1 (en) * 1978-05-22 1983-09-30 Предприятие П/Я М-5912 Optronic system
GB2161018A (en) * 1984-04-17 1986-01-02 Jeol Ltd Electron microscope lenses
RU2002329C1 (en) * 1991-06-25 1993-10-30 Государственное научно-производственное предпри тие "Исток" Oil immersion magnetic lens of field-emission electron microscope
US6858843B1 (en) * 2002-06-21 2005-02-22 Kla-Tencor Technologies Corporation Immersion objective lens for e-beam inspection
US8698093B1 (en) * 2007-01-19 2014-04-15 Kla-Tencor Corporation Objective lens with deflector plates immersed in electrostatic lens field

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5239026B2 (en) Device for field emission of particles and manufacturing method
JP4215282B2 (en) SEM equipped with electrostatic objective lens and electrical scanning device
JP5791060B2 (en) Electron beam wafer inspection system and operating method thereof
JP4227646B2 (en) Electron beam source and electron beam application device
JP5023199B2 (en) Charged particle beam emission system
JP2005310778A (en) Particle optical device equipped with lens having permanent magnet material
TW201209877A (en) Charged particle apparatus
JP2014220241A5 (en)
TWI755036B (en) Ion source for system and method that improves beam current
JP2006324119A (en) Electron gun
EP2478546A2 (en) Distributed ion source acceleration column
JP2022543748A (en) Devices and systems with extraction assemblies for wide-angle ion beams
US20190189388A1 (en) Composite beam apparatus
US10062546B2 (en) Sample holder and focused-ion-beam machining device provided therewith
CN110431649B (en) Charged particle beam device
RU2579458C1 (en) Magnetic immersion lens for emission electron microscope
RU2572806C1 (en) Magnetic immersion lens for emission electron microscope
JP2011171296A (en) Device which focuses and accumulates ions, and device which separates pressure region
JP7190436B2 (en) Ion source device
KR102277428B1 (en) Permanent Magnet Particle Beam Apparatus and Method of Incorporating Non-Magnetic Metal Parts for Steering
US10297413B2 (en) Method and device for the production of highly charged ions
JP2016139530A (en) Charged particle beam device
Urbański et al. Magnetic Focusing of an Electron Beam from a Point Field Emitter
Nelliyan et al. Permanent magnet finger-size scanning electron microscope columns
RU2181515C2 (en) Method for producing panoramic image in raster electron microscope