RU2574634C2 - Glass laser cutting - Google Patents
Glass laser cutting Download PDFInfo
- Publication number
- RU2574634C2 RU2574634C2 RU2014118957/03A RU2014118957A RU2574634C2 RU 2574634 C2 RU2574634 C2 RU 2574634C2 RU 2014118957/03 A RU2014118957/03 A RU 2014118957/03A RU 2014118957 A RU2014118957 A RU 2014118957A RU 2574634 C2 RU2574634 C2 RU 2574634C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glass
- cutting
- laser
- angle
- incidence
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 abstract 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 238000004227 thermal cracking Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N Neodymium Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к способу лазерной резки хрупких прозрачных неметаллических материалов, например стекла, сфокусированным лазерным излучением и может быть использовано в стекольной, авиационной, автомобильной и других отраслях промышленности.The invention relates to a method for laser cutting of brittle transparent non-metallic materials, for example glass, by focused laser radiation and can be used in glass, aviation, automotive and other industries.
Известен способ лазерной резки стекла лучом неодимового (YAG) лазера [1], излучение которого слабо поглощается в силикатном стекле. При этом под разрезаемым материалом расположен медный отражатель. В этом случае материал разделяют с высокой точностью без дополнительной ломки и с хорошим качеством края, плоскость которого перпендикулярна плоскости стекла.A known method of laser cutting glass with a neodymium (YAG) laser beam [1], the radiation of which is weakly absorbed in silicate glass. At the same time, a copper reflector is located under the material being cut. In this case, the material is separated with high accuracy without additional breaking and with good edge quality, the plane of which is perpendicular to the glass plane.
Однако резку материала можно осуществлять только в том случае, если перемещается разрезаемый материал, что накладывает существенные ограничения на размеры разрезаемого материала и вследствие этого - на ограничение скорости резки.However, cutting of the material can be carried out only if the cut material is moved, which imposes significant restrictions on the size of the cut material and, as a result, on the limitation of the cutting speed.
Недостатком этого способа является также то, что кромка стекла после резки требует дополнительной операции притупления. Кроме того, обработка кромки для изделий трехмерной конфигурации (3D) этим способом чрезвычайно сложна.The disadvantage of this method is that the edge of the glass after cutting requires an additional blunting operation. In addition, edge processing for products of three-dimensional configuration (3D) in this way is extremely difficult.
Известен способ лазерного притупления кромок стекла методом оплавления их лазерным лучом, направляемым на кромку, при относительном перемещении стекла и лазерного пучка [2].A known method of laser blunting the edges of the glass by fusing them with a laser beam directed to the edge, with the relative movement of the glass and the laser beam [2].
Недостатком данного способа является неравномерное охлаждение края стекла, приводящее к возникновению термических напряжений, которые необходимо снимать методом температурного отжига.The disadvantage of this method is the uneven cooling of the glass edge, leading to thermal stresses that must be removed by temperature annealing.
Кроме того, на плоскости стекла вблизи торца образуются «наплывы», которые увеличивают толщину торца, что в ряде случаев недопустимо.In addition, “sagging” are formed on the glass plane near the end, which increase the thickness of the end, which in some cases is unacceptable.
Существует также способ снятия кромок стекла методом лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ) [3]. При этом на кромку направляют движущийся относительно стекла сфокусированный пучок СО2 лазера. В данном случае не требуется температурный отжиг, так как после ЛУТ нет существенных напряжений в стекле.There is also a method of removing the edges of glass by laser controlled thermal cracking (LUT) [3]. In this case, a focused beam of a CO 2 laser moving relative to the glass is directed to the edge. In this case, temperature annealing is not required, since after LUT there are no significant stresses in the glass.
Однако достаточно жесткие требования к точной фокусировке лазерного излучения на кромку стекла создают большие технические трудности.However, rather stringent requirements for the precise focusing of laser radiation on the glass edge create great technical difficulties.
При этом способе часто происходит отламывание стружки и прекращение процесса притупления кромок, и, кроме того, технология лазерной обработки кромок для изделий трехмерной конфигурации (3D) этим способом сопряжена с большими техническими трудностями.With this method, chip breaking off and the process of blunting the edges often occur, and, in addition, the technology of laser edge processing for products of three-dimensional configuration (3D) in this way is fraught with great technical difficulties.
Наиболее близким к заявленному является способ резки прозрачных хрупких неметаллических материалов, например стекла [4]. Резку производят сфокусированным лазерным лучом при многократном его прохождении через разделяемый материал за счет использования двух расположенных с противоположных сторон сферических зеркал, которые соединяют друг с другом через диэлектрический материал в единую систему посредством использования магнита или электромагнита. Расстояние между фокусами зеркал изменяют в зависимости от толщины разделяемого материала путем перемещения нижнего зеркала.Closest to the claimed is a method of cutting transparent brittle non-metallic materials, such as glass [4]. Cutting is carried out by a focused laser beam when it is repeatedly transmitted through a shared material through the use of two spherical mirrors located on opposite sides, which are connected to each other through a dielectric material into a single system using a magnet or an electromagnet. The distance between the foci of the mirrors is changed depending on the thickness of the material to be separated by moving the lower mirror.
Это изобретение позволяет во всем диапазоне толщин разрезаемого материала, например стекла толщиной 0,1-30 мм, получать высокие точности реза до 50 мкм, высокое качество (до 12 класса чистоты) разделяемых поверхностей на всех участках разрезаемого материала, как в массиве, так и на его краях.This invention allows in the entire range of thicknesses of the material being cut, for example glass with a thickness of 0.1-30 mm, to obtain high cutting accuracy of up to 50 microns, high quality (up to 12 cleanliness class) of the shared surfaces in all areas of the material being cut, both in the array and at its edges.
Однако торцы при этом способе резки имеют плоскую поверхность и недостаточно притупленные грани, требующие дополнительной обработки кромок.However, the ends with this cutting method have a flat surface and insufficiently blunted edges that require additional processing of the edges.
Этот способ пригоден только для резки плоских стекол и требует сложного электрооборудования.This method is suitable only for cutting flat glasses and requires sophisticated electrical equipment.
Кроме этого конструкция устройства имеет сложную конфигурацию, необходимую для сохранения точной юстировки зеркал при перемещении режущей головки.In addition, the design of the device has a complex configuration necessary to maintain accurate mirror alignment when moving the cutting head.
Целью предлагаемого изобретения является:The aim of the invention is:
- получение в процессе лазерной резки стекла с торцами, имеющими в сечении полукруглую и/или ступенчатую форму и не имеющими острых граней, не требующего фацетирования;- obtaining in the process of laser cutting of glass with ends that have a semicircular and / or step shape in cross section and do not have sharp edges that do not require faceting;
- упрощение конструкции узла резки.- simplification of the design of the cutting unit.
Предлагаемый способ заключается в следующем (фиг. 1).The proposed method is as follows (Fig. 1).
Стекло (1) разделяют методом ЛУТ с использованием слабо поглощающегося в материале лазерного излучения (2). На подобранном (регулируемом) расстоянии под стеклом располагают плоское зеркало (3), которое отражает частично прошедший через стекло луч обратно в зону резки под некоторым (регулируемым) углом по отношению к направлению падающего излучения.Glass (1) is separated by the LUT method using laser radiation weakly absorbed in the material (2). At a selected (adjustable) distance, a flat mirror (3) is placed under the glass, which reflects the beam partially transmitted through the glass back into the cutting zone at a certain (adjustable) angle with respect to the direction of incident radiation.
При этом в зоне резки в результате наложения двух пучков (прямого и отраженного), а также отвода тепла из зоны повышенной температуры за счет теплопроводности стекла, естественного теплообмена с окружающим воздухом и принудительного охлаждения хладагентом (6) возникает неравномерный по объему разогрев материала.At the same time, in the cutting zone as a result of superposition of two beams (direct and reflected), as well as heat removal from the zone of increased temperature due to the thermal conductivity of glass, natural heat exchange with ambient air and forced cooling by refrigerant (6), heating of the material uneven in volume occurs.
Размеры и конфигурацию зоны нагрева формируют путем регулирования угла падения прямого луча на разделяемое стекло, а также угла падения на стекло луча, отраженного от зеркала, которое может быть выполнено из любого хорошо отражающего излучение лазера металла.The dimensions and configuration of the heating zone are formed by adjusting the angle of incidence of the direct beam on the shared glass, as well as the angle of incidence on the glass of the beam reflected from the mirror, which can be made of any metal that reflects well the radiation of the laser.
Необходимый профиль торца разделяемого стекла обычно представляет собой ломаную линию (7).The required profile of the end face of the shared glass is usually a broken line (7).
Тип профиля торца изделия (выпуклый или вогнутый) определяется асимметрией расположения зон нагрева и зон принудительного охлаждения относительно линии реза.The type of profile of the end face of the product (convex or concave) is determined by the asymmetry of the location of the heating zones and forced cooling zones relative to the cut line.
При этом выпуклый торец пластины не имеет острых кромок, требующих дополнительной операции фацетирования.In this case, the convex end of the plate does not have sharp edges requiring an additional facet operation.
Управление процессом резки (фиг. 2) при перемещении луча лазера (А) вдоль линии резки (С) осуществляют при помощи изменения угла между падающим лучом лазера (А) и нормалью (N) к точке падения луча на поверхность стекла (G), а также за счет наклона плоскости падения луча F на определенный угол по оси (С), как показано на фиг. 2 (плоскость F'), одновременно управляя направлением распространения отраженного луча (В) путем поворота зеркала (М) в двух плоскостях.The control of the cutting process (Fig. 2) when moving the laser beam (A) along the cutting line (C) is carried out by changing the angle between the incident laser beam (A) and the normal (N) to the point of incidence of the beam on the glass surface (G), and also due to the inclination of the plane of incidence of the beam F at a certain angle along the axis (C), as shown in FIG. 2 (plane F '), while simultaneously controlling the direction of propagation of the reflected beam (B) by rotating the mirror (M) in two planes.
Пример 1Example 1
Плоское силикатное стекло толщиной 6 мм подвергают воздействию излучения иттербиевого непрерывного волоконного лазера с длиной волны 1,07 мкм и гауссовым распределением интенсивности в пучке. Лазерный луч направляют на стекло под углом 5° к нормали поверхности стекла в плоскости падения (продольный угол) и, кроме того, был поворачивают на 2° относительно нормали вокруг оси, совпадающей по направлению с линией реза (поперечный угол). Ниже стекла, на расстоянии 3 мм, помещают латунную пластину, играющую роль зеркала. Диаметр круглого пятна, падающего на стекло луча, составляет 4 мм, скорость движения луча - 10 мм/сек, мощность излучения - 130 Вт. Хладагент (воздушный поток) подают на расстоянии 5 мм вслед за лазерным пятном.6 mm thick silicate glass is exposed to radiation from a ytterbium cw fiber laser with a wavelength of 1.07 μm and a Gaussian beam intensity distribution. The laser beam was directed to the glass at an angle of 5 ° to the normal to the surface of the glass in the plane of incidence (longitudinal angle) and, in addition, was rotated 2 ° relative to the normal around an axis coinciding in direction with the cut line (transverse angle). Below the glass, at a distance of 3 mm, a brass plate is placed, playing the role of a mirror. The diameter of the round spot incident on the glass of the beam is 4 mm, the speed of the beam is 10 mm / s, the radiation power is 130 watts. The refrigerant (air flow) is supplied at a distance of 5 mm after the laser spot.
В процессе лазерной резки стекло разделяют на две части, одна из которых имеет выпуклую форму торца без острых кромок (фиг. 3, 4), а другая соответственно вогнутую (фиг. 5, 6). Число плоскостей на выпуклом торце в различных условиях эксперимента получается равным от 1 до 5. Процесс резки происходит без потери материала.In the process of laser cutting, the glass is divided into two parts, one of which has a convex end shape without sharp edges (Fig. 3, 4), and the other, respectively, concave (Fig. 5, 6). The number of planes at the convex end under various experimental conditions is equal to from 1 to 5. The cutting process occurs without loss of material.
Прочность на поперечный изгиб образцов стекол, вырезанных таким способом (σ=9,8 кгс/мм2), оказывается почти в два раза выше, чем у образцов, вырезанных стеклорезом (σ=5,3 кгс/мм2).The lateral bending strength of glass samples cut in this way (σ = 9.8 kgf / mm 2 ) is almost two times higher than that of samples cut by glass cutter (σ = 5.3 kgf / mm 2 ).
Пример 2. Процесс проводят по примеру 1, за исключением того, что падающий на стекло лазерный луч направляют под углом к нормали к поверхности стекла в плоскости падения луча (продольный угол) под углом 15°, а поперечный угол составляет 2 градуса. В этом случае кромка со стороны падающего луча получается небольшой (0,5 мм), а с тыльной стороны кромка образуется только слегка притупленной, как это обычно бывает при лазерной резке стекла методом лазерного управляемого термораскалывания.Example 2. The process is carried out as in example 1, except that the laser beam incident on the glass is directed at an angle to the normal to the glass surface in the plane of incidence of the beam (longitudinal angle) at an angle of 15 °, and the transverse angle is 2 degrees. In this case, the edge on the side of the incident beam is small (0.5 mm), and on the back side the edge is only slightly dulled, as is usually the case with laser cutting of glass by laser controlled thermal cracking.
Пример 3. Процесс проводят по примеру 1, за исключением того, что луч падает на стекло и отражается зеркалом перпендикулярно. При этом в центре выпуклого торца образуется небольшая ложбинка, а фаски с обеих сторон достигают приемлемой величины ~1,5 мм.Example 3. The process is carried out as in example 1, except that the beam falls on the glass and is reflected perpendicular to the mirror. At the same time, a small hollow forms in the center of the convex end, and the chamfers on both sides reach an acceptable value of ~ 1.5 mm.
Пример 4. Процесс проводят по примеру 1. Продольный угол составляет 5 градусов, поперечный - 22 градуса. При этом сверху образца образуется слабая фаска, а снизу она отсутствует, что является отрицательным результатом.Example 4. The process is carried out as in example 1. The longitudinal angle is 5 degrees, transverse - 22 degrees. In this case, a weak chamfer forms on top of the sample, and it is absent from below, which is a negative result.
Пример 5. Процесс проводился по примеру 1.Example 5. The process was carried out as in example 1.
Продольный угол - 22 градуса, поперечный - 2 градуса. В результате сверху образца образуется небольшая фаска, а снизу фаска отсутствует, что также является отрицательным результатом.The longitudinal angle is 22 degrees, the transverse is 2 degrees. As a result, a small chamfer is formed on top of the sample, and there is no chamfer on the bottom, which is also a negative result.
Таким образом, предложенное техническое решение обеспечивает лазерное разделение стекла с получением торцов выпуклой формы без острых кромок в едином цикле лазерной резки одним лучом.Thus, the proposed technical solution provides laser separation of glass to obtain convex ends without sharp edges in a single laser cutting cycle with a single beam.
Источники информацииInformation sources
1. Патент 10-244386, B23K 26/00, 1998 г., Япония.1. Patent 10-244386, B23K 26/00, 1998, Japan.
2. Патент СВ 2173186, МКИ С03В 21/02, приор. Япония, 03.04.1985.2. Patent CB 2173186, MKI C03B 21/02, prior. Japan, 04/03/1985.
3. Международный патент WO 03/010103 А1 (06.02.2003). V.S. Kondratenko. «Cattingmethodforbrittlenon-metallicmaterials (two variants)».3. International patent WO 03/010103 A1 (02/06/2003). V.S. Kondratenko. "Cattingmethodforbrittlenon-metallicmaterials (two variants)."
4. Евразийский патент №012311, 28.08.2009 г., МПК С03В 33/09. Солинов В.Ф., Чадин B.C., Алиев Т.А., Солинов Е.Ф., Алиев А.К. «Способ лазерной резки хрупких прозрачных неметаллических материалов» (прототип).4. Eurasian patent No. 012311, 08/28/2009, IPC С03В 33/09. Solinov V.F., Chadin B.C., Aliev T.A., Solinov E.F., Aliev A.K. "The method of laser cutting of brittle transparent non-metallic materials" (prototype).
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014118957/03A RU2574634C2 (en) | 2014-05-13 | Glass laser cutting |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014118957/03A RU2574634C2 (en) | 2014-05-13 | Glass laser cutting |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014118957A RU2014118957A (en) | 2015-11-20 |
| RU2574634C2 true RU2574634C2 (en) | 2016-02-10 |
Family
ID=
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2667989C1 (en) * | 2017-10-30 | 2018-09-25 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт технического стекла им. В.Ф. Солинова" | Method of laser cutting of articles from fragile non-metallic materials and device for its implementation |
| CN110303242A (en) * | 2019-08-15 | 2019-10-08 | 北京理工大学 | A kind of index-matching fluid auxiliary optical glass microlens laser cutting method |
| RU209801U1 (en) * | 2021-11-29 | 2022-03-23 | Валерий Иванович Ревенко | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material |
| RU211415U1 (en) * | 2022-02-07 | 2022-06-03 | Валерий Иванович Ревенко | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2354616C2 (en) * | 2004-10-01 | 2009-05-10 | Мицубоси Даймонд Индастриал Ко., Лтд. | Method for scribing of brittle material and device for scribing |
| WO2011026074A1 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Corning Incorporated | Methods for laser scribing and breaking thin glass |
| EP2476505A1 (en) * | 2009-09-10 | 2012-07-18 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Laser processing method and laser processing device |
| RU2457186C2 (en) * | 2007-05-10 | 2012-07-27 | Гренцебах Машиненбау Гмбх | Method of laser-induced thermal separation of ceramic or other fragile material |
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2354616C2 (en) * | 2004-10-01 | 2009-05-10 | Мицубоси Даймонд Индастриал Ко., Лтд. | Method for scribing of brittle material and device for scribing |
| RU2457186C2 (en) * | 2007-05-10 | 2012-07-27 | Гренцебах Машиненбау Гмбх | Method of laser-induced thermal separation of ceramic or other fragile material |
| WO2011026074A1 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Corning Incorporated | Methods for laser scribing and breaking thin glass |
| EP2476505A1 (en) * | 2009-09-10 | 2012-07-18 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Laser processing method and laser processing device |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2667989C1 (en) * | 2017-10-30 | 2018-09-25 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт технического стекла им. В.Ф. Солинова" | Method of laser cutting of articles from fragile non-metallic materials and device for its implementation |
| CN110303242A (en) * | 2019-08-15 | 2019-10-08 | 北京理工大学 | A kind of index-matching fluid auxiliary optical glass microlens laser cutting method |
| RU209801U1 (en) * | 2021-11-29 | 2022-03-23 | Валерий Иванович Ревенко | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material |
| RU211415U1 (en) * | 2022-02-07 | 2022-06-03 | Валерий Иванович Ревенко | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material |
| RU2797482C1 (en) * | 2022-09-01 | 2023-06-06 | Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЪЕДИНЕНИЕ "ИРЭ-Полюс" (ООО НТО "ИРЭ-Полюс") | Method for laser cutting of large-format glass sheets and equipment for its implementation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3356300B1 (en) | Method and device for laser processing of transparent materials | |
| US11053156B2 (en) | Method of closed form release for brittle materials using burst ultrafast laser pulses | |
| CN105209218B (en) | The method and apparatus that the processing based on laser is carried out to flat substrate | |
| US10597321B2 (en) | Edge chamfering methods | |
| US6420678B1 (en) | Method for separating non-metallic substrates | |
| US6252197B1 (en) | Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a supplemental mechanical force applicator | |
| US6211488B1 (en) | Method and apparatus for separating non-metallic substrates utilizing a laser initiated scribe | |
| US6259058B1 (en) | Apparatus for separating non-metallic substrates | |
| JP4795704B2 (en) | Method for free-form cutting of curved substrate manufactured from brittle material | |
| US10710922B2 (en) | Methods and apparatus for cutting a substrate | |
| TW201410625A (en) | Methods of cutting glass using a laser | |
| JP2006263819A (en) | Method for severing brittle material by laser with asymmetric radiation density distribution | |
| AU2014309466B2 (en) | Method for blunting sharp edges of glass objects | |
| RU209801U1 (en) | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material | |
| RU2574634C2 (en) | Glass laser cutting | |
| CN201971737U (en) | Device for cutting glass | |
| RU211415U1 (en) | Device for laser cutting a sample of brittle non-metallic material | |
| US20220339741A1 (en) | Method of laser beam machining of a transparent brittle material and device embodying such method | |
| RU2479496C2 (en) | Method of separating fragile nonmetallic materials by thermo elastic strain | |
| RU2504809C2 (en) | Process objective lens for laser treatment | |
| Kaptakov et al. | Features of Laser Through-Cutting of Silicate Glass by a Fiber Ytterbium Laser | |
| CN109773330B (en) | Laser output system based on homogenizing device and calculating method | |
| CN116748703A (en) | Method and system for processing matte substrate | |
| CN116669892A (en) | Apparatus and method for segmenting material | |
| RU2494051C1 (en) | Method of cutting fragile nonmetallic materials |