RU2568143C1 - Method of recording images - Google Patents
Method of recording images Download PDFInfo
- Publication number
- RU2568143C1 RU2568143C1 RU2014125026/28A RU2014125026A RU2568143C1 RU 2568143 C1 RU2568143 C1 RU 2568143C1 RU 2014125026/28 A RU2014125026/28 A RU 2014125026/28A RU 2014125026 A RU2014125026 A RU 2014125026A RU 2568143 C1 RU2568143 C1 RU 2568143C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- recording images
- carbon nanotubes
- recording
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области записи изображений и может быть использовано в оптическом приборостроении для создания фотошаблонов микросхем, формирования дифракционных оптических элементов, шкал и сеток различных оптических приборов и т.д.The invention relates to the field of image recording and can be used in optical instrumentation to create photomasks for microcircuits, the formation of diffractive optical elements, scales and grids of various optical devices, etc.
Известен способ записи дифракционных структур за счет селективного испарения непрозрачной металлической пленки, нанесенной на стеклянную подложку, при интерференции двух когерентных мощных пучков лазера [Михеев Г.М., Зонов Р.Г., Калюжный Д.Г. // Изв. вузов. Приборостроение. 2004. Т. 47. №8. С. 62-66]. Этот способ является модернизацией хорошо известного способа точечного испарения непрозрачной металлической пленки сфокусированным пучком лазера, пригодного для записи изображений различных элементов. Однако при этом можно получить только «негатив» изображения. Кроме того, для локального испарения металлической пленки требуются большие плотности лазерной мощности. Плотность мощности лазерного излучения можно увеличить с помощью короткофокусных объективов. Применение короткофокусных объективов порождает серьезную технологическую проблему, которая заключается в загрязнении объектива частицами испаряющейся металлической пленки.A known method of recording diffraction structures due to the selective evaporation of an opaque metal film deposited on a glass substrate during the interference of two coherent high-power laser beams [Mikheev G.M., Zonov R.G., Kalyuzhny D.G. // Izv. universities. Instrument making. 2004.V. 47. No. 8. S. 62-66]. This method is a modernization of the well-known method of spot evaporation of an opaque metal film by a focused laser beam, suitable for recording images of various elements. However, you can only get the “negative” image. In addition, for the local evaporation of a metal film, high laser power densities are required. Laser power density can be increased with short-focus lenses. The use of short-focus lenses poses a serious technological problem, which consists in contaminating the lens with particles of an evaporating metal film.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ записи изображений, заключающийся в следующем [Кирьянов В.П., Никитин В.Г. К вопросу о механизме записи изображений в пленках хрома // Автометрия. 2004. Т. 40. №2. С. 59-68]. На стеклянную подложку в условиях вакуума наносят тонкий, практически прозрачный слой хрома. На слое хрома с помощью сфокусированного луча за счет термофизических процессов формируют скрытое изображение. Далее пленку помещают в селективный травитель, в результате чего необлученные лазером участки хромовой пленки селективно вытравливаются. Таким образом, происходит проявление скрытого изображения, сформированного на стадии экспозиции пленки. Этот способ записи изображений требует применения вакуумно-технологической установки для нанесения тонких пленок на подложку. Для получения скрытого изображения нужны плотности мощности лазерного излучения на уровне (1÷3)·106 Вт/см2, кроме того для проявления скрытого изображения нужно использовать селективный травитель [Коронкевич В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г., Орлов Ю.И. // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. №4. С. 755-761].Closest to the invention in technical essence is a method of recording images, which consists in the following [Kiryanov VP, Nikitin V.G. To the question of the mechanism for recording images in chromium films // Avtometriya. 2004.Vol. 40. No. 2. S. 59-68]. A thin, almost transparent layer of chromium is applied to the glass substrate under vacuum. A latent image is formed on the chromium layer using a focused beam due to thermophysical processes. Next, the film is placed in a selective etch, as a result of which the non-irradiated laser sections of the chromium film are selectively etched. Thus, a latent image formed at the stage of film exposure occurs. This method of recording images requires the use of a vacuum technological installation for applying thin films to a substrate. To obtain a latent image, the power density of the laser radiation at the level of (1 ÷ 3) · 10 6 W / cm 2 is needed, in addition, for the manifestation of the latent image, you need to use a selective etch [Koronkevich VP, Poleshchuk AG, Churin E. G., Orlov Yu.I. // Quantum Electronics. 1985.V. 12. No. 4. S. 755-761].
Задачей изобретения является упрощение способа записи изображений.The objective of the invention is to simplify the method of recording images.
Задача решается способом, в котором в качестве светочувствительной пленки используют пленку из однослойных углеродных нанотрубок, содержащих инкапсулированные наночастицы железа.The problem is solved by a method in which a film of single-walled carbon nanotubes containing encapsulated iron nanoparticles is used as a photosensitive film.
В качестве подложки для пленки из однослойных углеродных нанотрубок используют стеклянную пластину.A glass plate is used as a substrate for a film of single-walled carbon nanotubes.
Поверх пленки из однослойных углеродных нанотрубок наносят слой раствора кислоты.A layer of an acid solution is applied over a film of single-walled carbon nanotubes.
В качестве раствора кислоты выбирают раствор серной или соляной кислоты.As an acid solution, a solution of sulfuric or hydrochloric acid is chosen.
Возможно использование в качестве подложки материала, выделяющего кислотосодержащие соединения при нагреве выше 200°С.It is possible to use as a substrate a material releasing acid-containing compounds when heated above 200 ° C.
В качестве материала, выделяющего кислотосодержащие соединения, используют полиэтилентерефталат, или поликарбонат, или полихлорвинил.As the material emitting acid-containing compounds, use polyethylene terephthalate, or polycarbonate, or polyvinyl chloride.
Техническим результатом является упрощение способа записи изображения и уменьшение энергопотребления за счет уменьшения мощности лазера, используемого для записи.The technical result is to simplify the method of recording images and reduce power consumption by reducing the power of the laser used for recording.
На фиг. 1 изображена дифракционная решетка (последовательность параллельных линий), полученная на тонкой пленке из однослойных углеродных нанотрубок на подложке из полиэтилентерефталата.In FIG. 1 shows a diffraction grating (a sequence of parallel lines) obtained on a thin film of single-walled carbon nanotubes on a polyethylene terephthalate substrate.
На фиг. 2 показаны спектры КРС участков пленки из однослойных углеродных нанотрубок подложке из полиэтилентерефталата до (кривая 1) и после (кривая 2) облучения их излучением гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм с плотностью мощности 2,5·105 Вт/см2.In FIG. Figure 2 shows the Raman spectra of sections of a film of single-walled carbon nanotubes to a polyethylene terephthalate substrate before (curve 1) and after (curve 2) irradiation with a helium-neon laser at a wavelength of 632.8 nm with a power density of 2.5 × 10 5 W / cm 2 .
Способ записи изображений заключается в следующем. На гладкой подложке формируют тонкую полупрозрачную пленку из однослойных углеродных нанотрубок, содержащих инкапсулированные наночастицы железа. Подложка может быть выполнена из стеклянной пластины. Тонкая полупрозрачная пленка из углеродных нанотрубок осаждается на круглом фильтре из нитроцеллюлозы диаметром 2,45 см с помощью сухого аэрозольного метода [Nasibulin A.G., Moisala A., Brown D.P. et al. A novel aerosol method for single walled carbon nanotube synthesis. Chem. Phys. Lett. 2005. V. 402. No 1-3. P. 227-232], после чего пленка с фильтра переносится на подложку. Предварительно до процедуры записи изображений поверх пленки из однослойных углеродных нанотрубок наносится тонкий слой слабого раствора кислоты (серной или соляной).The method of recording images is as follows. A thin translucent film of single-walled carbon nanotubes containing encapsulated iron nanoparticles is formed on a smooth substrate. The substrate may be made of a glass plate. A thin translucent film of carbon nanotubes is deposited on a round filter made of nitrocellulose with a diameter of 2.45 cm using a dry aerosol method [Nasibulin A.G., Moisala A., Brown D.P. et al. A novel aerosol method for single walled carbon nanotube synthesis. Chem. Phys. Lett. 2005. V. 402.No 1-3. P. 227-232], after which the film from the filter is transferred to the substrate. Prior to the procedure for recording images, a thin layer of a weak acid solution (sulfuric or hydrochloric) is applied on top of a film of single-walled carbon nanotubes.
Возможно использование подложки из материала, выделяющего кислотосодержащие соединения при нагреве выше 200°С без нанесения тонкого слоя слабого раствора кислоты поверх пленки. В качестве такого материала используют полиэтилентерефталат, или поликарбонат, или полихлорвинил.It is possible to use a substrate of a material that liberates acid-containing compounds when heated above 200 ° C without applying a thin layer of a weak acid solution over the film. As such a material, polyethylene terephthalate, or polycarbonate, or polyvinyl chloride is used.
Далее подложку с пленкой располагают на двухкоординатном столе. Двухкоординатный стол может быть автоматизирован и работать под управлением компьютера. Лазер устанавливают напротив двухкоординатного стола, и его излучение с помощью объектива фокусируют на поверхность пленки из однослойных углеродных нанотрубок. Нужное изображение, заложенное в памяти компьютера, записывают на пленке из однослойных углеродных нанотрубок путем автоматического сканирования двухкоординатного стола по заданной программе. Запись изображения также возможна путем автоматического сканирования лазерного пучка относительно неподвижной подложки с пленкой из однослойных углеродных нанотрубок. Управление двухкоординатным столом возможно также вручную.Next, the substrate with the film is placed on a two-coordinate table. The two-coordinate table can be automated and work under the control of a computer. The laser is mounted opposite the two-coordinate table, and its radiation is focused using a lens onto the surface of a film of single-walled carbon nanotubes. The desired image stored in the computer's memory is recorded on a film of single-walled carbon nanotubes by automatically scanning a two-coordinate table according to a given program. Image recording is also possible by automatically scanning the laser beam relative to a fixed substrate with a film of single-walled carbon nanotubes. Managing a two-coordinate table is also possible manually.
Запись изображения на поверхность пленки, находящейся на стеклянной подложке, происходит за счет химических реакций, возникающих при лазерном нагреве между инкапсулированными в нанотрубках наночастицами железа и раствором кислоты, нанесенного поверх пленки до процедуры записи. В результате химических реакций инкапсулированные наночастицы железа образуют химические соединения, имеющие меньшую оптическую плотность, вследствие чего оптическая плотность участка пленки, находящейся под воздействием лазерного излучения, уменьшается, т.е. в точке лазерного воздействия пленка из однослойных углеродных нанотрубок становится более прозрачной.The image is recorded on the surface of a film on a glass substrate due to chemical reactions that occur during laser heating between iron nanoparticles encapsulated in nanotubes and an acid solution deposited on top of the film before the recording procedure. As a result of chemical reactions, the encapsulated iron nanoparticles form chemical compounds having a lower optical density, as a result of which the optical density of the portion of the film exposed to laser radiation decreases, i.e. at the point of laser exposure, a film of single-walled carbon nanotubes becomes more transparent.
Запись изображения на поверхность пленки, находящейся на подложке из материала, выделяющего кислотосодержащие элементы при нагреве выше 200°C, происходит за счет химических реакций между инкапсулированными в нанотрубках наночастицами железа и кислотосодержащими соединениями, выделившимися из подложки во время лазерного нагрева. В результате химических реакций инкапсулированные наночастицы железа образуют химические соединения, имеющие меньшую оптическую плотность, вследствие чего оптическая плотность участка пленки, находящейся под воздействием лазерного излучения уменьшается, т.е. в точке лазерного воздействия пленка из однослойных углеродных нанотрубок становится более прозрачной.The image is recorded on the surface of a film on a substrate from a material that liberates acid-containing elements when heated above 200 ° C, due to chemical reactions between iron nanoparticles encapsulated in nanotubes and acid-containing compounds released from the substrate during laser heating. As a result of chemical reactions, the encapsulated iron nanoparticles form chemical compounds having a lower optical density, as a result of which the optical density of the portion of the film under the influence of laser radiation decreases, i.e. at the point of laser exposure, a film of single-walled carbon nanotubes becomes more transparent.
Химические реакции с участием инкапсулированных наночастиц железа и кислотосодержащих соединений не приводят к существенному изменению спектра КРС облученных участков, что говорит о том, углеродные нанотрубки не участвуют в химических реакциях под воздействием лазерного излучения. Однако видно, что интенсивность спектра КРС облученного участка ниже, чем интенсивность спектра КРС необлученного участка, что свидетельствует о том, что некоторая часть нанотрубок в процессе лазерного воздействия сжигается. Вдобавок, интенсивность спектра КРС облученного участка пленки углеродных нанотрубок на стеклянной подложке без нанесения поверх кислоты также ниже, чем интенсивность спектра КРС необлученного участка пленки углеродных нанотрубок на стеклянной подложке без нанесения поверх кислоты. При этом воздействие лазерного излучения на пленку из углеродных нанотрубок на стеклянной подложке без нанесения поверх кислоты не приводит к просветлению облученной области. Все это подтверждает тот факт, что углеродные нанотрубки не участвуют в химических реакциях, но участвуют инкапсулированные наночастицы железа и кислотосодержащие соединения. Необходимо отметить, что мощность лазера на выходе из объектива при снятии спектров КРС была в несколько раз меньше мощности, вызывающей необратимые химические реакции.Chemical reactions involving encapsulated iron nanoparticles and acid-containing compounds do not lead to a significant change in the Raman spectrum of irradiated sites, which indicates that carbon nanotubes do not participate in chemical reactions under the influence of laser radiation. However, it is seen that the intensity of the Raman spectrum of the irradiated region is lower than the intensity of the Raman spectrum of the unirradiated region, which indicates that some of the nanotubes are burned during laser irradiation. In addition, the intensity of the Raman spectrum of the irradiated portion of the carbon nanotube film on the glass substrate without applying on top of the acid is also lower than the intensity of the Raman spectrum of the unirradiated portion of the carbon nanotube film on the glass substrate without applying on top of the acid. In this case, the effect of laser radiation on a film of carbon nanotubes on a glass substrate without application on top of the acid does not lead to bleaching of the irradiated region. All this confirms the fact that carbon nanotubes do not participate in chemical reactions, but encapsulated iron nanoparticles and acid-containing compounds are involved. It should be noted that the laser power at the exit from the lens when taking Raman spectra was several times less than the power that causes irreversible chemical reactions.
Пример осуществления изобретенияAn example embodiment of the invention
Способ записи изображений по данному изобретению был продемонстрирован на примерах записи параллельных и взаимно перпендикулярных линий на пленке из однослойных углеродных нанотрубок, сформированной на стеклянной подложке, и покрытых слоем раствора серной кислоты, а также записи параллельных и взаимно перпендикулярных линий на пленке из однослойных углеродных нанотрубок, сформированной на подложке из материала, выделяющего кислотосодержащие соединения при нагреве выше 200°C.The image recording method of this invention was demonstrated by recording parallel and mutually perpendicular lines on a film of single-walled carbon nanotubes formed on a glass substrate and coated with a layer of sulfuric acid solution, as well as recording parallel and mutually perpendicular lines on a film of single-walled carbon nanotubes, formed on a substrate from a material that liberates acid-containing compounds when heated above 200 ° C.
Пленки из однослойных углеродных нанотрубок были получены сухим аэрозольным методом [Nasibulin A.G., Moisala A., Brown D.P. et al. A novel aerosol method for single walled carbon nanotube synthesis. Chem. Phys. Lett. 2005. V. 402. No 1-3. P. 227-232] и содержали инкапсулированные наночастицы железа. Средние длина и диаметр нанотрубок составляли 1225 нм и 6 нм соответственно.Films from single-walled carbon nanotubes were obtained by the dry aerosol method [Nasibulin A.G., Moisala A., Brown D.P. et al. A novel aerosol method for single walled carbon nanotube synthesis. Chem. Phys. Lett. 2005. V. 402.No 1-3. P. 227-232] and contained encapsulated iron nanoparticles. The average length and diameter of the nanotubes were 1225 nm and 6 nm, respectively.
Лазерным источником служил гелий-неоновый лазер на длине волны излучения 632.8 нм. Излучение лазера фокусировалось на пленку из однослойных углеродных нанотрубок, расположенную на двухкординатном столике. Для фокусировки излучения использовались стандартные микрообъективы (10Х NA 0.25, 50Х NA 0.7, 100Х NA 0.9). Мощность излучения лазера на выходе объектива (100Х NA 0.9) находилась на уровне 8,5 мВт, при этом диаметр лазерного пятна на поверхности пленки составлял 2 мкм. В результате плотность мощности в точке воздействия излучения на пленку была не более 2,7·105 Вт/см2. Кратковременное воздействие лазерного излучения на пленку приводило к просветлению пленки с образованием диска, имеющего диаметр от 10 до 20 мкм, в зависимости от времени облучения (доли секунд или секунды). При ручном непрерывном перемещении исследуемого образца с помощью двухкоординатного стола, например, вдоль оси у, на пленке из однослойных углеродных нанотрубок образовывалась линия, толщина которой варьировалась от 10 до 20 мкм в зависимости от скорости движения луча лазера (от 0.4 мм/с до 10 мм/с) по поверхности пленки. Далее можно было «начертить» следующую линию, которая была параллельна первой и располагалась на некотором расстоянии от первой. Таким образом, на пленке из однослойных углеродных нанотрубок можно было получить изображение большого числа параллельных линий, представляющих собой дифракционную решетку (см. фиг. 1).The laser source was a helium-neon laser at a radiation wavelength of 632.8 nm. Laser radiation was focused on a film of single-walled carbon nanotubes located on a two-coordinate stage. To focus the radiation, standard micro lenses were used (10X NA 0.25, 50X NA 0.7, 100X NA 0.9). The laser radiation power at the lens output (100X NA 0.9) was 8.5 mW, while the diameter of the laser spot on the film surface was 2 μm. As a result, the power density at the point of exposure to radiation on the film was not more than 2.7 · 10 5 W / cm 2 . The short-term exposure of the laser radiation to the film led to film clearing with the formation of a disk having a diameter of 10 to 20 μm, depending on the exposure time (fraction of seconds or seconds). During continuous continuous manual movement of the test sample using a two-coordinate table, for example, along the y axis, a line formed on a film of single-walled carbon nanotubes, the thickness of which varied from 10 to 20 μm depending on the speed of the laser beam (from 0.4 mm / s to 10 mm / s) over the surface of the film. Then it was possible to “draw” the next line, which was parallel to the first and located at some distance from the first. Thus, on a film of single-walled carbon nanotubes, it was possible to obtain an image of a large number of parallel lines representing a diffraction grating (see Fig. 1).
Таким образом, при использовании гелий-неонового лазера на длине волны 632.8 нм и ручном сканировании нами была достигнута плотность записи до 50 линий на один миллиметр. Дальнейшее увеличение плотности записи изображения может быть достигнуто за счет автоматического сканирования с достаточно большой скоростью движения пленки относительно сфокусированного луча, а также применения лазера, например гелий-кадмиевого, с длиной волны 440 или 325 нм, позволяющего получить меньший диаметр сфокусированного пучка. При этом может быть достигнута плотность записи свыше 1000 линий на один миллиметр. Предложенный способ упрощает процесс записи изображения и уменьшает энергопотребление за счет уменьшения мощности лазера, используемого для записи.Thus, when using a helium-neon laser at a wavelength of 632.8 nm and manual scanning, we achieved a recording density of up to 50 lines per millimeter. A further increase in the image recording density can be achieved due to automatic scanning with a sufficiently high speed of the film relative to the focused beam, as well as the use of a laser, for example helium-cadmium, with a wavelength of 440 or 325 nm, which allows to obtain a smaller diameter of the focused beam. In this case, a recording density of over 1000 lines per millimeter can be achieved. The proposed method simplifies the process of recording images and reduces power consumption by reducing the power of the laser used for recording.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014125026/28A RU2568143C1 (en) | 2014-06-19 | 2014-06-19 | Method of recording images |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014125026/28A RU2568143C1 (en) | 2014-06-19 | 2014-06-19 | Method of recording images |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2568143C1 true RU2568143C1 (en) | 2015-11-10 |
Family
ID=54537332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014125026/28A RU2568143C1 (en) | 2014-06-19 | 2014-06-19 | Method of recording images |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2568143C1 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2012151150A (en) * | 2010-04-29 | 2014-06-10 | Басф Корпорейшн | NANOPARTICLES CONTAINING CARBON AND FERROMAGNETIC METAL OR ALLOY |
-
2014
- 2014-06-19 RU RU2014125026/28A patent/RU2568143C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2012151150A (en) * | 2010-04-29 | 2014-06-10 | Басф Корпорейшн | NANOPARTICLES CONTAINING CARBON AND FERROMAGNETIC METAL OR ALLOY |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Florian V. Dumitrache ; Victor Ciupina ; Ion Morjan ; Rodica Alexandrescu ; Ion Voicu ; Iuliana Soare ; Lavinia Albu ; Raluca Morjan ; Gabi Prodan; "Carbon-encapsulated iron nanoparticles prepared by laser pyrolysis: characterization and catalyzers for carbon nanotubes and nanofibers", SPIE 5515, Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices, 244 (October 8, 2004)Насибулин А.Г., "Разработка технологий получения наноразмерных порошков и углеродных нанотрубок методом химического осаждения из газовой фазы", Автореферат, Санкт-Петербург - 2011А.Г.Насибулин, С.Д.Шандаков, М.Ю.Тиммерманс, Э.И.Кауппинен, "Аэрозольный синтез однослойныхуглеродных нанотрубок и их применение", Успехи химии 80 (8), 2011Wei Chen, Zhongli Fan, Xiulian Pan, Xinhe Bao, "Effect of Confinement in Carbon Nanotubes on the Activity of Fischer-Tropsch Iron Catalyst", J. Am. Chem. Soc., 2008, 130 (29), pp 9414-9419 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4686162A (en) | Optically structured filter and process for its production | |
| Poleshchuk et al. | Laser technologies in micro-optics. Part 2. Fabrication of elements with a three-dimensional profile | |
| CN1610942A (en) | Method of manufacturing original disk for optical disks, and method of manufacturing optical disk | |
| US20060044639A1 (en) | 3-d holographic recording method and 3-d holographic recording system | |
| Leontowich et al. | Sub-25 nm direct write (maskless) X-ray nanolithography | |
| JP3743782B2 (en) | Fine pattern forming material and fine pattern forming method using the same | |
| US20220299685A1 (en) | Fabrication of blazed diffractive optics by through-mask oxidation | |
| RU2568143C1 (en) | Method of recording images | |
| Vlcek et al. | Nanostructuring of chalcogenide glasses using electron beam lithography | |
| KR20050073581A (en) | Pattern forming materials and pattern formation method using the materials | |
| JP2002365806A (en) | Fine pattern drawing material, drawing method using the same and fine pattern forming method | |
| TW200414183A (en) | Method of manufacturing original disk for optical disks, and method of manufacturing optical disk | |
| Jipa et al. | Femtosecond laser lithography in organic and non-organic materials | |
| JP5026967B2 (en) | Manufacturing method of three-dimensional photonic crystal | |
| Lyubin | Chalcogenide glassy photoresists: history of development, properties, and applications | |
| RU2534814C1 (en) | Method of image recording | |
| Kondo et al. | Three-dimensional recording by femtosecond pulses in polymer materials | |
| Korolkov et al. | Application of nanotechnologies to the problems of diffractive optics | |
| KR880009292A (en) | Method of forming resist micropattern by electron beam or X-ray irradiation | |
| JP2006227609A (en) | Exposure method, method for forming irregular pattern, and method for manufacturing optical element | |
| JP2008003502A (en) | Exposure method, method for forming pattern and method for manufacturing optical element | |
| Varkentina et al. | Examination of femtosecond laser matter interaction in multipulse regime for surface nanopatterning of vitreous substrates | |
| Gao et al. | Fabrication of spiral zone plate using hybrid electron beam and x-ray lithography | |
| Srinivasan | Action of far-ultraviolet light on organic polymer films: applications to semiconductor technology | |
| Mekaru et al. | Resist-less patterning on SiO 2 by combination of X-ray exposure and vapor HF etching |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170620 |