RU2542974C2 - Carrier-liquids for abrasives - Google Patents

Abstract

FIELD: chemistry.

SUBSTANCE: claimed invention relates to application of compounds of formula I: R¹ [O(EO)_x(AO)_yH]_z, in which R¹ stands for z-digit alkyl residue with 1-6 carbon atoms, (EO) stands for ethyleneoxide residue, (AO) stands for alkyleneoxide residue with 3-10 carbon atoms, x stands for number from 3 to 12, especially from 5 to 10, y stands for number from 0 to 10, especially from 4 to 8, z stands for number from 1 to 6, especially from 1 to 3, for obtaining cutting fluids with reduced water absorption. Invention also relates to cutting fluid, which contains at least one compound of formula I, to application of cutting fluid (versions), to method of plate cutting, to method of polishing processed materials, to plate and to compound of formula II: R¹ O(EO)_x(AO)_yH, in which R¹ stands for 2-methylbutyl or 3-methylbutyl, (EO) stands for ethyleneoxide residue, (AO) stands for alkyleneoxide residue with 3-10carbon atoms, x stands for number from 3 to 12, y stands for number from 4 to 8.

EFFECT: creation of cutting fluids with improved characteristics, in particular, with reduced water absorption, application of which in the process of cutting will result in smaller energy consumption.

14 cl, 3 tbl, 8 ex

Description

Изобретение относится к применению модифицированных полигликолей для получения жидкостей-носителей для абразива, созданию новых жидкостей-носителей для абразива, особенно смазочно-охлаждающих жидкостей, применению жидкостей-носителей для снятия материала, особенно при резке заготовок на пластины, а также обработке готовых пластин с помощью смазочно-охлаждающей жидкости.The invention relates to the use of modified polyglycols to obtain abrasive carrier fluids, the creation of new abrasive carrier fluids, especially cutting fluids, the use of carrier fluids to remove material, especially when cutting blanks into plates, and also processing finished plates using cutting fluid.

Абразивы, называемые также шлифовальными средствами или абразивными веществами, представляют собой вещества, состоящие предпочтительно из зерен твердых веществ, за счет которых производится снятие слоев материала. Известно, что применяют абразивы в виде дисперсии в жидкости, например шлифовальные или смазочно-охлаждающие жидкости. В таком виде абразивы могут использоваться не только для полировки пластин, например пластин из кремния, но также для полировки изделий из пластмасс, например, при изготовлении линз. Кроме того, известен способ использования абразивов в составе смазочно-охлаждающей жидкости при резке заготовок на «вафли». «Вафлями» называют пластины из полупроводниковых материалов, которые используются, например, в фотоэлектрических установках. На основе пластин можно изготавливать компоненты электронных блоков и, прежде всего, интегральные микросхемы. Как правило, основой пластин является хрупкий материал, к примеру кремний, однако пластины могут изготавливаться и из других материалов, таких как арсенид галлия и теллурид кадмия. Изготавливаются пластины, как правило, из моно- или поликристаллов цилиндрической или кубической формы путем их распиливания на отдельные сегменты, то есть «вафли». На практике распиливание полупроводниковых материалов (называемое также резкой или притиркой) осуществляется с помощью проволочных пил. В настоящем изобретении речь идет о способе отделения сегмента от заготовки с помощью проволочной пилы и смазочно-охлаждающей жидкости, в состав которой входит жидкий носитель и несвязанные абразивные зерна.Abrasives, also called grinding means or abrasive substances, are substances consisting preferably of solid grains, through which layers of material are removed. It is known that abrasives are used in the form of dispersions in liquids, for example grinding or cutting fluids. In this form, abrasives can be used not only for polishing wafers, for example silicon wafers, but also for polishing plastic products, for example, in the manufacture of lenses. In addition, a known method of using abrasives in the composition of the cutting fluid when cutting workpieces into “wafers”. “Wafers” are plates of semiconductor materials that are used, for example, in photovoltaic installations. Based on the plates, it is possible to manufacture components of electronic units and, above all, integrated circuits. As a rule, the base of the plates is a brittle material, for example silicon, but the plates can also be made from other materials, such as gallium arsenide and cadmium telluride. Plates are made, as a rule, from mono- or polycrystals of a cylindrical or cubic shape by sawing them into separate segments, that is, “wafers”. In practice, sawing semiconductor materials (also called cutting or grinding) is carried out using wire saws. The present invention relates to a method of separating a segment from a workpiece using a wire saw and cutting fluid, which includes a liquid carrier and unbound abrasive grains.

В проволочных пилах, как правило, используется проволока толщиной от 80 до 180 мкм. Проволока, погруженная в суспензию, состоящую из жидкого носителя и абразивных зерен, при движении затягивает в пильный зазор налипшие на ее поверхность абразивные зерна. В результате действия абразивных зерен разрезаемая/полируемая заготовка/кремниевый блок, называемый «слитком», разрезается на пластины, при этом твердые частицы удаляются из заготовки. Жидкий носитель для абразивных зерен, протекая через погружную ванну, омывает погруженную в нее проволоку и, как правило, через форсунки вместе с абразивным зерном в виде суспензии подается на обрабатываемую поверхность. Кроме того, абразивная жидкость обеспечивает сцепление абразивных зерен с проволокой и уносит частицы материала, снятого в процессе распиливания слитка. Другой функцией жидкости-носителя является охлаждение и унос истертого материала через пильный разрез.In wire saws, as a rule, wire with a thickness of 80 to 180 microns is used. A wire immersed in a suspension consisting of a liquid carrier and abrasive grains during movement draws abrasive grains adhering to its surface into the saw gap. As a result of the action of abrasive grains, the cut / polished workpiece / silicon block, called the "ingot", is cut into wafers, while solid particles are removed from the workpiece. A liquid carrier for abrasive grains, flowing through an immersion bath, washes a wire immersed in it and, as a rule, is fed through nozzles together with abrasive grain in the form of a suspension onto the surface to be treated. In addition, the abrasive fluid provides adhesion of the abrasive grains to the wire and carries away particles of material removed during the sawing of the ingot. Another function of the carrier fluid is to cool and carry away the abraded material through a saw cut.

Из ЕР 1757419 А1 уже известен способ разделения обрабатываемой детали, например, на пластины, с помощью проволочной пилы, при этом на проволочную пилу подается суспензия, а влагосодержание как минимум одной части газообразной среды, окружающей суспензию, регулируется или контролируется. Кроме того, из ЕР 1757419 А1 известно применение гликолей в качестве жидкой субстанции.From EP 1757419 A1, there is already known a method for separating a workpiece, for example, into a wafer, using a wire saw, while the suspension is fed to the wire saw, and the moisture content of at least one part of the gaseous medium surrounding the suspension is controlled or monitored. In addition, the use of glycols as a liquid substance is known from EP 1757419 A1.

В DE 19983092 В4 и US 6383991 B1 дано подробное описание смазочно-охлаждающего масла, изготовленного на основе а) соединений полиэфиров и b) частиц диоксида кремния, а также способ применения данного масла для резки слитков проволочной пилой, в частности для резки кремниевых слитков.DE 19983092 B4 and US 6383991 B1 give a detailed description of a cooling lubricant made from a) polyesters and b) silicon dioxide particles, as well as a method for using this oil for cutting ingots with a wire saw, in particular for cutting silicon ingots.

В ЕР 0131657 А1 и US-А-4828735 описаны водно-дисперсионные смазочные вещества на основе полиэфиров. В китайской заявке на патент CN 101205498 также описаны абразивные жидкости для резки, причем в данной заявке информация по поводу уменьшения влагосодержания отсутствует. Описанные отдельно композиции представляют из себя оксисоединения полиалкилена, этерифицированные спиртами с 1-4 атомами углерода.EP 0131657 A1 and US-A-4828735 describe polyester-based aqueous dispersion lubricants. Chinese patent application CN 101205498 also describes abrasive cutting fluids, furthermore, there is no information on reducing moisture content in this application. The compositions described separately are polyalkylene hydroxy compounds esterified with alcohols with 1-4 carbon atoms.

Из ЕР 686684 А1 известна суспензия для распиливания, представляющая собой жидкий абразив, в водной фазе в состав которого в качестве загустителя входит один или несколько водорастворимых полимеров. Из US 2007/ 0010406 А1 известны гидроксиполиэфиры, используемые в качестве присадок для водных абразивных жидкостей, которые наряду с другими можно использовать при изготовлении кремниевых пластин.A sawing suspension is known from EP 686684 A1, which is a liquid abrasive, in the aqueous phase of which one or more water-soluble polymers are included as a thickener. From US 2007/0010406 A1, hydroxy polyesters are known to be used as additives for aqueous abrasive fluids, which, along with others, can be used in the manufacture of silicon wafers.

Уже известные абразивные жидкости являются, в основном, композициями на водной основе или водорастворимыми соединениями. Однако наличие воды является отрицательным фактором, так как вода не только способствует возникновению коррозии, но может также послужить причиной образования водорода в результате взаимодействия воды с кремнием в процессе изготовления кремниевых пластин, что, в свою очередь, приведет к образованию на пластинах и в суспензии силикатов и полисиликатов.Already known abrasive fluids are mainly water-based compositions or water-soluble compounds. However, the presence of water is a negative factor, since water not only contributes to corrosion, but can also cause hydrogen to form as a result of the interaction of water with silicon during the manufacture of silicon wafers, which, in turn, will lead to the formation of silicates on the wafers and in the suspension and polysilicates.

Уже известные водорастворимые соединения также могут содержать воду и вследствие особенностей микроструктуры притягивать ее. По этой причине могут возникнуть отрицательные явления, характерные для композиций на водной основе.Already known water-soluble compounds may also contain water and, due to the microstructure, attract it. For this reason, negative effects characteristic of water-based compositions may occur.

Целью данного изобретения является создание жидкостей-носителей с улучшенными характеристиками, в том числе смазочно-охлаждающих жидкостей, в частности, с уменьшенным влагопоглощением, при использовании которых при резке будет расходоваться меньшее количество энергии.The aim of this invention is the creation of carrier fluids with improved characteristics, including cutting fluids, in particular, with reduced moisture absorption, which will require less energy when cutting.

Изобретение относится к использованию соединений формулы 1The invention relates to the use of compounds of formula 1

R¹[O(EO)_x(AO)_yH]_z,R ¹ [O (EO) _x (AO) _y H] _z ,

в которой R¹ означает z-значный алкильный остаток с 1-20 атомами углерода;in which R ¹ means a z-digit alkyl residue with 1-20 carbon atoms;

(ЕО) означает остаток этиленоксида;(EO) means ethylene oxide residue;

(АО) означает остаток алкиленоксида с 3-10 атомами углерода;(AO) means an alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms;

х означает число от 3 до 12, особенно от 5 до 10;x means a number from 3 to 12, especially from 5 to 10;

у означает число от 0 до 10,особенно от 4 до 8;y means a number from 0 to 10, especially from 4 to 8;

z означает число от 1 до 6, особенно от 1 до 3,z means a number from 1 to 6, especially from 1 to 3,

для получения жидкостей-носителей для абразива, в частности смазочно-охлаждающих жидкостей, с уменьшенным влагопоглощением для удаления материала с заготовки, в частности, для распиливания заготовок на вафельные пластины с помощью проволочной пилы.to obtain carrier fluids for abrasive, in particular cutting fluids, with reduced moisture absorption to remove material from the workpiece, in particular, for sawing workpieces into wafer plates using a wire saw.

Кроме того, изобретение относится к жидкостям-носителям для абразивов, в частности, смазочно-охлаждающим жидкостям, содержащим, по меньшей мере соединение формулы IIn addition, the invention relates to carrier fluids for abrasives, in particular cutting fluids containing at least a compound of formula I

R¹[O(ЕО)_х(АО)_yН]_z,R ¹ [O (EO) _x (AO) _y H] _z ,

в которой R¹ означает z-значный алкильный остаток с 5-10 атомами углерода;in which R ¹ means a z-digit alkyl residue with 5-10 carbon atoms;

(ЕО) означает этиленоксидный остаток;(EO) means an ethylene oxide residue;

(АО) означает алкиленоксидный остаток с 3-10 атомами углерода;(AO) means alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms;

х означает число от 3 до 12, особенно от 5 до 10;x means a number from 3 to 12, especially from 5 to 10;

у означает число от 0 до 10 особенно от 4 до 8;y means a number from 0 to 10, especially from 4 to 8;

z означает число от 1 до 6, особенно от 1 до 3.z means a number from 1 to 6, especially from 1 to 3.

Кроме того, изобретение относится к новым соединениям формулы IIIn addition, the invention relates to new compounds of formula II

R¹O(ЕО)_х(АО)_yН,R ¹ O (EO) _x (AO) _y H,

в которой R¹ означает 2-метилбутил или 3-метилбутил;in which R ¹ means 2-methylbutyl or 3-methylbutyl;

(ЕО) означает этиленоксидный остаток;(EO) means an ethylene oxide residue;

(АО) означает алкиленоксидный остаток с 3-10 атомами углерода;(AO) means alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms;

х означает число от 3 до 12, в частности от 5 до 10;x means a number from 3 to 12, in particular from 5 to 10;

у означает число от 0 до 10, в частности от 4 до 8;y means a number from 0 to 10, in particular from 4 to 8;

z означает число от 1 до 6, в частности от 1 до 3.z means a number from 1 to 6, in particular from 1 to 3.

В предпочтительных соединениях формулы II содержится, по меньшей мере одинаковое количество групп ЕО и РО. Особо предпочтительные соединения формулы II представлены в таблице:Preferred compounds of formula II contain at least the same amount of EO and PO groups. Particularly preferred compounds of formula II are presented in the table:

СоединениеCompound R¹ R ¹ хx УAt II.1II.1 2-метилбутил2-methylbutyl 5,55.5 5,55.5 II.2II.2 2-метилбутил2-methylbutyl 5,05,0 6,06.0

В предпочтительном варианте выполнения изобретения отношение х к у в соединении формулы I и II одинаково или меньше 1.In a preferred embodiment, the ratio of x to y in the compound of formula I and II is the same or less than 1.

В рамках предложенного изобретения соединения формулы II являются особо предпочтительными по сравнению с соединениями формулы I. В предпочтительной форме исполнения в формуле I: R1 означает остаток пентила, предпочтительно Н₃С-СНСН₃-СН₂-СН₂ - (3-метилбутил) и Н₃С-СН₂-СНСН₃-СН₂ - (2-метилбутил), особенно, по меньшей мере 10% 3-метилбутил.In the framework of the proposed invention, compounds of formula II are particularly preferred over compounds of formula I. In a preferred embodiment in formula I: R1 is a pentyl moiety, preferably H ₃ C-CHCH ₃ —CH ₂ —CH ₂ - (3-methylbutyl) and H ₃ C — CH ₂ —CHCH ₃ —CH ₂ - (2-methylbutyl), especially at least 10% 3-methylbutyl.

В формулах I и II: АО означает пропиленоксид, бутиленоксид и пентиленоксид или их смеси.In formulas I and II: AO means propylene oxide, butylene oxide and pentylene oxide, or mixtures thereof.

Соединения формул I и II могут содержать повторяющиеся единицы (ЕО) и (АО), которые присутствуют в данных соединениях как в виде блоков, так и статистически распределенными (рандом). В предпочтительном варианте выполнения они присутствуют в соединении статистически распределенными (рандом). Неожиданным образом было установлено, что при статистическом распределении повторяющихся единиц (АО) и (ЕО) вязкость соединений в значительной мере начинает зависеть от температуры.The compounds of formulas I and II may contain repeating units (EO) and (AO), which are present in these compounds both in the form of blocks, and statistically distributed (random). In a preferred embodiment, they are present in the compound statistically distributed (random). Unexpectedly, it was found that with a statistical distribution of the repeating units (AO) and (EO), the viscosity of the compounds to a large extent begins to depend on temperature.

В частности, при статистическом распределении повторяющихся единиц (АО) и (ЕО) заявленные в изобретении соединения формулы I отличаются тем, что вязкость данных соединений, определяемая через индекс вязкости суспензии с 40% масс. карбида кремния типа Carborex F800 PV фирмы Washington Mills AS, NO - 7300 Orkanger, Norway, имеющей вязкость не более 45%, предпочтительно меньше 30%, особенно меньше 20%, причем индекс вязкости определяется следующим образом: индекс вязкости, в рамках данного изобретения означает уменьшение вязкости в % соединений формулы 1 при 50°С в сравнении с вязкостью при 30°С.In particular, in the statistical distribution of the repeating units (AO) and (EO), the compounds of formula I claimed in the invention are characterized in that the viscosity of these compounds is determined through the viscosity index of a suspension with 40% by weight. silicon carbide of the type Carborex F800 PV from Washington Mills AS, NO - 7300 Orkanger, Norway, having a viscosity of not more than 45%, preferably less than 30%, especially less than 20%, and the viscosity index is defined as follows: viscosity index, in the framework of this invention means viscosity reduction in% of compounds of formula 1 at 50 ° C. compared with viscosity at 30 ° C.

При этом речь идет о динамической вязкости (Brookfield, Spindel V-73), которая определяется по DIN EN 12092.In this case, we are talking about dynamic viscosity (Brookfield, Spindel V-73), which is determined according to DIN EN 12092.

Жидкости-носители согласно изобретению могут содержать не только одно соединение формулы I, но и смесь соединений формулы I.Carrier liquids according to the invention can contain not only one compound of formula I, but also a mixture of compounds of formula I.

Известны способы изготовления соединений формулы I (например, см. Nonionik Surfactans, ред. Martin J. Schick, Volume 2, Chapter 4 (Marcel Dekker, inc. New York 1967). Этот же способ можно использовать для изготовления новых химических соединений формулы II.Known methods for the manufacture of compounds of formula I (for example, see Nonionik Surfactans, ed. Martin J. Schick, Volume 2, Chapter 4 (Marcel Dekker, inc. New York 1967). The same method can be used for the manufacture of new chemical compounds of formula II.

В предпочтительной форме исполнения жидкости-носители, в частности смазочно-охлаждающие жидкости, включают в себя химические соединения формулы I. Молекулярный вес соединений формулы I составляет преимущественно 200-1200 г/моль. В другом предпочтительном варианте выполнения в композиции согласно изобретению наряду с соединениями формулы I присутствуют алкиловый спирт, синтезированный на основе этилен-/пропиленоксида, или сополимеры этилен-/пропиленоксида с молекулярным весом предпочтительно 200-800 г/моль. Кроме соединений формулы I смазочно-охлаждающая жидкость включает в себя абразивный материал, особенно абразивные зерна.In a preferred embodiment, carrier fluids, in particular cutting fluids, include chemical compounds of formula I. The molecular weight of the compounds of formula I is preferably 200-1200 g / mol. In another preferred embodiment, in the composition according to the invention, along with compounds of formula I, there are present an alkyl alcohol synthesized based on ethylene / propylene oxide, or ethylene / propylene oxide copolymers with a molecular weight of preferably 200-800 g / mol. In addition to the compounds of formula I, the cutting fluid includes an abrasive material, especially abrasive grains.

Другим предпочтительным вариантом исполнения жидкости-носителя для абразива, особенно смазочно-охлаждающей жидкости, является абразивная жидкость с добавлением добавки, особенно по меньшей мере, одного из перечисленных ниже соединений:Another preferred embodiment of a carrier fluid for an abrasive, especially a cutting fluid, is an abrasive fluid with the addition of an additive, especially at least one of the following compounds:

моно -, олиго - или полиалкиленгликоль;mono -, oligo - or polyalkylene glycol;

смачиватель;wetting agent;

загуститель;thickener;

диспергирующее средство;dispersing agent;

ингибитор коррозии;corrosion inhibitor;

комплексообразователь и/илиcomplexing agent and / or

прочие ингибиторы, такие как ингибиторы солеотложений, приother inhibitors, such as scale inhibitors, when

изготовлении смазочно-охлаждающей жидкости (carrier fluid).the manufacture of cutting fluid (carrier fluid).

Предпочтительно, чтобы на 100 массовых частей соединения I приходилось по меньшей мере одна указанная ниже добавка в следующих массовых частях:Preferably, for 100 mass parts of compound I, at least one of the following additives is added in the following mass parts:

алкиленгликоль: от 10 до 90% масс., в частности, от 20 до 60% массовых частейalkylene glycol: from 10 to 90% by weight, in particular from 20 to 60% by weight

смачиватель: от 1 до 100% масс., особенно от 10 до 40% масс.;wetting agent: from 1 to 100% of the mass., especially from 10 to 40% of the mass .;

загуститель: от 0,5 до 20% масс., особенно от 1 до 10% масс.;thickener: from 0.5 to 20% of the mass., especially from 1 to 10% of the mass .;

диспергент: от 0,1 до 20% масс., особенно от 0,5 до 10% масс.;dispersant: from 0.1 to 20% of the mass., especially from 0.5 to 10% of the mass .;

ингибитор коррозии: от 0,1 до 10% масс., особенно от 0,1 до 3% масс.;corrosion inhibitor: from 0.1 to 10% of the mass., especially from 0.1 to 3% of the mass .;

комплексообразователь: от 0,1 до 10% масс., особенно от 1 до 5% масс.;complexing agent: from 0.1 to 10% of the mass., especially from 1 to 5% of the mass .;

прочие добавки: 0,05 до 10% масс., особенно от 0,1 до 5% масс.other additives: 0.05 to 10% of the mass., especially from 0.1 to 5% of the mass.

Влагосодержание заявленной в изобретении композиции, относительно всего количества, составляет не более 10% масс., предпочтительно не более 5% масс., особенно меньше 1% масс.The moisture content of the composition claimed in the invention, relative to the total amount, is not more than 10% by mass, preferably not more than 5% by mass, especially less than 1% by mass.

Особенно предпочтительные добавки приведены ниже:Particularly preferred additives are listed below:

СмачивателиWetting agents

Дополнительно с заявленными в изобретении соединениями формулы I можно использовать другие смачиватели, особенно:In addition to the compounds of the invention claimed in the invention, other wetting agents can be used, especially:

(1) производные поли (оксиалкилена):(1) derivatives of poly (oxyalkylene):

a) сорбитан сложных эфиров, например поли(оксиэтилен) сорбитанмонолаурат;a) sorbitan esters, for example poly (oxyethylene) sorbitan monolaurate;

поли(оксиэтилен) сорбитанмоноолеат, (поли(оксиэтилен) сорбитантриолеат);poly (oxyethylene) sorbitan monooleate, (poly (oxyethylene) sorbitan trioleate);

b)алифатические амины, например аминооксиэтилаты жирных кислот, аминооксиэтилаты сои;;b) aliphatic amines, e.g. fatty acid aminooxyethylates, soy aminooxyethylates ;;

c) касторовое масло, например оксиэтилаты касторового масла;c) castor oil, for example castor oil hydroxyethylates;

d) алканоламиды, например алканоламидоксиэтилаты кокосового масла;d) alkanolamides, for example coconut oil alkanolamideoxyethylates;

e) жирные кислоты, например оксиэтилаты олеиновой, лауриновой, пальметиновой кислот;e) fatty acids, for example oxyethylates of oleic, lauric, palmetic acids;

f) спирты жирных кислот;f) fatty acid alcohols;

g) линейные оксиэтилаты спиртов, нонилфенолоксиэтилаты, октилфенолоксиэтилатыg) linear alcohol hydroxyethylates, nonylphenoloxyethylates, octylphenoloxyethylates

(2) Гидрофильные полидиметилсилоксаны:(2) Hydrophilic polydimethylsiloxanes:

а) с по меньшей мере одной карбонильной конечной группой замещенного полидиметилсилоксана, сополимеров поли(диметилсилоксана);a) with at least one carbonyl end group of a substituted polydimethylsiloxane, poly (dimethylsiloxane) copolymers;

с) сополимеры поли(диметилсилоксана)-b-поли(пропиленоксида)-b-c) copolymers of poly (dimethylsiloxane) -b-poly (propylene oxide) -b-

поли(этиленоксида);poly (ethylene oxide);

d) сополимеры поликвартерния (диметилсилоксана);d) copolymers of polyquaternium (dimethylsiloxane);

(3) Имидазолины жирных кислот;(3) Imidazolines of fatty acids;

(4) производные сложных эфиров жирных кислот:(4) derivatives of esters of fatty acids:

a) фосфатовa) phosphates

b) сорбитановb) sorbitans

c) соединений глицерина, например глицерилмоноолеат, глицерилдиолеат глицерилтриолеат, дилаурат е) сульфоянтарные кислотыc) glycerol compounds, e.g. glyceryl monooleate, glyceryl dioleate glyceryl trioleate, dilaurate e) sulfosuccinic acids

(5) Четвертичные соединения, например четвертичный этосульфат аммония.(5) Quaternary compounds, e.g. quaternary ammonium ethosulfate.

Другими подходящими неионными, катионными, анионными или амфотерными смачивателями являются:Other suitable non-ionic, cationic, anionic or amphoteric wetting agents are:

- алкоксилированные спирты с 4 до 22 атомами углерода, в том числе алкоксилаты жирных спиртов или алкоксилаты оксоспиртов. Они могут быть алкоксилированы с этиленоксидом, пропиленоксидом и/или бутиленоксидом. При этом в качестве смачивателей используются все алкоксилированные спирты, которые содержат по меньшей мере две молекулы названных выше алкиленоксидов. При этом учитываются блокполимеризаты этиленоксида, пропиленоксида и/или бутиленоксида или продукты присоединения, которые в названных выше алкиленоксидах содержат статическое или блочное распределение. В каждом моле спирта неионогенных смачивателей содержится, в общем, от 2 до 50, преимущественно от 3 до 20 моль по меньшей мере одного алкиленоксида. Неионогенные смачиватели содержат на 1 моль спирта в общем от 2 до 50, предпочтительно от 3 до 20 моль по меньшей мере алкиленоксида. Спирты содержат предпочтительно от 10 до 18 атомов углерода. В зависимости от типа катализатора, используемого в процессе алкоксилирования, способа изготовления и переработки алкоксилаты демонстрируют высокую или низкую степень гомологического распределения алкиленоксидов;- alkoxylated alcohols with 4 to 22 carbon atoms, including fatty alcohol alkoxylates or oxoalcohol alkoxylates. They can be alkoxylated with ethylene oxide, propylene oxide and / or butylene oxide. Moreover, all alkoxylated alcohols that contain at least two molecules of the alkylene oxides mentioned above are used as wetting agents. In this case, block copolymers of ethylene oxide, propylene oxide and / or butylene oxide or addition products, which in the above alkylene oxides contain a static or block distribution, are taken into account. Each alcohol mole of nonionic wetting agents contains, in general, from 2 to 50, preferably from 3 to 20 mol, of at least one alkylene oxide. Nonionic wetting agents contain, per mole of alcohol, a total of 2 to 50 moles, preferably 3 to 20 moles of at least alkylene oxide. Alcohols preferably contain from 10 to 18 carbon atoms. Depending on the type of catalyst used in the alkoxylation process, the manufacturing and processing method, alkoxylates exhibit a high or low degree of homologous distribution of alkylene oxides;

- алкоксилаты алкилфенолов, такие как этоксилат алкилфенола с 6-14 атомами углерода в алкильной цепи с и 5-30 алкиленоксидными единицами;- alkyl phenol alkoxylates, such as alkyl phenol ethoxylate with 6-14 carbon atoms in the alkyl chain with 5-30 alkylene oxide units;

- алкилполиглюкозиды с 8-22 атомами углерода, предпочтительно с 10-18 атомами в алкильной цепи, и в общем 1-20 атомов углерода, предпочтительно 1,1-5 алкоксилированных глюкозидных единиц сорбитан алканоатов, также алкоксилированные,- alkylpolyglucosides with 8-22 carbon atoms, preferably with 10-18 atoms in the alkyl chain, and a total of 1-20 carbon atoms, preferably 1.1-5 alkoxylated glucoside units of sorbitan alkanoates, also alkoxylated,

- алкоксилированные N-алкилглюкамиды, алкоксилаты жирных кислот,- alkoxylated N-alkyl glucamides, fatty acid alkoxylates,

аминалкоксилаты жирных кислот, амидалкоксилаты жирных кислот,fatty acid amine alkoxylates, fatty acid amide alkoxylates,

алканоламидалкоксилаты жирных кислот, блок-сополимеры из этиленоксида,fatty acid alkanolamide alkoxylates, ethylene oxide block copolymers,

пропиленоксида и/или бутиленоксида, полиизобутен - этоксилатов,propylene oxide and / or butylene oxide, polyisobutene - ethoxylates,

производных полиизобутен-ангидрида малеиновой кислоты, при необходимости алкоксилированные моноглицериды, моностеараты глицерина, сложные эфиры сорбитана, а также бисглицериды.maleic acid polyisobutene anhydride derivatives, optionally alkoxylated monoglycerides, glycerol monostearates, sorbitan esters, as well as bisglycerides.

Особо подходящими для использования в качестве неионных смачивателей являются алкилалкоксилаты или смеси алкилалкоксилатов, известные, например, из DE-A 10243363, DE-A 10243361, DE-A 10243360, DE-A 10243365, DE-A 10243366, DE-A 10243362 или DE-A 1024325237. При этом речь идет о продуктах алкоксилирования, полученных в результате взаимодействия алканолов и алкиленоксидов в присутствии катализаторов алкоксилирования, или о смеси продуктов алкоксилирования. Особо подходящими стартовыми спиртами являются, так называемые спирты Гербе, особенно этилгексанол, пропилгептанол и бутилоктанол. Особо предпочтительным является пропилгептанол. Предпочтительными алкиленоксидами являются пропиленоксид и этиленоксид, причем алкилалкоксилаты, в которых предпочтительно короткий полипропиленоксидный блок напрямую связан со стартовым спиртом, как это описано, к примеру, в патенте DE-A 10243365, относятся к предпочтительным вследствие незначительного содержания остаточного спирта и хорошей биологической разлагаемости.Particularly suitable for use as non-ionic wetting agents are alkyl alkoxylates or mixtures of alkyl alkoxylates known, for example, from DE-A 10243363, DE-A 10243361, DE-A 10243360, DE-A 10243365, DE-A 10243366, DE-A 10243362 or DE -A 1024325237. This refers to alkoxylation products resulting from the interaction of alkanols and alkylene oxides in the presence of alkoxylation catalysts, or to a mixture of alkoxylation products. Particularly suitable starting alcohols are the so-called Gerbe alcohols, especially ethylhexanol, propylheptanol and butyl octanol. Propylheptanol is particularly preferred. Preferred alkylene oxides are propylene oxide and ethylene oxide, the alkyl alkoxylates in which preferably the short polypropylene oxide block is directly bonded to the starting alcohol, as described, for example, in DE-A 10243365, are preferred because of the low residual alcohol content and good biodegradability.

Среди подходящих неионных смачивателей предпочтительным классом являются алкоксилаты спиртов общей формулы (NI)Among suitable non-ionic wetting agents, a preferred class are alkoxylates of alcohols of the general formula (NI)

R¹-O(CH₂-CHR⁵-O-)_r (CH₂-CH₂-O-)_n (CH₂-CHR⁶-O-)_s(CH₂-CHR²-O-)_mH (NI),R ¹ —O (CH ₂ —CHR ⁵ —O—) _r (CH ₂ —CH ₂ —O—) _n (CH ₂ —CHR ⁶ —O—) _s (CH ₂ —CHR ² —O—) _m H ( NI)

в которой R¹ означает по меньшей мере простой разветвленный алкил с 4-22 атомами углерода или алкилфенол;in which R ¹ means at least simple branched alkyl with 4-22 carbon atoms or alkyl phenol;

R² означает алкил с 3-4 атомами углерода;R ² means alkyl with 3-4 carbon atoms;

R⁵ означает алкил с 1-4 атомами углерода;R ⁵ means alkyl with 1-4 carbon atoms;

R⁶ означает метил или этил;R ⁶ means methyl or ethyl;

n среднее значение от 1 до 50;n average value from 1 to 50;

m среднее значение от 0 до 20, предпочтительно от 0,5 до 20;m average value from 0 to 20, preferably from 0.5 to 20;

r среднее значение от 0 до 50;r average value from 0 to 50;

s среднее значение от 0 до 50,s average value from 0 to 50,

причем m по меньшей мере 0,5 в том случае если R⁵ означает метил или этил, или r равно 0.moreover, m is at least 0.5 if R ⁵ is methyl or ethyl, or r is 0.

Кроме того, речь может идти о смеси с 20-95% масс., предпочтительно 30-95% масс. по меньшей мере одного вышеуказанного алкоксилата спирта и от 50 до 80% масс., предпочтительно от 50 до 70% масс. соответствующего алкоксилата спирта, в котором, однако, R¹ означает неразветвленный алкильный остаток с одинаковым количеством атомов углерода.In addition, we can talk about a mixture with 20-95% of the mass., Preferably 30-95% of the mass. at least one of the above alcohol alkoxylate and from 50 to 80 wt. -%, preferably from 50 to 70% of the mass. the corresponding alcohol alkoxylate, in which, however, R ¹ means an unbranched alkyl residue with the same number of carbon atoms.

Кроме того, речь может идти об алкоксилате спирта общей формулы (NII),In addition, we can talk about alkoxylate alcohol of General formula (NII),

R³-O-(CH₂-СН₂-O)_р (СН₂-CHR⁴-O-)_q H (NII),R ³ —O— (CH ₂ —CH ₂ —O) _p (CH ₂ —CHR ⁴ —O—) _q H (NII),

в которой R³ означает разветвленный или неразветвленный алкил или алкилфенол с 4-22 атомами углерода;in which R ³ means branched or unbranched alkyl or alkyl phenol with 4-22 carbon atoms;

R⁴ означает алкил с 3-4 атомами углерода;R ⁴ means alkyl with 3-4 carbon atoms;

р означает среднее значение от 1 до 50, предпочтительно от 4 до 15;p means an average value of from 1 to 50, preferably from 4 to 15;

q означает среднее значение от 0,5 до 20, предпочтительно от 0,5 до 4, еще более предпочтительно от 0,5 до 2.q means an average value of from 0.5 to 20, preferably from 0.5 to 4, even more preferably from 0.5 to 2.

Кроме того, речь может идти о смеси из 5-95% масс. по меньшей мере одного разветвленного алкоксилата спирта (NII), как это было описано выше, и от 5-95% масс. одного соответствующего алкоксилата спирта,In addition, we can talk about a mixture of 5-95% of the mass. at least one branched alkoxylate alcohol (NII), as described above, and from 5-95% of the mass. one appropriate alcohol alkoxylate,

в котором вместо разветвленного алкильного остатка присутствует неразветвленный алкильный остаток.in which an unbranched alkyl residue is present instead of a branched alkyl residue.

В алкоксилатах спиртов общей формулы (NI) R² означает предпочтительно пропил, особенно н-пропил.In the alkoxylates of alcohols of the general formula (NI), R ² is preferably propyl, especially n-propyl.

В алкоксилатах спиртов общей формулы (NII) величина n имеет среднее значение от 4 до 15, особенно предпочтительно от 6 до 12, наиболее предпочтительно от 7 до 10.In the alkoxylates of alcohols of the general formula (NII), the value of n has an average value of from 4 to 15, particularly preferably from 6 to 12, most preferably from 7 to 10.

Величина m имеет среднее значение от 0,5 до 4, особенно предпочтительно от 0,5 до 2, особенно от 1 до 2.The value of m has an average value of from 0.5 to 4, particularly preferably from 0.5 to 2, especially from 1 to 2.

Остаток R¹ означает предпочтительно алкильный остаток с 8-15 атомами углерода, особенно предпочтительно с 8-13 атомами углерода, по меньшей мере с простым разветвлением. Однако алкильный остаток может иметь несколько разветвлений.The residue R ¹ means preferably an alkyl residue with 8-15 carbon atoms, particularly preferably with 8-13 carbon atoms, with at least simple branching. However, the alkyl residue may have several branches.

R⁵ означает предпочтительно метил или этил, особенно метил.R ⁵ means preferably methyl or ethyl, especially methyl.

R⁶ означает предпочтительно этил.R ⁶ means preferably ethyl.

В смесях присутствуют соединения, в которые входят неразветвленные и разветвленные спиртовые остатки R¹. В качестве примера можно назвать оксоспирты, в которых присутствует как часть линейных, так и часть разветвленных спиртовых цепей. Таким соединением, к примеру, является оксоспирт с 13-15 атомами углерода, в котором довольно часто около 60% масс. приходится на полностью линейные спиртовые цепи, а также около 40% масс. - на разветвленный α-метил и разветвленные спиртовые цепи с количеством атомов углерода ≥ 2.In the mixtures there are compounds which include unbranched and branched alcohol residues R ¹ . As an example, oxo alcohols can be mentioned, in which both part of linear and part of branched alcohol chains are present. Such a compound, for example, is an oxo alcohol with 13-15 carbon atoms, in which quite often about 60% of the mass. accounts for fully linear alcohol chains, as well as about 40% of the mass. - branched α-methyl and branched alcohol chains with a carbon number ≥ 2.

В алкоксилатах спиртов общей формулы (NII) R³ предпочтительно является разветвленный или неразветвленным алкильным остатком с 8-15 атомами углерода, особенно предпочтительно с 8-13 атомами углерода и наиболее предпочтительно с 8-12 атомами углерода. R⁴ предпочтительно является пропилом, особенно н-пропилом.In the alkoxylates of alcohols of the general formula (NII), R ^{3 is} preferably a branched or unbranched alkyl radical with 8-15 carbon atoms, particularly preferably 8-13 carbon atoms, and most preferably 8-12 carbon atoms. R ^{4 is} preferably propyl, especially n-propyl.

Значение р предпочтительно имеет среднее значение от 4 до 15, особенно предпочтительно среднее значение от 6 до 12 и особенно среднее значение от 7 до 10.The p value preferably has an average value of 4 to 15, particularly preferably an average value of 6 to 12, and especially an average value of 7 to 10.

Значение q предпочтительно имеет среднее значение от 0,5 до 4, особо предпочтительно - от 0,5 до 2, особенно от 1 до 2.The q value preferably has an average value of from 0.5 to 4, particularly preferably from 0.5 to 2, especially from 1 to 2.

Соответствующие алкоксилаты спиртов общей формулы (NI), также алкоксилаты спиртов общей формулы (NII) тоже могут находиться в виде смеси с неразветвленными и разветвленными спиртовыми остатками.The corresponding alkoxylates of alcohols of the general formula (NI), also the alkoxylates of alcohols of the general formula (NII) can also be in the form of a mixture with unbranched and branched alcohol residues.

Спиртовыми компонентами, лежащими в основе алкоксилатов спиртов, могут быть не только чистые алканолы, но и смеси гомологов с количеством атомов углерода в определенном интервале. Примерами являются алканолы с 8-10 атомами углерода, алканолы с 10-12 атомами углерода, алканолы с 13-15 атомами углерода, алканолы с 12-15 атомами углерода. Возможны также смеси нескольких алканолов.The alcohol components that underlie alcohol alkoxylates can be not only pure alkanols, but also mixtures of homologs with the number of carbon atoms in a certain range. Examples are alkanols with 8-10 carbon atoms, alkanols with 10-12 carbon atoms, alkanols with 13-15 carbon atoms, alkanols with 12-15 carbon atoms. Mixtures of several alkanols are also possible.

Названные выше алкоксилаты спиртов или их смеси согласно изобретению предпочтительно образуются в результате взаимодействия спиртов общей формулы (R¹-ОН) или (R³-ОН) или смесей соответствующих разветвленных или неразветвленных спиртов, в данном случае при необходимости вначале с алкиленоксидом с 3-6 атомами углерода, затем с этиленоксидом и затем при необходимости с алкиленоксидом с 3-4 атомами углерода и затем с соответствующим алкиленоксидом с 5-6 атомами углерода. При этом алкоксилирование предпочтительно проводят в присутствии катализаторов алкоксилирования. При этом особенно используют основные катализаторы, такие как гидроксид калия. Используя специальные катализаторы алкоксилирования, например модифицированные бентониты или гидротальциты, описанные, к примеру, в международной заявке WO 95/04024, можно существенно сузить статистическое распределение количеств встраиваемых алкиленоксидов, так что получают алкоксилаты "Narrow-Range" («узкого интервала»).The above-mentioned alkoxylates of alcohols or mixtures thereof according to the invention are preferably formed by the interaction of alcohols of the general formula (R ¹ -OH) or (R ³ -OH) or mixtures of the corresponding branched or unbranched alcohols, in this case, if necessary, first with alkylene oxide 3-6 carbon atoms, then with ethylene oxide and then, if necessary, with alkylene oxide with 3-4 carbon atoms and then with the corresponding alkylene oxide with 5-6 carbon atoms. In this case, alkoxylation is preferably carried out in the presence of alkoxylation catalysts. In this case, basic catalysts such as potassium hydroxide are especially used. Using special alkoxylation catalysts, for example, modified bentonites or hydrotalcites described, for example, in WO 95/04024, the statistical distribution of the amounts of incorporated alkylene oxides can be substantially narrowed, so that Narrow-Range alkoxylates (“narrow range”) are obtained.

Еще в одном варианте исполнения данного изобретения речь идет о смесях алкоксилатов, содержащих алкоксилаты общей формулы (NIII).In yet another embodiment of the invention, it is a mixture of alkoxylates containing alkoxylates of the general formula (NIII).

С₅Н₁₁ СН(С₃Н₇)СН₂O(В)_р(A)_n(B)_m(A)_q H (NIII)C ₅ H ₁₁ CH (C ₃ H ₇ ) CH ₂ O (B) _p (A) _n (B) _m (A) _q H (NIII)

в которой А означает этиленоксигруппу,in which A represents an ethyleneoxy group,

В означает в каждом случае, независимо друг от друга алкиленоксигруппу с 3-10 атомами углерода, предпочтительно пропиленооксигруппу, бутиленоксигруппу, пентиленооксигруппу или их смеси, причем группы А и В присутствуют в виде блоков в указанной последовательности;B means in each case, independently from each other, an alkyleneoxy group with 3-10 carbon atoms, preferably a propyleneoxy group, butyleneoxy group, pentyleneoxy group, or mixtures thereof, wherein groups A and B are present as blocks in the indicated sequence;

р является числом от 0 до 10;p is a number from 0 to 10;

n является числом, превышающим 0 до 20;n is a number greater than 0 to 20;

m является числом, превышающим 0 до 20;m is a number greater than 0 to 20;

q является числом, превышающим 0 до 10;q is a number greater than 0 to 10;

р+n+m+q равно по меньшей мере 1,p + n + m + q is at least 1,

причем в смеси от 70 до 99% масс. приходится на алкоксилаты А1, где C₅Н₁₁ имеет значение н-C₅Н₁₁, от 1 до 30% масс. приходится на алкоксилаты А2, где в C₅Н₁₁ имеет значение С₂Н₅СН(СН₃)СН₂ и/или СН₃СН(СН₃)СН₂СН₂.and in the mixture from 70 to 99% of the mass. accounts for alkoxylates A1, where C ₅ H ₁₁ has a value of n-C ₅ H ₁₁ , from 1 to 30% of the mass. accounts for alkoxylates A2, where in C ₅ H _{11 the} value is C ₂ H ₅ CH (CH ₃ ) CH ₂ and / or CH ₃ CH (CH ₃ ) CH ₂ CH ₂ .

В общей формуле (NIII) р означает число от 0 до 10, предпочтительно от 0 до 5, особенно предпочтительно от 0 до 3. Если имеются блоки (В)_р, то р предпочтительно число от 0,1 до 10, особо предпочтительно от 0,5 до 5, особенно от 1 до 3.In the general formula (NIII), p is a number from 0 to 10, preferably from 0 to 5, particularly preferably from 0 to 3. If there are blocks (B) _p , then p is preferably a number from 0.1 to 10, particularly preferably from 0 5 to 5, especially 1 to 3.

В общей формуле (NIII) n предпочтительно означает число от 0,25 до 10, в частности от 0,5 до 7; m предпочтительно означает, число от 2 до 10, в частности от 3 до 6. В предпочтительно означает пропиленокси и/или бутиленокси, особенно пропиленоксид в обоих положениях.In the general formula (NIII), n preferably means a number from 0.25 to 10, in particular from 0.5 to 7; m preferably means a number from 2 to 10, in particular from 3 to 6. B preferably means propyleneoxy and / or butyleneoxy, especially propylene oxide in both positions.

q означает предпочтительно число в интервале от 1 до 5, особенно предпочтительно в интервале от 2 до 3.q is preferably a number in the range of 1 to 5, particularly preferably in the range of 2 to 3.

Сумма p+n+m+q равна, по меньшей мере 1, предпочтительно от 3 до 25, особо предпочтительно от 5 до 15, особенно от 7 до 13.The sum of p + n + m + q is at least 1, preferably from 3 to 25, particularly preferably from 5 to 15, especially from 7 to 13.

В алкоксилатах присутствует 3 или 4 алкиленоксидных блока. Согласно одному из вариантов исполнения за спиртовым остатком следуют сначала этиленоксиединицы, затем пропиленоксиединицы, а затем этиленоксиединицы. Согласно другому варианту исполнения за спиртовым остатком вначале следуют пропиленоксиединицы, затем этиленоксиединицы, затем снова пропиленоксиединицы и в конце этиленоксиединицы. Вместо пропиленоксиединиц могут также присутствовать другие указанные алкиленоксидные единицы.In alkoxylates, 3 or 4 alkylene oxide blocks are present. In one embodiment, the alcohol residue is first followed by ethyleneoxy units, then propyleneoxy units, and then ethyleneoxy units. According to another embodiment, the alcohol residue is first followed by propyleneoxy units, then ethyleneoxy units, then again by propyleneoxy units and at the end of the ethyleneoxy units. Instead of propyleneoxy units, other indicated alkylene oxide units may also be present.

р, n, m и q при этом означают среднюю величину, которая получается для алкоксилатов. Соответственно, значения р, n, m, q могут быть и не целочисленными. При алкоксилировании спиртов вообще получают распределение степени алкоксилирования, на которое в определенной степени можно влиять, используя различные катализаторы алкоксилирования. Выбирая соответствующие количества групп А и В, можно подгонять спектр свойств смесей алкоксилатов согласно изобретению соответственно практическим потребностям.p, n, m and q in this case mean the average value that is obtained for alkoxylates. Accordingly, the values of p, n, m, q may not be integer. When alkoxylation of alcohols, a distribution of the degree of alkoxylation is generally obtained, which can be influenced to a certain extent using various alkoxylation catalysts. By choosing the appropriate amounts of groups A and B, the spectrum of properties of the alkoxylate mixtures according to the invention can be adjusted according to practical needs.

Смеси алкоксилатов получают алкоксилированием на основе спиртов формулы С₅Н₁₁СН(С₃Н₇)СН₂OН. Исходные спирты можно получать, смешивая отдельные компоненты так, чтобы получить соотношение согласно изобретению. Их можно получать альдольной конденсацией валерианового альдегида с последующим гидрированием. Валериановый альдегид и соответствующие изомеры получают гидроформилированием бутена, как это описано, например, в патенте США US 4287370; Beilstein Е IV 1, 3268, Ullmanns Encyclopedia of Industrial Chemistry, 5. Auflage, Band A1, стр.323 и 328 f. Последующая альдольная конденсация описана в патенте США US 5434313 и Rompp, Chemie Lexikon, 9. Auflage, ключевое слово "Aldol-Addition", стр.91. Гидрирование продукта альдольной конденсации осуществляется при общепринятых условиях гидрирования.Mixtures of alkoxylates are prepared by alkoxylation on the basis of alcohols of the formula C ₅ H ₁₁ CH (C ₃ H ₇ ) CH ₂ OH. The starting alcohols can be obtained by mixing the individual components so as to obtain the ratio according to the invention. They can be obtained by aldol condensation of valerian aldehyde followed by hydrogenation. Valerian aldehyde and the corresponding isomers are prepared by hydroformylation of butene as described, for example, in US Pat. No. 4,287,370; Beilstein E IV 1, 3268, Ullmanns Encyclopedia of Industrial Chemistry, 5. Auflage, Band A1, pp. 323 and 328 f. Subsequent aldol condensation is described in US patent US 5434313 and Rompp, Chemie Lexikon, 9. Auflage, keyword "Aldol-Addition", p. 91. Hydrogenation of the aldol condensation product is carried out under generally accepted hydrogenation conditions.

Кроме того, 2-пропилгептанол можно получить конденсацией 1-пентанола (в виде смеси соответствующих метилбутанолов-1) в присутствии КОН при повышенной температуре, см., например, Marcel Guerbet, CR. Acad Sei Paris 128, 511, 1002 (1899). Также следует сослаться на Rompp, Chemie Lexikon, издание 9., Georg Thieme Verlag Stuttgart, и на приведенные там цитаты, а также на Tetrahedron, Том 23, стр.1723 до 1733.In addition, 2-propylheptanol can be obtained by condensation of 1-pentanol (as a mixture of the corresponding methylbutanol-1) in the presence of KOH at elevated temperatures, see, for example, Marcel Guerbet, CR. Acad Sei Paris 128, 511, 1002 (1899). Reference should also be made to Rompp, Chemie Lexikon, edition 9., Georg Thieme Verlag Stuttgart, and the citations quoted there, as well as Tetrahedron, Volume 23, pp. 1723 to 1733.

В общей формуле (NIII) остаток C₅H₁₁ может иметь значение н-С₅H₁₁, С₂Н₅СН(СН₃)СН₂ или СН₃СН(СН₃)СН₂СН₂. Алкоксилаты являются смесями, причемIn the general formula (NIII), the residue C ₅ H ₁₁ may be n — C ₅ H ₁₁ , C ₂ H ₅ CH (CH ₃ ) CH ₂ or CH ₃ CH (CH ₃ ) CH ₂ CH ₂ . Alkoxylates are mixtures, moreover

- от 70 до 99 масс.%, предпочтительно от 85 до 96 масс.% приходится на алкоксилаты А1, где C₅H₁₁ имеет значение н-С₅Н₁₁, а- from 70 to 99 wt.%, preferably from 85 to 96 wt.% falls on alkoxylates A1, where C ₅ H ₁₁ has the value of n-C ₅ H ₁₁ , and

- от 1 до 30 масс.%, предпочтительно от 4 до 15 масс.% приходится на алкоксилаты А2, где С₅Н₁₁ имеет значение С₂Н₅СН(СН₃)СН₂ и/или СН₃СН(СН₃)СН₂СН₂.- from 1 to 30 wt.%, preferably from 4 to 15 wt.%, is accounted for by alkoxylates A2, where C ₅ H ₁₁ is C ₂ H ₅ CH (CH ₃ ) CH ₂ and / or CH ₃ CH (CH ₃ ) CH ₂ CH ₂ .

Остаток С₃Н₇ предпочтительно означает н-С₃Н₇.The remainder of C ₃ H ₇ preferably means nC ₃ H ₇ .

Далее, возможно применение блочных изо-тридеканолалкоксилатов общей формулы (NV),Further, it is possible to use block iso-tridecanol alkoxylates of the general formula (NV),

R-O-(C_mH_2mO)_x-(C_nH_2nO)_y-H (NV)RO- (C _m H _2m O) _x - (C _n H _2n O) _y -H (NV)

в которой R означает изо-тридецильный остаток, m означает число 2, а n одновременно означает число 3 или 4 или m означает число 3 или 4, а n одновременно означает число 2 и х и у независимо друг от друга означают числа от 1 до 20, причем в случае m=2/n=3 или 4 переменная х больше или равна у.in which R means iso-tridecyl residue, m means the number 2, and n simultaneously means the number 3 or 4 or m means the number 3 or 4, and n simultaneously means the number 2 and x and y independently mean numbers from 1 to 20 moreover, in the case m = 2 / n = 3 or 4, the variable x is greater than or equal to y.

Эти блочные изо-тридеканолалкоксилаты описаны, например, в немецкой заявке на патент DE 19621843 А1, причем все содержание этой публикации, имеющее к ним отношение, включено здесь в качестве ссылки.These block iso-tridecanol alkoxylates are described, for example, in German patent application DE 19621843 A1, the entire contents of this publication relating to them are hereby incorporated by reference.

Другим подходящим классом неионных поверхностно-активных веществ являются алкоксилаты спиртов с закрытыми концевыми группами, особенно производные алкоксилатов спиртов, описанных выше. В особенном варианте выполнения речь идет об алкоксилатах спиртов с закрытыми концевыми группами, соответствующих алкоксилатам спиртов общих формул (NI), (NII), (NIII) и (NV). Блокировку концевых групп можно осуществлять, например, с помощью диалкилсульфата, алкилгалогенидов с 1-10 атомами углерода, фенилгалогенидов с 1-10 атомами углерода, предпочтительно хлоридов, бромидов, особенно предпочтительно с помощью циклогексилхлорида, циклогексилбромида, фенилхпорида или фенилбромида.Another suitable class of nonionic surfactants are closed-end alcohol alkoxylates, especially the alcohol alkoxylates derivatives described above. In a particular embodiment, we are talking about alkoxylates of alcohols with closed end groups corresponding to alkoxylates of alcohols of the general formulas (NI), (NII), (NIII) and (NV). End group blocking can be carried out, for example, with dialkyl sulfate, alkyl halides with 1-10 carbon atoms, phenyl halides with 1-10 carbon atoms, preferably chlorides, bromides, especially preferably with cyclohexyl chloride, cyclohexyl bromide, phenylchloride or phenyl bromide.

Примеры алкоксилатов с закрытыми концевыми группами приведены также в немецкой заявке на патент DE-OS 3726121, причем все содержание этой публикации, имеющее к ним отношение, включено здесь в качестве ссылки. В предпочтительном варианте выполнения эти алкоксилаты спиртов характеризуются общей структурой (NVI)Examples of closed-end alkoxylates are also given in German patent application DE-OS 3726121, the entire contents of this publication relating to them are hereby incorporated by reference. In a preferred embodiment, these alcohol alkoxylates are characterized by a general structure (NVI)

R^I-О(СН₂-CHR^II-О)_m'(СН₂-CHR^IIIO)_n'R^IV (NVI)R ^I —O (CH ₂ —CHR ^II —O) _{m ′} (CH ₂ —CHR ^III O) _{n ′} R ^IV (NVI)

где ^I означает водород или алкил с 1-20 атомами углерода;where ^I means hydrogen or alkyl with 1-20 carbon atoms;

R^II и R^III одинаковы или различны и в каждом случае независимо друг от друга означают водород, метил или этил;R ^II and R ^{III are the} same or different and in each case, independently of one another, are hydrogen, methyl or ethyl;

R^IV означает алкил с 1-10 атомами углерода, предпочтительно алкил с 1-4 атомами углерода, или циклогексил, или фенил;R ^IV means alkyl with 1-10 carbon atoms, preferably alkyl with 1-4 carbon atoms, or cyclohexyl, or phenyl;

m' и n' одинаковы или различны и больше или равны 0, при условии, что сумма m' и n' составляет от 3 до 300.m 'and n' are the same or different and greater than or equal to 0, provided that the sum of m 'and n' is from 3 to 300.

Еще один класс неионогенных смачивателей представляет собой алкилполиглюкозиды с предпочтительным числом от 6 до 22, особо предпочтительно от 10 до 18 атомов углерода в алкильной цепи. Эти соединения содержат в общем случае от 1 до 20, предпочтительно от 1,1 до 5 глюкозидных единиц.Another class of nonionic wetting agents is alkyl polyglucosides with a preferred number of from 6 to 22, particularly preferably from 10 to 18 carbon atoms in the alkyl chain. These compounds generally contain from 1 to 20, preferably from 1.1 to 5 glucoside units.

Другие неионогенные смачиватели, которые можно использовать, представляют известные из международной заявки WO-A 95/11225 закрытые концевыми группами амидалкоксилаты жирных кислот общей формулыOther non-ionic wetting agents that can be used are those known from International Application WO-A 95/11225, terminal-closed fatty acid amidalkoxylates of the general formula

R^I-CO-NH-(CH₂)_y-O-(A¹O)_x-R² R ^I —CO — NH— (CH ₂ ) _y —O— (A ¹ O) _x —R ²

в которой R^I означает алкильный или алкиленовый остаток с 5-21 атомами углерода;in which R ^I means an alkyl or alkylene residue with 5-21 carbon atoms;

R² означает алкильную группу с 1-4 атомами углерода;R ² means an alkyl group with 1-4 carbon atoms;

А¹ означает алкилен с 2-4 атомами углерода;And ¹ means alkylene with 2-4 carbon atoms;

у означает число 2 или 3;y means the number 2 or 3;

х означает число от 1 до 6.x means a number from 1 to 6.

Примерами таких соединений являются продукты взаимодействия н-бутил-тригликольамина формулы Н₂N-(СН₂-СН₂-O)₃-С₄Н₉ со сложным метиловым эфиром додекановой кислоты или продукты взаимодействия этилтетрагликольамина формулы H₂N-(CH₂-CH₂-O)₄-C₂H₅ с коммерчески доступной смесью сложных метиловых эфиров насыщенных жирных кислот с 8-18 атомами углерода.Examples of such compounds are the products of the interaction of n-butyl-triglycolamine of the formula H ₂ N- (CH ₂ -CH ₂ -O) ₃ -C ₄ H ₉ with dodecanoic acid methyl ester or the products of the interaction of ethyl tetraglycolamine of the formula H ₂ N- (CH ₂ - CH ₂ —O) ₄ —C ₂ H ₅ with a commercially available mixture of saturated fatty acid methyl esters with 8-18 carbon atoms.

В качестве неионогенных смачивателей можно также использовать производные полигидрокси- и полиалкоксижирных кислот, например амиды полигидроксижирных кислот, N-алкоксиамиды или N-арилоксиамиды полигидроксижирных кислот, этоксилаты амидов жирных кислот, в особенности с закрытыми концевыми группами, а также алканоламидалкоксилаты жирных кислот.Derivatives of polyhydroxy and polyalkoxy fatty acids, for example amides of polyhydroxy fatty acids, N-alkoxyamides or N-aryloxyamides of polyhydroxy fatty acids, ethoxylates of fatty acid amides, especially with closed terminal groups, and also alkanolamide alkoxylates, can also be used as nonionic wetting agents.

Помимо этих названных ранее неионогенных смачивателей можно также использовать, блок-сополимеры этиленоксида, пропиленоксида и/или бутиленоксида (метки Pluronic ® и Tetronik ® BASF SE, соответственно, BASF Corp.). В предпочтительном варианте выполнения речь идет об использовании триблок-сополимеров с блоками полиэтилен / полипропилен / полиэтилен с молекулярной массой от 4000 до 16000, причем массовая часть полиэтилена лежит в интервале от 55 до 90%. Особо предпочтительными являются триблок-сополимеры с молекулярной массой более 8000 и содержание полиэтилена в интервале от 60 до 85%. Эти предпочтительно используемые сополимеры имеются в свободной продаже под маркировкой Pluronic F127, Pluronic F108 и Pluronic F98, соотв. BASF Corp. и описаны в заявке на патент WO 01/47472 А2, общая сущность которого в виде ссылки включена в настоящее изобретение.In addition to these previously mentioned nonionic wetting agents, block copolymers of ethylene oxide, propylene oxide and / or butylene oxide (Pluronic® and Tetronik® BASF SE tags, respectively, BASF Corp.) can also be used. In a preferred embodiment, we are talking about the use of triblock copolymers with blocks of polyethylene / polypropylene / polyethylene with a molecular weight of from 4000 to 16000, and the mass fraction of polyethylene lies in the range from 55 to 90%. Particularly preferred are triblock copolymers with a molecular weight of more than 8000 and a polyethylene content in the range of 60 to 85%. These preferably used copolymers are commercially available under the labeling of Pluronic F127, Pluronic F108 and Pluronic F98, respectively. BASF Corp. and are described in patent application WO 01/47472 A2, the general essence of which is incorporated by reference into the present invention.

Кроме того, предпочтительным является также применение закрытых с одной или с двух сторон блок-сополимеров этиленоксида, пропиленоксида и/или бутиленоксида. Закрытие с одной стороны можно обеспечить, например, выбирая в качестве исходного соединения для взаимодействия с алкиленоксидом спирт, особенно алкиловый спирт с 1-22 атомами углерода, например метанол. Кроме того, двустороннее закрытие концевых групп можно, к примеру, обеспечить путем взаимодействия свободного блок-сополимера с диалкилсульфатом, алкилгалогенидом с 1-10 атомами углерода, фенилгалогенидом с 1-10 атомами углерода, предпочтительно с хлоридами, бромидами, особо предпочтительно с циклогексилхлоридом, циклогексилбромидом, фенилхлоридом или фенилбромидом.In addition, it is also preferable to use closed on one or both sides of the block copolymers of ethylene oxide, propylene oxide and / or butylene oxide. The closure on the one hand can be achieved, for example, by choosing an alcohol, especially an alkyl alcohol with 1-22 carbon atoms, for example methanol as the starting material for reaction with alkylene oxide. In addition, bilateral closing of the end groups can, for example, be achieved by reacting a free block copolymer with dialkyl sulfate, an alkyl halide with 1-10 carbon atoms, a phenyl halide with 1-10 carbon atoms, preferably chlorides, bromides, particularly preferably cyclohexyl chloride, cyclohexyl bromide phenyl chloride or phenyl bromide.

Дополнительно можно использовать отдельные неионогенные смачивающие вещества или комбинацию различных неионогеннных ПАВ. Использоваться могут неионогенные смачивающие вещества только одного класса, в частности только алкоксилированные спирты с 4-22 атомами углерода. В качестве альтернативы можно использовать смеси смачивателей, относящихся к разным классам.Additionally, individual non-ionic wetting agents or a combination of various non-ionic surfactants can be used. Nonionic wetting agents of only one class can be used, in particular only alkoxylated alcohols with 4-22 carbon atoms. Alternatively, you can use a mixture of wetting agents belonging to different classes.

Концентрацию неионогенных смачивающих веществ в композиции согласно изобретению, можно варьировать в зависимости от условий выщелачивания, в частности в зависимости от выщелачиваемого материала.The concentration of nonionic wetting agents in the composition according to the invention can be varied depending on the leaching conditions, in particular on the leached material.

К пригодным анионным ПАВ относятся алкансульфонаты с 8-24 атомами углерода, предпочтительно алкансулофонаты с 10-18 атомами углерода, а также мыло, как, например, натриевые и калиевые соли насыщенных и/или ненасыщенных кремниевых кислот с 8-24 атомами углерода.Suitable anionic surfactants include alkanesulfonates with 8-24 carbon atoms, preferably alkanesulfonates with 10-18 carbon atoms, as well as soaps, such as sodium and potassium salts of saturated and / or unsaturated silicic acids with 8-24 carbon atoms.

Другими пригодными анионными смачивающими веществами являются линейные алкилбензолсульфонаты с 8-20 атомами углерода (ЛАС), предпочтительно линейные алкилбензолсульфонаты с 9-13 атомами углерода и линейные алкилтолуолсульфонаты с 9-13 атомами углерода.Other suitable anionic wetting agents are linear alkyl benzene sulfonates with 8-20 carbon atoms (LAS), preferably linear alkyl benzene sulfonates with 9-13 carbon atoms and linear alkyltoluene sulfonates with 9-13 carbon atoms.

ЗагустителиThickeners

Загустителями называются соединения, которые повышают вязкость химической композиции. Примерами загустителей с неограниченной растворимостью являются полиакрилаты и гидрофобно модифицированные полиакрилаты, описанные в заявке WO 2009/090169 А1. Преимущество использования загустителей заключается в том, что более вязкие жидкости имеют более высокую степень прилипания к вертикальным и горизонтальным поверхностям по сравнению с менее вязкими жидкостями. Это повышает время взаимодействия между композицией и поверхностью.Thickeners are compounds that increase the viscosity of a chemical composition. Examples of thickeners with unlimited solubility are polyacrylates and hydrophobically modified polyacrylates described in WO 2009/090169 A1. The advantage of using thickeners is that more viscous liquids have a higher degree of adhesion to vertical and horizontal surfaces compared to less viscous liquids. This increases the interaction time between the composition and the surface.

Другими особо предпочтительными загустителями являются, к примеру, бентонит, ксантан, целлюлоза и ее производные, в том числе эфир целлюлозы и сложные эфиры целлюлозы, в частности метилцеллюлоза, гидроксиэтилцеллюлоза и карбоксиметилцеллюлоза. Другими примерами загустителей являются полиакриламиды, полиэфиры или ассоциативные полиуретаны в качестве загустителей, поливиниловые спирты и поливинилпирролидоны.Other particularly preferred thickeners are, for example, bentonite, xanthan, cellulose and its derivatives, including cellulose ether and cellulose esters, in particular methyl cellulose, hydroxyethyl cellulose and carboxymethyl cellulose. Other examples of thickeners are polyacrylamides, polyesters or associative polyurethanes as thickeners, polyvinyl alcohols and polyvinylpyrrolidones.

Диспергаторы/ ингибиторы солеотложенийDispersants / Scale Inhibitors

Дополнительно согласно изобретению можно использовать как минимум один диспергатор из группы, состоящей из солей нафталинсульфоновых кислот, продуктов конденсации нафталинсульфоновых кислот и формальдегида, а также поликарбоксилатов. Соответствующими диспергаторами являются, например, коммерчески доступные продукты с торговыми марками Tamol®, Sokalan® и Nekal® фирмы BASF AG, а также Solsperse® фирмы Lubrizol. Данные диспергаторы при необходимости могут также использоваться как ингибиторы солеотложений (противонакипные средства), так как они диспергируют образующийся в щелочной среде карбонат кальция СаСО₃ и, например, предотвращают закупорку форсунок или образование отложений в трубопроводах. Независимо от этого композиция, предлагаемая согласно изобретению, может дополнительно содержать, по меньшей мере, один из приведенных ниже ингибиторов солеотложений. Подходящие ингибиторы солеотложений описаны, к примеру, в международной заявке на патент WO 04/099092, в которой описываются сополимеры (мет)акриловой кислоты, в состав которых входит:Additionally, according to the invention, at least one dispersant from the group consisting of salts of naphthalenesulfonic acids, condensation products of naphthalenesulfonic acids and formaldehyde, and also polycarboxylates can be used. Suitable dispersants are, for example, commercially available products with the trademarks Tamol®, Sokalan® and Nekal® from BASF AG, as well as Solsperse® from Lubrizol. If necessary, these dispersants can also be used as scale inhibitors (anti-scale agents), since they disperse calcium carbonate CaCO ₃ formed in an alkaline medium and, for example, prevent nozzle blockage or deposits in pipelines. Regardless of this, the composition of the invention may further comprise at least one of the following scale inhibitors. Suitable scale inhibitors are described, for example, in international patent application WO 04/099092, which describes copolymers of (meth) acrylic acid, which include:

(a) от 50 до 80 масс.%, предпочтительно от 50 до 75 масс.%, особо предпочтительно от 55 до 70 масс.% основного скелета поли(мет)акриловой кислоты,(a) from 50 to 80 wt.%, preferably from 50 to 75 wt.%, particularly preferably from 55 to 70 wt.% of the basic skeleton of poly (meth) acrylic acid,

(b) от 1 до 40 масс.%, предпочтительно от 5 до 20 масс.%, особо предпочтительно от 7 до 15 масс.% по меньшей мере одного элемента, связанного с основным скелетом, и/или внедренного (внедренных) в основной скелет, относящегося к единице, состоящей из единиц изобутена, терелактона и изопропанола, и(b) from 1 to 40 wt.%, preferably from 5 to 20 wt.%, particularly preferably from 7 to 15 wt.%, at least one element associated with the main skeleton and / or embedded (embedded) in the main skeleton relating to a unit consisting of units of isobutene, terelactone and isopropanol, and

(c) от 5 до 50 масс.%, предпочтительно от 5 до 40 масс.%, особо предпочтительно от 10 до 30% масс. единиц амидов на основе аминоалкилсульфоновых кислот, причем общее количество единиц в сополимере (мет)акриловой кислоты составляет 100 масс.% и все данные по массе рассчитаны относительно сополимера (мет)акриловой кислоты.(c) from 5 to 50 mass%, preferably from 5 to 40 mass%, particularly preferably from 10 to 30 mass%. units of amides based on aminoalkyl sulfonic acids, the total number of units in the copolymer of (meth) acrylic acid being 100% by mass, and all mass data were calculated relative to the copolymer of (meth) acrylic acid.

Согласно международной заявке WO 04/099092 установленные сополимеры (мет)акриловой кислоты имеют предпочтительно среднюю молекулярную массу содержащего сульфоновые группы полимера от 1000 до 20000 г/моль и могут быть получены предпочтительно путем следующих стадий процесса:According to international application WO 04/099092, the established (meth) acrylic acid copolymers preferably have an average molecular weight of sulfonic group-containing polymer of from 1000 to 20,000 g / mol and can be obtained preferably by the following process steps:

(1) радикальная полимеризация (мет)акриловой кислоты в присутствии изопропанола и, при необходимости, воды, причем получают полимер I,(1) radical polymerization of (meth) acrylic acid in the presence of isopropanol and, if necessary, water, whereby polymer I is obtained,

(2) амидирование полимера I, полученного на стадии (1), путем превращения с, по меньшей мере, одной аминоалкансульфоновой кислотой.(2) amidation of the polymer I obtained in stage (1) by conversion with at least one aminoalkanesulfonic acid.

В качестве следующих подходящих ингибиторов солеотложений например, называют:As the following suitable scale inhibitors, for example, are named:

- полуамиды поликарбоновых кислот, которые получают превращением полимеризатов, содержащих ангидридные группы, и соединений, содержащих аминогруппы (согласно немецкой заявке на патент DE 19548318);- polyamide polyamides, which are obtained by the conversion of polymers containing anhydride groups and compounds containing amino groups (according to German patent application DE 19548318);

- винилмолочную кислоту и/или изопропенилмолочную кислоту (согласно немецкой заявке на патент DE 19719516);- vinyl lactic acid and / or isopropenyl lactic acid (according to German patent application DE 19719516);

- гомополимеризаты акриловой кислоты (согласно патенту США 3756257);- homopolymerizates of acrylic acid (according to US patent 3756257);

- сополимеризаты из акриловой кислоты и/или (мет)акриловой кислоты и винилмолочной кислоты и/или изопропенилмолочной кислоты,copolymers of acrylic acid and / or (meth) acrylic acid and vinyl lactic acid and / or isopropenyl lactic acid,

- сополимеризаты из стирола и винилмолочной кислоты;- copolymers of styrene and vinyl lactic acid;

- сополимеризаты из малеиновой кислоты и акриловой кислоты;- copolymers of maleic acid and acrylic acid;

- водорастворимые или вододиспергируемые привитые полимеризаты, которые получают радикально инициируемой прививочной сополимеризацией;- water-soluble or water-dispersible grafted polymers, which are obtained by radically initiated graft copolymerization;

(I) по меньшей мере, одного моноэтиленового ненасыщенного мономера на(I) at least one monoethylene unsaturated monomer per

(II) полимеризаты молярной массой от 200 до 5000 г/моль моноэтиленовых ненасыщенных дикарбоновых кислот или их ангидридов,(II) polymers with a molar mass of from 200 to 5000 g / mol of monoethylene unsaturated dicarboxylic acids or their anhydrides,

(III) причем на 100 массовых частей прививочной основы (II) используют от 5 до 2000 массовых частей (I) (немецкая заявка на патент (DE 19503546),(III) moreover, for 100 mass parts of the grafting base (II), 5 to 2000 mass parts (I) are used (German patent application (DE 19503546),

- при необходимости, гидролизованные ангидриды полималеиновой кислоты и их соли (согласно патенту США 3810834, английской заявке на патент GB 1454657 и европейской заявке на патент ЕР 0261589),- if necessary, hydrolyzed polymaleic acid anhydrides and their salts (according to US patent 3810834, English patent application GB 1454657 and European patent application EP 0261589),

- иминодисукцинаты (согласно немецкой заявке на патент DE 1010209),- iminodisuccinates (according to German patent application DE 1010209),

- композиции, содержащие комплексообразователи, такие как этилендиаминтетрауксусная кислота (ЭДТУ) и/или диэтилентриаминпентауксусная кислота (ДТПА) (согласно патенту США 5366016),- compositions containing complexing agents, such as ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA) and / or diethylene triamine pentaacetic acid (DTPA) (according to US patent 5366016),

- фосфонаты,- phosphonates,

- полиакрилаты,- polyacrylates,

- полиаспарагиновые кислоты или согласно немецкой заявке на патент DE 4434463,- polyaspartic acids or according to German patent application DE 4434463,

- модифицированные полиаспарагиновые кислоты,- modified polyaspartic acids,

- имиды полиаспарагиновой кислоты,- imides of polyaspartic acid,

- полимеры, содержащие группы гидроксамовых кислот, простых эфиров гидроксамовых кислот и/или гидрацидов (согласно немецкой заявке на патент DE 4427630),- polymers containing groups of hydroxamic acids, ethers of hydroxamic acids and / or hydrates (according to German patent application DE 4427630),

- при необходимости, гидролизованные полимеризаты малеинового имина (согласно немецкой заявке на патент DE 4342930),- if necessary, hydrolyzed polymers of maleic imine (according to German patent application DE 4342930),

- нафтиламинполикарбоксилаты (согласно европейской заявке на патент ЕР 0538969),- naphthylamine polycarboxylates (according to European patent application EP 0538969),

- оксаалканполифосфоновые кислоты (согласно европейской заявке на патент ЕР 330075),- oxaalkane polyphosphonic acids (according to European patent application EP 330075),

- полигидроксиалкан-амино-бис-метиленфосфоновые кислоты (согласно немецкой заявке на патент DE 4016753) и- polyhydroxyalkane-amino-bis-methylenephosphonic acids (according to German patent application DE 4016753) and

- оксидированные полиглюкозаны (согласно немецкой заявке на патент DE 4330339).- oxidized polyglucosans (according to German patent application DE 4330339).

Особо предпочтительными в качестве диспергаторов согласно изобретению являются полиакриловые кислоты, например, типа Sokalan ® BASF SE, а также полиаспарагиновые кислоты, особенно β - полиаспарагиновые кислоты с молекулярной массой от 2000 до 10000 г/моль. Предпочтительными в качестве полимерных соединений, содержащих карбоксильные группы, являются гомополимеры акриловых кислот, приведенные в европейской заявке на патент ЕР 2083067 А1. Предпочтительно, если среднеарифметическое значение молекулярной массы данных соединений лежит в интервале от 1000 до 50000, особо предпочтительно - в диапазоне от 1500 до 20000. В качестве полимеров, содержащих карбоксильные группы, особо пригодны полимеры марки Sokalan ® BASF SE, относящиеся к гомополимерам акриловых кислот.Particularly preferred as dispersants according to the invention are polyacrylic acids, for example of the type Sokalan ® BASF SE, as well as polyaspartic acids, especially β-polyaspartic acids with a molecular weight of from 2000 to 10000 g / mol. Preferred as polymer compounds containing carboxyl groups are homopolymers of acrylic acids described in European patent application EP 2083067 A1. Preferably, if the arithmetic mean value of the molecular weight of these compounds is in the range from 1000 to 50,000, particularly preferably in the range from 1,500 to 20,000. As polymers containing carboxyl groups, Sokalan® BASF SE polymers relating to acrylic acid homopolymers are particularly suitable.

Пригодными полимерами, содержащими карбоксильные группы, являются также олигомалеиновые кислоты, описанные например в ЕР-А 451508 и ЕР-А 396303.Suitable polymers containing carboxyl groups are also oligomaleic acids, as described for example in EP-A 451508 and EP-A 396303.

Кроме того, предпочтительными в качестве полимерных соединений с карбоксильными группами являются сополимеры, которые, как и мономер А), содержат по меньшей мере одну ненасыщенную моно- или дикарбоновую кислоты или их соли, а также не менее одного полимеризованного (В) сомономера. Предпочтительным является мономер А), выбираемый из ряда монокарбоновых кислот с 3-10 атомами углерода, солей монокарбоновых кислот с 3-10 атомами углерода, дикарбоновых кислот с 4-8 атомами углерода, ангидридов дикарбоновых кислот с 4-8 атомами углерода, солей дикарбоновых кислот с 4-8 атомами углерода и их смесей.In addition, copolymers which, like monomer A), contain at least one unsaturated mono- or dicarboxylic acid or their salts, as well as at least one polymerized (B) comonomer, are preferred as carboxylic polymer compounds. Preferred is monomer A) selected from a series of monocarboxylic acids with 3-10 carbon atoms, salts of monocarboxylic acids with 3-10 carbon atoms, dicarboxylic acids with 4-8 carbon atoms, dicarboxylic acid anhydrides with 4-8 carbon atoms, dicarboxylic acid salts with 4-8 carbon atoms and mixtures thereof.

Мономеры (А) в солевой форме являются предпочтительными в форме их водорастворимых солей, особенно в виде солей щелочных металлов, таких как калиевая и, прежде всего, натриевая соли, или в виде солей аммония. Мономеры (А) могут быть представлены полностью или частично в форме ангидридов. Само собой разумеется, можно использовать смеси мономеров (А).Monomers (A) in salt form are preferred in the form of their water-soluble salts, especially in the form of alkali metal salts such as potassium and, especially, sodium salts, or in the form of ammonium salts. Monomers (A) may be present in whole or in part in the form of anhydrides. It goes without saying that you can use a mixture of monomers (A).

Мономеры (А) выбираются предпочтительно из мономеров акриловой, метакриловой, кротоновой, винилуксусной кислот, малеиновой кислоты и ее ангидрида, фумаровой кислоты, цитраконовой кислоты и ее ангидрида, итаконовой кислоты и смесей данных соединений. Особо предпочтительными являются мономеры (А) акриловой кислоты, метакриловой кислоты, малеиновой кислоты, ангидрида малеиновой кислоты и смеси данных соединений. В предпочтительном варианте выполнения изобретения указанные сополимеры содержат как минимум один мономер (А) в количестве от 5 до 95% масс., особо предпочтительно в количестве от 20 до 80% масс., особенно в количестве от 30 до 70% масс. относительно общей массы всего полимеризируемого мономера.Monomers (A) are preferably selected from monomers of acrylic, methacrylic, crotonic, vinylacetic acids, maleic acid and its anhydride, fumaric acid, citraconic acid and its anhydride, itaconic acid and mixtures of these compounds. Particularly preferred are the monomers of (A) acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, maleic anhydride and a mixture of these compounds. In a preferred embodiment of the invention, said copolymers contain at least one monomer (A) in an amount of from 5 to 95% by weight, particularly preferably in an amount of from 20 to 80% by weight, especially in an amount of from 30 to 70% by weight. relative to the total weight of the total polymerizable monomer.

Ингибиторы коррозииCorrosion inhibitors

Ингибиторами коррозии служат вещества, описанные, например, в заявке WO 2008/071582 А1, а именно карбоновые кислоты с нормальными и разветвленными цепями. Особо предпочтительными для использования являются смеси разных карбоновых кислот. К самым предпочтительным относятся каприловая, этилгексановая, изононановая и изодекановая кислоты. Так как антикоррозионные эмульсии зачастую представляют из себя соединения в диапазоне от нейтральных до слабощелочных, имеет смысл использовать карбоновые кислоты как минимум в частично нейтрализованной форме или в форме солей. В частности, пригодными для нейтрализации являются натриевая и/или калиевая щелочи, а также алканоламины, среди которых особо предпочтительными являются моно- и/или триалканоламины. Диалканоламины являются менее предпочтительными вследствие возможности образования нитросаминов. Однако диалканоламины в чистом виде или их смесь с моно- и/или триалканоламинами можно использовать для нейтрализации.Corrosion inhibitors are substances described, for example, in the application WO 2008/071582 A1, namely carboxylic acids with straight and branched chains. Particularly preferred for use are mixtures of different carboxylic acids. Most preferred are caprylic, ethylhexanoic, isononanoic and isodecanoic acids. Since anti-corrosion emulsions are often compounds ranging from neutral to slightly alkaline, it makes sense to use carboxylic acids in at least partially neutralized form or in the form of salts. Particularly suitable for neutralization are sodium and / or potassium alkali, as well as alkanolamines, among which mono- and / or trialkanolamines are particularly preferred. Dialkanolamines are less preferred due to the possibility of the formation of nitrosamines. However, pure dialkanolamines or a mixture thereof with mono- and / or trialkanolamines can be used to neutralize.

Подходящими ингибиторами коррозии являются следующие соединения:Suitable corrosion inhibitors are the following compounds:

Алифатические амиды карбоновых кислот с 14-36 атомами углерода, например амиды миристиновой, пальметиновой и олеиновой кислот; алкенилсукцинамиды с 6-36 атомами углерода, например октенил-сукцинамид, додеценил - сукцинамид; меракаптобензотиазол.Aliphatic amides of carboxylic acids with 14-36 carbon atoms, for example amides of myristic, palmetic and oleic acids; alkenyl succinamides with 6-36 carbon atoms, for example octenyl succinamide, dodecenyl succinamide; meracaptobenzothiazole.

К особо предпочтительным ингибиторам коррозии относятся аддукты алкиленоксида с алифатическими аминами, в том числе триэтаноламин и аддукты этилендиамина с 2-8 мол.% пропиленоксида.Particularly preferred corrosion inhibitors include adducts of alkylene oxide with aliphatic amines, including triethanolamine and adducts of ethylene diamine with 2-8 mol.% Propylene oxide.

КомплексообразователиComplexing agents

Комплексообразователями называют соединения, связывающие катионы. Типичными представителями комплексообразователей являются: EDTA (N,N,N',N'' - этилендиаминтетрауксусная кислота), NTA (N,N,N-нитрилотриуксусная кислота), MGDA (2-метил-глицин-N,N-уксусная кислота), GLDA (диацетат глютаминовой кислоты), ASDA (диацетат аспарагиновой кислоты), IDS (имино дисукцинат), HEIDA (гидроксиэтиламиндиацетат), EDDS (этилендиаминдисукцинат), лимонная кислота, оксо-диянтарная кислота и бутантетракарбоновая кислота или полностью или частично нейтрализованные их щелочные или аммониевые соли.Complexing agents are compounds that bind cations. Typical representatives of the complexing agents are: EDTA (N, N, N ', N' '- ethylenediaminetetraacetic acid), NTA (N, N, N-nitrilotriacetic acid), MGDA (2-methyl-glycine-N, N-acetic acid), GLDA (glutamic acid diacetate), ASDA (aspartic acid diacetate), IDS (imino disuccinate), HEIDA (hydroxyethylamine diacetate), EDDS (ethylenediamine disuccinate), citric acid, oxo-di-succinic acid and fully or partially alkaline butane tetracarboxylic acid .

Другие добавкиOther additives

Другими пригодными к использованию добавками являются, например, адгезионные средства. К ним относятся, к примеру, известные из международной заявки WO 2006/108856 А2 амфифильные водорастворимые алкоксилированные полиалкиленимины общей формулы AIOther suitable additives are, for example, adhesives. These include, for example, amphiphilic, water-soluble, alkoxylated, alkoxylated, polyalkyleneimines of the general formula AI

в которой переменные имеют следующее значение:in which the variables have the following meanings:

R - одинаковые или разные, линейные или разветвленные алкиленовые остатки с 2-6 атомами углеродаR - identical or different, linear or branched alkylene residues with 2-6 carbon atoms

В - разветвление;B - branching;

Е - единица алкиленоксида формулыE is a unit of alkylene oxide of the formula

,

,

в которой R1 означает 1,2-пропилен, 1,2-бутилен и/или 1,2-изобутилен;in which R1 is 1,2-propylene, 1,2-butylene and / or 1,2-isobutylene;

R2 означает этилен;R2 is ethylene;

R3 означает 1,2-пропилен;R3 is 1,2-propylene;

R4 означает одинаковые или разные остатки: водород, алкил с 1-4 атомами углерода;R4 means the same or different residues: hydrogen, alkyl with 1-4 carbon atoms;

х, у, z означают, соответственно, числа от 2 до 150, причем сумма х+у+z означает количество алкилениминовых единиц, которое соответствует средней молекулярной массе Mw полиалкиленимина перед алкоксилированием в интервале от 300 до 10000;x, y, z mean, respectively, numbers from 2 to 150, and the sum of x + y + z means the number of alkyleneimine units, which corresponds to the average molecular weight Mw of polyalkyleneimine before alkoxylation in the range from 300 to 10000;

m является эффективным числом от 0 до 2;m is an effective number from 0 to 2;

n является эффективным числом от 6 до 18;n is an effective number from 6 to 18;

р является эффективны числом от 3 до12, причем 0,8≤n/p≤1,0 (х+у+z) 1/2.p is an effective number from 3 to 12, with 0.8 n n / p 1 1.0 (x + y + z) 1/2.

Еще одним объектом настоящего изобретения является суспензия из жидкости-носителя, особенно смазочно-охлаждающая жидкость, абразивов, особенно шлифовальные и/или режущие абразивные зерна, и при необходимости, добавок.Another object of the present invention is a suspension of a carrier fluid, especially cutting fluid, abrasives, especially grinding and / or cutting abrasive grains, and, if necessary, additives.

Можно использовать обычный абразивный материал, особенно шлифовальные и/или режущие зерна, к примеру зерна из металла или полуметаллических материалов, карбида, нитрида, оксида, борида или алмазные зерна. Особо предпочтительными для резки являются карбидные и боридные зерна, в частности кремниево-карбидные зерна (SiC).You can use ordinary abrasive material, especially grinding and / or cutting grains, for example grains of metal or semimetallic materials, carbide, nitride, oxide, boride or diamond grains. Particularly preferred for cutting are carbide and boride grains, in particular silicon carbide grains (SiC).

В зависимости от вида обрабатываемого материала и типа пластин подбирают подходящую геометрию абразивного зерна. Размер зерна составляет предпочтительно 0,5-50 мкм. Абразивные зерна могут иметь гетеродисперсную или гомодисперсную форму. Концентрация абразивных зерен в композиции смазочно-охлаждающей жидкости должна составлять предпочтительно, 25-60% масс., особенно 40-50% масс.Depending on the type of material being processed and the type of plates, a suitable geometry of abrasive grain is selected. The grain size is preferably 0.5-50 microns. Abrasive grains may have a heterodispersed or homodispersed form. The concentration of abrasive grains in the composition of the cutting fluid should preferably be 25-60% by weight, especially 40-50% by weight.

В особо предпочтительном варианте выполнения применяют жидкость-носитель, особенно смазочно-охлаждающую жидкость, краевой угол смачивания на подложке из стали V2A составляет 5°-40°, в частности 10°-30°. При этом краевой угол определяется при температуре 25°С на стальной пластине (сталь V2A), поверхность которой предварительно промывают водой и ацетоном.In a particularly preferred embodiment, a carrier fluid is used, especially a cutting fluid, the contact angle on a V2A steel substrate is 5 ° -40 °, in particular 10 ° -30 °. In this case, the contact angle is determined at a temperature of 25 ° C on a steel plate (V2A steel), the surface of which is pre-washed with water and acetone.

В случае использования другого предпочтительного варианта изготовления жидкости-носителя согласно изобретению, в частности смазочно-охлаждающей жидкости воздействовали таким образом, что в результате двукратно проведенных экспериментов вес цилиндра из нержавеющей стали диаметром 12 мм марки М1М6/ 05R, Torrington, находящегося в среде подвижной жидкости-носителе, воздействующей на него с силой 300 Н при пути пробега 110 м, в результате истирания в течение одной минуты уменьшался на величину, находящуюся в интервале 20-60 мг. Взвешивание производилось с помощью весов марки MDD2 фирмы Hermann Reichert Maschinenbau, Heidenhof Backnang.In the case of using another preferred embodiment of the manufacture of the carrier fluid according to the invention, in particular, the cutting fluid was operated in such a way that, as a result of two experiments, the weight of a stainless steel cylinder with a diameter of 12 mm, M1M6 / 05R, Torrington, located in a medium of mobile fluid the carrier acting on it with a force of 300 N at a path of 110 m, as a result of abrasion for one minute, decreased by an amount in the range of 20-60 mg. Weighing was carried out using an MDD2 balance from Hermann Reichert Maschinenbau, Heidenhof Backnang.

При использовании другого предпочтительного варианта жидкости-носителя согласно изобретению, в частности смазочно-охлаждающей жидкости, указанная жидкость после 10 часов хранения в инкубаторе с СО₂ типа Heraues BBD 6220 при t 38° и относительной влажности 78% поглощает не более 30%, предпочтительно 15% воды. В каждом эксперименте используется по 1 г жидкости-носителя, в частности, смазочно-охлаждающей жидкости. Жидкость помещается в чашку Петри с внутренним диметром 60 мм. По результатам двух экспериментов вычисляется средняя величина. При использовании особо предпочтительного варианта жидкости-носителя согласно изобретению влагопоглощение не возрастает при дальнейшем воздействии.When using another preferred embodiment of a carrier fluid according to the invention, in particular a cutting fluid, said liquid after 10 hours of storage in an incubator with CO ₂ type Heraues BBD 6220 at t 38 ° and a relative humidity of 78% absorbs no more than 30%, preferably 15 % water. In each experiment, 1 g of carrier fluid, in particular, cutting fluid, is used. The liquid is placed in a Petri dish with an internal diameter of 60 mm. According to the results of two experiments, the average value is calculated. When using a particularly preferred embodiment of a carrier fluid according to the invention, the moisture absorption does not increase upon further exposure.

Суспензия, в состав которой входит жидкость-носитель согласно изобретению, в частности смазочно-охлаждающая жидкость, и материал, далее называемый абразивом с 40% масс., в частности, шлифовальные и/или режущие зерна, имеет вязкость предпочтительно 140-200 мПа·с, в частности 150-190 мПа·с. Замеры вязкости производились с помощью ультразвукового вискозиметра Brookfield LVDV - III (Spindle V-73) при 30°C, причем вместо кремниево-карбидных зерен использовались материалы типа Carbotex BMW 800 PV фирмы Washington MillsThe suspension, which includes a carrier fluid according to the invention, in particular a cutting fluid, and a material, hereinafter referred to as an abrasive with 40% by weight, in particular grinding and / or cutting grains, has a viscosity of preferably 140-200 mPa · s , in particular 150-190 MPa · s. Viscosities were measured using a Brookfield LVDV-III ultrasonic viscometer (Spindle V-73) at 30 ° C, and materials like Carbotex BMW 800 PV from Washington Mills were used instead of silicon carbide grains

Согласно изобретению заявлен способ резки «Вафель» - пластин, особенно пластин из неорганических полупроводниковых материалов, таких как слитки или блоки кремния, с помощью проволочной пилы с применением суспензии на основе заявленной в изобретении смазочно-охлаждающей жидкости и абразивных зерен.According to the invention, a method for cutting “Wafers” - wafers, especially wafers made of inorganic semiconductor materials, such as ingots or silicon blocks, using a wire saw using a suspension based on the inventive cutting fluid and abrasive grains, is claimed.

Кроме того, изобретение относится к способу шлифования или полировки заготовок, таких как слитки или блоки кремния, путем, например, химико-механической полировки (СМР), а также или к шлифованию полимерных материалов, в частности стекол для линз, с применением абразивов, диспергированных в жидкости-носителе согласно изобретению.In addition, the invention relates to a method for grinding or polishing workpieces, such as ingots or silicon blocks, by, for example, chemical-mechanical polishing (CMP), as well as to grinding of polymeric materials, in particular lens glasses, using dispersed abrasives in a carrier fluid according to the invention.

ПреимуществаBenefits

Жидкость-носитель согласно изобретению, в частности, смазочно-охлаждающая жидкость для резки заготовок на пластины, а также способ резки на пластины согласно изобретению пригодны, в частности, для распиливания брусков, блоков или цилиндров (слитков) кремния с моно- или поликристаллической структурой, арсенида галлия, теллурида кадмия и других полупроводниковых и керамических материалов.The carrier fluid according to the invention, in particular cutting fluid for cutting workpieces into wafers, as well as the method of cutting into wafers according to the invention are suitable, in particular, for sawing bars, blocks or cylinders (ingots) of silicon with a single or polycrystalline structure, gallium arsenide, cadmium telluride and other semiconductor and ceramic materials.

Жидкость-носитель согласно изобретению, особенно смазочно-охлаждающая жидкость, отличается тем, что не пенится или образует незначительное количество пены, не требует добавления добавок, нетоксична и является нейтральной жидкостью с рН, равным 0. Кроме того, в состав указанной жидкости не входят какие-либо летучие органические составляющие.The carrier fluid according to the invention, especially the cutting fluid, is characterized in that it does not foam or forms an insignificant amount of foam, does not require the addition of additives, is non-toxic and is a neutral liquid with a pH of 0. In addition, this liquid does not include Any volatile organic compounds.

Кроме того, жидкость-носитель согласно изобретению, особенно смазочно-охлаждающая жидкость, легко поддается регенерации способом химико-технического мокрого обогащения, как это, к примеру, описано в WO 02/40407 А1 и ЕР 1390184 А1.In addition, the carrier fluid according to the invention, especially the cutting fluid, can be easily regenerated by the chemical-technical wet enrichment method, as, for example, described in WO 02/40407 A1 and EP 1390184 A1.

ПримерыExamples

Общие стадии получения полиэфировGeneral stages for producing polyesters

В не содержащий воду сухой реактор 11 под давлением помещают 1-2 моль стартового спирта и добавляют соотв. 0,2% масс. гидроксида калия (КОН) (в расчете на конечный продукт) и продувают азотом. Затем в закрытом реакторе в течение более 30 мин постепенно поднимают температуру до 130°С и подают азот до достижения давления 1 бар. В завершение в автоклав загружают молярные количества пропиленоксида (далее РО) и этиленоксида (далее ЕО) согласно количествам, указанным в Таблице 1. Загрузка реагентов осуществляется произвольно (рандом) или путем дозированной подачи при помешивании. При дозированной подаче реагентов после загрузки РО и стабилизации давления перед загрузкой реагента ЕО в течение примерно 1/2 часа производится помешивание при температуре 130°С и давление доводится до 1 бар. Реакция протекает при постоянной температуре 130°С. После стабилизации давления помешивание продолжается еще как минимум 1/2 часа при давлении 1 бар. После окончания реакции температуру понижают до 80°С, давление стравливают, автоклав продувают азотом, в который для нейтрализации КОН (едкий калий) добавляется определенное количество ледяной кислоты, и в течение 1/2 часа производится помешивание.In a water-free dry reactor 11, 1-2 mol of starting alcohol is placed under pressure and added respectively. 0.2% of the mass. potassium hydroxide (KOH) (calculated on the final product) and purged with nitrogen. Then in a closed reactor for more than 30 minutes the temperature is gradually raised to 130 ° C and nitrogen is supplied until a pressure of 1 bar is reached. Finally, molar quantities of propylene oxide (hereinafter PO) and ethylene oxide (hereinafter referred to as EO) are charged into the autoclave according to the amounts indicated in Table 1. The reagents are loaded randomly (randomly) or by dosing with stirring. When dosed supply of reagents after loading RO and stabilizing the pressure before loading the reagent EO for about 1/2 hour, stirring is performed at a temperature of 130 ° C and the pressure is brought to 1 bar. The reaction proceeds at a constant temperature of 130 ° C. After pressure stabilization, stirring continues for at least 1/2 hour at a pressure of 1 bar. After the reaction, the temperature is lowered to 80 ° C, the pressure is vented, the autoclave is purged with nitrogen, to which a certain amount of glacial acid is added to neutralize KOH (potassium hydroxide), and stirring is performed for 1/2 hour.

Число ОН определяют по DIN 51562, остаточный спирт определяют методом хроматографии, а индекс цвета АРНА определяют no EN 1557 (при 23°С).The OH number is determined according to DIN 51562, the residual alcohol is determined by chromatography, and the color index APHA is determined by no EN 1557 (at 23 ° C).

Таблица 1:Table 1: Примеры и аналитические характеристикиExamples and analytical characteristics ПродуктProduct Химический состав (РО пропиленоксид, ЕО -этиленоксид)Chemical composition (PO propylene oxide, EO-ethylene oxide) ОН-числоOH number Остаточный спирт %Residual Alcohol% ЦветностьColor Pluriol ® Е200Pluriol ® E200 Полиэтиленгликоль 200Polyethylene glycol 200 560560 диэтиленгликоль 3diethylene glycol 3 макс. 30Max. thirty С1C1 (3-метил-бутан-1-ол)) + 1,6 РО + 8,3 ЕО Блочный технологический режим(3-methyl-butan-1-ol)) + 1.6 PO + 8.3 EO Block technological mode 98,398.3 0,20.2 7070 С2C2 (3-метилбутан-1-ол) + 5,5 РО + 5,5 ЕО Технологический режим Рандом(3-methylbutan-1-ol) + 5.5 PO + 5.5 EO Technological mode Random 87,087.0 <0,1<0.1 2525 С3C3 (3-метилбутан-1-ол) + 6,0 РО +(3-methylbutan-1-ol) + 6.0 PO + 85,785.7 <0,1<0.1 20twenty   5,0 ЕО Рандом5.0 SW Random       С4C4 н-бутан-1-ол + 5,5 ЕО + 5,5 РО Рандомn-butan-1-ol + 5.5 EO + 5.5 PO Random 90,490,4 <0,1<0.1 30thirty С5C5 Метилдигликоль + 8.8 ЕО/ (3-мети-лбутан-1-ол) +1,5 РО + 7,0 ЕО в массовом соотношении 6/4 блочный технологический режимMethyldiglycol + 8.8 EO / (3-meth-lbutan-1-ol) +1.5 PO + 7.0 EO in a mass ratio of 6/4 block technological mode 106,6/112,4106.6 / 112.4 0,2/0,10.2 / 0.1 60/5060/50 С6C6 Pluronic ® РЕ 6200/ н-пентанол + 1,5РО+6ЕО В массовом соотношении 18/82 блочный технологический режимPluronic ® PE 6200 / n-pentanol + 1,5PO + 6EO In a mass ratio of 18/82 block technological mode 112,4112.4 0,10.1 30thirty С7C7 Plurafac ® LF 401 / н-пентанол + 1,5РО+6ЕО
В массовом соотношении 3/7 Блочный технологический режимPlurafac ® LF 401 / n-pentanol + 1,5PO + 6EO
In a mass ratio of 3/7 block technological mode 126,2126.2 0,10.1 2525 С8C8 н-гексанол + 5,5 РО + 5,5 ЕО Рандомn-hexanol + 5.5 PO + 5.5 EO Random 84,084.0 <0,1<0.1 20twenty II.1II.1 (2-метилбутан-1-ол) + 5,5 РО + 5,5 ЕО Рандом(2-methylbutan-1-ol) + 5.5 PO + 5.5 EO Random 85,285,2 <0,1<0.1 20twenty II.2II.2 (2-метилбутан-1-ол). + 6,0 РО + 5,0 ЕО Рандом(2-methylbutan-1-ol). + 6.0 PO + 5.0 EO Random 86,186.1 <0,1<0.1 15fifteen

В Таблице в примерах С6 и С7 речь идет о примешиваемых смачивателях, то есть алкиленгликолях марок Pluronic ® РЕ 6200 и соотв. Plurafac ® LF 401 фирмы BASF SE, Людвигсхафен, имеющихся в свободной продаже. Приведенные аналитические характеристики относятся к используемым в данном изобретении реагентам пентанол +1,5 РО + 6ЕО, блочный технологический режим.In the Table in examples C6 and C7 we are talking about mixed wetting agents, that is, alkylene glycols of the Pluronic ® PE 6200 grades and resp. Plurafac ® LF 401 from BASF SE, Ludwigshafen, commercially available. The above analytical characteristics relate to the reagents pentanol +1.5 PO + 6EO used in this invention, block technological mode.

Свойства / определение идентификационных величинProperties / Identification Definition

В Таблице 2 представлены характеристики смазочно-охлаждающих жидкостей согласно изобретению. Речь идет о следующих свойствах:Table 2 presents the characteristics of cutting fluids according to the invention. These are the following properties:

- Водопоглощаемость- water absorption

Водопоглощаемость смазочно-охлаждающих жидкостей измерялась после их хранения в среде СO₂ в инкубаторе типа Heraeus BBD 6220 при температуре 38°С и относительной влажности воздуха 78% в течение 10 или 24 часов. Для хранения 1 г смазочно-охлаждающая жидкость помещалась в чашку Петри с внутренним диаметром 60 мм. По результатам двух проб было рассчитано среднее значение. Влагопоглощаемость выражается в увеличении % масс. относительно первоначальной массы.The water absorption of the cutting fluids was measured after they were stored in CO ₂ in an Heraeus BBD 6220 type incubator at a temperature of 38 ° C and a relative humidity of 78% for 10 or 24 hours. For storage of 1 g, the cutting fluid was placed in a Petri dish with an inner diameter of 60 mm. Based on the results of two samples, the average value was calculated. Moisture absorption is expressed in an increase in% of the mass. relative to the original mass.

- Вязкость суспензии- Viscosity of the suspension

Для определения вязкости суспензии была приготовлена смесь, 60% масс. которой приходилось на абразивную жидкость для резки и 40% - на карбид кремния марки Carborex BW F 800 PV фирмы Washington Mills. Вязкость данной смеси определялась при 30°С и соответственно 50°С с помощью вискозиметра фирмы Brookfield, модель LVDV-III Ultra (денсиметр W3). За единицу вязкости берется мПа·с.To determine the viscosity of the suspension was prepared a mixture of 60% of the mass. which accounted for abrasive cutting fluid and 40% for silicon carbide brand Carborex BW F 800 PV from Washington Mills. The viscosity of this mixture was determined at 30 ° C and, respectively, 50 ° C using a Brookfield viscometer, model LVDV-III Ultra (densimeter W3). The unit of viscosity is taken MPa · s.

- Краевой угол смачивания- Wetting angle

Краевой угол смачивания смазочно-охлаждающих жидкостей определялся при температуре 25°С через 1 сек после капельной подачи раствора на пластину из стали V2A, поверхность которой была промыта водой и ацетоном и в завершение просушена на воздухе в течение 1 часа. Определение краевого угла производилось с помощью высокоскоростного, оснащенного видеокамерой контактного прибора для замера углов фирмы Dataphysics Instrument GmbH, Raiffeisenstraβe 34, Filderstadt. Краевой угол измеряется в °.The wetting angle of the cutting fluids was determined at a temperature of 25 ° C 1 second after the drip feed of the solution onto a V2A steel plate, the surface of which was washed with water and acetone and finally dried in air for 1 hour. The determination of the contact angle was carried out using a high-speed, video camera-equipped contact device for measuring angles from Dataphysics Instrument GmbH, Raiffeisenstraβe 34, Filderstadt. The contact angle is measured in °.

- Прочность на истирание- abrasion resistance

Прочность на истирание определялась с помощью прибора для замера истирания металлов, оборудованного специальными весами MDD2 фирмы Hermann Reichert Maschinenbau, Heidenhof Backnang, при нагрузке 300 Н и длине пробега 100 м в течение 54,5 сек с применением цилиндра из нержавеющей стали диаметром 12 мм марки М1М6/ 05R, Torrington. Было проведено два эксперимента, по результатам которых было рассчитано среднее значение уменьшения веса цилиндра. Уменьшение веса измеряется в мг.Abrasion resistance was determined using a metal abrasion measuring instrument equipped with special MDD2 scales from Hermann Reichert Maschinenbau, Heidenhof Backnang, at a load of 300 N and a path length of 100 m for 54.5 sec using a stainless steel cylinder with a diameter of 12 mm, M1M6 grade / 05R, Torrington. Two experiments were conducted, according to the results of which the average value of the decrease in the weight of the cylinder was calculated. Weight reduction is measured in mg.

Таблица 2table 2 ПродуктProduct Водопоглощение 10 ч (24 ч) [%]Water absorption 10 h (24 h) [%] Вязкость [мПа·с] 30°С (50°С)Viscosity [MPa · s] 30 ° C (50 ° C) Краевой угол [°]Contact angle [°] Истирание [мг]Abrasion [mg] Pluriol ® E 200Pluriol ® E 200   203 (94)203 (94) 4141 7070 С1C1 17,2 (18,2)17.2 (18.2) 181 (85)181 (85) 30thirty 2525 С2C2 5,7 (5,9)5.7 (5.9) 160 (89)160 (89) 2323 3232 С3C3 5,3 (5,3)5.3 (5.3) 185 (161)185 (161) 2121 2222 С4C4 6,6 (6,6)6.6 (6.6) 155 (93)155 (93) 2323 2828 С5C5 16,3 (24,3)16.3 (24.3) 164 (77)164 (77) 2929th 3535 С6C6 5,5 (8,3)5.5 (8.3) 175 (84)175 (84) 2828 2929th С7C7 6,3 (8,2)6.3 (8.2) 167 (84)167 (84) 3636 3333 С8C8 5,3 (5,3)5.3 (5.3) 198 (176)198 (176) 3434 3838

Продукт Pluriol ® E 200 фирмы BASF SE, Ludwigshafen является полиэтиленгликолем со средней молярной массой 200. Он не имеет отношения к данному изобретению и лишь характеризует современный уровень техники. При испытании соединений II.1 и II.2 были получены результаты, аналогичные результатам, полученным при испытании соединений С2 и С3.The Pluriol® E 200 product of BASF SE, Ludwigshafen is a polyethylene glycol with an average molar mass of 200. It is not relevant to this invention and merely characterizes the state of the art. When testing compounds II.1 and II.2, results were obtained similar to those obtained when testing compounds C2 and C3.

Практические испытанияPractical tests

В процессе испытания производилось разрезание поликристаллических кремниевых блоков с помощью проволочной пилы DS 265 фирмы Meyer Burger AG, Allmendstrasse 86, CH 3600 Thun блоках с применением абразивных жидкостей для резки типа С1 и С3.During the test, polycrystalline silicon blocks were cut using a DS 265 wire saw from Meyer Burger AG, Allmendstrasse 86, CH 3600 Thun blocks using abrasive fluids for cutting types C1 and C3.

Условия проведения испытаний:Test conditions:

Размеры пластин: 5"×5", 150 мкмPlate sizes: 5 "× 5", 150 microns

Качество карбида кремния: F 88, ds50=6,5 мкмSilicon carbide quality: F 88, ds50 = 6.5 microns

Скорость подачи: 0,6 мм/секFeed rate: 0.6 mm / s

Скорость движения проволоки: 14 м/секWire speed: 14 m / s

Диаметр проволоки: 120 мкмWire Diameter: 120 μm

Натяжение проволоки: 20 НWire tension: 20 N

Температура суспензии: 22°СSuspension temperature: 22 ° С

Химический состав суспензии: 60% масс. смазочно-охлаждающей жидкости, кремний 40% масс.The chemical composition of the suspension: 60% of the mass. cutting fluid, silicon 40% of the mass.

По сравнению с традиционно используемым PEG 200 (Pluriol ® E 200) предлагаемые в изобретении смазочно-охлаждающие жидкости имеют улучшенные характеристики по сравнению с традиционно используемымиCompared to the traditionally used PEG 200 (Pluriol ® E 200), the lubricating coolants according to the invention have improved characteristics compared to conventionally used

PEG 200 (Pluriol ® E 200), а именноPEG 200 (Pluriol ® E 200), namely

  Pluriol ® E 200Pluriol ® E 200 С1C1 С3C3 Водопоглощение [масс.%]Water absorption [wt.%] 33 <0,5<0.5 <0,5<0.5 Усилие, действующее на проволоку в направлении подачи [Н]The force exerted on the wire in the feed direction [N] 0,620.62 0,570.57 0,580.58 Усилие, действующее на проволоку вдоль
движения проволоки [Н]The force exerted on the wire along
wire motion [N] 1,621,62 1,511.51 1,551.55 Мощность, потребляемая проволокой [Вт] (без доли машины)Power consumed by the wire [W] (without a share of the machine) 29,529.5 24,024.0 26,526.5 TTV, издание, пункт 5 [%] (общее изменение толщины пластины)TTV, edition, paragraph 5 [%] (total change in plate thickness) 12,512.5 11,811.8 10,510.5 Критическое предельное разрушающее напряжение [Н/кв.мм]Critical ultimate breaking stress [N / mm2] 158158 163163 178178

Такие же улучшения были отмечены при использовании остальных продуктов согласно изобретению приведенных в Таблице 1.The same improvements were noted when using the remaining products according to the invention are shown in Table 1.

Claims (14)

1. Применение соединений формулы I

в которой
R¹ означает z-значный алкильный остаток с 1-6 атомами углерода,
(ЕО) означает остаток этиленоксида,
(АО) означает остаток алкиленоксида с 3-10 атомами углерода,
х означает число от 3 до 12, особенно от 5 до 10,
у означает число от 0 до 10, особенно от 4 до 8,
z означает число от 1 до 6, особенно от 1 до 3,
для получения смазочно-охлаждающих жидкостей с уменьшенным водопоглощением для удаления обрабатываемого материала с содержанием воды менее чем 1 масс. %.1. The use of compounds of formula I

wherein
R ¹ means a z-digit alkyl residue with 1-6 carbon atoms,
(EO) means ethylene oxide residue,
(AO) means an alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms,
x means a number from 3 to 12, especially from 5 to 10,
y means a number from 0 to 10, especially from 4 to 8,
z means a number from 1 to 6, especially from 1 to 3,
to obtain cutting fluids with reduced water absorption to remove the processed material with a water content of less than 1 mass. % 2. Применение по п.1, отличающееся тем, что в формуле I
R¹ означает z-значный алкильный остаток с 5 или 6 атомами углерода, особенно пентил.2. The use according to claim 1, characterized in that in the formula I
R ¹ means a z-digit alkyl residue with 5 or 6 carbon atoms, especially pentyl. 3. Применение по п.1 или 2, отличающееся тем, что обрабатываемый материал представляет собой пластину, изготовленную из полупроводникового материала, особенно из кремния.3. The use according to claim 1 or 2, characterized in that the material to be processed is a plate made of a semiconductor material, especially silicon. 4. Применение по п.1 или 2, отличающееся тем, что смазочно-охлаждающая жидкость используется вместе с абразивными зернами в виде суспензии, причем в качестве абразивных зерен используются зерна из металла, карбида, нитрида, оксидов металлов, борида или алмазные зерна.4. The use according to claim 1 or 2, characterized in that the cutting fluid is used together with the abrasive grains in the form of a suspension, moreover, grains of metal, carbide, nitride, metal oxides, boride or diamond grains are used as abrasive grains. 5. Применение по п.1 или 2, отличающееся тем, что смазочно-охлаждающая жидкость во время или после удаления обрабатываемого материала перерабатывается с целью отделения полученного истертого материала.5. The use according to claim 1 or 2, characterized in that the cutting fluid during or after removal of the processed material is processed in order to separate the resulting worn material. 6. Смазочно-охлаждающая жидкость, содержащая по меньшей мере одно соединение формулы I

в которой
R¹ означает z-значный алкильный остаток с 5 или 6 атомами углерода,
(ЕО) означает остаток этиленоксида,
(АО) означает остаток алкиленоксида с 3-10 атомами углерода,
х означает число от 3 до 12, особенно от 5 до 10,
у означает число от 0,5 до 10, особенно от 4 до 8,
z означает число от 1 до 6, особенно от 1 до 3,
с содержанием воды менее чем 1 масс. %.6. Cutting fluid containing at least one compound of formula I

wherein
R ¹ means a z-digit alkyl residue with 5 or 6 carbon atoms,
(EO) means ethylene oxide residue,
(AO) means an alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms,
x means a number from 3 to 12, especially from 5 to 10,
y means a number from 0.5 to 10, especially from 4 to 8,
z means a number from 1 to 6, especially from 1 to 3,
with a water content of less than 1 mass. % 7. Смазочно-охлаждающая жидкость по п.6, отличающаяся тем, что R¹ означает пентил.7. Cutting fluid according to claim 6, characterized in that R ¹ means pentyl. 8. Смазочно-охлаждающая жидкость по п.6, отличающаяся тем, что краевой угол смазочно-охлаждающей жидкости, особенно смазочно-охлаждающей жидкости на стали V2A при 25°С, составляет от 25-50°.8. The cutting fluid according to claim 6, characterized in that the contact angle of the cutting fluid, especially the cutting fluid on V2A steel at 25 ° C, is from 25-50 °. 9. Применение смазочно-охлаждающей жидкости по п.6 или 7 для удаления обрабатываемого материала при помощи пилы с использованием абразивных зерен.9. The use of cutting fluid according to claim 6 or 7 for removing the processed material using a saw using abrasive grains. 10. Применение смазочно-охлаждающей жидкости по п.6 или 7 для полировки обрабатываемого материалов.10. The use of cutting fluid according to claim 6 or 7 for polishing the processed materials. 11. Способ резки пластин при помощи пилы с использованием суспензии, состоящей из смазочно-охлаждающей жидкости и абразивных зерен, отличающийся тем, что смазочно-охлаждающая жидкость является смазочно-охлаждающей жидкостью по п.6 или 7.11. The method of cutting plates using a saw using a suspension consisting of cutting fluid and abrasive grains, characterized in that the cutting fluid is a cutting fluid according to claim 6 or 7. 12. Способ полировки обрабатываемых материалов, особенно из кремния или пластмассы, с применением суспензии, состоящей из смазочно-охлаждающей жидкости и абразивных веществ, отличающийся тем, что в качестве смазочно-охлаждающей жидкости применяют смазочно-охлаждающую жидкость по п.6 или 7.12. The method of polishing the processed materials, especially silicon or plastic, using a suspension consisting of cutting fluid and abrasive substances, characterized in that the cutting fluid used in accordance with claim 6 or 7 is used as a cutting fluid. 13. Пластина, полученная согласно п.11 или 12.13. The plate obtained according to paragraph 11 or 12. 14. Соединения формулы II

в которой
R¹ означает 2-метилбутил или 3-метилбутил, и
(ЕО) означает остаток этиленоксида,
(АО) означает остаток алкиленоксида с 3-10 атомами углерода,
х означает число от 3 до 12,
у означает число от 4 до 8. 14. Compounds of formula II

wherein
R ¹ means 2-methylbutyl or 3-methylbutyl, and
(EO) means ethylene oxide residue,
(AO) means an alkylene oxide residue with 3-10 carbon atoms,
x means a number from 3 to 12,
y means a number from 4 to 8.