RU2532627C2 - Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) - Google Patents
Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2532627C2 RU2532627C2 RU2012134670/02A RU2012134670A RU2532627C2 RU 2532627 C2 RU2532627 C2 RU 2532627C2 RU 2012134670/02 A RU2012134670/02 A RU 2012134670/02A RU 2012134670 A RU2012134670 A RU 2012134670A RU 2532627 C2 RU2532627 C2 RU 2532627C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vdk
- temperature
- furnace
- vec
- seams
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к электротехнике, а именно к технологии изготовления вакуумных дугогасительных камер (ВДК) для вакуумных выключателей на номинальное напряжение 110 кВ и выше.The invention relates to electrical engineering, in particular to a technology for the manufacture of vacuum arcing chambers (VDK) for vacuum circuit breakers with a rated voltage of 110 kV and above.
Особенностью этих ВДК является то, что они имеют большие размеры. Так, внутренний диаметр корпуса ВДК на 110 кВ достигает 200 мм, а его высота 800 мм. Внутренний объем такой ВДК составляет около 25 л. В то время как ВДК в классе напряжения 10 кВ имеет внутренний объем 0,5-2 л.A feature of these VDKs is that they are large. So, the internal diameter of the VDK housing at 110 kV reaches 200 mm, and its height is 800 mm. The internal volume of such a VDK is about 25 liters. While VDK in the voltage class of 10 kV has an internal volume of 0.5-2 liters.
В настоящее время изготовление ВДК на напряжение 110 кВ осуществляется с применением способа штенгельной откачки, который заключается в том, что вакуумирование внутреннего объема полностью собранной ВДК производится через медную откачную трубку (штенгель), которая соединена с вакуумным насосом. Для ускорения откачки и лучшего обезгаживания камера подвергается нагреву. После проведения обезгаживания и достижения предельного уровня вакуумирования осуществляется пережатие трубки (холодный отпай) и отделение ВДК от насоса. Эта технология использовалась для изготовления ВДК класса 10-35 кВ еще 30-40 лет назад. В настоящее время ВДК этого класса изготавливаются по бесштенгельному способу. Бесштенгельный способ заключается в проведении операций откачки внутреннего объема собранной из деталей или узлов ВДК и герметизации швов ее корпуса в вакуумной печи. Причем откачка и обезгаживание ВДК осуществляется через зазор или зазоры в швах незагерметизированного корпуса, а его герметизация происходит в результате плавления припоя предварительно, заложенного в этих швах, после того как температура в печи поднимается выше точки плавления припоя, а затем отвердение после снятия нагрева.Currently, the production of VDK for a voltage of 110 kV is carried out using the ram pumping method, which consists in the fact that the internal volume of the fully assembled VDC is evacuated through a copper pump tube (ram), which is connected to a vacuum pump. To speed up pumping and better degassing, the chamber is heated. After carrying out degassing and reaching the maximum level of evacuation, the tube is clamped (cold tap) and the VDK is separated from the pump. This technology was used for the manufacture of VDK class 10-35 kV 30-40 years ago. At present, VDKs of this class are manufactured by the rodless method. The rodless method consists in carrying out the pumping operations of the internal volume of the components assembled from the components or components of the VDK and sealing the seams of its body in a vacuum furnace. Moreover, the VDK is pumped and degassed through a gap or gaps in the seams of an unsealed case, and its sealing occurs as a result of melting the solder previously laid in these seams, after the temperature in the furnace rises above the melting point of the solder, and then hardening after removing the heat.
Преимущество бесштенгельного способа состоит в том, что возможна групповая (до 100 шт. ВДК и более) одновременная откачка и герметизация за одну загрузку в вакуумную печь, если она имеет достаточно большой объем. Известно большое число технических решений по бесштенгельному способу изготовления ВДК, например Патент СССР №938756 от 15.07.1977 г., Patent EP 0409047 от 23.01.1991 г., Patent US 5222651 от 29.06.1993 г., Patent US 8039771 от 18.10.2011 и другие.The advantage of the rodless method is that it is possible to group (up to 100 pcs. Of airborne and more) simultaneous pumping and sealing in one load in a vacuum furnace, if it has a sufficiently large volume. There are a large number of technical solutions for the tubeless method of manufacturing VDK, for example, USSR Patent No. 938756 dated 07/15/1977, Patent EP 0409047 from 01/23/1991, Patent US 5222651 from 06/29/1993, Patent US 8039771 from 10/18/2011 and others.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является способ откачки и герметизации ВДК, предложенный в патенте Patent EP 0682351 от 15.11.1995 г.Closest to the proposed technical solution is the method of pumping and sealing VDK, proposed in patent Patent EP 0682351 from 11/15/1995,
Этот способ заключается в том, что откачка и герметизация вакуумных дугогасительных камер осуществляется в вакуумной печи, причем вакуумные дугогасительные камеры собраны из предварительно спаянных первым припоем узлов и имеют один или несколько незапаянных между узлами швов, в которые заложен второй припой, имеющий более низкую, чем первый, температуру плавления, с последующими операциями: откачки объема печи, нагревом до температуры обезгаживания, выдержки при этой температуре в течение времени, необходимого для обезгаживания поверхностей ВДК, кратковременного нагрева и выдержки при температуре плавления второго припоя, заложенного в швы между узлами, снятия нагрева, герметизации швов после отвердения второго припоя и остывания печи. График нагрева и охлаждения печи показан на фиг.1. Температура обезгаживания обычно равна 650-750°C. Давление во время проведения обезгаживания и плавления припоя в печи не должно превышать 10-3 Па.This method consists in pumping out and sealing the vacuum interrupting chambers in a vacuum furnace, the vacuum interrupting chambers being assembled from units previously welded by the first solder and having one or more welds between the nodes that are not welded, into which the second solder is laid having a lower solder than first, the melting temperature, with the following operations: pumping the furnace volume, heating to the degassing temperature, holding at this temperature for the time necessary for degassing NOSTA WEC, momentary heating and holding at the melting temperature of the second solder inherent in the seams between the nodes, removing heat sealing the seams of the second solder after solidification and cooling of the furnace. The graph of heating and cooling the furnace is shown in figure 1. The degassing temperature is usually 650-750 ° C. The pressure during the degassing and melting of the solder in the furnace should not exceed 10 -3 Pa.
Недостаток этого способа для откачки и герметизации ВДК на напряжение 110 кВ, имеющих большой внутренний объем, состоит в следующем. Поскольку откачка происходит через щелевые отверстия незапаянных швов, то снижение давления внутри самих ВДК происходит медленно, так как проводимость этих отверстий при молекулярном режиме течения газа мала, а количество газа, находящегося во внутреннем объеме ВДК, велико. Если одновременно с этим происходит нагрев печи, то газовыделение приводит к еще большему замедлению процесса снижения давления внутри ВДК. При подъеме температуры свыше 100°C может начаться процесс окисления деталей внутри ВДК из меди и хрома в результате взаимодействия с остаточным газом, содержащим кислород. Контролировать давление непосредственно внутри ВДК, невозможно, поэтому невозможна и корректировка скорости нагрева печи.The disadvantage of this method for pumping and sealing VDK at a voltage of 110 kV, having a large internal volume, is as follows. Since pumping occurs through slotted openings of unsealed seams, the pressure decreases inside the VDKs themselves slowly, since the conductivity of these holes during the molecular regime of gas flow is small and the amount of gas in the internal volume of the VDKs is large. If at the same time the furnace heats up, gas evolution leads to an even greater slowdown in the process of reducing the pressure inside the VDK. When the temperature rises above 100 ° C, the process of oxidation of parts inside the VDK from copper and chromium may begin as a result of interaction with the residual gas containing oxygen. It is impossible to control the pressure directly inside the VDK, therefore, it is also impossible to adjust the heating rate of the furnace.
Способ, предлагаемый в данной заявке, позволяет исключить этот недостаток и использовать бесштенгельную откачку и герметизацию для изготовления вакуумных дугогасительных камер на высокое напряжение (100 кВ и выше). От известного способа, в котором откачка и герметизация в объеме вакуумной печи вакуумных дугогасительных камер, собранных из предварительно спаянных первым припоем узлов и имеющих один или несколько незапаянных швов между этими узлами с заложенным в них вторым припоем с более, чем у первого припоя, низкой температурой плавления, и содержащего операции: откачки объема печи, нагрева до температуры обезгаживания, выдержки при этой температуре, кратковременного нагрева и выдержки при температуре плавления второго припоя в швах между узлами, снятия нагрева, герметизации швов и остывания печи, данный отличается тем, что после окончания операции откачки объема печи проводится дополнительная операция выдержки при температуре не более 100°C, длительностью, достаточной для откачки газа из внутреннего объема камер через незапаянные швы при температуре.The method proposed in this application allows to eliminate this drawback and use rodless pumping and sealing for the manufacture of vacuum arcing chambers for high voltage (100 kV and above). From a known method in which pumping and sealing in the volume of a vacuum furnace vacuum arcing chambers, assembled from previously soldered by the first solder nodes and having one or more welded seams between these nodes with a second solder embedded in them with more than the first solder, low temperature melting, and containing operations: pumping the furnace volume, heating to the degassing temperature, holding at this temperature, short-term heating and holding at the melting temperature of the second solder in the joints between the nodes and, removing the heating, sealing the seams and cooling the furnace, this one is characterized in that after the operation of pumping the volume of the furnace, an additional soaking operation is carried out at a temperature of not more than 100 ° C, with a duration sufficient to pump gas from the internal volume of the chambers through unsealed seams at a temperature.
Необходимость введения дополнительной операции - выдержки для откачки газа из внутреннего объема ВДК при температуре не более 100°C - поясняется на следующем примере.The need for the introduction of an additional operation - extracts for pumping gas from the internal volume of the air-gas condensate at a temperature of not more than 100 ° C - is illustrated by the following example.
На фиг.2 изображена ВДК, которая собрана из трех узлов (количество может быть различным):Figure 2 shows the VDK, which is assembled from three nodes (the number may be different):
1 - узел корпуса камеры;1 - camera body assembly;
2 - узел подвижного контакта;2 - node mobile contact;
3 - узел неподвижного контакта.3 - node fixed contact.
Откачка камеры осуществляется через два шва между узлами, в которые заложен припой, имеющий более низкую температуру плавления, чем припой, который использовался при пайке узлов ВДК. Диаметр шва обозначен как D, высота щели шва - b, длина щели - l.The chamber is pumped out through two seams between the nodes in which the solder is laid, which has a lower melting point than the solder used to solder the VDK nodes. The diameter of the seam is indicated as D, the height of the gap of the seam is b, the length of the gap is l.
Проведем оценку, за какое время произойдет снижение давления в ВДК от атмосферного, которое было в ней при загрузке в печь, до уровня 10-2 Па. Уровень 10-2 Па выбран в связи с тем, что при этом давлении не происходит окисление меди и хрома из-за низкой концентрации кислорода и может производиться нагрев до температуры плавления припоя. Считаем, что давление остаточного газа в самой вакуумной печи составляет 5·10-3 Па.Let us evaluate how long the pressure in the air-cooled gas will decrease from atmospheric pressure, which was in it when loading into the furnace, to the level of 10 -2 Pa. The level of 10 -2 Pa was chosen due to the fact that copper and chromium are not oxidized at this pressure due to the low oxygen concentration and heating to the melting point of the solder can be performed. We believe that the pressure of the residual gas in the vacuum furnace itself is 5 · 10 -3 Pa.
Изменение давления внутри ВДК описывается уравнением:The change in pressure inside the VDK is described by the equation:
где Р - давление в ВДК;where P is the pressure in the VDK;
Pn - давление в печи;P n - pressure in the furnace;
V - внутренний объем ВДК;V is the internal volume of the airborne forces;
U - проводимость щелей между собранными узлами ВДК;U is the conductivity of the gaps between the assembled nodes of the VDK;
t - время.t is time.
Решение данного уравнения выглядит следующим образом:The solution to this equation is as follows:
где P0 - начальное давление внутри ВДК в момент времени t0.where P 0 is the initial pressure inside the VDK at time t 0 .
Известно, что проводимость отверстий и каналов в вакууме существенно зависит от режима течения газа. При молекулярном режиме течения газа проводимость в десятки и сотни раз меньше, чем при вязкостном и турбулентном режимах.It is known that the conductivity of holes and channels in a vacuum substantially depends on the gas flow regime. In the molecular regime of gas flow, the conductivity is tens and hundreds of times less than in the viscous and turbulent regimes.
Известно, что молекулярный режим течения возникает, когда длина свободного пробега молекул газа становится соизмеримой с размерами сечения канала. Молекулярный режим течения наступает при выполнении следующего соотношения (Конструирование и расчет вакуумных систем. - Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А., М.: Энергия, 1979 г.)It is known that the molecular flow regime occurs when the mean free path of gas molecules becomes comparable with the dimensions of the channel cross section. The molecular flow regime occurs when the following relation is fulfilled (Design and calculation of vacuum systems. - Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Penchko EA, M .: Energy, 1979)
Pср·b≤0,02 [Па·м],P cf · b≤0.02 [Pa · m],
где b - высота щели; Pср - среднее давление газа (воздух) в щели.where b is the height of the slit; P cf - average gas pressure (air) in the gap.
При b=10-4 м (0,1 мм), находим, чтоWith b = 10 -4 m (0.1 mm), we find that
То есть при данной величине среднего давления в щели Pср наступает молекулярный режим течения газа, который характеризуется резким снижением проводимости щели и, следовательно, скорости откачки газа из внутреннего объема камеры. Давление в самой камере P=2 Pср=4·102 Па. Будем считать эту величину начальным значением давления P0, т.е. P0=4·102 Па.That is, at a given average pressure in the gap P cf , a molecular gas flow regime occurs, which is characterized by a sharp decrease in the conductivity of the gap and, consequently, the rate of gas evacuation from the internal volume of the chamber. The pressure in the chamber itself is P = 2 P cf = 4 · 10 2 Pa. We assume that this value is the initial value of pressure P 0 , i.e. P 0 = 4 · 10 2 Pa.
Проводимость щелевого канала в молекулярном режиме определяется формулой (Конструирование и расчет вакуумных систем. - Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А., М.: Энергия, 1979 г.):The conductivity of the slot channel in the molecular mode is determined by the formula (Design and calculation of vacuum systems. - Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Penchko EA, M .: Energy, 1979):
где b - высота щели;where b is the height of the slit;
a - ширина щели;a is the width of the slit;
l - длина щели.l is the length of the gap.
Если принять, что b=0,1·10-3 м; a=πD=π·2·10-1 м = 0,628 м; l=10-2 м, то проводимость щели будет равна:If we assume that b = 0.1 · 10 -3 m; a = πD = π · 2 · 10 -1 m = 0.628 m; l = 10 -2 m, then the conductivity of the gap will be equal to:
Учитывая, что внутренний объем камеры V=25 л=2,5·10-2 м3, время снижения давления остаточного газа (воздуха) внутри ВДК, которое будет происходить в результате истечения через щель между собранными узлами, от начального значения P0=4·102 Па до конечного P=1·10-2 Па будет равноConsidering that the internal volume of the chamber is V = 25 l = 2.5 · 10 -2 m 3 , the time of decrease in the pressure of the residual gas (air) inside the VDK, which will occur as a result of the expiration through the gap between the assembled nodes, from the initial value P 0 = 4 · 10 2 Pa to the final P = 1 · 10 -2 Pa will be equal
Если же высота щели будет равна b=0,05·10-3 м, то время откачки возрастет до 57 мин.If the slot height is equal to b = 0.05 · 10 -3 m, then the pumping time will increase to 57 minutes.
Очевидно, чем больше высота щели между узлами, тем быстрее будет происходить откачка внутреннего объема ВДК. В то же время увеличение высоты щели приводит к снижению вероятности получения герметичного шва и неточному соединению. Оптимальная величина зазора между узлами для откачки внутреннего объема ВДК составляет 0,1-0,15 мм. При этом время, необходимое для откачки газа из объема ВДК, должно составлять от 15 до 45 минут. График нагрева печи с учетом дополнительной операции - выдержки для откачки газа из объема камеры через незапаянные швы при температуре не более 100°C представлен на фиг.3.Obviously, the greater the height of the gap between the nodes, the faster the pumping out of the internal volume of the VDK. At the same time, increasing the height of the slit reduces the likelihood of a sealed seam and inaccurate connection. The optimal size of the gap between the nodes for pumping the internal volume of the VDK is 0.1-0.15 mm. At the same time, the time required for pumping gas from the volume of the VDK should be from 15 to 45 minutes. The graph of the furnace heating, taking into account the additional operation - exposure for pumping gas from the chamber through unsealed seams at a temperature of not more than 100 ° C, is presented in Fig. 3.
При расчете времени откачки не учитывалось газовыделение с поверхностей деталей ВДК. После откачки основного количества газа из объема ВДК поток газовыделения с поверхности внутренних деталей становится основным фактором, определяющим величину давления. Скорость газовыделения зависит от температуры нагрева и времени обезгаживания. Поэтому в течение времени, когда происходит удаление газа из объема ВДК, температура нагрева должна быть ограничена. Как отмечалось выше, она не должна превышать 100°C. При более высокой температуре значительно возрастает скорость газовыделения и возможно окисление поверхностей деталей из меди и хрома. После завершения операции откачки газа из объема ВДК начинается операция подъема температуры печи до значения, при котором будет проводиться обезгаживание (650-750°C). При этом скорость подъема температуры должна быть такой, чтобы давление внутри ВДК не превышало 10-2 Па.When calculating the pumping time, the gas evolution from the surfaces of the VDK parts was not taken into account. After pumping out the bulk of the gas from the VDK volume, the gas evolution flow from the surface of the internal parts becomes the main factor determining the pressure value. The gas evolution rate depends on the heating temperature and the degassing time. Therefore, during the time when gas is removed from the VDK volume, the heating temperature should be limited. As noted above, it should not exceed 100 ° C. At a higher temperature, the rate of gas evolution increases significantly and oxidation of the surfaces of parts made of copper and chromium is possible. After the gas evacuation operation is completed, the operation of raising the furnace temperature to the value at which degassing will be carried out (650-750 ° C) begins. In this case, the rate of temperature rise should be such that the pressure inside the VDK does not exceed 10 -2 Pa.
Давление Р внутри ВДК будет определяться по известной формуле:The pressure P inside the VDK will be determined by the well-known formula:
P=Q/U,P = Q / U,
где Q - суммарный поток газовыделения с внутренних деталей ВДК;where Q is the total flow of gas from the internal parts of the VDK;
U - проводимость щелей между узлами ВДК.U is the conductivity of the gaps between the nodes of the VDK.
При резком подъеме температуры и росте газовыделения давление внутри ВДК будет зависеть от проводимости щелей. График подъема температуры подбирается, исходя из размеров ВДК, чистоты подготовки деталей перед сборкой, величиной загрузки печи и других факторов. Остальные операции: выдержка для обезгаживания, кратковременный нагрев до температуры плавления второго припоя, снятие нагрева, герметизация швов, остывание печи - выполняются традиционным образом.With a sharp rise in temperature and an increase in gas evolution, the pressure inside the VDK will depend on the conductivity of the gaps. The temperature rise schedule is selected based on the dimensions of the VDK, the purity of the preparation of parts before assembly, the load of the furnace, and other factors. Other operations: endurance for degassing, short-term heating to the melting temperature of the second solder, removing heat, sealing the joints, cooling the furnace - are performed in the traditional way.
Предлагаемый способ откачки и герметизации ВДК в вакуумной печи с использованием дополнительной операции - выдержки с длительностью, достаточной для откачки газа из объема камер через незапаянные швы при температуре не более 100°C, позволяет применять бесштенгельную технологию для изготовления ВДК большого размера (на напряжение 110 кВ). При этом качество изготовления будет выше, так как обезгаживание проводится при более высокой температуре (650-750°C), чем при штенгельной технологии (400-450°C). Повышается также и производительность, так как возможна групповая обработка камер и совмещение операций сборки, откачки и герметизации.The proposed method for pumping and sealing VDK in a vacuum furnace using an additional operation - exposure with a duration sufficient to pump gas from the chamber through unsealed seams at a temperature of not more than 100 ° C, allows the use of a rodless technology for the manufacture of a large VDK (for voltage 110 kV ) At the same time, the workmanship will be higher, since the degassing is carried out at a higher temperature (650-750 ° C) than with the shtengel technology (400-450 ° C). Productivity is also increased, since batch processing of cameras and the combination of assembly, pumping and sealing operations are possible.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012134670/02A RU2532627C2 (en) | 2012-08-14 | 2012-08-14 | Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012134670/02A RU2532627C2 (en) | 2012-08-14 | 2012-08-14 | Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012134670A RU2012134670A (en) | 2014-02-20 |
| RU2532627C2 true RU2532627C2 (en) | 2014-11-10 |
Family
ID=50113914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012134670/02A RU2532627C2 (en) | 2012-08-14 | 2012-08-14 | Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2532627C2 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU938756A3 (en) * | 1975-03-22 | 1982-06-23 | Кабусики Кайся Мейденся(Фирма) | Method for making vacuum switch |
| SU1742888A1 (en) * | 1990-01-26 | 1992-06-23 | Всесоюзный Электротехнический Институт Им.В.И.Ленина | Stemless evacuation device |
| EP0682351A1 (en) * | 1994-05-12 | 1995-11-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vacuum interrupter and method for manufacturing the same |
| RU2076372C1 (en) * | 1994-05-13 | 1997-03-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "КАНПАК" | Method for manufacturing of vacuum arc-quenching chamber |
| US8039771B2 (en) * | 2008-08-11 | 2011-10-18 | Eaton Corporation | Vacuum envelope including self-aligning end shield, vacuum interrupter, vacuum circuit interrupter and method including the same |
-
2012
- 2012-08-14 RU RU2012134670/02A patent/RU2532627C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU938756A3 (en) * | 1975-03-22 | 1982-06-23 | Кабусики Кайся Мейденся(Фирма) | Method for making vacuum switch |
| SU1742888A1 (en) * | 1990-01-26 | 1992-06-23 | Всесоюзный Электротехнический Институт Им.В.И.Ленина | Stemless evacuation device |
| EP0682351A1 (en) * | 1994-05-12 | 1995-11-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vacuum interrupter and method for manufacturing the same |
| RU2076372C1 (en) * | 1994-05-13 | 1997-03-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "КАНПАК" | Method for manufacturing of vacuum arc-quenching chamber |
| US8039771B2 (en) * | 2008-08-11 | 2011-10-18 | Eaton Corporation | Vacuum envelope including self-aligning end shield, vacuum interrupter, vacuum circuit interrupter and method including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012134670A (en) | 2014-02-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102959657B (en) | Vacuum condenser | |
| US9975197B2 (en) | Device and process for simultaneous shaping and welding of connector pipes for compressors | |
| EP3322038A1 (en) | Airtight terminal with fuse | |
| RU2532627C2 (en) | Manufacturing method of vacuum arc-extinguishing chambers (vec) | |
| JP2008108703A (en) | Planar heater and semiconductor heat treatment device equipped with this heater | |
| CN105023820A (en) | Vacuum treatment method of multi-injection cathode assembly | |
| KR102229692B1 (en) | Discharge lamp | |
| KR102190649B1 (en) | Discharge lamp | |
| CN102554444A (en) | Preparation method of combination type welded pipe and application of combination type welded pipe | |
| JP2008198552A (en) | Coin type electrochemical cell | |
| JP2010198947A (en) | Discharge lamp | |
| EP3586349B1 (en) | A switching chamber for a gas-insulated circuit breaker comprising an optimized thermal channel | |
| CN204332898U (en) | The conduit anode component of vacuum-sintering and soldering and anode array element | |
| JP6760036B2 (en) | Method for suppressing abnormal discharge of graphite electrodes in a plasma heating device | |
| KR20090015809A (en) | Discharge lamp | |
| JP2017136639A (en) | Electrode for electric resistance-welding | |
| CN106847500A (en) | A kind of resonant capacitor of copper coin water cooling | |
| CN105060916B (en) | The method for welding of isolation side's potsherd of water load | |
| JP2008182056A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
| JP2005515593A (en) | Discharge lamp | |
| RU2759276C1 (en) | Method for manufacturing sealed vacuum electrical input unit in device shell | |
| JP5032349B2 (en) | Method for manufacturing hermetic seal parts | |
| RU2296385C2 (en) | Vacuum arc-control chamber | |
| JP3198145U (en) | Airtight terminal | |
| SU1742888A1 (en) | Stemless evacuation device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE Effective date: 20141223 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150815 |