RU2522448C1 - Coating for space mirror workpiece - Google Patents

Coating for space mirror workpiece Download PDF

Info

Publication number
RU2522448C1
RU2522448C1 RU2013111354/04A RU2013111354A RU2522448C1 RU 2522448 C1 RU2522448 C1 RU 2522448C1 RU 2013111354/04 A RU2013111354/04 A RU 2013111354/04A RU 2013111354 A RU2013111354 A RU 2013111354A RU 2522448 C1 RU2522448 C1 RU 2522448C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glass
coating
silicon carbide
optical
space mirror
Prior art date
Application number
RU2013111354/04A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Кирилл Олегович ЩАВЕЛЕВ
Наталья Александровна ЯКОБСОН
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (ОАО "НИТИОМ ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (ОАО "НИТИОМ ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова") filed Critical Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский и технологический институт оптического материаловедения Всероссийского научного центра "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" (ОАО "НИТИОМ ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова")
Priority to RU2013111354/04A priority Critical patent/RU2522448C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2522448C1 publication Critical patent/RU2522448C1/en

Links

Landscapes

  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

FIELD: chemistry.
SUBSTANCE: disclosed is a coating for a space mirror workpiece, which is glass of the following composition, wt %: SiO2 - 44-61; B2O3 - 8-20; Al2O3 - 5-19; CaO - 3-12; Sb2O3 - 0,3-0,7; V2O5 - 2-11; Nb2O5 - 1-7; MoO3 - 0.2-4 and F - 1.5-6.
EFFECT: composition of the material enables to obtain a high-quality optical surface directly on substrates made of silicon carbide materials.
2 tbl

Description

Изобретение относится к конструктивным покрытиям заготовок космических зеркал, в частности для обеспечения возможности получения высококачественной оптической поверхности на подложке зеркал.The invention relates to structural coatings of blanks of space mirrors, in particular to enable high-quality optical surfaces on the substrate of the mirrors.

Из области производства космических зеркал известно, что ранее в качестве материала подложки использовали металл - бериллий, очень токсичный материал. Для создания на подложке из этого материала оптической поверхности использовали остекловывание специально разработанным стеклом, которое затем полировали и наносили отражающие покрытие.From the field of production of space mirrors, it is known that previously metal - beryllium, a very toxic material, was used as the substrate material. To create an optical surface on a substrate of this material, vitrification was used with specially designed glass, which was then polished and a reflective coating was applied.

В дальнейшем на подложку, на которой сформирована оптическая поверхность, напыляют многослойное отражающее покрытие (зеркало), затем - защитное покрытие.Subsequently, a multilayer reflective coating (mirror) is sprayed onto the substrate on which the optical surface is formed, then a protective coating.

В настоящее время представляет интерес использование заготовок для космических зеркал из карбида кремния, который обладает наилучшим соотношением модуля упругости и плотности среди известных материалов.Currently, it is of interest to use blanks for space mirrors made of silicon carbide, which has the best ratio of elastic modulus and density among known materials.

Назначение стекла следующее: поверхность карбида кремния дефектна, т.к. в объеме этот материал не однороден как стекло, т.е. его невозможно отполировать до оптического качества поверхности. Для этого должен быть использован материал, который можно отполировать до оптического качества, т.е. стекло. Дальше на стекло напыляют многослойное отражающее покрытие (зеркало), на которое потом уже наносят защитное покрытие.The purpose of the glass is as follows: the surface of silicon carbide is defective, because in volume, this material is not uniform as glass, i.e. it cannot be polished to optical surface quality. For this, a material that can be polished to optical quality, i.e. glass. Then a multilayer reflective coating (mirror) is sprayed onto the glass, on which a protective coating is then applied.

В патенте РФ №2025749, опубликованном 30.12.1984 по индексу МПК G02B 5/08, заявлено «Зеркало и способ формирования его защитного покрытия», предназначенного для зеркал, работающих в условиях повышенного воздействия агрессивных сред. In the patent of the Russian Federation No. 2025749, published on 12/30/1984 according to the IPC index G02B 5/08, it is stated “Mirror and method of forming its protective coating”, intended for mirrors operating under conditions of increased exposure to aggressive environments.

Сущность изобретения: зеркало содержит подложку, отражающий металлический слой и защитное покрытие, выполненное из нитрида и карбида кремния при следующем соотношении компонентов: карбид кремния 2-27 мас.%; нитрид кремния - остальное. Изобретение относится к оптике, в частности к зеркалам, предназначенным для бытовых нужд и различных технических целей, работающим в условиях повышенного воздействия агрессивных сред (пары влаги, коррозионные среды, перепады температур и т.п.).The inventive mirror contains a substrate, a reflecting metal layer and a protective coating made of nitride and silicon carbide in the following ratio of components: silicon carbide 2-27 wt.%; silicon nitride - the rest. The invention relates to optics, in particular to mirrors intended for domestic needs and various technical purposes, operating under conditions of increased exposure to aggressive media (moisture vapor, corrosive media, temperature extremes, etc.).

В патенте РФ №2304557, опубликованном 20.08.2007 по индексам МПК В82В 1/00 и H01Q 17/00, заявлено «Защитное покрытие элементов радиоэлектронной аппаратуры», где технический результат заключается в создании защитного покрытия, обладающего высокой стойкостью к воздействию ионизирующих излучений при небольшом удельном весе конструкции. Защитное покрытие выполнено в виде небольшом удельном весе конструкции. Защитное покрытие выполнено в виде наноструктуры, которая включает совокупность атомов редкоземельных элементов, введенных в структуру армирующей атомно-молекулярной металлической матрицы. Наноструктура может быть составной частью защищаемой конструкции либо защитным слоем конструкции.In the RF patent No. 2304557, published on 08/20/2007 according to the indices MPK В82В 1/00 and H01Q 17/00, the “Protective coating of electronic components” is stated, where the technical result is to create a protective coating that is highly resistant to ionizing radiation at low specific gravity of the structure. The protective coating is made in the form of a small specific gravity of the structure. The protective coating is made in the form of a nanostructure, which includes a set of rare-earth atoms introduced into the structure of a reinforcing atomic-molecular metal matrix. The nanostructure can be an integral part of the protected structure or a protective layer of the structure.

Данные конструкции являются отдаленными аналогами и не подходят для создания оптической поверхности на заготовках из карбида кремния.These designs are distant analogues and are not suitable for creating an optical surface on silicon carbide blanks.

Из уровня техники известно спаивание-остекловывание подложки из вольфрама. (М.П.Алексеенко. Когезия и адгезия горячего стекла. Под ред. Профессора К.С.Евстропьева. М.: Машиностроение, 1969, с.136). В данном источнике приведен состав оптического стекла - Марка 3058 III (Supermax), который принят за прототип нового изобретения. Данные по прототипу в Таблице 1.It is known in the prior art to solder-vitrify a tungsten substrate. (M.P. Alekseenko. Cohesion and adhesion of hot glass. Edited by Professor K.S. Evstropiev. M.: Mechanical Engineering, 1969, p.136). This source lists the composition of the optical glass - Brand 3058 III (Supermax), which is taken as a prototype of a new invention. Data on the prototype in Table 1.

Таблица 1Table 1 КомпонентComponent Мас.%Wt% SiO2 SiO 2 55.355.3 B2O3 B 2 O 3 7.47.4 Al2O3 Al 2 O 3 22.922.9 CaOCaO 4.74.7 MgOMgO 8.58.5 K2OK 2 O 0.380.38 Na2ONa 2 O 0.60.6 Fe2O3 Fe 2 O 3 0.130.13 As2O3 As 2 O 3 0.50.5 Характеристики материалаMaterial characteristics ЗначениеValue Коэффициент термического расширения (10-7 град.-1).The coefficient of thermal expansion (10 -7 deg. -1 ). 3333 Температура, отвечающая вязкости стекла 1013,3 Пуаз (Tg)Temperature corresponding to glass viscosity 10 13.3 Poise (Tg) 738738 Температура, отвечающая вязкости стекла 1012 Пуаз (TEb)The temperature corresponding to the viscosity of the glass 10 12 Poise (T Eb ) 775775 НазначениеAppointment Для спаивания с вольфрамомFor tungsten soldering

Задача нового изобретения состоит в создании нового состава материала, обеспечивающего возможность получения высококачественной оптической поверхности непосредственно на подложках из карбидкремниевых материалов.The objective of the new invention is to create a new composition of the material, providing the possibility of obtaining high-quality optical surfaces directly on substrates of silicon carbide materials.

Технический результат достигается за счет возможности использования карбида кремния в качестве конструкционного материала подложки, ее остекловывания, для использования в оптических приборах, где необходимо сочетание малого веса и высоких прочностных параметров, в частности в космическом приборостроении.The technical result is achieved due to the possibility of using silicon carbide as a structural material of the substrate, its vitrification, for use in optical devices where a combination of low weight and high strength parameters, in particular in space instrument engineering, is required.

Задача решается путем создания материала стекла, включающего компоненты SiO2, B2O3, Al2O3 и CaO, в котором, в отличие от прототипа, дополнительно содержатся Sb2O3, V2O5, Nb2O5, MoO3 и F при следующем соотношении компонентов, мас.%: SiO2-44-61; B2O3-8-20; Al2O3-5-19; CaO-3-12; Sb2O3-0.3-0.7; V2O5-2-11; Nb2O5-1-7; MoO3-0.2-4 и F-1.5-6.The problem is solved by creating a glass material, including components SiO 2 , B 2 O 3 , Al 2 O 3 and CaO, which, unlike the prototype, additionally contains Sb 2 O 3 , V 2 O 5 , Nb 2 O 5 , MoO 3 and F in the following ratio of components, wt.%: SiO 2 -44-61; B 2 O 3 -8-20; Al 2 O 3 -5-19; CaO-3-12; Sb 2 O 3 -0.3-0.7; V 2 O 5 -2-11; Nb 2 O 5 -1-7; MoO 3 -0.2-4 and F-1.5-6.

Представленный состав стекла обеспечивает остекловывание подложек из карбидкремниевых материалов с получением высоких характеристик по прочности и оптическим параметрам.The presented composition of glass provides vitrification of substrates from silicon carbide materials with obtaining high characteristics in strength and optical parameters.

Таблица 2table 2 Конкретные составы заявленного материала стекла в мас.%.The specific compositions of the claimed glass material in wt.%. КомпонентComponent 1one 22 33 4four SiO2 SiO 2 4444 6161 50fifty 5757 B2O3 B 2 O 3 88 20twenty 14,514.5 1212 Al2O3 Al 2 O 3 15,615.6 55 1919 11eleven CaOCaO 1212 33 33 77 Sb2O3 Sb 2 O 3 0,70.7 0,30.3 0,50.5 0,40.4 V2O5 V 2 O 5 11eleven 22 4four 3,13,1 Nb2O5 Nb 2 O 5 77 1,71.7 22 1one MoO3 Moo 3 0,20.2 22 4four 2,52,5 FF 1,51,5 0.50.5 33 66 КТР (10-7 град.-1).KTR (10 -7 deg. -1 ). 2828 30thirty 2525 2727 Адгезия стекла к подложке из карбида кремния.Adhesion of glass to a silicon carbide substrate. Естьthere is Естьthere is Естьthere is Естьthere is Температура варки стекла (°C).Glass melting temperature (° C). 15401540 15001500 15501550 15301530

Способ изготовления материала - варка стекла по технологии, принятой для технических стекол в РФ.A method of manufacturing the material is glass melting according to the technology adopted for technical glasses in the Russian Federation.

В зависимости от поставленной задачи - объем выпуска, размер заготовок, типа технологического оборудования, установленного на производстве, режим варки может изменяться.Depending on the task - the volume of production, the size of the workpieces, the type of processing equipment installed at the plant, the cooking mode may vary.

Оптические и технические стекла производят (варят) в ванных и горшковых печах. В ванных печах непрерывного действия целесообразно варить стекло массовых марок, которое требуется в больших количествах, например листовое. Поэтому для производства большого количества марок оптических и технических стекол используется варка стекла в горшковых печах. Возможно использование пламенных или электрических печей.Optical and technical glasses are produced (boiled) in bathrooms and pot furnaces. In continuous continuous bath furnaces, it is advisable to make glass of mass grades, which is required in large quantities, for example sheet metal. Therefore, for the production of a large number of brands of optical and technical glasses, glass melting is used in pot furnaces. It is possible to use flame or electric furnaces.

Технологический процесс варки оптического и технического стекла различного состава в горшковых печах состоит из следующих этапов (Физико-химические основы производства оптического стекла. Под ред. д.т.н. Л.И.Демкиной. Л.: Химия, 1976. 456 с., гл. XVI «Варка оптического стекла», с.330-349.):The technological process of cooking optical and technical glass of various compositions in pot furnaces consists of the following stages (Physicochemical principles of the production of optical glass. Edited by Doctor of Technical Sciences L.I. Demkina. L .: Chemistry, 1976. 456 p. , Chapter XVI "Optical Glass Cooking", p.330-349.):

- подготовка стекловаренного горшка и мешалки;- preparation of a glass pot and stirrer;

- засыпка и развар шихты;- filling and boiling of the mixture;

- осветление расплава;- clarification of the melt;

- охлаждение стекломассы;- cooling of glass;

- разделка.- cutting.

Для каждого этапа варки стекла определяется температурно-временной режим, который определяется составом стекла и учитывает особенности конкретного производства (Технология стекла. Под ред. И.И. Китайгородского. М.: Госстройиздат, 1961, 624 с.).For each stage of glass melting, a temperature-time regime is determined, which is determined by the composition of the glass and takes into account the particular production (Glass technology. Edited by II Kitaigorodsky. M .: Gosstroyizdat, 1961, 624 p.).

Способ изготовления материала - варка стекла по технологии, принятой для технических стекол в РФ. Режим варки для стекла должен быть специально разработан с учетом особенностей конкретного производства.A method of manufacturing the material is glass melting according to the technology adopted for technical glasses in the Russian Federation. The cooking mode for glass should be specially designed taking into account the particular production.

Проведены эксперименты по спеканию стекла с образцами карбида кремния с диаметром заготовок 60 мм, после чего стекло было отполировано. Стекло спекается с материалом подложки из карбида кремния без разрушения. На поверхности стекла была получена оптическая поверхность, удовлетворяющая поставленной задаче.Experiments were performed on sintering glass with samples of silicon carbide with a billet diameter of 60 mm, after which the glass was polished. The glass is sintered with the silicon carbide substrate material without breaking. On the glass surface, an optical surface was obtained that satisfies the task.

Claims (1)

Покрытие для заготовки космического зеркала, представляющее собой стекло состава, включающего SiO2, B2O3, Al2O3 и CaO, отличающееся тем, что дополнительно содержит Sb2O3, V2O5, Nb2O5, MoO3 и F при следующем соотношении компонентов, мас.%:
SiO2 44-61 B2O3 8-20 Al2O3 5-19 CaO 3-12 Sb2O3 0,3-0,7 V2O5 2-11 Nb2O5 1-7 MoO3 0,2-4 F 1,5-6
A coating for the preparation of a space mirror, which is a glass composition comprising SiO 2 , B 2 O 3 , Al 2 O 3 and CaO, characterized in that it further comprises Sb 2 O 3 , V 2 O 5 , Nb 2 O 5 , MoO 3 and F in the following ratio of components, wt.%:
SiO 2 44-61 B 2 O 3 8-20 Al 2 O 3 5-19 CaO 3-12 Sb 2 O 3 0.3-0.7 V 2 O 5 2-11 Nb 2 O 5 1-7 Moo 3 0.2-4 F 1,5-6
RU2013111354/04A 2013-03-13 2013-03-13 Coating for space mirror workpiece RU2522448C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013111354/04A RU2522448C1 (en) 2013-03-13 2013-03-13 Coating for space mirror workpiece

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013111354/04A RU2522448C1 (en) 2013-03-13 2013-03-13 Coating for space mirror workpiece

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2522448C1 true RU2522448C1 (en) 2014-07-10

Family

ID=51217362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013111354/04A RU2522448C1 (en) 2013-03-13 2013-03-13 Coating for space mirror workpiece

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2522448C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107935567A (en) * 2017-12-05 2018-04-20 海南中航特玻科技有限公司 A kind of ceramic base spacing reflection mirror composite mirrors blank material material

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2025749C1 (en) * 1992-07-03 1994-12-30 Михаил Владимирович Грузин Mirror and method to form its protective coating
US6738188B2 (en) * 1999-07-02 2004-05-18 Asml Netherlands B.V. Multilayer extreme ultraviolet mirrors with enhanced reflectivity
RU2304557C1 (en) * 2006-03-20 2007-08-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский научно-исследовательский институт космического приборостроения" Protective coating of the components of the radio electronic equipment
RU2461029C2 (en) * 2008-03-11 2012-09-10 Ппг Индастриз Огайо, Инк. Reflecting article

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2025749C1 (en) * 1992-07-03 1994-12-30 Михаил Владимирович Грузин Mirror and method to form its protective coating
US6738188B2 (en) * 1999-07-02 2004-05-18 Asml Netherlands B.V. Multilayer extreme ultraviolet mirrors with enhanced reflectivity
RU2304557C1 (en) * 2006-03-20 2007-08-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский научно-исследовательский институт космического приборостроения" Protective coating of the components of the radio electronic equipment
RU2461029C2 (en) * 2008-03-11 2012-09-10 Ппг Индастриз Огайо, Инк. Reflecting article

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Алексеенко М.П. Когезия и адгезия горячего стекла. М., Машиностроение, 1969, с.136. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107935567A (en) * 2017-12-05 2018-04-20 海南中航特玻科技有限公司 A kind of ceramic base spacing reflection mirror composite mirrors blank material material
CN107935567B (en) * 2017-12-05 2020-10-16 海南中航特玻科技有限公司 Composite mirror blank material for ceramic-based space reflector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106660860B (en) Transparent glass-ceramic articles, glass-ceramic precursor glasses and methods of forming the same
JP6639101B2 (en) Scratch-resistant film, substrate having scratch-resistant film and method for producing the same
KR102034815B1 (en) Physical vapor deposited layers for protection of glass surfaces
US6753279B2 (en) Glass composition for display panels
JP2021531229A (en) Glass-ceramic articles with improved properties and methods for manufacturing them
CN1226878A (en) Soda-lime-silica glass compositions and applications
JP2004165629A (en) Substrate for microlithography in particular
US8993115B2 (en) Press-molding glass material, method of manufacturing press-molding glass material, and method of manufacturing optical element
TWI828718B (en) Methods of ceramming glass articles having improved warp
JP6474041B2 (en) Glass manufacturing method and glass
JP2018127396A (en) Glass having improved ion-exchanging and thermally expanding properties
TW202103939A (en) Laminated member
RU2703019C2 (en) Non-porous ceramic element
RU2522448C1 (en) Coating for space mirror workpiece
TW200409739A (en) High strain point glasses
CN112424132A (en) Setter plate and method of ceramifying glass article using the same
CN116969683A (en) Microcrystalline glass capable of being chemically strengthened and strengthening method and application thereof
JP7338761B2 (en) LAMINATED PRODUCT AND METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED BODY
JP5990994B2 (en) A method for producing a glass powder material and a porous vitreous membrane.
CN112437760A (en) Glass substrates comprising uniform release agent coating and methods of ceramming thereof
CN107721159B (en) Cover plate glass material for zirconium-containing touch screen, glass, preparation method and cover plate for touch screen
TW202028139A (en) Glass product which has three-dimensional shape and method for manufacturing same, and chemically strengthened glass product and method for manufacturing same
JPS62191449A (en) Chemically strengthened float glass
TWI846902B (en) Laminated components
CN114829314A (en) Glass compositions with high modulus and large CTE range for laminated structures