RU2502951C1 - Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности - Google Patents
Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2502951C1 RU2502951C1 RU2012125012/28A RU2012125012A RU2502951C1 RU 2502951 C1 RU2502951 C1 RU 2502951C1 RU 2012125012/28 A RU2012125012/28 A RU 2012125012/28A RU 2012125012 A RU2012125012 A RU 2012125012A RU 2502951 C1 RU2502951 C1 RU 2502951C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- inclined surface
- sections
- monochromatic radiation
- plates
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Устройство содержит источник монохроматического излучения, выход которого совмещен с входом одномодового световода, формирующего на выходе точечный источник монохроматического излучения, совмещенный с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света. Две прозрачные пластины установлены перпендикулярно оптической оси и параллельно друг другу. По периметру первой пластины на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости первой пластины поверхностями. За второй пластиной помещены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности три линейных матричных фотоприемника, выходы которых подключены к компьютеру. Одна из пластин жестко закреплена на объекте контроля. Участки наклонной поверхности и поверхность второй пластины, обращенные друг к другу, выполнены с высоко отражающим покрытием, участки наклонной поверхности выполнены с перепадом высот от центра первой пластины к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения. Длины участков наклонной поверхности соответствуют длине рабочих окон линейных матричных фотоприемников. Технический результат - повышение точности определения положения одного объекта относительно другого до 0,01 нм за меньшее время (до 1 мксек) в большем диапазоне расстояний между объектами. 4 ил.
Description
Изобретение относится к прецизионной измерительной технике, преимущественно к области оптических средств (устройств) прецизионного контроля положения (позиционирования) одного объекта относительно другого. Оно может найти применение в научных исследованиях, промышленности, в технологиях изготовления точных элементов и узлов, в системах автоматического управления элементами устройств и инструментов, в технологическом оборудовании.
Известен способ измерения положения объекта, описанный в патенте на изобретение RU 2146039, в котором для измерения положения объекта устанавливают, по крайней мере, одну световую марку на поверхности объекта и определяют пространственные координаты этой световой марки по положению ее изображения на координатно-чувствительном фотоприемном устройстве оптической камеры, при этом в качестве световой марки используют импульсный световой излучатель, фаза и частота которого синхронизированы с запуском фотоприемного устройства оптической камеры.
Однако, точность измерения с применением этого способа, как правило, не превышает длины волны (~ 600 нм).
По сравнению с измерителем, в котором используется вышеуказанный способ, работающий по принципу построения изображения, большей точностью обладает измеритель, работающий на интерференционном принципе, как, например, интерферометр для измерения перемещений, описанный в патенте на изобретение RU 2025655, в котором одночастотный лазер генерирует линейно поляризованное излучение, которое через последовательно расположенные по ходу луча лазера телескопическую систему, светоделитель, два уголковых отражателя, один из которых размещен в измерительном плече, а другой - в опорном плече, четвертволновую пластину, расположенную в измерительном плече, и два поляризатора поступает в фотоэлектрическую систему обработки квадратурных интерференционных сигналов, образующихся в результате того, что поляризаторы установлены так, что их главные оси пропускания взаимно перпендикулярны и составляют угол 45°±1° к направлению поляризации излучения лазера.
Однако в указанном интерферометре для измерения перемещений используются интерферометры типа Майкельсона, в которых разнесенность плеч: опорного и измерительного, зависимость светоделителя от температуры, а также отсутствие разделения сигналов по фазе и амплитуде интерферограммы не дает возможность обеспечения нано и субнанометровой точности измерений.
Кроме этого, использование в устройстве уголкового отражателя не позволяет получать информацию об ориентации в пространстве перемещаемого объекта, а применение поляризационной оптики приводит к сложности и дороговизне устройства.
Известно оптическое устройство для измерения перемещений объектов контроля, основанное на применении интерференционного метода, как, например RU 2169348, содержащее оптически связанные и последовательно размещенные точечный источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, закрепленный на поверхности объекта контроля, и экран с установленными на нем фотоприемными устройствами. При этом светоделитель и отражатель расположены относительно друг друга под углом. Полученная при совмещении опорного и объектного пучков интерференционная картина, представляющая собой совокупность колец различной интенсивности, проецируется на экран, а фотоприемные устройства (например, фотодиоды) установлены в кольцах интерференционной картины. Перемещения определяются на основе измерения и анализа изменений параметров интерферограммы в плоскости фотоприемного устройства, которые обусловлены перемещениями объекта измерений.
Недостатком данного устройства является низкая точность измерений, обусловленная тем, что при перемещении объекта контроля воспроизводимые описанным выше устройством интерференционные картины имеют в пределах кольца одного порядка неравнозначное изменение интенсивности оптического поля. Поэтому размещение фотоприемников произвольно в кольцах интерференционной картины в плоскости экрана, как это реализуется в устройстве-аналоге RU 2169348, приводит к внесению погрешностей в результаты измерений.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому изобретению является оптическое устройство для измерения перемещений по патенту RU 2373492, содержащее оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, закрепленный на поверхности объекта контроля и расположенный под углом к светоделителю, экран с установленным на нем фотоприемным устройством, при этом фотоприемное устройство, выполненное в виде прямоугольной матрицы фотоприемников, установлено в плоскости экрана радиально кольцам интерференционной картины в горизонтальном сечении на интервале от края до центра интерференционной картины. На фотоприемной матрице проецируется интерференционная картина в горизонтальном сечении. Величину перемещения объекта определяют как результат измерения по значениям интенсивности оптического поля, полученными прямыми измерениями в заданных областях интерферограммы с использованием выделенных групп фотоприемников.
Недостатком такого устройства являются недостаточная точность и малый динамический диапазон контроля перемещений, а также нелинейное распределение чувствительности по полю, что требует сложной дополнительной обработки данных, поскольку датчики, расположенные в точках максимальных пространственных градиентов интенсивности интерференционной картины (точки с фазами nπ рад.) дают максимальную чувствительность к перемещениям, а датчики, расположенные в точках минимальных пространственных градиентов интенсивности интерференционной картины (точки с фазами nπ/2 рад.) имеют практически нулевую чувствительность к перемещениям. Как следствие, для получения результата необходимая сложная математическая обработка.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является определение положения одного объекта относительно другого с заданной (нано и субнанометровой) точностью, а также увеличение диапазона измеряемых значений
расстояний между объектами, увеличение чувствительности и быстродействия устройства.
Технический результат - определение положения одного объекта относительно другого с большей точностью (до 0,01 нм) за меньшее время (до 1 мксек) в большем диапазоне расстояний между объектами (до 1 м).
Поставленная задача решается тем, что в устройство контроля положения объекта нано и субнанометровой точности, содержащее источник монохроматического излучения, оптическую систему, фотоприемное устройство, дополнительно включены формирующий точечный источник монохроматического излучения одномодовый световод, вход которого совмещен с выходом источника монохроматического излучения, а выход совмещен с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света. Кроме этого, за оптической системой последовательно по ходу лучей размещены установленные перпендикулярно оси оптической системы и параллельно друг другу две прозрачные пластины. При этом по периметру первой пластины на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости первой пластины поверхностями (участки наклонной поверхности). За второй пластиной в качестве фотоприемного устройства помещены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности три линейных матричных фотоприемника, выходы которых подключены к компьютеру. Одна из пластин жестко закреплена на объекте контроля. Участки наклонной поверхности и поверхность второй пластины, обращенные друг к другу, выполнены с высоко отражающим покрытием. Участки наклонной поверхности выполнены с перепадом высот, изменяющимся по направлению от центра первой пластины к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения, а длины участков наклонной поверхности на первой пластине выполнены в соответствии с длиной рабочих окон линейных матричных фотоприемников. При этом отражающие покрытия участков наклонной поверхности первой пластины с отражающим покрытием второй пластины образуют соответственно три интерферометра Фабри-Перо, формирующих перпендикулярно направлениям наклона участков наклонной поверхности первой пластины интерференционные картины в виде линий равной толщины, соответствующих разностям хода, кратным половине длины волны монохроматического излучения.
Устройство контроля положения объекта нано и субнанометровой точности содержит (фиг.1): источник монохроматического излучения 1, одномодовый световод 2, формирующий на выходе точечный источник монохроматического излучения 3, при этом вход световода 2 совмещен с выходом источника монохроматического излучения 1, а выход 3 световода 2 совмещен с передним фокусом оптической системы 4, формирующей параллельный пучок света. За оптической системой 4 последовательно по ходу лучей установлены перпендикулярно оси оптической системы 4 и параллельно друг другу первая прозрачная пластина 5, по периметру которой на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости первой пластины поверхностями (участки наклонной поверхности) 6, и вторая пластина 7. За второй пластиной 7 установлены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности 6 три линейных матричных фотоприемника 8, выходы которых подключены к компьютеру 9. При этом одна из пластин, например, вторая пластина 7 жестко закреплена на объекте контроля 10. Участки наклонной поверхности 6 первой пластины 5 и поверхность второй пластины 7, обращенные друг к другу, выполнены с высоко отражающим покрытием. Участки наклонной поверхности 6 первой пластины 5 выполнены с перепадом высот, изменяющимся по направлению от центра первой пластины 5 к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения, а длины участков наклонной поверхности 6 выполнены в соответствии с длиной рабочих окон линейных матричных фотоприемников 8. При этом отражающие покрытия участков наклонной поверхности 6 первой пластины 5 с отражающим покрытием поверхности второй пластины 7, обращенной к первой пластине, образуют соответственно три интерферометра Фабри-Перо, формирующих перпендикулярно направлениям наклона каждого участка наклонной поверхности 6 интерференционные картины в виде линий равной толщины, соответствующих разностям хода, кратным половине длины волны монохроматического излучения источника 1.
На фиг.2 изображено устройство контроля положения объекта в сечении А-А (в области участков наклонной поверхности 6 первой пластины 5). На фиг.3 изображено устройство контроля положения объекта в сечении В-В (в области расположения линейных матричных фотоприемников 8). На фиг.4 изображен интерферометр Фабри-Перо с установленным на нем устройством контроля положения объекта.
В качестве источника монохроматического излучения 1 используется лазер со стабилизированным по частоте излучением. При этом длина когерентности излучения лазера должна превышать максимальное значение возможных промежутков между пластинами 5 и 7.
Использование одномодового световода 2 позволяет сформировать на его выходе точечный источник оптического излучения 3 с линейными размерами порядка длины волны. Благодаря этому, телесный угол источника излучения (отношение линейного размера сформированного источника излучения 3 к фокусному расстоянию оптической системы 4) составляет ничтожно малую величину (~10-6). В результате контраст интерференционной картины остается достаточным даже при метровых промежутках между пластинами 5 и 7.
Работа устройства заключается в следующем.
При помощи источника монохроматического излучения 1 и одномодового световода 2 формируется точечный источник 3 монохроматического излучения в переднем фокусе оптической системы 4. Оптической системой 4 излучение преобразуется в параллельный пучок необходимой апертуры (размер апертуры должен быть не менее размера пластин 5, 7) и подается на две пластины 5 и 7, установленные перпендикулярно оси O-O оптической системы 4 и параллельно друг другу. При этом одна из пластин, например пластина 7, жестко закреплена на объекте контроля 10.
По периметру первой пластины 5 на стороне, обращенной ко второй пластине 7, под углом ~ 120 друг к другу расположены три участка 6 с наклонными к плоскости первой пластины 5 поверхностями (участки наклонной поверхности) 6 с высоко отражающим покрытием на их поверхностях, обращенных к пластине 7. Участки наклонной поверхности 6 выполнены с перепадом высот, изменяющимся по направлению от центра первой пластины 5 к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения. На поверхность второй пластины 7, обращенной к участкам наклонной поверхности 6 пластины 5, также нанесено высоко отражающее покрытие. При этом отражающие покрытия участков наклонной поверхности 6 первой пластины 5 и отражающая поверхность второй пластины 7 образуют соответственно три интерферометра Фабри-Перо, разнесенные под углом ~120° друг к другу.
При отсутствии участков наклонной поверхности 6 и строго плоскопараллельных друг другу отражающих поверхностях пластин 5 и 7 в выходной плоскости второй пластины 7 сформировались бы интерферограммы со строго одинаковой по всей апертуре интенсивностью. Однако участки наклонной поверхности 6 пластины 5 создают дополнительные разности хода лучей, в результате чего на выходе каждого из трех интерферометров Фабри-Перо перпендикулярно направлениям наклона участков наклонной поверхности 6 формируется интерференционная картина в виде линий равной толщины, соответствующих разностям хода, кратным половине длины волны монохроматического излучения источника 1.
Изменение положения объекта контроля 10 вдоль оптической оси 0-0 приводит к изменению расстояния между пластинами 5 и 7. При этом изменение расстояния между пластинами 5 и 7 на половину длины волны монохроматического излучения источника 1 вызовет перемещение интерференционных полос на один период по направлению от центра пластин к краю или от края к центру пластин в зависимости от увеличения или уменьшения расстояния между пластинами 5 и 7, Симметричное положение интерференционных полос интерферометров Фабри-Перо относительно оптической оси 0-0 при изменении положения объекта контроля 10 соответствует параллельному положению пластин 5 и 7 относительно друг друга и, следовательно, параллельному перемещению объекта контроля 10 вдоль оптической оси.
Интерференционные полосы на выходе каждого из трех интерферометров Фабри-Перо регистрируются соответствующими тремя линейными матричными фотоприемниками 8, расположенными за второй платиной 7 в местах, оптически сопряженных с участками наклонной поверхности 6 первой пластины 5. Число полос, прошедших через каждую освещаемую точку соответствующего линейного матричного фотоприемника 8, соответствует числу целых значений полуволн, укладываемых на промежутке между пластинами 5 и 7. Положение полос относительно оптической оси O-O характеризует дробную часть числа полуволн, укладывающихся в промежутке между пластинами 5 и 7.
Применение компьютера 9 решает несколько задач: счет числа интерференционных полос (порядков интерференции), прошедших через каждый линейный матричный фотоприемник 8, определение величины дробной части интерференционных полос, суммирование целого числа интерференционных полос с дробной частью интерференционных полос, вычисление в каждый момент точного положения пластин 5 и 7 относительно друг друга, включая взаимный наклон пластин относительно друг друга, по разности показаний в каждом из трех матричных фотоприемников и, следовательно, определение точного положения объекта контроля 10, жестко скрепленного с одной из пластин.
Увеличение чувствительности устройства достигается благодаря эффекту линейной фазово-пространственной трансформации волнового фронта, позволяющей преобразовать квантовую меру длины (длину волны зондирующего излучения, определяемую провалом Лэмба) в макроскопическую длину, соответствующую максимальному диапазону положений интерференционных полос в рабочих окнах линейных матричных фотоприемников. Эффект линейной фазово-пространственной трансформации волнового фронта достигается благодаря специальной конструкции одной из пластин, содержащей участки наклонной поверхности с отражающим покрытием.
Типичные значения чувствительности определялись следующими оценками. При изменении положения пластин 5 и 7 относительно друг друга на половину длины волны (-0,3 мкм) перемещение интерференционных полос осуществляется на полный период, определяемый перепадом высот участков наклонной поверхности 6, что соответствует ~10 мм. Коэффициент трансформации равен ~3,3×10. Чувствительность к перемещениям интерференционных полос, достигаемая при помощи линейного матричного фотоприемника 8, обычно составляет 10-4-10-5 от величины периода интерференционных полос (~10 мм). Таким образом, чувствительность устройства составляет:
3·10-1·(10-4÷10-5) мкм = 3·(10-2÷10-3) нм.
Увеличение динамического диапазона с сохранением абсолютной точности достигается двумя факторами: во-первых, возможностью регистрации целого числа полуволн и дробного числа полуволн, укладывающихся в контролируемом промежутке; во-вторых, использованием в качестве монохроматического источника излучения стабилизированного по частоте лазера. Например, стабильность частоты серийно выпускаемого стабилизированного по частоте лазера ЛГН-302 составляет Δν/ν=10-9. При использовании такого лазера ошибка в определении положений объекта, вызванная неточностью квантового эталона, не будет превышать одного нанометра при значениях промежутков между пластинами 5 и 7 до 1 метра, включительно.
Устройство контроля положения объекта нано и субнанометровой точности было применено авторами в интерферометре Фабри-Перо. Интерферометр Фабри-Перо содержал установленные параллельно друг к другу на некотором расстоянии d две плоскопараллельные кварцевые пластины с нанесенными на рабочие (обращенные друг к другу) поверхности интерференционными покрытиями с коэффициентом отражения 90% на длине волны ~800 нм, соответствующей средней длине волны диапазона, на котором работал интерферометр Фабри-Перо. Интерферометр Фабри-Перо является интерферометром высокого разрешения. Чтобы контролировать положение пластин интерферометра Фабри-Перо строго параллельно друг к другу и сохранять заданную величину полосы пропускания с нанометровой точностью, необходимо измерять значения оптического промежутка (расстояния между пластинами интерферометра) в каждый момент времени.
Для этого одна из пластин интерферометра Фабри-Перо (фиг.4, пластина 10) жестко соединялась с пластиной 7 устройства контроля положения объекта и выполняла роль объекта контроля. Вторая пластина 11 интерферометра Фабри-Перо соединялась с пластиной 5 устройства контроля положения объекта и выполняла роль реперной пластины, относительно которой контролировалось положение пластины 10.
Три участка наклонной поверхности 6 устройства контроля положения объекта были выполнены также из кварца с размерами: длиной - 20 мм и шириной - 24 мм. На поверхности участков наклонной поверхности 6 и на поверхность второй пластины 7, обращенной к первой пластине 5, были нанесены интерференционные покрытия с коэффициентом отражения 90% на длине волны 650 нм, соответствующей длине волны когерентного источника излучения 1. Углы наклона участков наклонной поверхности 6 составляли 9,2 угловых секунды, что позволяло формировать на выходах трех интерферометров Фабри-Перо устройства контроля положения объекта интерференционные картины в виде линий равной толщины, соответствующих разностям хода, кратным половине длины волны когерентного монохроматического излучения. При этом на длине каждого участка наклонной поверхности 6 одновременно укладывалось не менее одной интерференционной полосы.
В качестве когерентного источника излучения 1 использовался серийно выпускаемый лазер ЛГН-302, стабилизированный по частоте с точностью Δν/ν=10-9. Одномодовый световод 2 позволил сформировать точечный источник оптического излучения 3 с линейными размерами порядка длины волны, в результате чего контраст интерференционной картины трех интерферометров Фабри-Перо оставался достаточным даже при метровых промежутках между пластинами 10 и 11.
Интерференционные полосы на выходе трех интерферометров Фабри-Перо устройства контроля положения объекта регистрировались линейными матричными фотоприемниками 8, в качестве которых использовались линейные цифровые камеры на линейных датчиках VS-Ld-751 фирмы «Видеоскан», имеющих П.з.с.-линейку, содержащую 1×2048 элементов с зарядовой связью, длиной 22 мм. Быстродействие цифровой камеры на линейном датчике составляло 0,2 миллисекунды.
Компьютер 9 выполнял счет числа интерференционных полос (порядков интерференции), прошедших через линейные цифровые камеры 8, определение величины дробной части интерференционных полос, суммирование целого числа интерференционных полос с дробной частью интерференционных полос и определение в каждый момент времени точного положения пластины 10 относительно пластины 11 интерферометра Фабри-Перо.
Claims (1)
- Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности, содержащее источник монохроматического излучения, оптическую систему, фотоприемное устройство, отличающееся тем, что в устройство дополнительно включены формирующий точечный источник монохроматического излучения одномодовый световод, вход которого совмещен с выходом источника монохроматического излучения, а выход совмещен с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света, далее за оптической системой последовательно по ходу лучей размещены установленные перпендикулярно оси оптической системы и параллельно друг другу две прозрачные пластины, при этом по периметру первой пластины на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости первой пластины поверхностями (участки наклонной поверхности), а за второй пластиной в качестве фотоприемного устройства помещены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности три линейных матричных фотоприемника, выходы которых подключены к компьютеру, при этом одна из пластин жестко закреплена на объекте контроля, участки наклонной поверхности и поверхность второй пластины, обращенные друг к другу, выполнены с высокоотражающим покрытием, участки наклонной поверхности выполнены с перепадом высот, изменяющимся по направлению от центра первой пластины к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения, а длины участков наклонной поверхности на первой пластине выполнены в соответствии с длиной рабочих окон линейных матричных фотоприемников.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012125012/28A RU2502951C1 (ru) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2012125012/28A RU2502951C1 (ru) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2502951C1 true RU2502951C1 (ru) | 2013-12-27 |
Family
ID=49817771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012125012/28A RU2502951C1 (ru) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2502951C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2694121C2 (ru) * | 2017-12-27 | 2019-07-09 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Способ определения пространственной ориентации луча излучения лазерного локационного средства |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1083070A2 (ru) * | 1981-06-18 | 1984-03-30 | Центральная Ордена Трудового Красного Знамени Генетическая Лаборатория Им.И.В.Мичурина | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |
US6327520B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-12-04 | Intelligent Machine Concepts, L.L.C. | Planar normality sensor |
US20080043245A1 (en) * | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Needham David B | Methods and apparatus for measuring multiple fabry-perot gaps |
US20090051931A1 (en) * | 2004-10-13 | 2009-02-26 | Dirk Adrian Zwemer | Systems and methods for measuring sample surface flatness of continuously moving samples |
RU2373492C2 (ru) * | 2007-11-28 | 2009-11-20 | Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" | Оптическое устройство для измерения перемещений |
-
2012
- 2012-06-15 RU RU2012125012/28A patent/RU2502951C1/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1083070A2 (ru) * | 1981-06-18 | 1984-03-30 | Центральная Ордена Трудового Красного Знамени Генетическая Лаборатория Им.И.В.Мичурина | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |
US6327520B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-12-04 | Intelligent Machine Concepts, L.L.C. | Planar normality sensor |
US20090051931A1 (en) * | 2004-10-13 | 2009-02-26 | Dirk Adrian Zwemer | Systems and methods for measuring sample surface flatness of continuously moving samples |
US20080043245A1 (en) * | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Needham David B | Methods and apparatus for measuring multiple fabry-perot gaps |
RU2373492C2 (ru) * | 2007-11-28 | 2009-11-20 | Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" | Оптическое устройство для измерения перемещений |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2694121C2 (ru) * | 2017-12-27 | 2019-07-09 | Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего образования "Военный учебно-научный центр Военно-воздушных сил "Военно-воздушная академия имени профессора Н.Е. Жуковского и Ю.А. Гагарина" (г. Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации | Способ определения пространственной ориентации луча излучения лазерного локационного средства |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7599071B2 (en) | Determining positional error of an optical component using structured light patterns | |
CN107806821B (zh) | 用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法 | |
US4969744A (en) | Optical angle-measuring device | |
De Nicola et al. | Reflective grating interferometer for measuring the refractive index of transparent materials | |
US9518816B2 (en) | Dual beam splitter interferometer measuring 3 degrees of freedom, system and method of use | |
Guan et al. | A differential interferometric heterodyne encoder with 30 picometer periodic nonlinearity and sub-nanometer stability | |
RU155509U1 (ru) | Лазерно-интерференционный гидрофон с системой термостабилизации | |
CN110082071B (zh) | 一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法 | |
CN105698702B (zh) | 一种基于声光低频差移相的双孔外差干涉仪 | |
Šiaudinytė et al. | Multi-dimensional grating interferometer based on fibre-fed measurement heads arranged in Littrow configuration | |
RU2502951C1 (ru) | Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности | |
CN108627084B (zh) | 一种基于静止的迈克尔逊干涉仪的激光器波长校准*** | |
JP5412959B2 (ja) | 光応用計測装置 | |
CA1114193A (en) | Apparatus for spectrometer alignment | |
Yu et al. | Thickness measurement of transparent plates by wavelength stepping and a phase unwrapping algorithm | |
Disawal et al. | Measurement of displacement using phase shifted wedge plate lateral shearing interferometry | |
RU2606805C1 (ru) | Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений | |
CN204807041U (zh) | 一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪 | |
JP3714853B2 (ja) | 位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法 | |
JP4613310B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
CN115900535B (zh) | 干涉解调装置和干涉测量*** | |
Zherdev et al. | Special structuring of diffraction gratings for optical position encoder | |
RU2502952C1 (ru) | Устройство для линейных перемещений с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений | |
RU117020U1 (ru) | Измеритель линейных размеров (варианты) | |
JP2009186254A (ja) | 光線角度検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20170718 |