RU2479890C1

RU2479890C1 - Cassette for photoconverter process satellites

Info

Publication number: RU2479890C1
Application number: RU2011149836/07A
Authority: RU
Inventors: Галина Касымовна Ткаченко; Андрей Владимирович Пантыкин; Владимир Гаврилович Махаев
Original assignee: Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения"
Priority date: 2011-12-07
Filing date: 2011-12-07
Publication date: 2013-04-20

Abstract

FIELD: physics.

SUBSTANCE: cassette has a three-wall housing with longitudinal reinforcement ribs and guide ridges on side walls on the outer and inner surfaces, respectively, and satellite holders. The latter are in form of a pair swivelling supports with a common horizontal axis. The supports are placed in windows on each of the side walls symmetrically about the longitudinal and transverse axes. Horizontal axes of the holders are mounted on the outer side of the walls on supports in form of sliding pieces, which are configured to move on the longitudinal reinforcement ribs with a "fish tail" profile. The windows are such that the ends of supports can be fitted into their openings, with vertical movement of axes and swivelling of the holder supports. The cassette can be provided with stacking elements in form of ridges on the outermost reinforcement ribs.

EFFECT: high reliability of loading and withdrawing satellites, fewer defective articles by preventing damage to photoconverters, reduced weight of the housing owing to smaller thickness of the side walls.

4 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к транспортной и операционной накопительной таре изделий микроэлектроники, в частности, хрупких пластин фотопреобразователей (ФП) в спутниках-носителях и может быть использовано в испытательном и сборочном оборудовании при производстве фотоэлектрических панелей.The invention relates to transport and operating storage containers of microelectronics products, in particular, fragile plates of photoconverters (FP) in satellite satellites and can be used in test and assembly equipment in the production of photovoltaic panels.

Основные требования, предъявляемые к транспортной и операционной таре изделий микроэлектроники в спутниках-носителях, высокая надежность в работе в условиях гибкого автоматизированного производства за счет исключения операции переориентации спутников путем возможности производить разгрузку (загрузку) кассеты с любого из ее торцов. В известных конструкциях выполнение этих требований достигается установкой фиксаторов на внутренней поверхности боковых стенок на концах корпуса кассеты, которые удерживают спутники от выпадения.The main requirements for the transport and operating packaging of microelectronic products in carrier satellites, high reliability in flexible automated production due to the elimination of the reorientation of satellites by the ability to unload (load) the cartridge from any of its ends. In known designs, the fulfillment of these requirements is achieved by installing clamps on the inner surface of the side walls at the ends of the cassette body, which keep the satellites from falling out.

Известна тара для технологических спутников интегральных схем, в которой фиксаторы выполнены в виде подпружиненных упоров, которые при загрузке раздвигаются спутником (SU 1193086, МКИ⁴В65Н 1/06, B65D 85/62, опубликовано 23.11.1985).A known container for technological satellites of integrated circuits in which the latches are made in the form of spring-loaded stops that are pushed apart by the satellite during loading (SU 1193086, MKI ⁴ V65H 1/06, B65D 85/62, published 11/23/1985).

Силовой контакт спутников с упорами при загрузке в известном устройстве является одной из возможных причин травмируемости изделий в процессе производства, что особенно актуально, в частности, для хрупких и дорогостоящих ФП.The power contact of satellites with stops when loading in a known device is one of the possible causes of injuries to products during production, which is especially important, in particular, for fragile and expensive FPs.

Кроме того, фиксаторы в виде подпружиненных упоров усложняют конструкцию и металлоемкость корпуса известного устройства.In addition, the latches in the form of spring-loaded stops complicate the design and metal consumption of the housing of the known device.

Известна кассета для технологических спутников интегральных схем, включающая трехстенный корпус с направляющими выступами и пружинными фиксаторами, расположенными на боковых стенках корпуса на противоположных его концах, и подвижный упор в виде съемного элемента, установленного между пружинными фиксаторами (SU 1431658, MKИ⁴ H05К 13/02, Н01L 21/68, опубликовано 20.08.1995).Known cassette for technological satellites of integrated circuits, including a three-walled housing with guiding protrusions and spring clips located on the side walls of the housing at its opposite ends, and a movable stop in the form of a removable element mounted between the spring clips (SU 1431658, MKI ⁴ H05K 13/02 , H01L 21/68, published 08/20/1995).

В известной кассете пружинные фиксаторы поочередно отжимаются спутниками при движении вверх в процессе загрузки, а при разгрузке специальным толкателем, что усложняет технологические процессы.In the known cassette, the spring clips are alternately pressed out by the satellites when moving up during the loading process, and when unloading with a special pusher, which complicates the technological processes.

Наличие подвижного упора в известной конструкции не исключает полностью возможности перекоса и нарушения соосности спутников вследствие увеличения проходного сечения корпуса, необходимого для размещения пружинных фиксаторов на боковых стенках, и контакта пружинных фиксаторов с торцами спутников крайних рядов.The presence of a movable stop in the known design does not completely exclude the possibility of skewing and misalignment of the satellites due to an increase in the bore of the casing necessary to place the spring clips on the side walls, and the contact of the spring clips with the ends of the satellites of the extreme rows.

Кроме того, конструкция пружинных фиксаторов и способ их размещения являются причиной необходимости увеличения толщины боковых стенок в профиле корпуса известной кассеты.In addition, the design of the spring clips and the method of their placement are the reason for the need to increase the thickness of the side walls in the profile of the body of the known cartridge.

Задача изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик кассет для технологических спутников путем усовершенствования фиксаторов последних.The objective of the invention is to improve the operational characteristics of cassettes for technological satellites by improving the latches of the latter.

Технический результат изобретения заключается в повышении надежности загрузки и выдачи спутников, сокращение брака за счет исключения травмирования ФП, снижение веса корпуса за счет уменьшения толщины боковых стенокThe technical result of the invention is to increase the reliability of loading and issuing satellites, reducing marriage by eliminating trauma to AF, reducing the weight of the case by reducing the thickness of the side walls

Технический результат достигается тем, что в кассете для технологических спутников фотопреобразователей, включающей трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностей и фиксаторы спутников, размещенные в боковых стенках корпуса на его концах, фиксаторы выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью, размещенных в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок, при этом горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опоре, выполненной с возможностью вертикального перемещения, а окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров.The technical result is achieved by the fact that in the cassette for technological satellites of photoconverters, comprising a three-walled casing with longitudinal stiffeners and guiding protrusions on the side walls, respectively, from the outer and inner surfaces and satellite clamps located in the side walls of the housing at its ends, the latches are made in the form of a pair rotary stops with a common horizontal axis, placed in the windows symmetrically with respect to the longitudinal and transverse axes on each of the side walls, while horizontally The axial axes of the latches are fixed on the outside of the walls on a support made with the possibility of vertical movement, and the windows are made with the possibility of installing the ends of the stops in their openings when the axes move vertically and the stops are rotated.

Боковые стенки могут быть снабжены дополнительными продольными ребрами, выполненными с возможностью крепления на них опор горизонтальных осей упоров, которые могут быть с профилем «ласточкин хвост».The side walls can be equipped with additional longitudinal ribs made with the possibility of mounting on them supports of the horizontal axes of the stops, which can be with a dovetail profile.

Кроме того, корпус может быть снабжен элементами для горизонтального штабелирования кассет, выполненными в виде выступов на ребрах жесткости.In addition, the housing can be equipped with elements for horizontal stacking of cassettes, made in the form of protrusions on the ribs.

На фиг.1 изображена кассета, загруженная спутниками, общий вид в продольном разрезе; на фиг.2 - кассета в процессе выгрузки спутников (не показаны); на фиг.3 - вид А-А фиг.2; на фиг.4 - пустая кассета вид сверху (снизу).Figure 1 shows a cassette loaded with satellites, a General view in longitudinal section; figure 2 - cartridge in the process of unloading satellites (not shown); figure 3 is a view aa of figure 2; figure 4 is an empty cassette top view (bottom).

Кассета содержит трехстенный корпус 1, выполненный, например, в виде алюминиевого профиля с продольными ребрами 2, 3 жесткости на краях наружной поверхности боковых стенок 4, 5. На внутренней поверхности боковых стенок 4, 5 выполнены продольные направляющие выступы 6, 7 для спутников 8.The cassette comprises a three-walled housing 1, made, for example, in the form of an aluminum profile with longitudinal ribs 2, 3 of rigidity at the edges of the outer surface of the side walls 4, 5. On the inner surface of the side walls 4, 5, longitudinal guide projections 6, 7 for satellites 8 are made.

На концах корпуса 1 в боковых стенках 4, 5 выполнены окна 9 для размещения упоров 10 для фиксации крайних спутников 8 в корпусе 1. Упоры 10 установлены с возможностью поворота в вертикальной плоскости на горизонтальных осях 11 попарно и размещены в окнах 9 симметрично относительно продольной и поперечной осей боковых стенок 4, 5. Окна 9 выполнены с возможностью установки концов упоров 10 в их проемах при вертикальном перемещении осей 11 и повороте упоров 10.Windows 9 are made at the ends of the housing 1 in the side walls 4, 5 to place the stops 10 for fixing the outermost satellites 8 in the housing 1. The stops 10 are mounted rotatably in the vertical plane on the horizontal axes 11 in pairs and are placed in the windows 9 symmetrically with respect to the longitudinal and transverse the axes of the side walls 4, 5. Windows 9 are made with the possibility of installing the ends of the stops 10 in their openings with the vertical movement of the axes 11 and the rotation of the stops 10.

Оси 11 упоров 10 закреплены с наружной стороны боковых стенок 4, 5 на опоре 12 в виде подпружиненного ползуна 13 с пружиной 14 внутри, установленной с возможностью сжатия при перемещении ползуна 13 вверх. Ползуны 13 закреплены на боковых стенках 4, 5 винтами 15 на направляющих в виде дополнительных продольных ребер 16 жесткости с профилем «ласточкин хвост» с возможностью вертикального перемещения. Ребра 16 дополнительно позволяют уменьшить толщину боковых стенок 4, 5, не снижая при этом жесткость корпуса 1.The axis 11 of the stops 10 are fixed on the outside of the side walls 4, 5 on the support 12 in the form of a spring-loaded slider 13 with a spring 14 inside, installed with the possibility of compression when moving the slider 13 up. The sliders 13 are fixed on the side walls 4, 5 with screws 15 on the guides in the form of additional longitudinal stiffeners 16 with a dovetail profile with the possibility of vertical movement. The ribs 16 can additionally reduce the thickness of the side walls 4, 5, without reducing the rigidity of the housing 1.

Для штабелирования кассет корпус 1 может быть снабжен элементами, выполненными в виде выступов 17, 18 соответственно на крайних ребрах 2, 3 жесткости.For stacking cassettes, the housing 1 can be equipped with elements made in the form of protrusions 17, 18, respectively, on the extreme ribs 2, 3 of the stiffness.

В процессе загрузки или разгрузки кассету с необходимого торца устанавливают в вертикальном положении на жестких внешних упорах 19, приводя их в контакт с ползунами 13. Под действием упоров 19 ползуны 13 и размещенные на них оси 11 упоров 10 перемещаются вверх. При этом пружина 14 сжимается, а пары упоров 10 поворачиваются вниз до установки их концов в проемах соответствующих окон 9, освобождая проход спутникам 8. Далее осуществляют беспрепятственное поочередное размещение в корпусе 1 (или извлечение из него) спутников 8 специальными устройствами (не показаны). Спутники 8 в корпусе 1 размещаются с образованием минимального зазора в вертикальных плоскостях, что исключает возможность их перекоса и нарушения ориентации, и перемещаются по направляющим продольным выступам 6, 7.In the process of loading or unloading the cartridge from the required end face is installed in a vertical position on the rigid external stops 19, bringing them into contact with the sliders 13. Under the action of the stops 19, the sliders 13 and the axis 11 of the stops 10 placed on them move up. In this case, the spring 14 is compressed, and the pairs of stops 10 are turned down until their ends are installed in the openings of the corresponding windows 9, freeing the passage for the satellites 8. Next, the satellites 8 are sequentially placed in the housing 1 (or removed) of the satellites 8 using special devices (not shown). The satellites 8 in the housing 1 are placed with the formation of a minimum gap in vertical planes, which eliminates the possibility of their skewing and orientation misalignment, and move along the guide longitudinal ledges 6, 7.

По завершении процесса загрузки или частичной выгрузки корпус 1 приподнимают вертикально вверх до вывода из контакта ползунов 13 с внешними упорами 19. Ползуны 13 и размещенные на них оси 11 упоров 10 перемещаются вниз. При этом пружины 14 разжимаются, а пары упоров 10 поворачиваются вверх и занимают горизонтальное положение, опираясь на ближайшие к нижнему торцу корпуса 1 горизонтальные стенки соответствующих окон 9 и перекрывая выступающими из окон концами проход крайнему снизу и опирающимся на него спутникам 8.Upon completion of the loading process or partial unloading, the housing 1 is lifted vertically upwards until the sliders 13 with the external stops 19 come out of contact. The sliders 13 and the axis 11 of the stops 10 placed on them move downward. In this case, the springs 14 are unclenched, and the pairs of stops 10 are turned upward and occupy a horizontal position, relying on the horizontal walls of the corresponding windows 9 closest to the lower end of the housing 1 and blocking the passage protruding from the windows from the bottom to the bottom and satellites 8 resting on it.

Таким образом, спутники 8 устанавливаются в корпусе 1, не испытывая силового воздействия на боковые торцы со стороны фиксаторов.Thus, the satellites 8 are installed in the housing 1, without experiencing force impact on the side ends from the latches.

В процессах межоперационной транспортировки и хранения кассеты могут штабелироваться, соединяя выступы 17 одного корпуса с выступами 18 на соседних.In the processes of interoperational transportation and storage, cassettes can be stacked, connecting the protrusions 17 of one housing with the protrusions 18 on the adjacent ones.

Claims

1. Кассета для технологических спутников фотопреобразователей, включающая трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностями и фиксаторы спутников, размещенные в боковых стенках корпуса на его концах, отличающаяся тем, что фиксаторы выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью, размещенных в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок, при этом горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опоре, выполненной с возможностью вертикального перемещения, а окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров.1. A cassette for technological satellites of photoconverters, comprising a three-walled casing with longitudinal stiffeners and guiding protrusions on the side walls, respectively, with the outer and inner surfaces, and satellite clamps located in the side walls of the housing at its ends, characterized in that the latches are made in the form of a pair of rotary stops with a common horizontal axis, placed in the windows symmetrically with respect to the longitudinal and transverse axes on each of the side walls, while the horizontal axes are fixed The ditches are fixed on the outside of the walls on a support made with the possibility of vertical movement, and the windows are made with the possibility of installing the ends of the stops in their openings during the vertical movement of the axes and the rotation of the stops.

2. Кассета по п.1, отличающаяся тем, что боковые стенки снабжены дополнительными продольными ребрами, выполненными с возможностью крепления на них опор горизонтальных осей упоров.2. The cassette according to claim 1, characterized in that the side walls are provided with additional longitudinal ribs made with the possibility of mounting on them supports of the horizontal axes of the stops.

3. Кассета по п.2, отличающаяся тем, что дополнительные ребра выполнены с профилем «ласточкин хвост».3. The cartridge according to claim 2, characterized in that the additional ribs are made with a dovetail profile.

4. Кассета по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена элементами для штабелирования в виде выступов на ребрах жесткости. 4. The cartridge according to claim 1, characterized in that it is equipped with elements for stacking in the form of protrusions on the ribs.