RU2479395C1 - Method of laser cutting of metals or alloys - Google Patents

Abstract

FIELD: process engineering.

SUBSTANCE: invention relates to metal or alloy laser cutting and may be used in various branches of machine building, medicine, etc. Plotted is calibration curve of metal or alloy fraction sprayed by laser radiation at definite power level trapped by fluid, in fact, translucent for laser beam and dependent upon depth of engraved metal or alloy surface in fluid. Then metal to be cut is dipped in fluid to depth defined by said calibration curve. Metal or alloy is penetrated in line of cutting by laser beam. Said laser beam is translated and, at a tone, rotated with radius R. Said radius and angular rotation speed ω are defined from relationship R=d/2-r, mcm and ω>V/2r, kHz, where: D is width of laser beam cutting width, mcm; r is laser beam radius, mcm; V is translation speed, m/s.

EFFECT: higher quality, no harmful effects to environments.

8 cl, 3 dwg

Description

Изобретение относится к способам обработки, а именно к резке металлических изделий воздействием лазерного излучения. Настоящий способ может найти применение в различных отраслях промышленности, в том числе в машиностроении, а также в ювелирной и медицинской сферах деятельности.The invention relates to processing methods, namely to cutting metal products by exposure to laser radiation. The present method can find application in various industries, including engineering, as well as in the jewelry and medical fields.

Резку металлических изделий воздействием лазерного излучения осуществляют перемещением пучка лазерного излучения относительно поверхности изделия. Выполняемый разрез металлического изделия состоит из совокупности линий различных длин. Глубина данных линий, которая может быть получена за единицу времени, определяет скорость реза металлических изделий и, на практике, определяется параметрами лазерного маркирующего комплекса, пучка лазерного излучения, программой перемещения пучка излучения относительно поверхности изделия. С целью обеспечить наиболее быстрый разрез на данном лазерном маркирующем комплексе, обычно выбирают соответствующие параметры пучка лазерного излучения и программу перемещения пучка лазерного излучения относительно поверхности изделия. При этом параметры пучка лазерного излучения, обычно, определяются техническими характеристиками маркирующего комплекса, а программа перемещения пучка излучения относительно поверхности изделия может варьироваться оператором практически произвольно. При резке металла или сплава при помощи пучка лазерного излучения, часть материала разрезаемого изделия неизбежно испаряется в окружающую атмосферу, ухудшая общую экологию и создавая угрозу здоровью оператору комплекса.The cutting of metal products by laser radiation is carried out by moving the laser beam relative to the surface of the product. Performed section of a metal product consists of a set of lines of various lengths. The depth of these lines, which can be obtained per unit time, determines the cutting speed of metal products and, in practice, is determined by the parameters of the laser marking complex, the laser beam, and the program for moving the radiation beam relative to the surface of the product. In order to provide the fastest cut in a given laser marking complex, the appropriate parameters of the laser beam and the program for moving the laser beam relative to the surface of the product are usually selected. In this case, the parameters of the laser beam are usually determined by the technical characteristics of the marking complex, and the program for moving the radiation beam relative to the surface of the product can vary almost randomly by the operator. When cutting metal or alloy using a laser beam, part of the material of the cut product inevitably evaporates into the surrounding atmosphere, worsening the general environment and posing a threat to the health of the complex operator.

Известен способ лазерной резки металлической пластины (см. патент US 6060687, МПК B23K 26/00; B23K 26/12, опубликован 09.05.2000), по которому одновременно с пучком лазерного излучения в область реза подают смесь по меньшей мере одного инертного газа и водорода для исключения образования заусенцев и бороздок.A known method of laser cutting a metal plate (see patent US 6060687, IPC B23K 26/00; B23K 26/12, published 09.05.2000), in which at the same time as the laser beam in the cut region serves a mixture of at least one inert gas and hydrogen to exclude the formation of burrs and grooves.

Для реализации известного способа требуется сложное технологическое оборудование. Удаляемый лазерным излучением материал разрезаемого изделия частично подхватывается газом в окружающую атмосферу, что ограничивает область применения указанного способа помещениями с принудительной вентиляцией.To implement the known method requires sophisticated technological equipment. The material of the cut product removed by laser radiation is partially picked up by the gas in the surrounding atmosphere, which limits the scope of this method to rooms with forced ventilation.

Известен способ лазерной резки металлической пластины (см. заявка EP 1920873, МПК B23K 26/38; B23K 26/00, опубликована 14.05.2008), заключающийся в том, что линию резки многократно проходят пучком лазерного излучения, при этом при каждом проходе увеличивают глубину прорезаемой щели.A known method of laser cutting a metal plate (see application EP 1920873, IPC B23K 26/38; B23K 26/00, published May 14, 2008), which consists in the fact that the cutting line is repeatedly passed by a laser beam, with each pass increasing the depth slotted gap.

Многократный проход пучком лазерного излучения линии пропила, осуществляемый в известном способе, значительно снижает производительность резки. Удаляемый лазерным излучением материал разрезаемого изделия частично испаряется в окружающую атмосферу, что ухудшает общую экологию и создает угрозу здоровью оператору комплекса.Multiple passage by a laser beam of a cut line, carried out in a known manner, significantly reduces cutting performance. The material of the cut product removed by laser radiation partially evaporates into the surrounding atmosphere, which worsens the general ecology and poses a threat to the health of the complex operator.

Известен способ лазерной резки металла или сплава (см. заявка DE 102008047761, МПК B23K 26/073; B23K 26/38, опубликована 15.04.2010), который включает предварительное построение градуировочной кривой зависимости глубины реза образца заданного металла или его сплава от параметров падающего на поверхность лазерного излучения и проплавления металла по линии реза поступательным перемещением пучка лазерного излучения. При этом диаметр пучка выбирают таким, что расплавленный материал удаляется из реза без использования газа.A known method of laser cutting a metal or alloy (see application DE 102008047761, IPC B23K 26/073; B23K 26/38, published 04/15/2010), which includes preliminary construction of a calibration curve of the dependence of the cutting depth of a sample of a given metal or its alloy on the parameters incident on surface of laser radiation and metal penetration along the cutting line by translational movement of the laser beam. In this case, the diameter of the beam is chosen such that the molten material is removed from the cut without using gas.

Недостатком известного способа является недостаточно высокая скорость резки и малая производительность процесса. Кроме того, разрезаемый материал частично испаряется в окружающую атмосферу.The disadvantage of this method is the insufficiently high cutting speed and low productivity of the process. In addition, the material being cut is partially vaporized into the surrounding atmosphere.

Наиболее близким по совокупности существенных признаков к заявляемому техническому решению является способ газолазерной резки композиционных материалов (патент RU 2382693, МПК B23K 26/38, B23K 26/14, опубликован 27.02.2010). Способ включает подачу лазерного луча на обрабатываемую поверхность, подачу соосно с лазерным лучом технологического газа, коллимирование лазерного луча, заглубление его в обрабатываемое изделие и перемещение по заданной программе. Резку производят в жидкостной среде. Изделие размещают в ванне с водой на конусовидных штырьках с превышением уровня воды над поверхностью изделия, равным 10-15 мм. Резку производят иттербиевым лазером с заглублением лазерного луча в обрабатываемое изделие на 0,2-0,4 его толщины. Перемещение лазерного луча осуществляют со скоростью 1,2-1,8 м/мин. В результате достигается расширение технологических возможностей и улучшение экологии при обработке композиционных материалов, а также обеспечивается высокое качество реза изделий.The closest set of essential features to the claimed technical solution is the method of gas laser cutting of composite materials (patent RU 2382693, IPC B23K 26/38, B23K 26/14, published on 02.27.2010). The method includes supplying a laser beam to the surface to be treated, supplying the process gas coaxially with the laser beam, collimating the laser beam, penetrating it into the workpiece, and moving according to a predetermined program. Cutting is carried out in a liquid medium. The product is placed in a water bath on cone pins with an excess of the water level above the surface of the product equal to 10-15 mm. Cutting is performed by an ytterbium laser with a laser beam deepening into the workpiece by 0.2-0.4 of its thickness. The movement of the laser beam is carried out at a speed of 1.2-1.8 m / min. The result is the expansion of technological capabilities and environmental improvement in the processing of composite materials, and also provides high quality cut products.

Недостатками указанного способа являются ряд технологических ограничений. Использование исключительно иттербиевого лазера не позволяет применить данный способ на установках предыдущего поколения на базе неодимого лазера (например, типа «Бетамаркер») или на основе углекислотных лазеров. Предлагаемое в способе превышение уровня воды над поверхностью изделия, равное 10-15 мм, ограничивает применение способа на лазерных установках умеренной мощности (например, 10-20 Вт), в особенности в непрерывном режиме излучения. Способ не позволяет проводить обработку металлических изделий. Определенная в способе скорость перемещения лазерного луча 1,2-1,8 м/мин слишком высока для выполнения реза сверхпрочных композитных материалов и/или слишком низка для относительно легкоплавких. Подача соосно с лазерным лучом технологического газа, в том числе под давлением до 1 МПа, его взаимодействия с композиционным материалом может приводить к образованию опасных для здоровья человека или взрывоопасных газов, что приведет к ухудшению экологии и безопасности процесса обработки.The disadvantages of this method are a number of technological limitations. The use of an exclusively ytterbium laser does not allow the use of this method on previous generation devices based on a neodymium laser (for example, a Betamarker type) or on the basis of carbon dioxide lasers. The proposed method in excess of the water level above the surface of the product, equal to 10-15 mm, limits the application of the method on laser systems of moderate power (for example, 10-20 W), especially in continuous radiation mode. The method does not allow the processing of metal products. The laser beam velocity of 1.2-1.8 m / min defined in the method is too high for cutting high-strength composite materials and / or too low for relatively fusible ones. The supply of the process gas coaxially with the laser beam, including under pressure up to 1 MPa, its interaction with the composite material can lead to the formation of hazardous to human health or explosive gases, which will lead to environmental degradation and safety of the processing process.

Задачей заявляемого изобретения являлась разработка такого способа резки метала или сплава, который бы обеспечивал более быстрый разрез обрабатываемого материала, т.е. наиболее эффективно использовалась бы энергия пучка лазерного излучения и при этом не происходило загрязнение окружающей среды распыляемым лазерным излучением гравируемым материалом.The objective of the invention was the development of such a method of cutting metal or alloy, which would provide a faster cut of the processed material, i.e. the energy of the laser beam would be most efficiently used and there would be no environmental pollution by the laser material sputtered by the engraved material.

Поставленная задача решается тем, что способ лазерной резки металла или сплава включает предварительное определение величины удельной мощности лазерного излучения, при которой производится сквозной рез образца заданного металла или его сплава. Затем строят градуировочную кривую зависимости доли металла или сплава, распыленного лазерным излучением с определенным уровнем мощности, задержанного жидкой средой, практически прозрачной для лазерного излучения, от глубины погружения в жидкую среду поверхности разрезаемого металла или сплава. При этом увеличивают глубину погружения от минимальной величины, определяемой образованием пленки жидкой среды, полностью укрывающей разрезаемую поверхность, до глубины, при которой лазерное излучение поглощается в жидкой среде. После чего погружают разрезаемый металл или сплав в жидкую среду на глубину, определенную по градуировочной кривой, и проплавляют металл или его сплав по линии реза пучком лазерного излучения. При этом перемещают пучок лазерного излучения поступательно со скоростью V и одновременно вращают его с радиусом R при угловой скорости вращения ω, причем радиус R, мкм, и угловая скорость вращения ω, кГц, лазерного луча удовлетворяют соотношениям:The problem is solved in that the method of laser cutting of a metal or alloy includes a preliminary determination of the specific power of laser radiation at which a through cut of a sample of a given metal or its alloy is performed. Then build a calibration curve of the proportion of metal or alloy sprayed by laser radiation with a certain power level, detained by a liquid medium that is practically transparent to laser radiation, from the immersion depth of the surface of the metal or alloy being cut into the liquid medium. At the same time, the immersion depth is increased from the minimum value determined by the formation of a film of a liquid medium that completely covers the cut surface to a depth at which laser radiation is absorbed in the liquid medium. After that, the metal or alloy being cut is immersed in a liquid medium to a depth determined by the calibration curve, and the metal or its alloy is melted along the cutting line with a laser beam. In this case, the laser beam is moved progressively at a speed V and at the same time rotate it with a radius R at an angular velocity of rotation ω, and the radius R, μm, and the angular velocity of rotation ω, kHz, of the laser beam satisfy the relations:

где d - ширина реза пучком лазерного излучения, мкм;where d is the width of the cut by a laser beam, microns;

r - радиус пучка лазерного излучения, мкм;r is the radius of the laser beam, microns;

V - скорость поступательного перемещения пучка лазерного излучения, м/с.V is the speed of translational movement of the laser beam, m / s.

В качестве жидкой среды может быть использовано любое вещество, которое, во-первых, при условиях гравировки (например, нормальных или комнатных) находится в жидком фазовом состоянии. Во-вторых, коэффициент поглощения лазерного излучения этим веществом таков, что при выбранной толщине жидкой среды над поверхностью гравируемого изделия, суммарное поглощение лазерного излучения не вызывает кипение вещества, т.е. перехода его в газовое фазовое состояние. Например, в качестве жидкой среды можно использовать воду или углеводородсодержащую жидкость, в частности, минеральное масло или спирт.As a liquid medium, any substance can be used, which, firstly, under the conditions of engraving (for example, normal or room) is in a liquid phase state. Secondly, the coefficient of absorption of laser radiation by this substance is such that for a selected thickness of the liquid medium above the surface of the engraved product, the total absorption of laser radiation does not cause boiling of the substance, i.e. its transition to a gas phase state. For example, water or a hydrocarbon-containing liquid, in particular mineral oil or alcohol, can be used as a liquid medium.

Сквозной рез можно выполнять непрерывным лазерным или импульсным лазерным излучением с длительностью импульса от 1 нс до 100 мкс.The through cut can be performed by continuous laser or pulsed laser radiation with a pulse duration of 1 ns to 100 μs.

Сквозной рез можно выполнять при поступательном перемещения пучка лазерного излучения со скоростью 0,1-100000 мм/с.The through cut can be performed with the translational movement of the laser beam at a speed of 0.1-100000 mm / s.

Заявляемый способ позволяет осуществлять резку металлических изделий быстрее, по сравнению, например, с традиционным поступательным перемещением, что позволяет говорить о более высоком КПД излучения лазерной установки при реализации заявляемого способа, а также снижать загрязнение окружающей среды за счет удержания распыляемого лазерным излучением материала разрезаемого изделия.The inventive method allows the cutting of metal products faster, compared, for example, with traditional translational movement, which allows us to talk about higher radiation efficiency of the laser system when implementing the inventive method, as well as to reduce environmental pollution by retaining the material of the cut product sprayed by laser radiation.

Вторичным, но не менее важным оказалась эффективная резка изделий из материалов с низким коэффициентом поглощения (в первую очередь - изделий из золота). Представляется, что общей для всех полученных эффектов причиной является повторный заход пучка лазерного излучения на уже облученную поверхность при его вращении. Вращение пучка лазерного излучения, таким образом, можно рассматривать в качестве своеобразного механического модулятора лазерного излучения.Secondary, but no less important was the effective cutting of products from materials with a low absorption coefficient (primarily gold products). It seems that the common cause for all the effects obtained is the repeated approach of the laser beam to the already irradiated surface during its rotation. The rotation of the laser beam, thus, can be considered as a kind of mechanical modulator of laser radiation.

Заявляемый способ лазерной резки металла или сплава поясняется чертежом, где:The inventive method of laser cutting of metal or alloy is illustrated in the drawing, where:

на фиг.1 дано схематическое изображение резки вращающимся пучком лазерного излучения;figure 1 is a schematic illustration of cutting a rotating beam of laser radiation;

на фиг.2 приведен в увеличенном масштабе участок I, показанный на фиг.1;figure 2 shows on an enlarged scale section I, shown in figure 1;

на фиг.3 показано изделие из дюраля, полученное резкой заявляемым способом.figure 3 shows a product from duralumin obtained by the sharp inventive method.

На фиг.1 обозначено: 1 - обрабатываемый металл или сплав, 2 - линия реза, 3 - траектория следования пучка лазерного излучения, 4 - положения пучка лазерного излучения в различные моменты времени, r - радиус пучка лазерного излучения, R - радиус вращения пучка, d - ширина реза.Figure 1 indicates: 1 - the metal or alloy being processed, 2 - the cutting line, 3 - the trajectory of the laser beam, 4 - the position of the laser beam at different points in time, r - radius of the laser beam, R - radius of rotation of the beam, d is the width of the cut.

Заявляемый способ осуществляют следующим образом. При помощи ЭВМ осуществляют генерацию программы перемещения пучка лазерного излучения в соответствии с топологией выполняемого реза и требуемой заранее толщиной d. Для эффективного расхода энергии лазерного излучения, а также ввиду того, что физические свойства различных металлов и сплавов, геометрические характеристики обрабатываемого изделия могут существенно различаться, предварительно определяют зависимость глубины реза образца заданного металла или его сплава от параметров падающего на поверхность лазерного излучения при монотонном возрастании удельной мощности лазерного излучения. Для этого в технологических пределах данного лазерного комплекса варьируют параметры воздействующего лазерного излучения. При этом, для того чтобы вся необходимая площадь внутри линии реза толщиной d подверглась воздействию пучка лазерного излучения, параметры V и ω выбирают, учитывая критерии (1) и (2). Затем строят градуировочную кривую зависимости доли металла или сплава, распыленного лазерным излучением с определенным уровнем мощности, задержанного жидкой средой, практически прозрачной для лазерного излучения, от глубины погружения в жидкую среду поверхности разрезаемого металла или сплава. При этом увеличивают глубину погружения от минимальной величины, определяемой образованием пленки жидкой среды, полностью укрывающей разрезаемую поверхность, до глубины, при которой лазерное излучение поглощается в жидкой среде. Погружают разрезаемый металл или сплав в жидкость так, чтобы поверхность металла или сплава находилась на глубине, определенной по градуировочной кривой. После этого осуществляют резку металла или его сплава 1 (см. фиг.1, фиг.2), проплавляя металл или его сплав 1 по линии реза пучком лазерного излучения, перемещая пучок лазерного излучения поступательно со скоростью V и одновременно вращая его с радиусом R при угловой скорости вращения ω, величины которых удовлетворяют соотношениям (1) и (2).The inventive method is as follows. Using a computer, a laser beam moving program is generated in accordance with the topology of the cut and the thickness d required in advance. For effective energy consumption of laser radiation, and also because the physical properties of various metals and alloys, the geometric characteristics of the workpiece can vary significantly, the dependence of the cutting depth of a sample of a given metal or its alloy on the parameters of the laser radiation incident on the surface with a monotonic increase in specific laser power. To this end, the parameters of the acting laser radiation are varied within the technological limits of this laser complex. Moreover, in order for the entire necessary area inside the cut line of thickness d to be exposed to a laser beam, the parameters V and ω are chosen taking into account criteria (1) and (2). Then build a calibration curve of the proportion of metal or alloy sprayed by laser radiation with a certain power level, detained by a liquid medium that is practically transparent to laser radiation, from the immersion depth of the surface of the metal or alloy being cut into the liquid medium. At the same time, the immersion depth is increased from the minimum value determined by the formation of a film of a liquid medium that completely covers the cut surface to a depth at which laser radiation is absorbed in the liquid medium. The metal or alloy being cut is immersed in a liquid so that the surface of the metal or alloy is at a depth determined by the calibration curve. After that, the metal or its alloy 1 is cut (see FIG. 1, FIG. 2), melting the metal or its alloy 1 along the cutting line with a laser beam, moving the laser beam translationally at a speed V and simultaneously rotating it with a radius R at angular velocity of rotation ω, the values of which satisfy relations (1) and (2).

Пример. Была выполнена резка пластины размером 20×50 мм толщиной 100 мкм, материал - дюраль. Резка - контур букв "LASER CENTER Saint-Petersburg" (фиг.3). Резка выполнялась на универсальной установке прецизионной лазерной маркировки и гравировки на базе волоконного лазера «МиниМаркер 2» производства ООО «Лазерный Центр». Перемещение лазерного луча относительно поверхности изделия осуществлялось при помощи двухосевого сканатора на базе приводов VM2500+. Длительность моноимпульсов лазерного излучения составляла 35 нс, частота модуляции - 100 кГц, энергия моноимпульса, измеренная при помощи пироэлектрического датчика Ophir РЕ 25, 0,7 мДж, диаметр пучка излучения на поверхности изделия 100 мкм. Предварительно была определена величина удельной мощности лазерного излучения, при которой производится сквозной рез образца заданного сплава. Предварительно, используя образец материала, была построена градуировочная кривая зависимости доли распыленного металла или его сплава, задержанной жидкой средой, практически прозрачной для лазерного излучения, от глубины погружения в жидкую среду поверхности разрезаемого сплава. Были выбраны следующие параметры; скорость поступательного перемещения лазерного луча V=0,2 м/с, скорость вращения лазерного луча ω=50 кГц. Исходя из топологии гравируемого изображения, радиус вращения был выбран R=100 мкм. Резка пластины медали проводилась в минеральном масле на глубине 7 мм.Example. A cutting of a 20 × 50 mm plate with a thickness of 100 μm was performed, the material was duralumin. Cutting - the contour of the letters "LASER CENTER Saint-Petersburg" (figure 3). The cutting was carried out on a universal installation of precision laser marking and engraving based on a MiniMarker 2 fiber laser manufactured by Laser Center LLC. The laser beam was moved relative to the surface of the product using a two-axis scanner based on VM2500 + drives. The duration of monopulses of laser radiation was 35 ns, the modulation frequency was 100 kHz, the monopulse energy measured using an Ophir PE 25 pyroelectric sensor was 0.7 mJ, and the diameter of the radiation beam on the product surface was 100 μm. Previously, the specific power of laser radiation was determined at which a through cut of a sample of a given alloy is performed. Preliminarily, using a sample of the material, a calibration curve was constructed that shows the proportion of the atomized metal or its alloy fraction held up by the liquid medium, which is practically transparent to laser radiation, and the immersion depth of the surface of the alloy being cut into the liquid medium. The following options were selected; the speed of translational movement of the laser beam V = 0.2 m / s, the rotation speed of the laser beam ω = 50 kHz. Based on the topology of the engraved image, the radius of rotation was selected R = 100 μm. The cutting of the medal plate was carried out in mineral oil at a depth of 7 mm.

Время, затраченное на выполнение данного контурного реза, включающее время включения и выключения лазерного луча для перехода к следующей строке, составило 30 секунд. Таким образом, добавление вращения лазерного луча позволило выполнить требуемый контурный рез более чем в 8 раза быстрее.The time taken to complete this contour cut, including the time the laser beam was turned on and off to go to the next line, was 30 seconds. Thus, the addition of rotation of the laser beam made it possible to perform the required contour cut more than 8 times faster.

Claims (8)

1. Способ лазерной резки металла или сплава, включающий предварительное определение величины удельной мощности лазерного излучения, при которой производится сквозной рез образца заданного металла или его сплава, построение градуировочной кривой зависимости доли металла или сплава, распыленного лазерным излучением с определенным уровнем мощности, задержанного жидкой средой, практически прозрачной для лазерного излучения, от глубины погружения в жидкую среду поверхности разрезаемого металла или сплава при увеличении глубины погружения от минимальной величины, определяемой образованием пленки жидкой среды, полностью укрывающей разрезаемую поверхность, до глубины, при которой лазерное излучение поглощается в жидкой среде, погружение разрезаемого металла или сплава в упомянутую жидкую среду на глубину, определенную по градуировочной кривой, и проплавление металла или его сплава по линии реза пучком лазерного излучения, при этом пучок лазерного излучения перемещают поступательно со скоростью V и одновременно вращают его с радиусом R при угловой скорости вращения ω, при этом радиус R и угловую скорость вращения ω лазерного луча определяют, исходя из следующего соотношения:
R=d/2-r, мкм;
ω>V/2r, кГц;
где d - ширина реза пучком лазерного излучения, мкм;
r - радиус пучка лазерного излучения, мкм;
V - скорость поступательного перемещения пучка лазерного излучения, м/с.1. A method of laser cutting of a metal or alloy, including preliminary determination of the specific power of laser radiation, at which the sample of a given metal or its alloy is cut through, building a calibration curve of the proportion of metal or alloy sprayed by laser radiation with a certain power level, detained by the liquid medium , practically transparent to laser radiation, from the depth of immersion in the liquid medium of the surface of the cut metal or alloy with increasing depth immersed from the minimum value determined by the formation of a film of a liquid medium that completely covers the cut surface to the depth at which laser radiation is absorbed in the liquid medium, immersion of the metal or alloy being cut into the liquid medium to a depth determined by the calibration curve and the penetration of the metal or metal alloy along the cutting line with a laser beam, while the laser beam is moved translationally with a speed V and at the same time rotate it with a radius R at an angular speed of rotation ω, p and the radius R and the angular velocity ω of the laser beam is determined from the following relationship:
R = d / 2-r, microns;
ω> V / 2r, kHz;
where d is the width of the cut by a laser beam, microns;
r is the radius of the laser beam, microns;
V is the speed of translational movement of the laser beam, m / s. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве жидкой среды используют воду.2. The method according to claim 1, characterized in that water is used as a liquid medium. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве жидкой среды используют углеводородсодержащую жидкость.3. The method according to claim 1, characterized in that the liquid medium is a hydrocarbon-containing liquid. 4. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве жидкой среды используют минеральное масло.4. The method according to claim 3, characterized in that mineral oil is used as a liquid medium. 5. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве жидкой среды используют спирт.5. The method according to claim 3, characterized in that alcohol is used as a liquid medium. 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что сквозной рез выполняют непрерывным лазерным излучением.6. The method according to claim 1, characterized in that the through cut is performed by continuous laser radiation. 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что сквозной рез выполняют импульсным лазерным излучением с длительностью импульса от 1 нс до 100 мкс.7. The method according to claim 1, characterized in that the through cut is performed by pulsed laser radiation with a pulse duration of from 1 ns to 100 μs. 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что сквозной рез выполняют при поступательном перемещения пучка лазерного излучения со скоростью 0,1-100000 мм/с. 8. The method according to claim 1, characterized in that the through cut is performed with the translational movement of the laser beam at a speed of 0.1-100000 mm / s

Images