RU2423547C2 - Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента - Google Patents

Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента Download PDF

Info

Publication number
RU2423547C2
RU2423547C2 RU2009135097/02A RU2009135097A RU2423547C2 RU 2423547 C2 RU2423547 C2 RU 2423547C2 RU 2009135097/02 A RU2009135097/02 A RU 2009135097/02A RU 2009135097 A RU2009135097 A RU 2009135097A RU 2423547 C2 RU2423547 C2 RU 2423547C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
zirconium
cathode
niobium
cutting
Prior art date
Application number
RU2009135097/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2009135097A (ru
Inventor
Игорь Викторович Блинков (RU)
Игорь Викторович Блинков
Вячеслав Николаевич Аникин (RU)
Вячеслав Николаевич Аникин
Алексей Олегович Волхонский (RU)
Алексей Олегович Волхонский
Ромуальд Валерьевич Кратохвил (RU)
Ромуальд Валерьевич Кратохвил
Александр Евгеньевич Фролов (RU)
Александр Евгеньевич Фролов
Original Assignee
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" filed Critical Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
Priority to RU2009135097/02A priority Critical patent/RU2423547C2/ru
Publication of RU2009135097A publication Critical patent/RU2009135097A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2423547C2 publication Critical patent/RU2423547C2/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способам получения износостойких покрытий на режущем инструменте и может быть использовано в металлообработке как при операциях прерывистого резания - поперечное фрезерование, так и при операциях непрерывного резания - продольное точение. На поверхность режущего инструмента вакуумным ионно-плазменным методом наносят многокомпонентное покрытие - нитрид титана-хрома-циркония-ниобия-алюминия, при этом при нанесении покрытия используют ниобий и алюминий в количестве 1-5 ат.% и цирконий более 5 ат.%. Нанесение покрытия осуществляют с помощью расположенных горизонтально в одной плоскости трех дуговых испарителей, подключенных к сепаратору капельной фазы, следующих составов: титан-алюминевый катод из сплава ВТ-5, комбинированный цирконий-ниобиевый катод и хромовый катод. Повышается работоспособность режущего инструмента. 2 табл.

Description

Изобретение относится к способам получения износостойких покрытий на режущем инструменте и может быть использовано в металлообработке. Известен способ повышения стойкости режущего инструмента, при котором на его поверхность вакуумным ионно-плазменным методом наносят покрытия на основе нитрида титана-циркония (см. US Patent 6838151 В2). К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, относится то, что в известном способе покрытие обладает недостаточной твердостью, адгезионной прочностью, стабильностью структуры и фазового состава в процессе резания. В результате покрытие в большей мере подвергается износу, в нем быстро появляются следы выкрашивания материала износостойкого покрытия, и происходит его отслоения на контактных площадках, протекают процессы структурного, фазового изменения в процессе резания, приводящие к разупрочнению режущего инструмента, что снижает стойкость и уменьшает возможности использования режущего инструмента.
Наиболее близким способом того же назначения к заявленному изобретению по совокупности признаков является способ повышения стойкости режущего инструмента, включающий нанесение износостойкого покрытия на основе нитрида титана-хрома, дополнительно легированного цирконием, вакуумным ионно-плазменным методом (см. патент RU 2270274 С1), принятый за прототип.
К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, принятого за прототип, относится то, что в известном способе покрытие обладает недостаточной адгезионной прочностью, стабильностью структуры и фазового состава в процессе резания.
К современному металлорежущему инструменту в настоящее время предъявляется ряд высоких требований - точность обрабатываемых деталей, срок службы, возможность работать при высоких скоростях резания без СОЖ (смазочно-охлаждающая жидкость) и возможность использования одного инструмента как при операциях прерывистого, так и непрерывного резания. Основной причиной разрушения покрытия является деформация режущего клина, усталостные явления, являющиеся причиной появления выкрашивания материала износостойкого покрытия и его отслоения на контактных площадках, а также процессы структурного, фазового изменения, происходящие в покрытии в процессе резания, в результате которых происходит разупрочнение режущего инструмента. Одним из путей повышения стойкости и расширения области практического применения режущего инструмента является нанесение покрытий многокомпонентного типа, содержащих легирующие элементы, способствующие повышению прочностных (в том числе прочности соединения покрытия с субстратом) свойств покрытия и стабилизации структуры и фазового состава в процессе резания.
Технический результат - повышение работоспособности режущего инструмента и расширение области его практического применения.
Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается тем, что в известном способе на поверхность режущего инструмента вакуумным ионно-плазменным методом наносится многокомпонентное покрытие - нитрид титана-хрома-циркония. Особенность заявленного способа заключается в том, что при нанесении покрытия в качестве дополнительных компонентов используют ниобий и алюминий в количестве 1-5% атомных и содержание циркония более 5% атомных, а нанесение покрытия осуществляют с помощью расположенных горизонтально в одной плоскости трех дуговых испарителей, подключенных к сепаратору капельной фазы, следующего состава: титан-алюминевый катод из сплава ВТ-5, цирконий-ниобиевый комбинированный катод и хромовый.
Сущность изобретения заключается в снижении эффективности деформационных процессов, уменьшении усталостных явлений в процессе резания и повышении прочностных свойств покрытия. В условиях резания покрытие должно иметь высокую твердость, прочность соединения покрытия с субстратом и высокие свойства стабильности структуры и фазового состава в процессе резания.
Для экспериментальной проверки предлагаемого способа было нанесено покрытие прототип, указанное в известном способе, а также покрытие, получаемое по предлагаемому способу. Покрытия наносили на твердосплавные пластины на установке вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий в вакууме «Булат» - «ННВ 6.6-И1», снабженной тремя вакуумными дуговыми испарителями, расположенными горизонтально в одной плоскости.
Ниже приведены конкретные примеры осуществления предлагаемого способа.
Пример 1
Покрытие Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N толщиной 6 мкм, наносимое на твердосплавную пластину ВК6 SNUN 120408 при напряжении смещения на субстрате 120 В и токе на цирконий- ниобиевом катоде 135 А.
Твердосплавные пластины ВК6 обрабатывают в струйно-абразивной камере, промывают в ультразвуковой ванне, сушат в парах спирта и устанавливают на кинематическом устройстве в вакуумной камере установки «Булат» - «ННВ6.6-И1», снабженной тремя испарителями, расположенными в одной плоскости. Используются три дуговых испарителя: первый катод титан-алюминий из сплава ВТ5, подключенный к сепаратору капельной фазы, второй - комбинированный цирконий-ниобиевый, подключенный к сепаратору капельной фазы, и третий - хромовый, подключенный к сепаратору капельной фазы. Камеру откачивают до давления 3*103 Па, включают кинематическое устройство, подают на него потенциал смещения 1кВ, включают один испаритель и при токе дуги 120 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 700°С. Затем при потенциале смещения 120 В, токе дуги 135 А на цирконий-ниобиевом катоде, 120 А на титан-алюминиевом и 90А на хромовом включают дуговые испарители, подают в камеру реакционный газ азот. Осаждают покрытие в течение 70 минут. Каждые 10 минут для подогрева субстрата потенциал смещения увеличивают до 1 кВ на 2 минуты. После нанесения покрытия отключают дуговые испарители, подачу реакционного газа, кинематическое устройство и снимают потенциал смещения. Через 40 минут камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Пример 2
Покрытие Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N толщиной 6 мкм, наносимое на твердосплавную пластину ВК6 SNUN 120408 при напряжении смещения на субстрате 120 В и токе на цирконий-ниобиевом катоде 170 А. Твердосплавные пластины ВК6 обрабатывают в струйно-абразивной камере, промывают в ультразвуковой ванне, сушат в парах спирта и устанавливают на кинематическом устройстве в вакуумной камере установки «Булат» - «ННВ 6.6-И1», снабженной тремя испарителями, расположенными в одной плоскости. Используются три дуговых испарителя: первый катод титан-алюминий из сплава ВТ5, второй - комбинированный цирконий-ниобиевый и третий - хромовый. Камеру откачивают до давления 3*103 Па, включают кинематическое устройство, подают на него потенциал смещения 1 кВ, включают один испаритель и при токе дуги 120 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 700°С. Затем при потенциале смещения 120 В, токе дуги 170 А на цирконий-ниобиевом катоде и 120 А на титан-алюминиевом и 90 А на хромовом включают дуговые испарители, подают в камеру реакционный газ азот. Осаждают покрытие в течение 70 мин. Каждые 10 минут для подогрева субстрата потенциал смещения увеличивают до 1 кВ на 2 минуты. После нанесения покрытия отключают дуговые испарители, подачу реакционного газа, кинематическое устройство и снимают потенциал смещения. Через 40 минут камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Пример 3
Покрытие Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N толщиной 6 мкм, наносимое на твердосплавную пластину ВК6 SNUN 120408 при напряжении смещения на субстрате 120 В и токе на цирконий-ниобиевом катоде 180 А. Твердосплавные пластины ВК6 обрабатывают в струйно-абразивной камере, промывают в ультразвуковой ванне, сушат в парах спирта и устанавливают на кинематическом устройстве в вакуумной камере установки «Булат» - «ННВ 6.6-И1», снабженной тремя испарителями, расположенными в одной плоскости. Используются три дуговых испарителя: первый катод титан-алюминий из сплава ВТ5, второй - комбинированный цирконий-ниобиевый и третий - хромовый. Камеру откачивают до давления 3*103 Па, включают кинематическое устройство, подают на него потенциал смещения 1 кВ, включают один испаритель и при токе дуги 120 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 700°С. Затем при потенциале смещения 120 В, токе дуги 180 А на цирконий-ниобиевом катоде и 120 А на титан-алюминиевом и 90 А на хромовом включают дуговые испарители, подают в камеру реакционный газ азот. Осаждают покрытие в течение 70 минут. Каждые 10 минут для подогрева субстрата потенциал смещения увеличивают до 1 кВ на 2 минуты. После нанесения покрытия отключают дуговые испарители, подачу реакционного газа, кинематическое устройство и снимают потенциал смещения. Через 40 минут камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Пример 4
Покрытие Ti-Al-Cr-Zr-Nb-N толщиной 6 мкм, наносимое на твердосплавную пластину ВК6 SNUN 120408 при напряжении смещения на субстрате 120 В и токе на цирконий-ниобиевом катоде 125 А. Твердосплавные пластины ВК6 обрабатывают в струйно-абразивной камере, промывают в ультразвуковой ванне, сушат в парах спирта и устанавливают на кинематическом устройстве в вакуумной камере установки «Булат» - «ННВ 6.6-И1», снабженной тремя испарителями, расположенными в одной плоскости. Используются три дуговых испарителя: первый катод титан-алюминий из сплава ВТ5, второй - комбинированный цирконий-ниобиевый и третий - хромовый. Камеру откачивают до давления 3*103 Па, включают кинематическое устройство, подают на него потенциал смещения 1 кВ, включают один испаритель и при. токе дуги 120 А производят ионную очистку и нагрев пластин до температуры 700°С. Затем при потенциале смещения 120 В, токе дуги 125 А на цирконий-ниобиевом катоде и 120 А на титан-алюминиевом и 90А на хромовом включают дуговые испарители, подают в камеру реакционный газ азот. Осаждают покрытие в течение 70 минут. Каждые 10 минут для подогрева субстрата потенциал смещения увеличивают до 1 кВ на 2 минуты. После нанесения покрытия отключают дуговые испарители, подачу реакционного газа, кинематическое устройство и снимают потенциал смещения. Через 40 минут камеру открывают и извлекают инструмент с покрытием.
Прочность соединения покрытия с субстратом измеряли на приборе revetest CSM-Instruments (Швейцария) методом измерительного царапания.
Твердость покрытий была измерена на микроиндентометре Micro-Hardness Tester - МНТ CSM-Instruments (Швейцария).
Аттестационные стойкостные испытания режущих свойств для непрерывного резания (продольного точения) проводили на токарном станке модели «16К20» с резцами со сменными многогранными пластинами. Обрабатываемый материал серый чугун СЧ30. Режим резания: скорость резания V=150 м/мин, подача S=0,2 мм/об, глубина t=1,0 мм.
Аттестационные стойкостные испытания режущих свойств для прерывистого резания (поперечного фрезерования) проводили на универсальном фрезерном станке модели «675» с резцами со сменными многогранными пластинами. Обрабатываемый материал серый чугун СЧ30. Режим резания: скорость резания V=150 м/мин, подача S=0,2 мм/об, глубина t=1,0 мм.
Критерием износа служил износ по задней поверхности пластины, равный 0,5 мм, для пластин без покрытия. Показателем режущих свойств пластины с покрытием является коэффициент стойкости Кст, который определяется отношением ее стойкости, выраженной во времени, в течение которого происходит затупление пластины до установленной величины износа, к стойкости пластины из материала основы, выраженной в свою очередь во времени, в течение которого происходит затупление пластины до величины износа, равной 0,8 мм.
Исследование фазового состава и микроструктуры осажденных покрытий осуществляли методом рентгеновской дифракции на дифрактометре ДРОН 4. Анализ элементного состава проводили на растровом электронном микроскопе JEOL JSM-6700F с приставкой для энергодисперсионной спектрометрии JED-2300F JEOL. В таблице 1 приведен фазовый, элементный состав и характеристики микроструктуры полученных покрытий.
Таблица 1
Результаты исследований элементного, фазового состава и микродеформаций решетки полученных покрытий
Номер примера Элементный состав покрытий, % Фазовый состав Микродеформации решетки, %
Ti Al Cr Zr Nb N
1 13,5 1,2 19,3 5,6 1,9 58,5 Zr(Al,Cr,Nb)N, 2,76±0,43
Ti(Al,Cr,Nb)N 1,52±0,10
2 18 1 20,4 11,4 2,3 47 Zr(Al,Cr,Nb)N 2,14±0,08
Ti(Al,Cr,Nb)N 1,43±0.14
3 11,9 1 22,5 12,5 2,4 50,4 Zr(Al,Cr,Nb)N, 2,90±0,20
Ti(Al,Cr,Nb)N 1,23±0,07
4 17,7 0,9 18,8 4,8 1,8 55,2 Ti(Al,Cr,Zr,Nb)N 1,60±0,11
Как видно из полученных результатов, увеличение тока дуги на цирконий-ниобиевом катоде от 125 А до 180 А приводит к увеличению содержания циркония в осаждаемом покрытии от 4,8% до 12,5% и ниобия от 1,8% до 2,4% соответственно, при одновременном уменьшении содержания других элементов.
При этом изменяется величина микродеформаций решетки, так, для фазы на основе сложного нитрида на основе TiN она изменяется от 1,60±0,11% до 1,23±0,07%. При уменьшении тока дуги на цирконий-ниобиевом катоде до 125 А с соответствующим уменьшением содержания циркония и ниобия, покрытие переходит из двухфазной области [сложные нитриды Ti(Al,Cr,Nb)N, Zr(Al,Cr,Nb)N] в однофазную [сложный нитрид Ti(Al,Cr,Zr,Nb)N].
Таблица 2
Результаты испытаний режущего инструмента с износостойким покрытием
№ пп Материал покрытия Микротвердость, ГПа Прочность соединения покрытия с субстратом, Н Стойкость при операции точения, мин Стойкость при операции фрезерования, мин Примечание
1 TiAlN 25 30 30 30 Аналог
2 TiCrZrN 30 55 50 35 Прототип
3 TiAlCrZrNbN 30 61 60 45 Пример №1
TiAlCrZrNbN 31 62 58 45 Пример №2
TiAlCrZrNbN 28 60 43 45 Пример №3
TiAlCrZrNbN 28 61 40 45 Пример №4
Как видно из приведенных в таблице 2 эксплуатационных свойств режущего инструмента с покрытием, введение в состав покрытия алюминия приводит увеличению прочности соединения между покрытием и субстратом вследствие диффузии атомов алюминия из покрытия в субстрат. Наличие диффузионной зоны на границе раздела покрытия и субстрата было подтверждено при исследовании твердосплавных пластин с покрытием, нанесенным указанным способом, на растровом электронном микроскопе JEOL JSM-6700F с приставкой для энергодисперсионной спектрометрии JED-2300F JEOL (Япония).
Проведенные исследования микроструктуры и состава покрытия на режущем инструменте как до, так и после исследований его стойкости при непрерывном и прерывистом резании показали отсутствие каких-либо их изменений при эксплуатации для всех приведенных примеров. Это подтверждает высокую стабильность структуры и состава покрытия в процессе резания.
В примерах №1 и №2 предлагаемого способа отображены оптимальные режимы нанесения покрытия на лезвийный инструмент с точки зрения его режущих свойств.
При токе более 170 А на цирконий-ниобиевом катоде (пример №3 предлагаемого способа) в покрытии наблюдается формирование большого количества микрокапельной фазы. Микрокапельная составляющая является опасным дефектом покрытия, особенно если она расположена на границе раздела «субстрат - покрытие» или на поверхности покрытия, так как снижает эксплуатационную эффективность инструмента. Капли распыляемого материала в объеме покрытия могут стать причиной возникновения механических деформаций и снижения твердости покрытия. Капли, сформированные на границах раздела «покрытие-субстрат» часто являются причиной отслоения покрытия вследствие формирования микропор, возникновения микротрещин и резкого снижения прочности соединения покрытия с субстратом. Капли, формируемые на поверхности покрытия, могут привести к резкому повышению прочности соединения между обрабатываемым материалом и покрытием, что является причиной существенного повышения интенсивности изнашивания инструмента, снижению эффектов покрытия.
При токе менее 135 А на цирконий-ниобиевом катоде (пример №4 предлагаемого способа) в покрытии содержится менее 5% атомных циркония, в следствие чего покрытие переходит из двухфазного в однофазное состояние, как видно из таблицы 1, это приводит к уменьшению микронапряжений в покрытии, что отрицательно сказывается на физико-механических свойствах режущего инструмента (прежде всего на твердости) и, в конечном счете, приводит к уменьшению износостойкости режущего инструмента.
Стойкость пластин, обработанных по предлагаемому способу, выше износостойкости пластин, обработанных по способу прототипу, на 22% для прерывистого резания и на 17% для непрерывного резания (пример №1 и №2 предлагаемого способа).
Покрытие, нанесенное указанным способом, расширяет область применения режущего инструмента, т.е. инструмент может быть использован как при операциях прерывистого, так и непрерывного резания.

Claims (1)

  1. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента, включающий вакуумное ионно-плазменное нанесение износостойкого покрытия на основе сложного нитрида титана-хрома-циркония, отличающийся тем, что при нанесении покрытия в качестве дополнительных компонентов используют алюминий и ниобий в количестве 1-5 ат.% и содержание циркония более 5 ат.%, а нанесение покрытия осуществляют с помощью расположенных горизонтально в одной плоскости трех дуговых испарителей, подключенных к сепаратору капельной фазы, следующих составов титан-алюминевый катод из сплава ВТ-5, комбинированный цирконий-ниобиевый катод и хромовый катод.
RU2009135097/02A 2009-09-22 2009-09-22 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента RU2423547C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009135097/02A RU2423547C2 (ru) 2009-09-22 2009-09-22 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009135097/02A RU2423547C2 (ru) 2009-09-22 2009-09-22 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009135097A RU2009135097A (ru) 2011-03-27
RU2423547C2 true RU2423547C2 (ru) 2011-07-10

Family

ID=44052550

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009135097/02A RU2423547C2 (ru) 2009-09-22 2009-09-22 Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2423547C2 (ru)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2494172C1 (ru) * 2012-08-07 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") Способ получения износостойкого покрытия
RU2596529C1 (ru) * 2015-03-13 2016-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2630736C1 (ru) * 2016-10-11 2017-09-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2641600C1 (ru) * 2016-12-20 2018-01-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2716385C1 (ru) * 2019-09-30 2020-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2494172C1 (ru) * 2012-08-07 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КНИТУ") Способ получения износостойкого покрытия
RU2596529C1 (ru) * 2015-03-13 2016-09-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2630736C1 (ru) * 2016-10-11 2017-09-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2641600C1 (ru) * 2016-12-20 2018-01-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2716385C1 (ru) * 2019-09-30 2020-03-11 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента

Also Published As

Publication number Publication date
RU2009135097A (ru) 2011-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2478138C1 (ru) Способ вакуумного ионно-плазменного нанесения многослойного износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2423547C2 (ru) Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
JP6844705B2 (ja) 被覆切削工具
RU2413786C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP6463078B2 (ja) 被覆工具の製造方法
CN108559957A (zh) 一种具有pvd涂层的钛合金切削刀具材料及其制备方法
RU2330111C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330121C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP6844704B2 (ja) 被覆切削工具
RU2330112C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330115C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2419679C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2324002C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2464343C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2414542C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330119C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2561578C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2461656C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330108C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2596528C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330107C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2464342C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558312C2 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330106C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2330117C1 (ru) Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента

Legal Events

Date Code Title Description
QB4A Licence on use of patent

Free format text: LICENCE

Effective date: 20120123