RU2415968C2

RU2415968C2 - Coating of low radiating capacity and coefficient of solar heat leakage, with improved chemical and mechanical characteristics and procedure for this coating

Info

Publication number: RU2415968C2
Application number: RU2007145707/02A
Authority: RU
Inventors: Доменик КОСТЕР (BE); Доменик КОСТЕР; Питер МАШВИТЦ (US); Питер Машвитц; Даньель ДЕКРУПЕ (BE); Даньель ДЕКРУПЕ
Original assignee: Эй-Джи-Си Флэт Гласс Норт Америке, Инк.
Priority date: 2005-05-12
Filing date: 2006-05-11
Publication date: 2011-04-10
Also published as: RU2007145707A

Abstract

FIELD: machine building.

SUBSTANCE: coating of low radiating capacity on substrate directed from substrate outside consists of first dielectric layer, first layer of silver, first protective layer containing oxide of nickel and/or chromium, first absorbing layer containing nickel and/or chromium, second dielectric layer, second layer of silver, second absorbing layer, third dielectric layer, wherein there are used either first absorbing layer or second absorbing layer, if necessary.

EFFECT: coating of low radiating capacity possessing low coefficient of solar heat leakage, aesthetic attractive and of equal or higher chemical and mechanical resistance in comparison with common systems of low radiating capacity.

65 cl, 11 dwg, 5 tbl, 7 ex

Description

Для настоящей заявки испрашивается приоритет предварительной патентной заявки США №60/680008, поданной 12 мая 2005 г., предварительной патентной заявки США №60/736876, поданной 16 ноября 2005 г., и предварительной патентной заявки США №60/750782, поданной 16 декабря 2005 г., которые полностью включены в настоящую заявку посредством ссылки.This application claims the priority of provisional patent application US No. 60/680008, filed May 12, 2005, provisional patent application US No. 60/736876, filed November 16, 2005, and provisional patent application US No. 60/750782, filed December 16 2005, which are fully incorporated into this application by reference.

Область техникиTechnical field

В целом, настоящее изобретение относится к покрытиям с низкой излучательной способностью, в частности к покрытиям с низким коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и химической стойкостью.In General, the present invention relates to coatings with low emissivity, in particular to coatings with a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and chemical resistance.

Предпосылки создания изобретенияBACKGROUND OF THE INVENTION

Содержание всех патентных документов, которые упоминаются в настоящем описании, полностью включено в настоящую заявку посредством ссылки. В случае противоречий настоящее описание, включая определения, является основным.The contents of all patent documents that are referred to in the present description, is fully incorporated into the present application by reference. In case of conflict, the present description, including definitions, is basic.

Покрытия на прозрачных панелях или подложках, регулирующие прохождение солнечного излучения, предназначены для пропускания видимого света и задерживания инфракрасного (ИК) излучения. Покрытия с высокой прозрачностью для видимого света и низкой излучательной способностью ("low-е"), нанесенные, например, на строительном остеклении или автомобильных стеклах, могут обеспечить существенное снижение затрат, связанных с управлением параметрами окружающей среды, например затрат на обогрев или охлаждение.Coatings on transparent panels or substrates that regulate the passage of solar radiation are designed to transmit visible light and trap infrared (IR) radiation. Coatings with high transparency for visible light and low emissivity ("low-e"), applied, for example, on building glazing or car glass, can provide a significant reduction in costs associated with the management of environmental parameters, such as heating or cooling.

Как правило, покрытия, обеспечивающие высокое пропускание видимого света и имеющие низкую излучательную способность, представляют собой многослойную систему, включающую прозрачную подложку и оптическое покрытие. Многослойная система включает один или более тонких металлических слоев, обладающих высоким отражением и низким пропусканием в ИК-диапазоне, расположенных между просветляющими диэлектрическими слоями. Такие системы отражают тепловое излучение и изолируют как от холода, так и солнечного излучения. Большая часть используемых сегодня многослойных систем с низкой излучательной способностью основана на использовании прозрачных диэлектриков. Как правило, толщина диэлектрических слоев подбирается исходя из снижения внутреннего и наружного отражения для обеспечения высокого пропускания света (>60%). В отражающих ИК-излучение металлических слоях может быть использован практически любой отражающий металл, например серебро, медь или золото. Серебро (Ag) используется в этих целях наиболее часто благодаря его относительно нейтральному цвету. Просветляющие диэлектрические слои обычно выполняются из прозрачных материалов, выбираемых исходя из обеспечения улучшенного пропускания видимого света.Typically, coatings that provide high visible light transmission and have low emissivity are a multi-layer system comprising a transparent substrate and an optical coating. A multilayer system includes one or more thin metal layers having high reflection and low transmission in the infrared range, located between the antireflection dielectric layers. Such systems reflect thermal radiation and isolate both from cold and solar radiation. Most of the low emissivity multilayer systems used today are based on the use of transparent dielectrics. As a rule, the thickness of the dielectric layers is selected based on the reduction of internal and external reflection to ensure high light transmission (> 60%). Virtually any reflective metal, such as silver, copper, or gold, can be used in IR-reflecting metal layers. Silver (Ag) is used for this purpose most often due to its relatively neutral color. Translucent dielectric layers are usually made of transparent materials, selected on the basis of providing improved transmission of visible light.

Обычно в покрытиях с низкой излучательной способностью стараются обеспечить относительно постоянное отражение по всему видимому спектру, чтобы покрытие имело "нейтральный" цвет, то есть, по существу, было бесцветным. Однако в обычных покрытиях с низкой излучательной способностью сложно обеспечить резкое увеличение цветового отражения для достижения эстетического эффекта или иных потребностей.Usually, in coatings with low emissivity, they try to provide a relatively constant reflection over the entire visible spectrum, so that the coating has a "neutral" color, that is, it is essentially colorless. However, in conventional coatings with low emissivity, it is difficult to provide a sharp increase in color reflection to achieve an aesthetic effect or other needs.

Для получения требуемых свойств подложки с покрытием состав и толщина каждого слоя многослойного покрытия должны выбираться с особой тщательностью. В частности, толщина ИК-отражающего слоя, например серебряного, должна тщательно выбираться. Известно, что излучательная способность слоя серебра падает с уменьшением сопротивления серебряной пленки. Таким образом, для достижения низкой излучательной способности слоя серебра сопротивление слоя серебра должно быть минимально возможным. Однако при росте толщины слоя серебра ухудшается пропускание видимого света, что может привести в появлению нежелательной окраски. Было бы желательным повысить пропускание видимого света, снизив толщину слоя серебра, не увеличивая сопротивления серебряной пленки и ее излучательной способности.To obtain the required properties of the coated substrate, the composition and thickness of each layer of the multilayer coating should be selected with great care. In particular, the thickness of the infrared reflective layer, for example silver, should be carefully selected. It is known that the emissivity of a silver layer decreases with decreasing resistance of a silver film. Thus, in order to achieve a low emissivity of the silver layer, the resistance of the silver layer should be as low as possible. However, with an increase in the thickness of the silver layer, the transmission of visible light decreases, which can lead to the appearance of an undesirable color. It would be desirable to increase the transmission of visible light by reducing the thickness of the silver layer without increasing the resistance of the silver film and its emissivity.

Тонкие прозрачные металлические слои серебра подвержены коррозии при соприкосновении, в условиях сырости, с различными коррозионно-активными веществами, например, присутствующими в атмосфере хлоридами, сульфидами, двуокисью серы и др. Для защиты слоев серебра на серебро могут быть нанесены различные защитные слои. Однако защита, обеспечиваемая обычными защитными слоями, часто оказывается недостаточной.Thin transparent metallic layers of silver are subject to corrosion upon contact, under damp conditions, with various corrosive substances, for example, chlorides, sulfides, sulfur dioxide, etc. present in the atmosphere. Various protective layers can be applied to silver to protect silver layers. However, the protection provided by conventional protective layers is often insufficient.

Стекло с покрытием используется в различных случаях, где покрытие подвергается воздействию повышенных температур. Например, температура покрытий на стеклянных окнах в самоочищающихся кухонных плитах регулярно поднимается до температуры приготовления пищи 120-230°С, зачастую доходя, например, до 480°С во время циклов очистки. Кроме того, когда стекло с покрытием подвергается закалке или гибке, покрытие нагревается вместе со стеклом до температур порядка 600°С и выше в течение промежутков времени до нескольких минут. Эти тепловые воздействия могут привести к необратимым ухудшениям оптических свойств серебряных покрытий. Эти ухудшения являются следствием окисления серебра кислородом, диффундирующим сквозь слои над серебряной пленкой и под ней. Ухудшение также может быть следствием реакции серебра с щелочными ионами, например ионами натрия (Na+), мигрирующими из стекла. Диффузия кислорода или щелочных ионов может облегчаться и усиливаться деградацией или изменением структуры диэлектрических слоев над слоем серебра и под ним. Покрытия должны быть способны противостоять повышенным температурам. Однако известные многослойные покрытия, использующие серебряную пленку в качестве отражателя инфракрасного излучения, не могут противостоять подобным температурам без какого-либо ухудшения серебряной пленки.Coated glass is used in various cases where the coating is exposed to elevated temperatures. For example, the temperature of coatings on glass windows in self-cleaning cookers regularly rises to a cooking temperature of 120-230 ° C, often reaching, for example, up to 480 ° C during cleaning cycles. In addition, when the coated glass is toughened or bent, the coating is heated together with the glass to temperatures of the order of 600 ° C. or higher for periods of time up to several minutes. These thermal effects can lead to irreversible deterioration of the optical properties of silver coatings. These deteriorations are due to the oxidation of silver by oxygen, diffusing through the layers above and below the silver film. Deterioration may also result from the reaction of silver with alkaline ions, such as sodium ions (Na +), migrating from the glass. The diffusion of oxygen or alkaline ions can be facilitated and enhanced by degradation or structural changes in the dielectric layers above and below the silver layer. Coatings should be able to withstand elevated temperatures. However, known multilayer coatings using a silver film as an infrared reflector cannot withstand such temperatures without any deterioration of the silver film.

Покрытия с низкой излучательной способностью описаны в US 4749397 и US 4995895. Покрытия вакуумного нанесения с серебром с низкой излучательной способностью сегодня широко представлены на рынке окон.Low emissivity coatings are described in US Pat. No. 4,749,397 and US Pat. No. 4,995,895. Vacuum coatings with silver with low emissivity are widely available on the window market today.

В US 4995895 описывается использование окисляемых металлов в качестве наружных покрытий для снижения помутнения при защите подвергаемых закалке покрытий с низкой излучательной способностью. Этот патент относится к способам снижения помутнения, появляющегося после воздействия температур свыше 600°С.No. 4,995,895 describes the use of oxidizable metals as external coatings to reduce haze when protecting quenched coatings with low emissivity. This patent relates to methods for reducing turbidity that occurs after exposure to temperatures above 600 ° C.

Покрытия из металлов, сплавов металлов и оксидов металлов наносились на серебряные покрытия с низкой излучательной способностью для улучшения характеристик объекта с покрытием. В US 4995895 описан слой металла или сплава металла, который наносится в качестве самого наружного слоя на слои, наносимые на стеклянную основу. Этот слой металла или сплава металла окисляется и служит в качестве просветляющего покрытия. В US 4749397 описан способ нанесения слоя оксида металла в качестве просветляющего слоя. Слой серебра, заключенный между двумя просветляющими слоями, обладает оптимальными характеристиками пропускания.Coatings of metals, metal alloys and metal oxides were applied to silver coatings with low emissivity to improve the characteristics of the coated object. No. 4,995,895 describes a metal or metal alloy layer that is applied as the outermost layer to layers applied to a glass substrate. This layer of metal or metal alloy is oxidized and serves as an antireflection coating. No. 4,749,397 describes a method for applying a metal oxide layer as an antireflection layer. The silver layer enclosed between the two antireflection layers has optimal transmission characteristics.

К сожалению, оптические покрытия часто получают повреждения во время транспортировки и погрузочно-разгрузочных работ, включая царапины и воздействие агрессивной среды. Покрытия с низкой излучательной способностью на основе серебра особенно подвержены агрессивным воздействиям. В большинстве применяемых в настоящее время многослойных систем с низкой излучательной способностью для решения этих проблем используются защитные слои, расположенные где-нибудь внутри или поверх системы тонких слоев с пониженной излучательной способностью. Тонкие защитные слои служат для снижения коррозии серебряных слоев под действием водяного пара, кислорода или иных текучих сред. Некоторые снижают ущерб от механических повреждений многослойной системы с низкой излучательной способностью благодаря своей твердости или снижая трение, если они образуют наружный слой.Unfortunately, optical coatings often get damaged during transportation and handling, including scratches and exposure to aggressive media. Silver based low emissivity coatings are particularly susceptible to aggressive effects. Most of the currently used multilayer systems with low emissivity to solve these problems use protective layers located somewhere inside or on top of the system of thin layers with reduced emissivity. Thin protective layers serve to reduce the corrosion of silver layers under the influence of water vapor, oxygen or other fluids. Some reduce the damage caused by mechanical damage to a low emissivity multilayer system due to their hardness or by reducing friction if they form an outer layer.

В районах полупустынь, а также в местах с интенсивным солнечным воздействием существующие продукты с высоким пропусканием и низкой излучательной способностью уже с успехом применяются, однако тепловая и световая нагрузка еще чрезмерно высока для достижения высокого теплового и светового комфорта внутри домов и зданий, в которых используются такие продукты с низкой излучательной способностью.In areas of semi-deserts, as well as in places with intense sun exposure, existing products with high transmittance and low emissivity are already successfully used, however, the heat and light load are still excessively high to achieve high thermal and light comfort inside homes and buildings in which such low emissivity products.

Имеется ряд многослойных систем с низкой излучательной способностью и пониженным пропусканием света, однако такие продукты обычно обладают по меньшей мере одним из следующих недостатков: высокое отражение, что снижает их эстетическую привлекательность, либо высокое затенение, что делает их непригодными для управления тепловой нагрузкой.There are a number of multilayer systems with low emissivity and reduced light transmission, however, such products usually have at least one of the following disadvantages: high reflection, which reduces their aesthetic appeal, or high shading, which makes them unsuitable for controlling the heat load.

Очень немногие продукты из имеющихся на рынке, обладающие низкой излучательной способностью, одновременно обладают требуемыми оптическими характеристиками и коэффициентом затенения. Однако и они требуют модификации, чтобы сделать их идеальными для технологических процессов и массового производства. Кроме того, такие покрытия с низкой излучательной способностью являются мягкими покрытиями, требующими большой осторожности при хранении и изготовлении стеклянных теплоизолирующих блоков. Необходимо улучшить механическую и химическую стойкость таких покрытий.Very few products on the market that have low emissivity, at the same time, have the required optical characteristics and shading coefficient. However, they also require modification to make them ideal for technological processes and mass production. In addition, such coatings with low emissivity are soft coatings that require great care in the storage and manufacture of glass insulating blocks. It is necessary to improve the mechanical and chemical resistance of such coatings.

Изготовление многослойных систем различной конструкции на одной установке для нанесения покрытий также часто встречает трудности, поскольку требования к настройке установки не всегда совместимы для разных конструкций. Требуется создать различные покрытия, которые можно было бы изготавливать одновременно на установке для нанесения покрытий без простоя и перенастройки установки.The manufacture of multilayer systems of various designs on the same installation for coating also often encounters difficulties, since the requirements for setting up the installation are not always compatible for different designs. It is required to create various coatings that could be produced simultaneously in a coating installation without downtime and reconfiguration of the installation.

Более того, в настоящее время все больше стекла из соображений безопасности подвергается термической обработке для повышения его механической прочности и предотвращения ранений в случае его разрушения. Это особенно важно для продуктов, отличающихся низким коэффициентом солнечного теплопритока (КСТП) ("low-g"). Увеличение энергии, поглощаемой покрытием, увеличивает возможные тепловые напряжения на стекле, когда часть его находится под воздействием солнечной радиации, а часть находится в тени. Типичные покрытия с низкой излучательной способностью не предназначены для термического воздействия упрочнения или закалки. Подобные условия могут полностью повредить покрытие, уничтожить его эстетическую привлекательность, сделать его непригодным для использования.Moreover, more and more glass is being heat treated for safety reasons to increase its mechanical strength and prevent injuries in the event of its destruction. This is especially important for products that have a low coefficient of solar heat gain (KSTP) ("low-g"). An increase in the energy absorbed by the coating increases the possible thermal stresses on the glass when part of it is under the influence of solar radiation, and part is in the shade. Typical coatings with low emissivity are not intended for the thermal effects of hardening or hardening. Such conditions can completely damage the coating, destroy its aesthetic appeal, make it unsuitable for use.

Компания PPG (PPG Industries, Inc.) представила на рынке изделие с низким коэффициентом солнечного теплопритока, однако оно отличается очень значительным отражением света (см. базу данных LBL Window5). Кроме того, с этим изделием будет сложно работать из-за того, что его легко поцарапать. В патентной заявке PPG WO 03/020656/A1 описывается изготовление покрытий, характеризующихся величиной коэффициента солнечного теплопритока менее 0,38 (т.е., 38%), но имеющих коэффициент отражения более 20%, что придает им вид зеркала, неприемлемый для многих применений.PPG (PPG Industries, Inc.) introduced a product with a low coefficient of solar heat gain on the market, but it has a very significant light reflection (see the LBL Window5 database). In addition, it will be difficult to work with this product because it is easy to scratch. Patent Application PPG WO 03/020656 / A1 describes the manufacture of coatings characterized by a solar heat gain coefficient of less than 0.38 (i.e., 38%) but having a reflection coefficient of more than 20%, which makes them look like mirrors that are unacceptable to many applications.

В патентной заявке Cardinal (Cardinal Glass Industries Inc.) CA 2428860 описано покрытие с низким коэффициентом солнечного теплопритока и привлекательным внешним видом. Указания относительно его химической и механической стойкости отсутствуют, однако примечательно, что в заявке не упоминается двойной слой NiCrOx/NiCr, улучшающий стойкость покрытия. Более того, использование оксида цинка в качестве основного материала диэлектрика делает практически невозможным закалку этого покрытия.Cardinal Patent Application (Cardinal Glass Industries Inc.) CA 2428860 describes a coating with a low coefficient of solar heat gain and an attractive appearance. There are no indications of its chemical and mechanical resistance, however, it is noteworthy that the application does not mention a double layer of NiCrOx / NiCr, which improves the resistance of the coating. Moreover, the use of zinc oxide as the main material of the dielectric makes it practically impossible to harden this coating.

В заявке Guardian (Guardian Industries Corporation) WO 2003/042122 упоминается напыление нескольких защитных слоев в закаливаемых изделиях с двумя слоями серебра. При этом, однако, описываются только изделия с высоким светопропусканием.Guardian Application (Guardian Industries Corporation) WO 2003/042122 mentions the deposition of several protective layers in hardened products with two silver layers. However, only products with high light transmission are described.

В заявке Guardian описываются покрытия с низким светопропусканием, которые могут подвергаться закалке. В качестве примера, однако, приводятся только покрытия с одним слоем серебра с коэффициентом солнечного теплопритока более 0,40.The Guardian application describes low transmittance coatings that can be hardened. As an example, however, only coatings with one silver layer with a solar heat gain of more than 0.40 are given.

В патентной заявке St. Gobain (Saint-Gobain Corp.) WO 03/010105 описываются многослойные системы, включающие следующие слои: диэлектрик/поглощающий слой (металлический, в конечном итоге, нитридный)/Ag/диэлектрик. Наличие металлического слоя под слоем серебра ведет к ослаблению кристаллической структуры серебра. Это также ухудшает механическую стойкость многослойной системы.In the patent application St. Gobain (Saint-Gobain Corp.) WO 03/010105 describes multilayer systems comprising the following layers: dielectric / absorption layer (metallic, ultimately nitride) / Ag / dielectric. The presence of a metal layer under the silver layer leads to a weakening of the crystalline structure of silver. It also impairs the mechanical resistance of the multilayer system.

В заявке St. Gobain WO 02/48065 описано использование поглощающих материалов в многослойной системе с низкой излучательной способностью для управления пропусканием света. В заявке особое внимание уделяется нанесению поглощающего слоя между двумя диэлектрическими слоями. Это служит для улучшения термостабильности многослойной системы при термической обработке. Вне зависимости от того, дает ли наличие поглощающего слоя в окружении диэлектрического материала преимущества с точки зрения обеспечения температурной стабильности, такая конфигурация неудобна для производства. Нанесение набрызгиванием поглощающего слоя будет сопровождаться перетоком газа внутри установки для нанесения покрытия. В результате свойства поглощающего слоя будут менее предсказуемыми, а его долговременная стабильность вызывает сомнения. Например, если поглощающий слой TiN наносится сразу после оксидного диэлектрического покрытия, TiN будет загрязнен кислородом. В результате поглощение слоя TiN ухудшится. Эти проблемы могут быть решены улучшением газовой изоляции каждой области покрытия, но это требует больших затрат и нежелательно при изготовлении на том же самом оборудовании других покрытий с низкой излучательной способностью.In the application St. Gobain WO 02/48065 describes the use of absorbing materials in a low emissivity multilayer system for controlling light transmission. In the application, particular attention is paid to applying an absorbent layer between two dielectric layers. This serves to improve the thermal stability of the multilayer system during heat treatment. Regardless of whether the presence of an absorbing layer surrounded by a dielectric material provides advantages from the point of view of ensuring thermal stability, this configuration is inconvenient for production. Spray application of the absorbent layer will be accompanied by a flow of gas inside the coating unit. As a result, the properties of the absorbent layer will be less predictable, and its long-term stability is doubtful. For example, if an TiN absorbing layer is applied immediately after an oxide dielectric coating, TiN will be contaminated with oxygen. As a result, the absorption of the TiN layer worsens. These problems can be solved by improving the gas insulation of each coating area, but this is expensive and undesirable when other coatings with low emissivity are manufactured on the same equipment.

В US 6007901 фирмы CPFilms Inc. описаны слоистые системы, основанные на двойных металлических защитных слоях.US Pat. No. 6,007,901 to CPFilms Inc. layered systems based on double metal protective layers are described.

Таким образом, остается насущной потребность в многослойных системах покрытий с низкой излучательной способностью (и способах их изготовления), в которых решены существующие проблемы. В частности, требуются многослойные системы с низкой излучательной способностью, обладающие малым коэффициентом солнечного теплопритока, с высокой эстетической привлекательностью, механической и/или химической стойкостью, которые могут быть подвергнуты, при необходимости, закалке или термическому упрочнению. Более того, требуются многослойные системы, для нанесения которых не нужна специальная, нестандартная установка.Thus, there remains an urgent need for multilayer coating systems with low emissivity (and methods for their manufacture), in which existing problems are solved. In particular, multilayer systems with a low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain, with high aesthetic attractiveness, mechanical and / or chemical resistance, which can be subjected, if necessary, to hardening or thermal hardening, are required. Moreover, multilayer systems are required, the application of which does not require a special, non-standard installation.

Краткое изложение сущности изобретенияSummary of the invention

Для решения проблем, относящихся к известным покрытиям с низкой излучательной способностью, в настоящем изобретении предлагаются усовершенствованные обладающие низкой излучательной способностью покрытия, в которых используются многослойные системы, обладающие низким коэффициентом солнечного теплопритока (то есть многослойные low-g системы), эстетической привлекательностью и равной или лучшей химической и механической стойкостью по сравнению с обычными системами с низкой излучательной способностью. Более того, предложенные в изобретении продукты совместимы со стандартными технологиями производства. В частности, например, переход от стандартной установки для нанесения покрытия к установке для нанесения покрытия с низким коэффициентом солнечного теплопритока не потребует вентиляции или иных изменений в настройке установки. Далее, стеклянные подложки, покрытые в соответствии с настоящим изобретением, можно подвергнуть закалке или термическому упрочнению, не создавая опасности деградации слоев многослойной системы или оптических характеристик покрытой подложки либо проявления других дефектов, обычно наблюдающихся при применении таких воздействий к покрытиям с низкой излучательной способностью.To solve problems related to known low emissivity coatings, the present invention provides improved low emissivity coatings that use multilayer systems having a low solar heat gain (i.e., multilayer low-g systems), aesthetic appeal and equal or better chemical and mechanical resistance compared to conventional systems with low emissivity. Moreover, the products of the invention are compatible with standard manufacturing techniques. In particular, for example, the transition from a standard coating installation to a coating installation with a low coefficient of solar heat gain will not require ventilation or other changes in the setup of the installation. Further, glass substrates coated in accordance with the present invention can be tempered or thermally hardened without creating the risk of degradation of the layers of the multilayer system or the optical characteristics of the coated substrate or the appearance of other defects that are usually observed when applying such effects to coatings with low emissivity.

В настоящем изобретении преодолены недостатки, присущие известным покрытиям, посредством введения по меньшей мере одного тонкого поглощающего слоя в систему слоев с низкой излучательной способностью. Введение поглощающего материала уменьшает общее светопропускание без улучшения отражения света. Подобное улучшение отражения света зачастую является проблемой, особенно, когда возникает на оконном стекле, обращенном внутрь здания.The present invention overcomes the inherent disadvantages of known coatings by introducing at least one thin absorbent layer into a low emissivity layer system. The introduction of absorbent material reduces the overall light transmission without improving light reflection. Such an improvement in light reflection is often a problem, especially when it occurs on a window pane facing the inside of the building.

Подходящий выбор поглощающего материала также дает возможность управлять цветом пропускания стекла с покрытием. В предпочтительном варианте осуществления поглощающий слой размещается между слоем, защищающим слой серебра, и диэлектриками. Соответственно согласно одной особенности в изобретении используется покрытие с низкой излучательной способностью, нанесенное на подложку, при этом покрытие содержит, начиная от подложки, первый диэлектрический слой; первый слой серебра; первый защитный слой; первый поглощающий слой; второй диэлектрический слой, второй слой серебра; второй защитный слой; второй поглощающий слой; третий диэлектрический слой; и при необходимости, слой верхнего покрытия, при этом либо первый поглощающий слой, либо второй поглощающий слой используются в случае необходимости, то есть использование двух слоев необязательно. В изобретении также рассматриваются покрытия, аналогичные описанному выше, но с одним слоем серебра вместо двух или более слоев серебра. Покрытия в настоящем изобретении формируются нанесением слоев на подложку. В предпочтительном способе нанесение осуществляется магнетронным распылением.A suitable selection of absorbent material also makes it possible to control the transmission color of coated glass. In a preferred embodiment, an absorbent layer is interposed between the silver layer and the dielectrics. Accordingly, according to one aspect, the invention uses a low emissivity coating deposited on a substrate, the coating comprising, starting from the substrate, a first dielectric layer; first layer of silver; first protective layer; a first absorbent layer; a second dielectric layer, a second silver layer; second protective layer; a second absorbent layer; a third dielectric layer; and if necessary, a topcoat layer, with either the first absorbing layer or the second absorbing layer being used if necessary, that is, the use of two layers is optional. The invention also contemplates coatings similar to those described above, but with one silver layer instead of two or more silver layers. Coatings in the present invention are formed by applying layers to a substrate. In a preferred method, the application is by magnetron sputtering.

Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings

На фиг.1 представлен вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостью, предложенной в настоящем изобретении.Figure 1 presents an embodiment of an aesthetically attractive multilayer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance proposed in the present invention.

На фиг.2 представлен альтернативный вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостью, включающей кристаллизующие (зародышеообразования) слои для улучшения свойств слоев серебра.Figure 2 presents an alternative embodiment of an aesthetically attractive multilayer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance, including crystallizing (nucleation) layers to improve the properties of silver layers.

На фиг.3 представлен другой вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостью.Figure 3 shows another embodiment of an aesthetically attractive multi-layer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance.

На фиг.4 представлен еще один вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостьюFigure 4 presents another embodiment of an aesthetically attractive multilayer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance

На фиг.5 представлен вариант осуществления многослойной системы с низкой излучательной способностью для использования в автомобилях или иных транспортных средствах, включающей две стеклянных подложки, слой поливинилбутирата (ПВБ) и покрытие в соответствии с настоящим изобретением.Figure 5 presents an embodiment of a multilayer system with low emissivity for use in automobiles or other vehicles, including two glass substrates, a layer of polyvinyl butyrate (PVB) and a coating in accordance with the present invention.

На фиг.6А и 6Б приведены оптические константы типовых материалов, пригодных для использования в low-g поглотителях, предложенных в настоящем изобретении. На фиг.6А представлены данные, относящиеся к коэффициенту преломления (n), а на фиг.6Б представлены данные, относящиеся к коэффициенту поглощения (k).6A and 6B show optical constants of typical materials suitable for use in the low-g absorbers of the present invention. On figa presents data related to the refractive index (n), and on figb presents data related to the absorption coefficient (k).

На фиг.7 приведены зависимости коэффициента преломления для двух стехиометрических составов SiAlO_xN_y.Figure 7 shows the dependences of the refractive index for two stoichiometric compositions of SiAlO _x N _y .

На фиг.8 приведены зависимости предпочтительных значений n и k для SiAlO_xN_y в многослойной системе с низким коэффициентом солнечного теплопритока в соответствии изобретением.On Fig shows the dependence of the preferred values of n and k for SiAlO _x N _y in a multilayer system with a low coefficient of solar heat gain in accordance with the invention.

На фиг.9 представлен альтернативный вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостью.Figure 9 presents an alternative embodiment of an aesthetically attractive multilayer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance.

На фиг.10 представлен еще один вариант осуществления эстетически привлекательной многослойной системы с низкой излучательной способностью, обладающей малым коэффициентом солнечного теплопритока и улучшенной механической и/или химической стойкостью.Figure 10 shows another embodiment of an aesthetically attractive multi-layer system with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain and improved mechanical and / or chemical resistance.

Подробное описание предмета изобретенияDetailed description of the subject invention

В приведенном ниже подробном описании делаются ссылки на некоторые конкретные варианты осуществления изобретения. Эти варианты осуществления описаны достаточно подробно для того, чтобы специалист был в состоянии практически осуществить изобретение, при этом подразумевается, что возможны и другие варианты осуществления и что могут быть сделаны конструктивные и логичные изменения, не противоречащие существу настоящего изобретения и не выходящие за пределы области его патентных притязаний.In the following detailed description, reference is made to certain specific embodiments of the invention. These embodiments are described in sufficient detail for the skilled person to be able to practically carry out the invention, it being understood that other embodiments are possible and that constructive and logical changes can be made that do not contradict the essence of the present invention and do not go beyond its scope patent claims.

В настоящем изобретении предложены улучшенные покрытия, которые образуют многослойные системы (структуры) с низкой излучательной способностью, обладающие низким коэффициентом солнечного теплопритока (КСТП), привлекательным внешним видом и равной или улучшенной химической и механической стойкостью по сравнению с типичными многослойными системами с низкой излучательной способностью. Кроме того, в изобретении предложены продукты, совместимые со стандартными технологиями производства. В частности, например, переход от стандартной установки для нанесения покрытия к установке для нанесения покрытия с низким коэффициентом солнечного теплопритока не потребует вентиляции или иных изменений в настройке установки. Далее, стеклянные подложки, покрытые в соответствии с настоящим изобретением, можно подвергнуть закалке или термическому упрочнению, не создавая опасности деградации слоев многослойной системы или оптических характеристик покрытой подложки, либо проявления других дефектов, обычно наблюдающихся при применении таких воздействий к покрытиям с низкой излучательной способностью.The present invention provides improved coatings that form multilayer systems (structures) with low emissivity, having a low coefficient of solar heat gain (KSTP), attractive appearance and equal or improved chemical and mechanical resistance compared to typical multilayer systems with low emissivity. In addition, the invention provides products compatible with standard manufacturing techniques. In particular, for example, the transition from a standard coating installation to a coating installation with a low coefficient of solar heat gain will not require ventilation or other changes in the setup of the installation. Further, glass substrates coated in accordance with the present invention can be tempered or thermally hardened without creating the risk of degradation of the layers of the multilayer system or the optical characteristics of the coated substrate, or the appearance of other defects that are usually observed when applying such effects to low emissivity coatings.

В настоящем изобретении требуемые характеристики достигаются посредством введения по меньшей мере одного тонкого поглощающего слоя в многослойную систему с низкой излучательной способностью. Введение поглощающего материала уменьшает общее светопропускание без увеличения отражения света. Увеличенное отражение создает проблемы, особенно, когда оно возникает у оконного стекла изнутри здания. Устойчивость к закалке может быть повышена путем подбора толщины диэлектрических или поглощающих слоев либо свойств поглощающих слоев.In the present invention, the required characteristics are achieved by introducing at least one thin absorbent layer into a low emissivity multilayer system. The introduction of absorbent material reduces the overall light transmission without increasing light reflection. Increased reflection creates problems, especially when it occurs in a window pane from inside the building. Hardening resistance can be improved by selecting the thickness of the dielectric or absorbing layers or the properties of the absorbing layers.

Согласно одной особенности в изобретении используется многослойная система с низкой излучательной способностью, включая покрытие на подложке, причем покрытие содержит по меньшей мере один поглощающий слой. Многослойная система с низкой излучательной способностью характеризуется величиной коэффициента солнечного теплопритока (КСТП), составляющей менее примерно 0,34, желательно менее примерно 0,30. В различных вариантах осуществления, светопропускание многослойной системы составляет примерно от 42% до 46%. Во время закалки пропускание поднимается примерно на 1%. В других вариантах осуществления многослойная система имеет цветное пропускание с отрицательным а* и отрицательным b*.According to one aspect, the invention uses a multilayer system with low emissivity, including a coating on a substrate, the coating comprising at least one absorbing layer. A multilayer system with low emissivity is characterized by a value of the coefficient of solar heat gain (KSTP) of less than about 0.34, preferably less than about 0.30. In various embodiments, the light transmission of the multilayer system is from about 42% to 46%. During quenching, the transmittance rises by about 1%. In other embodiments, the multilayer system has color transmission with negative a * and negative b *.

Согласно другой особенности в настоящем изобретении используется покрытие с низкой излучательной способностью на подложке, причем покрытие содержит, считая от подложки, первый диэлектрический слой; первый слой серебра; первый защитный слой; первый поглощающий слой; второй диэлектрический слой, второй слой серебра; второй поглощающий слой; третий диэлектрический слой; и при необходимости, слой верхнего покрытия. Либо первый поглощающий слой, либо второй поглощающий слой используются в случае необходимости, то есть использование двух поглощающих слоев необязательно. Второй защитный слой может быть помещен между вторым серебряным слоем и вторым поглощающим слоем. Подложка в предпочтительном варианте осуществления делается стеклянной. В предпочтительных вариантах осуществления два серебряных слоя сбалансированы в соотношении Ag1/Ag2 примерно 80% или более. В других вариантах осуществления, однако, соотношение может опускаться до 50%. Наличие сбалансированных слоев серебра дает различные преимущества с точки зрения изготовления. Поскольку оба анода эродируют примерно с одинаковой скоростью, длина процесса может быть сделана максимально возможной. Когда, например, второй слой серебра значительно толще, чем первый слой, установка для нанесения покрытий требует проветривания в начале процесса, что отрицательно влияет на производственные расходы. В изобретении также используются покрытия, аналогичные описанным выше, но содержащие один слой серебра вместо двух или более слоев серебра.According to another aspect, the present invention uses a low emissivity coating on a substrate, the coating comprising, starting from the substrate, a first dielectric layer; first layer of silver; first protective layer; a first absorbent layer; a second dielectric layer, a second silver layer; a second absorbent layer; a third dielectric layer; and, if necessary, a topcoat layer. Either the first absorbent layer or the second absorbent layer is used if necessary, that is, the use of two absorbent layers is optional. A second protective layer may be interposed between the second silver layer and the second absorbent layer. The substrate in the preferred embodiment is made of glass. In preferred embodiments, the two silver layers are balanced in an Ag1 / Ag2 ratio of about 80% or more. In other embodiments, however, the ratio may drop to 50%. The presence of balanced layers of silver provides various advantages in terms of manufacturing. Since both anodes erode at approximately the same rate, the process length can be made as large as possible. When, for example, the second layer of silver is much thicker than the first layer, the coating unit requires ventilation at the beginning of the process, which negatively affects production costs. The invention also uses coatings similar to those described above, but containing one layer of silver instead of two or more layers of silver.

В предпочтительном варианте осуществления поглощающий слой располагается между слоем, защищающим серебряный слой, и диэлектрическим слоем. Поглощающий материал может включать металл, сплав, силицид, поглощающий оксид, поглощающий серый металл, нитрид либо иной другой подходящий материал, который дает требуемый эффект. Предпочтительные для использования материалы включают Ti, TiN, Si, NiCr, NiCrOx, Cr, Zr, Mo, W и ZrSi, сплавы никеля или хрома, переходные металлы, их нитриды, основные соли азотистой кислоты, закиси, а также силициды и алюминиды и другие вещества. В предпочтительных вариантах осуществления, предназначенных для закалки и не закаляемых, поглощающий материал содержит NiCr. В вариантах осуществления, не подлежащих закалке, в качестве поглощаемого материала хорошо подходит Ti.In a preferred embodiment, the absorbent layer is located between the layer protecting the silver layer and the dielectric layer. The absorbent material may include a metal, alloy, silicide, absorbing oxide, absorbing gray metal, nitride, or other other suitable material that gives the desired effect. Preferred materials for use include Ti, TiN, Si, NiCr, NiCrOx, Cr, Zr, Mo, W and ZrSi, nickel or chromium alloys, transition metals, their nitrides, basic salts of nitrous acid, nitrous oxide, and silicides and aluminides and others substances. In preferred embodiments, designed to be quenched and not quenched, the absorbent material comprises NiCr. In non-quenching embodiments, Ti is well suited as an absorbable material.

Специалист надлежащим выбором поглощающего материала может управлять цветовым пропусканием стекла с покрытием. Нейтральный цвет (предпочтительны отрицательные и сбалансированные значения а* и b*, минимальное требование состоит в том, чтобы значение а* было отрицательным, а значение b* было меньше +2 для пропускания и отражения со стороны стекла) эстетически более привлекателен, чем зеленоватый или желтоватый оттенок. Нейтральное пропускание особенно желательно, поскольку это обеспечивает правильную цветопередачу стеклопакета (блока) (IGU - от англ. "insulated glass unit"), в котором вставлено стекло. Настоящее изобретение дает возможность получения, при необходимости, голубоватого оттенка.One of skill in the art by proper selection of absorbent material can control the color transmittance of coated glass. Neutral color (negative and balanced values of a * and b * are preferred, the minimum requirement is that a * is negative and b * is less than +2 for transmission and reflection from the side of the glass) is aesthetically more attractive than greenish or yellowish tint. Neutral transmission is especially desirable, since it provides the correct color rendition of a double-glazed window (block) (IGU - from the English "insulated glass unit") in which glass is inserted. The present invention makes it possible to obtain, if necessary, a bluish tint.

Таким образом, было установлено, что некоторые материалы в конструкциях с низким коэффициентом солнечного теплопритока позволяют снизить пропускание покрытий с низкой излучательной способностью и обеспечить предпочтительный характер цветопередачи многослойной системы. В случае закаливаемых покрытий предпочтительные для использования материалы также обладают температурной стабильностью в составе тонкопленочной многослойной системы. В качестве альтернативы поглощающим материалам, упомянутым выше, могут быть использованы и многие другие материалы. К ним относятся те, у которых интервалы значений коэффициента преломления (n) и коэффициента поглощения (k) обеспечивают выполнение функции снижения пропускания. В конструкции с низким коэффициентом солнечного теплопритока, позволяющей производить закалку, поглощающий слой будет обладать подходящими оптическими свойствами, а также и термостабильностью.Thus, it was found that some materials in structures with a low coefficient of solar heat gain can reduce the transmittance of coatings with low emissivity and provide a preferred color rendering of the multilayer system. In the case of hardenable coatings, preferred materials are also temperature stable in a thin film multilayer system. As an alternative to the absorbent materials mentioned above, many other materials can be used. These include those in which the ranges of the refractive index (n) and absorption coefficient (k) provide the function of transmittance reduction. In a design with a low coefficient of solar heat gain, allowing hardening, the absorbing layer will have suitable optical properties, as well as thermal stability.

В US 6416872, полностью введенном в настоящее описание посредством ссылки, упоминается использование конструкции для управления солнечным теплопритоком, в которой имеется тонкопленочная многослойная система типа Фабри-Перо (металл/диэлектрик/металл). Один из металлов является материалом, отражающим инфракрасное излучение (серебро), а другой является оптически поглощающим материалом. Оптически поглощающий материал описывается в терминах интервала соответствующих оптических констант. В предпочтительных вариантах осуществления настоящего изобретения также используются многослойные системы Фабри-Перо с общей структурой слоев металл/металл/диэлектрик/металл/металл или, более конкретно, металл/тонкий поглотитель-закись (защитный)/металл/диэлектрик/металл/тонкий поглотитель-закись (защитные)/металл. В каждом из этих случаев один металл из пары "металл/металл" является, в предпочтительном варианте, металлом, отражающим ИК-излучение, а другой является, предпочтительно, поглощающим металлическим материалом. Поглощающий металлический материал с низким коэффициентом солнечного теплопритока может быть описан интервалом оптических констант, аналогичным тем, что предложены в US 6416872. Оптические константы типовых материалов, подходящих для оптического использования в качестве поглотителей с низким коэффициентом солнечного теплопритока, представлены графическими зависимостями на фиг.6А и 6Б. На основе данных, представленных на фиг.6А, предпочтительным интервалом значений коэффициента преломления на длине волны 550 нм является, примерно, 1-5,5 для показанных металлических поглотителей. Согласно данным, представленным на фиг.6Б, для показанных металлических поглотителей коэффициент поглощения на длине волны 550 нм лежит в интервале примерно от 1,75 до 4,5. Дополнительным параметром, который может быть использован для определения подходящих материалов, является положительный наклон графика зависимости коэффициента преломления на длине волны 550 нм. Этот признак отличает металлические материалы от закисей и нитридов, которые на аналогичных графиках обычно имеют отрицательный скат на 550 нм.US 6,416,872, incorporated herein by reference in its entirety, refers to the use of a solar heat control design in which there is a Fabry-Perot-type thin film multilayer system (metal / dielectric / metal). One of the metals is a material that reflects infrared radiation (silver), and the other is an optically absorbing material. Optically absorbing material is described in terms of the range of the respective optical constants. Preferred embodiments of the present invention also use Fabry-Perot multilayer systems with a common metal / metal / dielectric / metal / metal layer structure, or more specifically, metal / thin absorber-nitrous oxide (protective) / metal / dielectric / metal / thin absorber - nitrous (protective) / metal. In each of these cases, one metal of the metal / metal pair is, preferably, a metal reflecting infrared radiation, and the other is preferably an absorbing metal material. Absorbing metal material with a low coefficient of solar heat gain can be described by a range of optical constants similar to those proposed in US 6416872. The optical constants of typical materials suitable for optical use as absorbers with a low coefficient of solar heat gain are represented by graphical dependencies in figa and 6B. Based on the data presented in FIG. 6A, a preferred range of refractive index values at a wavelength of 550 nm is about 1-5.5 for the metal absorbers shown. According to the data presented on figb, for the shown metal absorbers, the absorption coefficient at a wavelength of 550 nm lies in the range from about 1.75 to 4.5. An additional parameter that can be used to determine suitable materials is the positive slope of the graph of the dependence of the refractive index at a wavelength of 550 nm. This feature distinguishes metallic materials from nitrous and nitride, which on similar graphs usually have a negative slope of 550 nm.

В предпочтительном варианте осуществления изобретения поглощающий слой вводится в совершенно определенном месте многослойной системы. Это необходимо для оптимизации других характеристик, которые важны для изготовления и обработки стекла с покрытием, особенно стойкости к воздействиям и простоте изготовления.In a preferred embodiment, the absorbent layer is introduced at a very specific location in the multilayer system. This is necessary to optimize other characteristics that are important for the manufacture and processing of coated glass, especially resistance to impact and ease of manufacture.

В предпочтительном варианте каждый из поглощающих слоев имеет толщину примерно от 0,1 нм до 8 нм. Если используется два поглощающих слоя, то толщина первого поглощающего слоя, желательно, больше толщины второго поглощающего слоя. В предпочтительном варианте толщина первого поглощающего слоя составляет, примерно, от 1 нм до 6 нм, а лучше, от 1,5 нм до 4 нм. Толщина второго поглощающего слоя, в предпочтительном варианте, составляет примерно от 0,1 нм до 5 нм, лучше, примерно, от 0,1 нм до 4 нм. В альтернативном варианте осуществления первый поглощающий слой имеет толщину примерно 3 нм. В другом варианте осуществления второй поглощающий слой имеет толщину примерно 0,5 нм. Еще в одном альтернативном варианте осуществления первый поглощающий слой имеет толщину примерно 3,6 нм. В другом альтернативном варианте осуществления второй поглощающий слой имеет толщину примерно 0,1 нм.In a preferred embodiment, each of the absorbent layers has a thickness of from about 0.1 nm to 8 nm. If two absorbent layers are used, then the thickness of the first absorbent layer is desirably greater than the thickness of the second absorbent layer. In a preferred embodiment, the thickness of the first absorbent layer is from about 1 nm to 6 nm, and preferably from 1.5 nm to 4 nm. The thickness of the second absorbent layer, in a preferred embodiment, is from about 0.1 nm to 5 nm, preferably from about 0.1 nm to 4 nm. In an alternative embodiment, the first absorbent layer has a thickness of about 3 nm. In another embodiment, the second absorbent layer has a thickness of about 0.5 nm. In yet another alternative embodiment, the first absorbent layer has a thickness of about 3.6 nm. In another alternative embodiment, the second absorbent layer has a thickness of about 0.1 nm.

В предпочтительный вариантах осуществления диэлектрические слои каждый независимо содержит оксид, нитрид или оксинитрид. В том случае, когда диэлектрический слой содержит оксид, оксид обычно распыляется с анода из Ti, Zn, Sn, сплава ZnSn или Bi. Оксид может содержать Nb₂O₅. Оксид может содержать примерно до 20 мас.%, желательно, примерно до 10 мас.% элемента, например, Al или В, или аналогичного им. Эти добавки обычно используются для обеспечения проводимости кремниевых анодов установки для нанесения покрытий. Когда диэлектрический слой содержит нитрид или оксинитрид, нитрид или оксинитрид могут быть нитридом или оксинитридом Si, SiAl, SiB, SiZr или иным подходящим нитридом или оксинитридом, обеспечивающим достижение требуемого эффекта. Аналогично, нитрид или оксинитрид могут содержать примерно до 20 мас.%, желательно, примерно до 10 мас.% элемента, например, А1 или В, или аналогичного им для обеспечения проводимости анодов установки для нанесения покрытий.In preferred embodiments, the dielectric layers each independently comprise an oxide, nitride or oxynitride. In the case where the dielectric layer contains oxide, the oxide is usually sprayed from the anode of Ti, Zn, Sn, ZnSn or Bi alloy. The oxide may contain Nb ₂ O ₅ . The oxide may contain up to about 20 wt.%, Preferably up to about 10 wt.% Of an element, for example, Al or B, or the like. These additives are commonly used to ensure the conductivity of the silicon anodes of the coating plant. When the dielectric layer contains nitride or oxynitride, the nitride or oxynitride may be Si, SiAl, SiB, SiZr nitride or oxynitride, or other suitable nitride or oxynitride to achieve the desired effect. Similarly, nitride or oxynitride may contain up to about 20 wt.%, Preferably up to about 10 wt.%, Of an element, for example, A1 or B, or the like, to provide conductivity to the anodes of the coating apparatus.

В предпочтительных вариантах осуществления, в которых используются три основных диэлектрика, как это показано, например, на фиг.1 и 3, по крайней мере один из диэлектрических слоев имеет субстехиометрический состав. В более предпочтительном варианте выполнения все три эти диэлектрика (например, SiAlOxNy) имеют субстехиометрический состав. Использование таких субстехиометрических слоев может иметь различные преимущества. Например:In preferred embodiments, in which three main dielectrics are used, as shown, for example, in FIGS. 1 and 3, at least one of the dielectric layers has a sub-stoichiometric composition. In a more preferred embodiment, all three of these dielectrics (e.g., SiAlOxNy) have a sub-stoichiometric composition. The use of such substoichiometric layers can have various advantages. For example:

1. Скорость нанесения покрытия с использованием распылительной мишени из SiAl выше, если поверхность мишени имеет субстехиометрический состав. Выход выбивания для поверхности, обогащенной кремнием, выше, чем для поверхности, состоящей из более азотированного кремния. Более высокая скорость нанесения покрытия важна с точки зрения большей производительности установки для нанесения покрытий, что поднимает рентабельность.1. The coating rate using a spray target of SiAl is higher if the target surface has a sub-stoichiometric composition. The knock-out yield for a surface enriched in silicon is higher than for a surface consisting of more nitrided silicon. A higher coating speed is important in terms of greater productivity of the coating plant, which improves profitability.

2. Благодаря более высокому коэффициенту преломления субстехиометрических нитридов можно делать диэлектрические слои меньшей физической толщины при той же оптической толщине. Расходуется меньше материала мишени при использовании субстехиометрических слоев, чем еще увеличивается эффективность работы установки для нанесения покрытий.2. Due to the higher refractive index of substoichiometric nitrides, it is possible to make dielectric layers of smaller physical thickness with the same optical thickness. Less target material is used when using substoichiometric layers, which further increases the efficiency of the coating plant.

3. Диэлектрики с более высоким коэффициентом преломления обеспечивают более высокую гибкость оптических характеристик конструкций многослойных систем с низкой излучательной способностью. Нужные цвета пропускания и отражения достигаются легче при использовании диэлектриков с высоким коэффициентом преломления, чем при использовании стехиометрических диэлектриков с меньшим коэффициентом преломления.3. Dielectrics with a higher refractive index provide higher flexibility of the optical characteristics of the structures of multilayer systems with low emissivity. The desired transmittance and reflection colors are achieved more easily when using dielectrics with a high refractive index than when using stoichiometric dielectrics with a lower refractive index.

4. Субстехиометрические слои, как правило, имеют лучшие защитные химические свойства по сравнению со стехиометрическими. Этим обеспечивается более высокая химическая стабильность и коррозионная устойчивость многослойной системы с низкой излучательной способностью. Снижается вероятность попадания агрессивных химических веществ на легко повреждаемые серебряные слои.4. Substoichiometric layers, as a rule, have better protective chemical properties compared with stoichiometric. This provides higher chemical stability and corrosion resistance of a multilayer system with low emissivity. Reduces the likelihood of aggressive chemicals entering easily damaged silver layers.

5. Оптическое поглощение субстехиометрических диэлектриков способствует снижению пропускания и увеличению коэффициента солнечного теплопритока многослойной системы с низким коэффициентом солнечного теплопритока. Субстехиометрические диэлектрики, как правило, имеют более высокое поглощение в оптической части спектра и более прозрачны в инфракрасной. Таким образом, эти диэлектрики уменьшают пропускание видимого света, но не влияют на отражающие свойства серебряных слоев в ИК-диапазоне.5. The optical absorption of substoichiometric dielectrics helps to reduce transmission and increase the coefficient of solar heat gain of a multilayer system with a low coefficient of solar heat gain. Substoichiometric dielectrics, as a rule, have higher absorption in the optical part of the spectrum and are more transparent in infrared. Thus, these dielectrics reduce the transmission of visible light, but do not affect the reflective properties of silver layers in the infrared range.

Металлические поглощающие слои обладают оптическим поглощением как в видимой, так и в инфракрасной части спектра. Когда металлические материалы используют для уменьшения пропускания в продуктах с низким коэффициентом солнечного теплопритока, ухудшается как пропускание в видимой части, так и отражение в инфракрасной части. Желательно, чтобы продукты с низким коэффициентом солнечного теплопритока обладали как можно более высоким отражением в ИК-части спектра.Metal absorbing layers have optical absorption in both the visible and infrared parts of the spectrum. When metallic materials are used to reduce transmittance in products with a low solar heat gain, both transmittance in the visible part and reflection in the infrared part deteriorate. It is desirable that products with a low coefficient of solar heat gain have the highest possible reflection in the infrared part of the spectrum.

Эти преимущества, как правило, присущи субстехиометрическим оксидам, оксинитридам и нитридам, которые могут быть использованы в многослойных системах с низкой излучательной способностью.These advantages are typically inherent in substoichiometric oxides, oxynitrides and nitrides, which can be used in multilayer systems with low emissivity.

Соотношение кремния и алюминия в предпочтительных для использования диэлектриках в этих многослойных системах с низким коэффициентом солнечного теплопритока характеризуется 10 вес.% Al. Могут быть использованы и другие соотношения Si:Al. В некоторых вариантах осуществления атомные соотношения Si, О и N составляют примерно Si₄O_0,4N₅. Основная функция верхнего слоя диэлектрика оксинитрида кремния состоит в создании оптической интерференции, обеспечивающей снижение отражения серебряного слоя. Материал выбирается отчасти исходя из его защитных свойств и твердости. Этим обеспечивается защита серебра, как механическая, так и химическая.The ratio of silicon and aluminum in preferred dielectrics for use in these multilayer systems with a low coefficient of solar heat gain is characterized by 10 wt.% Al. Other Si: Al ratios may be used. In some embodiments, the atomic ratios of Si, O, and N are approximately Si ₄ O _0.4 N ₅ . The main function of the upper layer of the dielectric silicon oxynitride is to create optical interference, which reduces the reflection of the silver layer. The material is selected in part based on its protective properties and hardness. This ensures the protection of silver, both mechanical and chemical.

На фиг.7 приведены коэффициенты преломления и поглощения для оксинитрида кремния. Зависимости коэффициентов преломления и поглощения, построенные на графике, демонстрируют две стехиометрии SiAlO_xN_y. Эти зависимости представляют примерно верхний и нижний пределы стехиометрического состава SiAlO_xN_y, которые пригодны для использования в покрытиях с низким коэффициентом солнечного теплопритока. В предпочтительных вариантах осуществления стехиометрия обычно находится между этими двумя границами. На фиг.8 приведены приблизительные значения n и k для SiAlO_xN_y в многослойных системах с низким коэффициентом солнечного теплопритока. В предпочтительных вариантах осуществления коэффициент преломления диэлектриков на длине волны 550 нм составляет примерно от 2,05 до 2,4, лучше, примерно от 2,1 до 2,3. В предпочтительных вариантах осуществления коэффициент поглощения диэлектриков на длине волны 550 нм составляет, примерно от 0 до 0,05, лучше примерно от 0,01 до 0,02.Figure 7 shows the refractive index and absorption coefficient for silicon oxynitride. The dependences of the refractive indices and absorption, plotted on the graph, show two stoichiometries of SiAlO _x N _y . These dependences represent approximately the upper and lower limits of the stoichiometric composition of SiAlO _x N _y , which are suitable for use in coatings with a low coefficient of solar heat gain. In preferred embodiments, stoichiometry is typically located between these two boundaries. On Fig shows approximate values of n and k for SiAlO _x N _y in multilayer systems with a low coefficient of solar heat gain. In preferred embodiments, the refractive index of dielectrics at a wavelength of 550 nm is from about 2.05 to 2.4, preferably from about 2.1 to 2.3. In preferred embodiments, the absorption coefficient of dielectrics at a wavelength of 550 nm is from about 0 to 0.05, preferably from about 0.01 to 0.02.

В предпочтительном варианте осуществления покрытие дополнительно содержит кристаллизующий слой между первым диэлектрическим слоем и первым слоем серебра. В альтернативном предпочтительном варианте осуществления покрытие дополнительно содержит второй кристаллизующий слой между вторым диэлектрическим слоем и вторым слоем серебра. Кристаллизующие слои улучшают свойства слоя серебра и обычно основаны на оксиде цинка, содержание которого составляет примерно 15% от остальных элементов, например, Al, Sn или их комбинации, хотя может быть и другим. В предпочтительных вариантах осуществления распыляемые мишени, используемые для нанесения ZnO, содержат примерно 1,5% Al, создавая слои с составом SiAlO_xN_y.In a preferred embodiment, the coating further comprises a crystallizing layer between the first dielectric layer and the first silver layer. In an alternative preferred embodiment, the coating further comprises a second crystallizing layer between the second dielectric layer and the second silver layer. Crystallizing layers improve the properties of the silver layer and are usually based on zinc oxide, the content of which is approximately 15% of the remaining elements, for example, Al, Sn, or a combination thereof, although it may be different. In preferred embodiments, the spray targets used for applying ZnO contain about 1.5% Al, creating layers with a composition of SiAlO _x N _y .

Защитный слой защищает слой серебра от воздействия плазмы, напыляющей диэлектрик на его поверхность. Этот слой также повышает химическую стойкость, сдерживая диффузию агрессивных веществ типа О₂, О, Н₂О и Na+. В предпочтительном варианте осуществления защитный слой прозрачен. Защитный слой может содержать, помимо других соединений, NiCr, NiCrO_x, TiO_x, NiCrN_xO_y, NiCrN_x, Ti или иные металлы, или их основные азотные соли или закиси. Предпочтительным материалом защитного слоя является NiCrO_x. В таких слоях, особенно в первом (т.е. нижнем) слое NiCrO_x, атомное процентное содержание кислорода может составлять примерно от 15 до 60%. В предпочтительном варианте атомное процентное содержание кислорода составляет от 20% до 55%. Термическая стойкость для закаливаемых вариантов настоящего изобретения улучшается, когда атомное процентное содержание первого слоя NiCrO_x составляет примерно 20%.The protective layer protects the silver layer from the action of plasma spraying a dielectric on its surface. This layer also increases chemical resistance, inhibiting the diffusion of aggressive substances such as O ₂ , O, H ₂ O and Na +. In a preferred embodiment, the protective layer is transparent. The protective layer may contain, in addition to other compounds, NiCr, NiCrO _x , TiO _x , NiCrN _x O _y , NiCrN _x , Ti or other metals, or their basic nitrogen salts or nitrous oxide. A preferred backing layer material is NiCrO _x . In such layers, especially in the first (i.e., lower) NiCrO _x layer, the atomic percentage of oxygen can be from about 15 to 60%. In a preferred embodiment, the atomic percentage of oxygen is from 20% to 55%. The thermal resistance for quenched embodiments of the present invention is improved when the atomic percentage of the first NiCrO _x layer is about 20%.

При использовании дополнительного верхнего покрытия оно может положительно влиять на химическую и/или механическую стойкость. Этот слой может содержать, среди прочего, С, SiSn, ZrSi, SiSnOz или силициды. Следует отметить, что перечисленные соединения не являются примером стехиометрических соотношений или соотношения атомов различных элементов. Например, ZrSi представляет собой распыляемый материал, в котором процентное содержание может изменяться от 0 до 100%, а слой может иметь зернистую структуру. Этот слой может окисляться при нагревании. Как правило, свойства верхнего покрытия отличаются от свойств лежащего под ним диэлектрика. Если диэлектрик представляет собой оксид, то верхний слой желательно выбрать из приведенных выше материалов или нитрида, или оксинитрида, например, SiN или Si_xAl_yN_zO_c. В альтернативном варианте, когда диэлектрик является нитридом или оксинитридом, верхнее покрытие выбирается из приведенного выше списка либо может быть оксидом (например, ZrO₂, ZrSiO₂, SnO₂ или ZrO_xNy, TiO₂ либо другое подобное вещество, без ограничения какими-либо конкретными стехиометрическими соотношениями, упоминаемыми здесь). Предпочтительным материалом верхнего покрытия является углерод, который желательно использовать в случаях, когда продукт при изготовлении подвергается закалке. Подобное покрытие, обычно наносимое металлизацией напылением, в предпочтительном варианте имеет толщину примерно 4-8 мкм и, как правило, расплавляется в процессе закалки.When using an additional topcoat, it can positively affect the chemical and / or mechanical resistance. This layer may contain, inter alia, C, SiSn, ZrSi, SiSnOz or silicides. It should be noted that these compounds are not an example of stoichiometric ratios or atomic ratios of various elements. For example, ZrSi is a sprayable material in which the percentage may vary from 0 to 100%, and the layer may have a granular structure. This layer may oxidize when heated. As a rule, the properties of the topcoat differ from the properties of the dielectric underneath. If the dielectric is an oxide, then the upper layer is desirable to choose from the above materials or nitride or oxynitride, for example, SiN or Si _x Al _y N _z O _c . Alternatively, when the dielectric is nitride or oxynitride, the topcoat is selected from the above list or may be an oxide (e.g., ZrO ₂ , ZrSiO ₂ , SnO ₂ or ZrO _x Ny, TiO ₂ or another similar substance, without limitation to any specific stoichiometric relationships referred to here). The preferred overcoat material is carbon, which is desirable to use when the product is hardened during manufacture. Such a coating, typically applied by spray metallization, preferably has a thickness of about 4-8 microns and usually melts during the hardening process.

В альтернативном варианте выполнения в изобретении предлагается покрытие с низкой излучательной способностью на подложке, при этом покрытие содержит, считая от подложки наружу, первый диэлектрический слой толщиной до 25 нм, желательно до 23 мкм; первый слой серебра толщиной примерно от 8 нм до 15 нм; первый защитный слой толщиной примерно от 0,1 нм до 4 нм; первый поглощающий слой толщиной примерно от 0,2 нм до 8 нм; второй диэлектрический слой толщиной примерно от 40 нм до 75 нм; второй слой серебра толщиной примерно от 8 нм до 15 нм; дополнительно может использоваться второй защитный слой толщиной примерно от 0,1 нм до 4 нм; второй поглощающий слой толщиной примерно от 0,1 нм до 8 нм; третий диэлектрический слой толщиной примерно от 10 нм до 40 нм; и при желании, слой верхнего покрытия. В другом варианте осуществления покрытие содержит кристаллизующий слой между первым диэлектрическим слоем и первым слоем серебра, причем кристаллизующий слой имеет толщину примерно от 2 нм до 11 нм. Еще в одном варианте выполнения покрытие содержит второй кристаллизующий слой между вторым диэлектрическим слоем и вторым слоем серебра, причем толщина второго кристаллизующего слоя составляет примерно от 2 нм до 11 нм. Многослойная система, толщина первого диэлектрического слоя которой имеет толщину примерно 23 нм, лучше всего подходит для закалки.In an alternative embodiment, the invention provides a coating with low emissivity on a substrate, the coating comprising, counting outward from the substrate, a first dielectric layer up to 25 nm thick, preferably up to 23 μm; a first layer of silver with a thickness of about 8 nm to 15 nm; a first protective layer with a thickness of from about 0.1 nm to 4 nm; a first absorbing layer with a thickness of about 0.2 nm to 8 nm; a second dielectric layer with a thickness of about 40 nm to 75 nm; a second layer of silver with a thickness of about 8 nm to 15 nm; additionally, a second protective layer with a thickness of about 0.1 nm to 4 nm may be used; a second absorbing layer with a thickness of about 0.1 nm to 8 nm; a third dielectric layer with a thickness of about 10 nm to 40 nm; and if desired, a topcoat layer. In another embodiment, the coating comprises a crystallizing layer between the first dielectric layer and the first silver layer, the crystallizing layer having a thickness of from about 2 nm to 11 nm. In another embodiment, the coating comprises a second crystallizing layer between the second dielectric layer and the second silver layer, wherein the thickness of the second crystallizing layer is from about 2 nm to 11 nm. A multilayer system, the thickness of the first dielectric layer of which has a thickness of about 23 nm, is best suited for hardening.

Еще в одном варианте осуществления настоящего изобретения используется покрытие с низкой излучательной способностью на подложке, содержащее, считая от подложки наружу, первый диэлектрический слой, содержащий SiAl_xN_yO_w, толщиной примерно от 3 нм до 25 нм; первый кристаллизующий слой, содержащий ZnAl_yO_x, толщиной примерно от 3 нм до 11 нм; первый слой серебра толщиной примерно от 8 нм до 12 нм; первый защитный слой, содержащий NiCrO_x, толщиной примерно от 1 нм до 4 нм; первый поглощающий слой, содержащий NiCr, толщиной примерно от 1,5 нм до 4 нм; второй диэлектрический слой, содержащий SiAl_xN_yO_w, толщиной примерно от 55 нм до 75 нм; второй кристаллизующий слой, содержащий ZnAl_yO_x, толщиной примерно от 3 нм до 10 нм; второй слой серебра толщиной примерно от 10 нм до 15 нм; при необходимости, второй защитный слой, содержащий NiCrO_x, толщиной примерно от 2 нм до 4 нм; второй поглощающий слой, содержащий NiCr, толщиной примерно от 0,7 нм до 2,2 нм; третий диэлектрический слой, содержащий SiAl_xN_yO_w, толщиной примерно от 24 нм до 40 нм; и, при необходимости, слой верхнего покрытия. В предпочтительных вариантах осуществления, отсутствует второй защитный слой, содержащий NiCrO_x, поэтому второй поглощающий слой наносится непосредственно на второй слой серебра. В качестве альтернативы металлическому NiCr во втором поглощающем слое могут быть использованы напыляемые совместно NiCr и хром, двойной слой NiCr/Cr либо любой поглощающий «серый» металл или сплав. К другим альтернативам можно отнести, не ограничиваясь ними, нихромовый сплав с любым соотношением Ni:Cr, слой NiCr с меняющимся соотношением Ni:Cr, слой NiCr, прореагировавший с азотом с образованием NiCrN_x, и двойной слой оптического поглотителя, содержащий NiCr/NiCr, где каждый металл может иметь любое соотношение Ni и Cr.In yet another embodiment of the present invention, a low emissivity coating on a substrate is used, comprising, counting from the substrate outward, a first dielectric layer comprising SiAl _x N _y O _w with a thickness of about 3 nm to 25 nm; a first crystallizing layer containing ZnAl _y O _x with a thickness of about 3 nm to 11 nm; a first layer of silver with a thickness of about 8 nm to 12 nm; a first protective layer containing NiCrO _x with a thickness of about 1 nm to 4 nm; a first absorbing layer containing NiCr with a thickness of about 1.5 nm to 4 nm; a second dielectric layer comprising SiAl _x N _y O _w with a thickness of about 55 nm to 75 nm; a second crystallizing layer containing ZnAl _y O _x with a thickness of about 3 nm to 10 nm; a second layer of silver with a thickness of about 10 nm to 15 nm; if necessary, a second protective layer containing NiCrO _x with a thickness of from about 2 nm to 4 nm; a second absorbing layer containing NiCr with a thickness of from about 0.7 nm to 2.2 nm; a third dielectric layer comprising SiAl _x N _y O _w with a thickness of from about 24 nm to 40 nm; and, if necessary, a topcoat layer. In preferred embodiments, there is no second protective layer containing NiCrO _x , so the second absorbent layer is applied directly to the second silver layer. As an alternative to metallic NiCr in the second absorbing layer, NiCr and chromium sprayed together, a NiCr / Cr double layer, or any absorbing “gray” metal or alloy can be used. Other alternatives include, but are not limited to, a nichrome alloy with any Ni: Cr ratio, a NiCr layer with a varying Ni: Cr ratio, a NiCr layer that reacted with nitrogen to form NiCrN _x , and a double layer of an optical absorber containing NiCr / NiCr, where each metal can have any ratio of Ni and Cr.

Еще один пример осуществления изобретения, показанный на фиг.9, представляет собой покрытие с низкой излучательной способностью на подложке, содержащее, считая от подложки наружу, первый диэлектрический слой; первый кристаллизующий слой; первый слой серебра; первый защитный слой; первый поглощающий оптическое излучение слой; второй диэлектрический слой; второй кристаллизующий слой; второй слой серебра; второй оптически поглощающий слой; третий диэлектрический слой; и, при необходимости, слой верхнего покрытия, желательно, устойчивый к царапинам. Толщина слоев приведена в настоящем описании. В предпочтительном варианте осуществления изобретения, пример которого приведении на фиг.10, покрытие содержит, считая от подложки наружу, SiAlO_xN_y/ZnO/Ag/NiCrO_x/металлический NiCr/SiAlO_xN_y/ZnO/Ag/металлический NiCr/SiAlO_xN_y/ при необходимости, верхнее покрытие. Таким образом, в данном варианте осуществления, второй металлический NiCr поглощающий слой наносится непосредственно на слой серебра. Такое покрытие может подвергаться закалке или термическому упрочнению без опасения, что эта закалка и термическое упрочнение вызовет деградацию слоев многослойной системы или оптических свойств подложки с покрытием либо приведет к другим дефектам, обычно наблюдаемым при подобной обработке покрытий с низкой излучательной способностью. Помимо повышения устойчивости к закаливанию данная конфигурация (в которой второй поглощающий слой нанесен непосредственно на второй слой серебра) отличается повышенной механической устойчивостью.Another embodiment of the invention shown in FIG. 9 is a low emissivity coating on a substrate, comprising, counting outward from the substrate, a first dielectric layer; a first crystallizing layer; first layer of silver; first protective layer; a first absorbing optical radiation layer; a second dielectric layer; a second crystallizing layer; second layer of silver; a second optically absorbing layer; a third dielectric layer; and, if necessary, a topcoat layer, preferably scratch resistant. The thickness of the layers is given in the present description. In a preferred embodiment of the invention, an example of which is given in FIG. 10, the coating comprises, starting from the substrate outward, SiAlO _x N _y / ZnO / Ag / NiCrO _x / metal NiCr / SiAlO _x N _y / ZnO / Ag / metal NiCr / SiAlO _x N _y / if necessary, topcoat. Thus, in this embodiment, a second metal NiCr absorption layer is applied directly to the silver layer. Such a coating can be hardened or heat hardened without fear that this hardening and thermal hardening will cause degradation of the layers of the multilayer system or the optical properties of the coated substrate or lead to other defects that are usually observed during similar processing of coatings with low emissivity. In addition to increasing the hardening resistance, this configuration (in which the second absorbing layer is deposited directly on the second silver layer) is characterized by increased mechanical stability.

Также отмечалось, что данный предпочтительный вариант осуществления отличается простотой настройки цветовых характеристик на соответствие заданным требованиям. В качестве альтернативы металлическому NiCr во втором поглощающем слое могут быть использованы напыляемые совместно NiCr и хром, двойной слой NiCr/Cr либо любой поглощающий «серый» металл или сплав. К другим альтернативам можно отнести, не ограничиваясь ими, нихромовый сплав с любым соотношением Ni:Cr, слой NiCr с меняющимся соотношением Ni:Cr, слой NiCr, прореагировавший с азотом с образованием NiCrN_x, и двойной слой оптического поглотителя, содержащий NiCr/NiCr, где каждый металл может иметь любое соотношение Ni и Cr.It was also noted that this preferred embodiment is simple in adjusting color characteristics to meet specified requirements. As an alternative to metallic NiCr in the second absorbing layer, NiCr and chromium sprayed together, a NiCr / Cr double layer, or any absorbing “gray” metal or alloy can be used. Other alternatives include, but are not limited to, a nichrome alloy with any Ni: Cr ratio, a NiCr layer with a varying Ni: Cr ratio, a NiCr layer that reacted with nitrogen to form NiCrN _x , and a double layer of an optical absorber containing NiCr / NiCr, where each metal can have any ratio of Ni and Cr.

В изобретении дополнительно предложена многослойная система с низкой излучательной способностью, содержащая по меньшей мере один поглощающий слой и характеризующаяся коэффициентом солнечного теплопритока (КСТП), составляющим менее примерно 0,34, желательно, менее 0,30. В альтернативных вариантах осуществления многослойная система включает стеклянную подложку толщиной примерно 1/8 дюйма, имеющую пропускание примерно от 42% до 46%. В альтернативных вариантах осуществления многослойная система имеет цветовое пропускание, характеризующееся отрицательным а* и отрицательным b*.The invention further provides a multilayer system with low emissivity, comprising at least one absorbing layer and characterized by a coefficient of solar heat gain (KSTP) of less than about 0.34, preferably less than 0.30. In alternative embodiments, the implementation of the multilayer system includes a glass substrate with a thickness of about 1/8 inch having a transmittance of from about 42% to 46%. In alternative embodiments, the multilayer system has a color transmittance characterized by negative a * and negative b *.

В изобретении дополнительно предложены способы изготовления многослойных систем, обладающих значением КСТП, согласно приведенному выше, при этом способы содержат нанесение на подложку покрытия, описанного в данном раскрытии. Слои в многослойных покрытиях в настоящем изобретении могут наноситься с использованием обычных технологий химического и физического осаждения из газовой фазы. Детали осуществления этих технологий хорошо известны и здесь приводиться не будут. Подходящие способы нанесения покрытий включают металлизацию напылением. К подходящим способам металлизации напылением относятся распыление на постоянном токе с использованием металлических мишеней, распыление на переменном токе и радиочастоте, с использованием металлических и неметаллических мишеней. Во всех этих способах может быть использовано магнетронное распыление. Напыление может производиться в атмосфере инертного газа либо реактивно в химически активном газе. Полное давление газа может поддерживаться в интервале от 5×10^-4 до 8×10^-2 мбар, желательно, в интервале от 1×10^-3 до 1×10^-2мбар. Напряжение напыления может составлять в интервале от 200 до 1200 В, желательно, от 250 до 1000 В. Скорости напыления на движущуюся подложку могут составлять от 25 до 4000 нм-мм²/Вт-с, желательно, от 30 до 700 нм-мм²/Вт-с. Установки для нанесения покрытий фирмы Leybold Systems GmbH, модели Тур A 2540Z 5 Н/13-22 и Тур А 2540 Z Н/20-29 подходят для металлизации напылением многослойных покрытий, предложенных в настоящем изобретении.The invention further provides methods for manufacturing multilayer systems having a KSTP value according to the above, wherein the methods comprise coating a substrate as described in this disclosure. Layers in multilayer coatings in the present invention can be applied using conventional techniques of chemical and physical vapor deposition. Details of the implementation of these technologies are well known and will not be given here. Suitable coating methods include spray metallization. Suitable spray metallization methods include direct current sputtering using metal targets, alternating current and radio frequency sputtering using metallic and non-metallic targets. In all of these methods, magnetron sputtering can be used. Spraying can be carried out in an inert gas atmosphere or reactively in a reactive gas. The total gas pressure may be maintained in the range of 5 × 10 ⁻⁴ to 8 × 10 ⁻² mbar, preferably in the range of 1 × 10 ⁻³ to 1 × 10 ⁻² mbar. The sputtering voltage can range from 200 to 1200 V, preferably from 250 to 1000 V. The sputtering rates on a moving substrate can be from 25 to 4000 nm- ² / W-s, preferably from 30 to 700 nm- ² / W-s. Leybold Systems GmbH coating plants, models Tour A 2540Z 5 N / 13-22 and Tour A 2540 Z N / 20-29 are suitable for spray metallization of the multilayer coatings of the present invention.

Как было показано, многослойные системы со слоями серебра в покрытии с низкой излучательной способностью, предложенные в настоящем изобретении, отличаются эффективным отражением ИК-излучения и более резким переходом между пропускаемым и отражаемым излучением, чем это можно достичь с одним слоем серебра.As shown, the multilayer systems with silver layers in the low emissivity coating of the present invention are characterized by efficient reflection of infrared radiation and a sharper transition between transmitted and reflected radiation than can be achieved with a single silver layer.

Многослойное покрытие, предложенное в настоящем изобретении, наносится на подложку, которая служит механической опорой покрытия. Поверхность подложки служит шаблоном для покрытия и влияет на топографию поверхности покрытия. В предпочтительном варианте осуществления, для улучшения пропускания видимого света, шероховатость поверхности подложки должна быть меньше длины волны света. Столь гладкая поверхность может быть получена, например, при затвердевании расплава подложки. Подложка может быть сделана из любого материала, у которого излучательная способность может быть снижена многослойным покрытием, предложенным в настоящем изобретении. Для применения в строительстве и автомобилестроении подложку желательно выполнять из материала, отличающегося очень хорошими конструкционными характеристиками и минимальным поглощением в видимом и ближнем инфракрасном спектральных интервалах, где сосредоточена энергия излучения Солнца. Предпочтительными для применения материалами подложки являются кристаллический кварц, кварцевое стекло, известково-натриевое стекло и пластики, например поликарбонаты и акрилаты.The multilayer coating proposed in the present invention is applied to the substrate, which serves as a mechanical support for the coating. The surface of the substrate serves as a template for the coating and affects the topography of the surface of the coating. In a preferred embodiment, to improve the transmission of visible light, the surface roughness of the substrate should be less than the wavelength of light. Such a smooth surface can be obtained, for example, by solidification of the substrate melt. The substrate can be made of any material in which the emissivity can be reduced by the multilayer coating proposed in the present invention. For use in construction and the automotive industry, it is desirable to make the substrate of a material characterized by very good structural characteristics and minimal absorption in the visible and near infrared spectral ranges where the solar radiation energy is concentrated. Preferred substrate materials for use are crystalline quartz, silica glass, soda-lime glass and plastics, for example polycarbonates and acrylates.

В настоящем описании термины "нанесенный на" или "нанесенный" означают, что вещество прямо либо опосредованно нанесено на слой, о котором идет речь. Во втором случае может быть один или более промежуточных слоев. Кроме того, если не указано обратное, описывая покрытия, предложенные в настоящем изобретении, использованием формата "[вещество 1]/[вещество 2]/[вещество 3]/ …" или формата "первый слой [вещества 1]; первый слой [вещества 2]; второй слой [вещества 1]; второй слой [вещества 2]; …", и пр., имеется в виду, что каждое следующее вещество прямо или опосредованно нанесено на предыдущее вещество.In the present description, the terms “deposited on” or “deposited” mean that the substance is directly or indirectly deposited on the layer in question. In the second case, there may be one or more intermediate layers. In addition, unless otherwise indicated, describing the coatings proposed in the present invention, using the format "[substance 1] / [substance 2] / [substance 3] / ..." or the format "first layer [substance 1]; first layer [substance 2]; the second layer of [substance 1]; the second layer of [substance 2]; ... ", etc., means that each subsequent substance is directly or indirectly applied to the previous substance.

Покрытые изделия в соответствии с различными вариантами осуществления настоящего изобретения могут быть использованы в качестве окон зданий (например, стеклопакеты), автомобильных стекол либо иных подходящих применений. Описанные здесь покрытые изделия могут быть, а могут и не быть термически обработаны в различных вариантах осуществления изобретения. На фиг.5 приведен вариант осуществления изобретения, пригодный для использования в автомобилях или других транспортных средствах (например, лобового стекла или аналогичного многослойного стекла). В варианте осуществления, приведенном в качестве примера, предложенное в изобретении покрытие включено в многослойную систему, которая также содержит две стеклянных подложки и слой поливинилбутирата (ПВБ). Покрытие может быть нанесено на первый лист либо на второй лист, при условии, что оно обращено к ПВБ.Coated products in accordance with various embodiments of the present invention can be used as windows of buildings (for example, double-glazed windows), automotive glass, or other suitable applications. The coated articles described herein may or may not be heat treated in various embodiments of the invention. Figure 5 shows an embodiment of the invention suitable for use in automobiles or other vehicles (for example, a windshield or similar laminated glass). In the embodiment exemplified, the coating of the invention is included in a multilayer system that also contains two glass substrates and a layer of polyvinyl butyrate (PVB). The coating can be applied on the first sheet or on the second sheet, provided that it is facing PVB.

Некоторые термины широко используются в технологии нанесения покрытий на стекло, в частности, при определении свойств и характеристик взаимодействия покрытого стекла с солнечным излучением. Такие термины используются и в настоящем описании в соответствии с их общепринятым значением. Например:Some terms are widely used in the technology of coating glass, in particular, when determining the properties and characteristics of the interaction of coated glass with solar radiation. Such terms are used in the present description in accordance with their generally accepted meaning. For example:

Интенсивность отраженного света видимого диапазона волн, т.е. "отражение", определяется в процентах и обозначается как R_xY или R_x (то есть величина RY относится к отражению дневного света, или TY относится к пропусканию дневного света), в то время как "X" обозначает либо "G" (со стороны стекла), либо "F" (со стороны пленки). "Сторона стекла" (то есть "G") соответствует наблюдению со стороны стеклянной подложки, противоположной той, на которой находится покрытие, в то время как "сторона пленки" (то есть "F") означает наблюдение с той стороны стеклянной подложки, на которой нанесено покрытие.The intensity of the reflected light in the visible wavelength range, i.e. “reflection” is defined as a percentage and denoted as R _x Y or R _x (that is, RY refers to the reflection of daylight, or TY refers to the transmission of daylight), while “X” means either “G” (co glass side) or "F" (film side). The “side of the glass” (i.e., “G”) corresponds to the observation from the side of the glass substrate opposite to that on which the coating is located, while the “side of the film” (that is, “F”) means the observation from that side of the glass substrate, which is coated.

Цветовые характеристики измеряются и приводятся в настоящем описании с использованием координат и шкалы 1976 г. Международной Комиссии по Освещению (МКО) - CIE LAB 1976 a*, b* (то есть диаграмма а*b* цветности МКО 1976 г., источник типа D65, стандартный наблюдатель с полем зрения 10°), в которой:Color characteristics are measured and are given in the present description using the coordinates and scale of 1976 of the International Commission on Lighting (CIE) - CIE LAB 1976 a *, b * (that is, a color chart a * b * of CIE 1976, source type D65, standard observer with a field of view of 10 °), in which:

L* представляет единицы освещенности согласно CIE 1976L * represents light units according to CIE 1976

а* представляет единицы красно-зеленого согласно CIE 1976a * represents units of red-green according to CIE 1976

b* представляет единицы желто-голубого согласно CIE 1976.b * represents yellow-blue units according to CIE 1976.

Могут быть в равной мере использованы и другие аналогичные 30 координаты, например, индекс "h" для обозначения обычного использования метода (или единиц) Хантера, с источником типа С, наблюдателем 10°, либо координаты CIE LUV u*v*. Эти шкалы определены здесь в соответствии с документом ASTM D-2244-93 "Стандартная методика испытания для вычисления цветовых отличий от инструментально определенных цветовых координат" от 15 сентября 1993 г., с дополнением ASTM Е-308-95, Ежегодника стандартов Американского Общества специалистов по Испытаниям Материалов (ASTM), том 06.01 "Стандартный метод вычисления цвета объектов посредством системы МКО " и/или в соответствии с рекомендациями тома 1981 г. Справочника по Освещенности IES (Illumination Engineering Society - Общество инженеров светотехников).Other similar 30 coordinates can be equally used, for example, the "h" index to indicate the usual use of the Hunter method (or units), with a type C source, observer 10 °, or CIE LUV u * v * coordinates. These scales are defined here in accordance with ASTM D-2244-93, “Standard Test Methodology for Calculating Color Differences from Instrumentally Specified Color Coordinates,” dated September 15, 1993, with the addition of ASTM E-308-95, American Society of Standard Specialists Yearbook Material Testing (ASTM), Volume 06.01, “Standard Method for Calculating the Color of Objects Using the CIE System” and / or in accordance with the recommendations of the 1981 Volume of the Illumination Engineering Society Illumination Engineering Society.

Термины "излучательная способность" (или коэффициент излучения) и "пропускание" широко известны и используются здесь в соответствии с их общепринятым значением. Так, например, термином "пропускание" здесь обозначается пропускание солнечного излучения, состоящее из пропускания видимого света (TY или T_vis), пропускания инфракрасного излучения (T_IR) и пропускания (Т_uv) ультрафиолетового излучения. Пропускание (TS или T_solar) полного солнечного излучения может быть определено как взвешенное среднее этих величин. С учетом этих пропусканий пропускание видимого света для строительных нужд может быть определено по стандартной методике с источником типа D65, наблюдателем с полем зрения 10°; при этом пропускание видимого света для нужд автотранспорта может быть определено по стандартной методике с источником типа А, наблюдателем с полем зрения 2° (сведения по этим методикам, см., например, в ASTM Е-308-95, включенном в настоящее описание посредством ссылки). Для излучательной способности используется определенный инфракрасный диапазон (например, 2500-40000 нм).The terms "emissivity" (or emissivity) and "transmittance" are widely known and are used here in accordance with their generally accepted meaning. So, for example, the term "transmittance" here refers to the transmission of solar radiation, consisting of transmitting visible light (TY or T _vis ), transmitting infrared radiation (T _IR ) and transmitting (T _uv ) ultraviolet radiation. The transmittance (TS or T _solar ) of total solar radiation can be defined as the weighted average of these values. Given these transmissions, visible light transmission for construction needs can be determined by a standard method with a source of type D65, an observer with a field of view of 10 °; while the transmission of visible light for the needs of vehicles can be determined by a standard method with a source of type A, an observer with a field of view of 2 ° (for information on these methods, see, for example, ASTM E-308-95, incorporated herein by reference ) For emissivity, a certain infrared range is used (for example, 2500-40000 nm).

"Излучательная способность" (или коэффициент излучения) ("Е" или "е") представляет собой меру, или характеристику вместе взятых поглощения и отражения света на данных длинах волн. Обычно эта величина представляется формулой Е=1-R_film, где обозначено R_film - отражение пленки. С учетом потребностей строительной индустрии величина излучательной способности особенно важна в так называемом "среднем диапазоне", иногда называемом "дальним диапазоном" инфракрасной части спектра, то есть, примерно, 2500-40000 нм, например, как это определено программой WINDOW 4.1, LBL-35298 (1994) Лабораторий Лоуренса в Беркли, упоминаемой ниже. Используемый здесь термин "излучательная способность" относится к величинам излучательной способности, измеренным в этом инфракрасном диапазоне, согласно Стандарту ASTM Е1585-93 (стандартная методика испытаний для измерения и вычисления излучательной способности изделий из плоского строительного стекла с использованием радиометрических измерений). Этот Стандарт и его нормы включены в настоящее описание посредством ссылки. В этом Стандарте излучательная способность определена излучательной способностью в полусферу (Е_h) и излучательной способностью по нормали (E_n).“Emissivity” (or emissivity) (“E” or “e”) is a measure or characteristic of the combined absorption and reflection of light at given wavelengths. Usually this value is represented by the formula E = 1-R _film , where R _film is indicated - the reflection of the film. Taking into account the needs of the construction industry, the emissivity value is especially important in the so-called "middle range", sometimes called the "far range" of the infrared part of the spectrum, that is, approximately 2500-40000 nm, for example, as determined by the WINDOW 4.1 program, LBL-35298 (1994) Lawrence Berkeley Laboratories, mentioned below. The term "emissivity" as used herein refers to emissivity values measured in this infrared range according to ASTM Standard E1585-93 (standard test procedure for measuring and calculating the emissivity of flat building glass products using radiometric measurements). This Standard and its norms are incorporated herein by reference. In this Standard, emissivity is defined as hemisphere emissivity (E _h ) and normal emissivity (E _n ).

Сбор фактических данных для измерения таких величин излучательной способности производится обычным путем и может быть сделан, например, посредством спектрофотометра Beckman Model 4260 с приставкой "VW" (Beckman Scientific Inst. Corp.). Этим спектрофотометром производится измерение спектральной зависимости отражения, по которой производится вычисление излучательной способности с использованием вышеупомянутого Стандарта ASTM 1585-93.The collection of evidence for measuring such emissivity values is done in the usual way and can be done, for example, using a Beckman Model 4260 spectrophotometer with the attachment "VW" (Beckman Scientific Inst. Corp.). This spectrophotometer measures the spectral dependence of reflection, which is used to calculate the emissivity using the aforementioned ASTM 1585-93.

Термин R_solar относится к отражению полной солнечной энергии (со стороны стекла) и представляет собой взвешенное среднее отражения ИК-излучения, отражения видимого света и отражения ультрафиолетового излучения. Этот параметр может быть вычислен в соответствии с известными стандартами DIN 410 и ISO 13837 (декабрь 1998) таблица 1, с.22 для использования в автотранспорте, и известного стандарта ASHRAE 142 для использования в строительстве, которые включены в настоящее описание посредством ссылки.The term R _solar refers to the reflection of total solar energy (glass side) and is a weighted average of the reflection of infrared radiation, the reflection of visible light and the reflection of ultraviolet radiation. This parameter can be calculated in accordance with the well-known standards DIN 410 and ISO 13837 (December 1998) table 1, p.22 for use in vehicles, and the known standard ASHRAE 142 for use in construction, which are incorporated into this description by reference.

"Матовость" определяется следующим образом. Рассеиваемый в разных направлениях свет вызывает потерю контраста. Термин "матовость" определяется здесь в соответствии с ASTM D 1003, определяющего матовость как часть (в процентах) света, который при прохождении отклоняется от направления падающего луча в среднем более чем на 2,5°. "Матовость" может быть измерена измерителем помутнения Byk Garden (все значения помутнения в данном описании получены таким измерителем помутнения и выражены в процентах рассеянного света). Еще один используемый в настоящем описании термин - это "поверхностное сопротивление". Поверхностное сопротивление (R_s) является распространенным понятием и используется в настоящем описании в соответствии со своим общепринятым значением. В данном случае эта величина измеряется в Ом на единицу площади. Вообще, этот термин относится к сопротивлению в Ом для любого квадратного участка слоистой системы на стеклянной подложке для тока, проходящего через слоистую систему. Поверхностное сопротивление показывает, насколько хорошо слой или слоистая система отражает инфракрасную энергию, и поэтому часто используется, вместе с излучательной способностью, для оценки этой характеристики. "Поверхностное сопротивление " может быть, например, легко измерено с использованием омметра с 4-точечным щупом, например, датчиком сопротивления с четырьмя одноразовыми щупами с измерительной головкой Magnetron Instruments Corp., Model M-800, выпускаемым Signatone Corp. из Санта-Клара, шт. Калифорния."Haze" is defined as follows. Light scattered in different directions causes a loss of contrast. The term "haze" is defined here in accordance with ASTM D 1003, which defines haze as part (in percent) of light, which when passing deviates from the direction of the incident beam by an average of more than 2.5 °. The “haze” can be measured by a Byk Garden turbidity meter (all the turbidity values in this description are obtained by such a turbidity meter and are expressed as a percentage of the scattered light). Another term used in the present description is "surface resistance". Surface resistance (R _s ) is a common concept and is used in the present description in accordance with its generally accepted value. In this case, this value is measured in Ohms per unit area. In general, this term refers to the resistance in ohms for any square portion of a layered system on a glass substrate for current passing through the layered system. Surface resistance shows how well a layer or layered system reflects infrared energy, and therefore is often used, along with emissivity, to evaluate this characteristic. "Surface resistance" can, for example, be easily measured using an ohmmeter with a 4-point probe, for example, a resistance sensor with four disposable probes with a measuring head Magnetron Instruments Corp., Model M-800, manufactured by Signatone Corp. from Santa Clara California.

"Химическая стойкость" или "химически стойкий" в настоящем описании используются как синонимы терминам "химически устойчивый", "химическая устойчивость". Химическая стойкость определяется испытанием с погружением образца стеклянной подложки с покрытием размером 2''×5'' или 2''×2'' в примерно 500 мл раствора, содержащего 4,05% NaCl и 1,5% Н₂O₂ на 20 минут при примерно 36°С. Химическая стойкость также может быть определена тестом Кливленда или испытанием в климатической камере в соответствии с приведенным ниже описанием."Chemical resistance" or "chemically stable" in the present description are used as synonyms for the terms "chemically stable", "chemical resistance". Chemical resistance is determined by immersion test of a glass substrate coated with a size of 2 '' × 5 '' or 2 '' × 2 '' in approximately 500 ml of a solution containing 4.05% NaCl and 1.5% H ₂ O ₂ at 20 minutes at about 36 ° C. Chemical resistance can also be determined by a Cleveland test or a climate chamber test as described below.

Порядок испытания в камере КливлендаCleveland Chamber Test Procedure

Для этого испытания нарезаются образцы размером 4''×12'' или 6''×12''. Вода нагревается до температуры 50±2°С, а температура в помещении поддерживается на уровне 23±3°С (73±5°F). Образцы размещаются над ванной с нагретой водой пленкой вниз. После нескольких минут выдержки образцы покрываются толстым слоем сконденсированной воды. Постепенно вода стекает с поверхности образца и на нем образуется новый конденсат. Сконденсированная вода присутствует на образцах в течение всего времени испытания.For this test, 4 '' × 12 '' or 6 '' × 12 '' samples are cut. Water is heated to a temperature of 50 ± 2 ° C, and the room temperature is maintained at 23 ± 3 ° C (73 ± 5 ° F). Samples are placed over the bath with heated water film down. After several minutes of exposure, the samples are covered with a thick layer of condensed water. Gradually, water drains from the surface of the sample and a new condensate forms on it. Condensed water is present on the samples throughout the test period.

Порядок испытания в климатической камереTest procedure in the climate chamber

Для этого испытания нарезаются образцы размером 4''×6''. Для испытаний на статическую влагостойкость относительная влажность (RH) поддерживается на уровне 98%, а температура циклически изменяется между 45° и 55°С в 30 течение часа.For this test, 4 '' × 6 '' samples are cut. For static moisture resistance tests, relative humidity (RH) is maintained at 98%, and the temperature cyclically changes between 45 ° and 55 ° C for 30 hours.

Выполняемые измеренияMeasurements performed

Образцы извлекаются для измерений после 1, 3 и 7 дней выдержки. Измеряются матовость, излучательная способность и отражение со стороны пленки.Samples are taken for measurements after 1, 3 and 7 days of exposure. The dullness, emissivity and reflection from the side of the film are measured.

Изменение помутнения рассчитывается по формуле:The change in turbidity is calculated by the formula:

Дельта матовости = Матовость после испытаний - Матовость до испытанийHaze Delta = Haze after Test - Haze before Test

Для расчета дельта Е:To calculate delta E:

Дельта Е = (дельта L*^∧2+дельта а*^∧2+дельта b*^∧2)1/2, где дельта L*, а* и b* представляют собой разницу результатов измерения до испытаний и после испытаний.Delta E = (delta L * ^∧ 2 + delta a * ^∧ 2 + delta b * ^∧ 2) 1/2, where delta L *, a * and b * represent the difference between the measurement results before and after the test.

Для расчета процентного изменения излучательной способности используется следующая формула:The following formula is used to calculate the percentage change in emissivity:

Изменение излучательной способности = (Е после испытаний - Е до 10 испытаний)/(Е стекла - Е до испытаний).Change in emissivity = (E after testing - E up to 10 tests) / (E glass - E before testing).

Используемое в настоящем описании понятие "механическая стойкость" определяется следующим испытанием. Для испытания используется щеточный тестер Erichsen Model 494 и абразив Scotch Brite 7448 (изготавливается нанесением мелкозернистого карбида кремния на волокна прямоугольной накладки), в котором для прижима абразива к образцу используется щетка или модифицированный держатель щетки стандартного веса. Посредством щетки или держателя щетки выполняется 100-500 сухих или влажных проходов. Вызываемые царапанием повреждения могут быть оценены тремя способами: изменением излучательной способности, матовости и Е для отражения со стороны пленки. Этот тест может быть совмещен с испытанием на погружение или тепловое воздействие для повышения заметности царапин. Хорошие результаты могут быть получены при использовании 200 сухих проходов по образцу при весе нагрузки, равном 135 г. При необходимости может быть уменьшено количество проходов или использован менее твердый абразив. Преимуществом этого испытания является то, что нагрузка и/или количество проходов может быть подобрано в зависимости от требуемой степени различения между образцами. Для лучшей классификации может быть применен более агрессивный тест. Повторяемость результатов теста может быть проверена выполнением нескольких тестов с одной и той же пленкой в течение заданного интервала времени.Used in the present description, the concept of "mechanical resistance" is determined by the following test. The Erichsen Model 494 brush tester and Scotch Brite 7448 abrasive (manufactured by applying fine-grained silicon carbide on rectangular fibers) are used for testing, in which a brush or a modified brush holder with a standard weight is used to clamp the abrasive. Using a brush or brush holder, 100-500 dry or wet passes are made. Damage caused by scratching can be assessed in three ways: by changing the emissivity, dullness and E for reflection from the side of the film. This test can be combined with an immersion or thermal test to enhance scratch marks. Good results can be obtained by using 200 dry passes on the sample with a load weight of 135 g. If necessary, the number of passes can be reduced or a less hard abrasive can be used. The advantage of this test is that the load and / or number of passes can be selected depending on the desired degree of discrimination between the samples. For a better classification, a more aggressive test can be applied. The repeatability of the test results can be verified by performing several tests with the same film over a given time interval.

Используемые в настоящем описании термины "термическая обработка" и "термически обработанный" означают нагревание изделия до температуры, достаточной для осуществления термического закаливания, гибки или распрямления изделия, содержащего стекло. Данное определение включает, например, нагревание изделия с покрытием до температуры по меньшей мере примерно 1100 F° (например, до температуры примерно от 550°С до 700°С) в течение достаточно продолжительного времени для обеспечения закалки, термического распрямления или термической гибки.Used in the present description, the terms "heat treatment" and "heat-treated" mean heating the product to a temperature sufficient to effect heat hardening, bending or straightening of the product containing glass. This definition includes, for example, heating a coated article to a temperature of at least about 1100 F ° (for example, to a temperature of about 550 ° C to 700 ° C) for a sufficiently long time to allow quenching, thermal straightening, or thermal bending.

Термин "коэффициент солнечного теплопритока (или КСТП)" ("g") широко известен и характеризует соотношение прошедшего сквозь оконную систему полного солнечного теплопритока и падающего солнечного излучения.The term "coefficient of solar heat gain (or KSTP)" ("g") is widely known and characterizes the ratio of the total solar heat gain passing through the window system and the incident solar radiation.

Если не указано иное, приведенные ниже дополнительные термины в данном описании имеют следующие значения.Unless otherwise specified, the following additional terms in this description have the following meanings.

Ag - сереброAg - silver

TiO₂ - двуокись титанаTiO ₂ - titanium dioxide

NiCrO_x - сплав или смесь, содержащая оксид никеля и оксид хрома. Окислительные состояния могут изменяться от стехиометрических до субстехиометрическихNiCrO _x is an alloy or mixture containing nickel oxide and chromium oxide. Oxidative states can vary from stoichiometric to sub-stoichiometric

NiCr - сплав или смесь, содержащая никель и хромNiCr - an alloy or mixture containing nickel and chromium

SiAlN_x - реакционно напыленный алюмокремниевый нитрид. Распыляемая мишень обычно содержит 2-20 мас.% Al. Распыление производится в атмосфере смеси Ar и N₂. В зависимости от состава смеси и мощности распыления поглощение материала может быть сделано большим или меньшимSiAlN _x - reactively sprayed silicon-aluminum nitride. The spray target typically contains 2-20 wt.% Al. Spraying is carried out in an atmosphere of a mixture of Ar and N ₂ . Depending on the composition of the mixture and the power of atomization, the absorption of the material can be made larger or smaller.

SiAlN_xO_y - Si(N); реакционно напыленный алюмокремниевый нитрид. Распыляемая мишень обычно содержит 2-20 мас.% Al. Распыление производится в атмосфере смеси Ar, N₂ и О₂. В зависимости от состава смеси и мощности распыления поглощение материала может быть сделано большим или меньшимSiAlN _x O _y - Si (N); reactively sprayed aluminum silicon nitride. The spray target typically contains 2-20 wt.% Al. Spraying is carried out in an atmosphere of a mixture of Ar, N ₂ and O ₂ . Depending on the composition of the mixture and the power of atomization, the absorption of the material can be made larger or smaller.

ZnAl_yO_x - реакционно напыленный Zn-алюминиевый оксид. Распыляемая мишень обычно содержит 2-20 мас.% Al. Распыление производится в атмосфере смеси Ar и О₂ ZnAl _y O _x is a reactively sprayed Zn-aluminum oxide. The spray target typically contains 2-20 wt.% Al. Spraying is carried out in an atmosphere of a mixture of Ar and O ₂

Zn_xSn_yAl_zO_w - реакционно напыленный цинк-оловянный (алюминиевый) оксид. Распыляемая мишень обычно представляет собой сплав цинка с оловом с возможной присадкой алюминия. Состав сплава цинка с оловом может меняться в широких пределах от преобладания цинка до преобладания олова. Распыление производится в атмосфере смеси Ar и О₂,Zn _x Sn _y Al _z O _w is a reactively sprayed zinc-tin (aluminum) oxide. The spray target is usually an alloy of zinc with tin with a possible addition of aluminum. The composition of the alloy of zinc with tin can vary over a wide range from the predominance of zinc to the predominance of tin. Spraying is carried out in an atmosphere of a mixture of Ar and O ₂ ,

Zr - цирконийZr - Zirconium

оптическое покрытие - одно или более покрытий на подложке, которые в совокупности изменяют свойства подложкиoptical coating - one or more coatings on a substrate, which together change the properties of the substrate

многослойная система (структура) с низкой излучательной способностью - прозрачная подложка с покрытием, обладающим низкой тепловой излучательной способностью и состоящим из одного или более слоевmultilayer system (structure) with low emissivity - a transparent substrate with a coating having low thermal emissivity and consisting of one or more layers

защитный слой - слой, нанесенный для защиты другого слоя во время обработки, может обеспечивать лучшую адгезию вышележащих слоев, может остаться, а может быть и удален после обработкиprotective layer - a layer applied to protect another layer during processing, may provide better adhesion of the overlying layers, may remain, or may be removed after processing

слой - толща материала, обладающего функциями и химическим составом, ограниченная с обеих сторон другими прилегающими толщами материала, имеющими другие функции и/или химический состав, при этом нанесенные слои могут остаться, а могут и пропасть после обработки в результате происходящих при обработке реакцийlayer - the thickness of a material having functions and chemical composition, limited on both sides by other adjacent thicknesses of the material having different functions and / or chemical composition, while the applied layers may remain, or may disappear after processing as a result of reactions occurring during processing

совместное напыление - одновременное напыление на подложку от двух или более отдельных распылительных мишеней двух или более различных материалов. Получившееся в результате покрытие может состоять из продуктов реакции различных материалов, непрореагировавшую смесь материалов от двух мишеней либо то и другоеco-spraying - simultaneous spraying on a substrate from two or more separate spray targets of two or more different materials. The resulting coating may consist of reaction products of various materials, an unreacted mixture of materials from two targets, or both

интерметаллическое соединение - определенная фаза в системе сплава, состоящего, в определенных стехиометрических соотношениях, из двух или более металлических элементов. Металлические элементы объединены скорее электронными связями или связями внедрения, нежели состоянием твердого раствора, типичного для обычных сплавов. Интерметаллические соединения часто обладают свойствами, заметно отличающимися от свойств составляющих элементов, особенно повышенной твердостью и хрупкостью. Повышенная твердость способствует повышенной устойчивости к царапинам по сравнению с большинством стандартных металлов и металлических сплавовintermetallic compound - a certain phase in the alloy system, consisting, in certain stoichiometric ratios, of two or more metal elements. Metal elements are united more by electronic bonds or interstitial bonds than by the state of a solid solution typical of ordinary alloys. Intermetallic compounds often have properties markedly different from the properties of the constituent elements, especially increased hardness and brittleness. Increased hardness contributes to increased scratch resistance compared to most standard metals and metal alloys.

щетка - этим термином, используемым в приведенных здесь примерах, обозначается (если не указано иначе) испытание на устойчивость к воздействию влажной щетки, проводимому на щеточном тестере Erichsen (Model 494) с использованием нейлоновой щетки (Номер для заказа 0068.02.32. Вес щетки 450 г. Диаметр отдельной щетинки 0,3 мм. Щетинки собраны в группы диаметром по 4 мм). В процессе испытания выполняется 1000 проходов (один проход соответствует полному циклу движения щетки вперед и назад). Образцы, погруженные в деионизированную воду, прочесываются с покрытой стороны.brush - the term used in the examples here refers to (unless otherwise indicated) a wet brush resistance test conducted on an Erichsen brush tester (Model 494) using a nylon brush (Order number 0068.02.32. Brush weight 450 The diameter of an individual bristle is 0.3 mm and the bristles are grouped into groups of 4 mm in diameter). During the test, 1000 passes are performed (one pass corresponds to the full cycle of the brush moving forward and backward). Samples immersed in deionized water are combed from the coated side.

В различных вариантах осуществления многослойные системы с низкой излучательной способностью имеют следующие независимые характеристики: пропускание Y составляет примерно от 30 до 60, желательно, примерно от 35 до 55, в наилучшем варианте, примерно от 40 до 50; величина пропускания а*, имеющая отрицательный знак, в наиболее предпочтительном варианте составляет примерно от -1 до -6; предпочтительная величина b* имеет отрицательный знак, примерно от 0 до -6; RgY составляет примерно от 8 до 20, желательно, примерно от 10 до 18, в наиболее предпочтительном варианте, примерно от 11 до 17; величина Rga*, имеющая отрицательный знак, в наиболее предпочтительном варианте составляет примерно от -1 до -7; в предпочтительном варианте, величина Rgb* имеет отрицательный знак и в наиболее предпочтительном случае составляет примерно от -1 до -7; RfY составляет примерно от 2 до 12, в более предпочтительном варианте - примерно от 2 до 10, и в наиболее предпочтительном - примерно от 2 до 8; величина Rfa*, имеющая отрицательный знак, в наиболее предпочтительном варианте составляет примерно от -2 до -20; предпочтительное значение Rfb* составляет примерно от -10 до +10, а наиболее предпочтительное - примерно от -6 до+6; и величина КСТП составляет примерно от 0,10 до 0,30, вплоть до примерно 0,34, в более предпочтительном варианте составляет примерно от 0,15 до 0,28, и наиболее предпочтительном варианте - примерно от 0,20 до 0,25.In various embodiments, low emissivity multilayer systems have the following independent characteristics: transmittance Y is from about 30 to 60, preferably from about 35 to 55, in the best case, from about 40 to 50; the transmittance a * having a negative sign, in the most preferred embodiment, is from about -1 to -6; the preferred value of b * has a negative sign, from about 0 to -6; RgY is from about 8 to 20, preferably from about 10 to 18, in the most preferred embodiment, from about 11 to 17; the negative Rga * value is most preferably from about -1 to -7; in a preferred embodiment, the Rgb * value has a negative sign and in the most preferred case is from about -1 to -7; RfY is about 2 to 12, more preferably about 2 to 10, and most preferably about 2 to 8; the negative Rfa * value is most preferably from about -2 to -20; the preferred Rfb * value is from about -10 to +10, and the most preferred is from about -6 to + 6; and the KSTP value is from about 0.10 to 0.30, up to about 0.34, more preferably from about 0.15 to 0.28, and most preferably from about 0.20 to 0.25 .

Ниже также приводятся примеры, иллюстрирующие, но не ограничивающие изобретение.The following are also examples illustrating but not limiting the invention.

ПРИМЕР 1EXAMPLE 1

В настоящем примере, иллюстрация которого приведена на фиг.4, покрытие с низкой излучательной способностью нанесено на стеклянную подложку с образованием многослойной системы со следующей конфигурацией: Стекло/ 12 нм оксида/ 10 нм Ag/ 2 нм NiCrO_x/ 4 нм NiCr/ 72 им оксида/ 13 нм Ag/ 2 нм NiCrO_x/ 3 нм NiCr/ 7 нм SiN. Оксид может распыляться из мишени, состоящей из Ti, Zn, Sn, сплава ZnSn или Bi. Оксид может содержать Nb₂O₅, оксид может содержать примерно до 20 мас.%, желательно, примерно до 10 мас.% элемента, например, Al или В, либо аналогичного элемента для обеспечения проводимости мишени в установке для нанесения покрытий. Слой SiN может наноситься при необходимости. Покрытие в этом примере обладает привлекательными свойствами цветового пропускания, характеризуемого отрицательными величинами а* и b*. Величина КСТП составляет менее 0,30. Покрытие обладает приемлемой механической и химической стойкостью.In the present example, which is illustrated in FIG. 4, a low emissivity coating is deposited on a glass substrate to form a multilayer system with the following configuration: Glass / 12 nm oxide / 10 nm Ag / 2 nm NiCrO _x / 4 nm NiCr / 72 oxide / 13 nm Ag / 2 nm NiCrO _x / 3 nm NiCr / 7 nm SiN. The oxide can be sprayed from a target consisting of Ti, Zn, Sn, an alloy of ZnSn or Bi. The oxide may contain Nb ₂ O ₅ , the oxide may contain up to about 20 wt.%, Preferably up to about 10 wt.% Of an element, for example, Al or B, or a similar element to ensure target conductivity in the coating installation. A SiN layer may be applied if necessary. The coating in this example has attractive color transmission properties characterized by negative values of a * and b *. The value of the CCTT is less than 0.30. The coating has acceptable mechanical and chemical resistance.

ПРИМЕР 2EXAMPLE 2

В данном примере покрытие с низкой излучательной способностью наносится на стеклянную подложку с образованием многослойной системы, имеющей следующую конфигурацию: Стекло толщиной примерно 1/8 дюйма/ кристаллизующий слой 2-10 нм/ 8-18 нм Ag/ защитный слой 0,1-4 нм/ поглощающий слой 0,2-8 нм/ диэлектрический слой 40-75 нм/ кристаллизующий слой 2-10 нм/ 8-18 нм Ag/ защитный слой 0,1-4 нм/ поглощающий слой 0,2-8 нм/ диэлектрический слой 10-40 нм/ верхнее покрытие. В качестве диэлектрика может быть использован оксид (как в примере 1), либо нитрид или оксинитрид Si, SiAl, SiB, SiZr, который может содержать примерно до 20 мас.%, а лучше, примерно до 10 мас.% элемента, например, Al или В для обеспечения проводимости мишени установки для нанесения покрытий. Кристаллизующий слой улучшает характеристики слоя серебра. В основном этот слой обычно использует оксид цинка, а 15 мас.% его составляют другие элементы, например, Al, Sn и их комбинации.In this example, a low emissivity coating is applied to the glass substrate to form a multilayer system having the following configuration: Glass with a thickness of about 1/8 inch / crystallization layer 2-10 nm / 8-18 nm Ag / protective layer 0.1-4 nm / absorbing layer 0.2-8 nm / dielectric layer 40-75 nm / crystallizing layer 2-10 nm / 8-18 nm Ag / protective layer 0.1-4 nm / absorbing layer 0.2-8 nm / dielectric layer 10-40 nm / top coating. As the dielectric can be used oxide (as in example 1), or nitride or oxynitride Si, SiAl, SiB, SiZr, which may contain up to about 20 wt.%, And preferably, up to about 10 wt.% Of the element, for example, Al or B to ensure the conductivity of the target installation for coating. The crystallizing layer improves the characteristics of the silver layer. Basically, this layer usually uses zinc oxide, and 15 wt.% It is made up of other elements, for example, Al, Sn and their combinations.

Защитный слой защищает серебро от воздействия плазмы при напылении на него диэлектрика. Защитный слой также улучшает химическую стойкость, ограничивая диффузию агрессивных элементов, например. О₂, О, H₂O и Na+. Подходящие защитные слои включают NiCr, NiCrO_x, NiCrN_xOy, TiO_x, Ti и другие металлы.The protective layer protects silver from plasma exposure when an insulator is sprayed onto it. The protective layer also improves chemical resistance by limiting the diffusion of aggressive elements, for example. O ₂ , O, H ₂ O and Na +. Suitable protective layers include NiCr, NiCrO _x , NiCrN _x Oy, TiO _x , Ti and other metals.

Как уже указывалось, верхнее покрытие может использоваться по желанию. При его нанесении оно положительно влияет на химическую и механическую устойчивость покрытия. Подходящие верхние покрытия включают С, ZrSi или силициды, а также и другие материалы. Обычно характеристики верхнего покрытия контрастируют с характеристиками подстилающего диэлектрика. Если в качестве диэлектрика используется оксид, верхнее покрытие может быть выполнено из одного из упомянутых выше материалов, либо нитрида или оксинитрида (например, SiN или Si_xAl_yN_zO_c). В альтернативном варианте, когда диэлектрик является нитридом или оксинитридом, в качестве верхнего покрытия желательно использовать оксид, например ZrO₂, ZrSiO₂, SnO₂, ZrO_xNy или ТiO₂, либо какой-либо иной оксид.As already indicated, the topcoat can be used as desired. When applied, it positively affects the chemical and mechanical stability of the coating. Suitable topcoats include C, ZrSi or silicides, as well as other materials. Typically, the characteristics of the overcoat contrast with the characteristics of the underlying dielectric. If oxide is used as the dielectric, the topcoat can be made of one of the above materials, or nitride or oxynitride (for example, SiN or Si _x Al _y N _z O _c ). Alternatively, when the dielectric is nitride or oxynitride, it is desirable to use an oxide, for example ZrO ₂ , ZrSiO ₂ , SnO ₂ , ZrO _x Ny or TiO ₂ , or some other oxide, as the top coating.

ПРИМЕР 3EXAMPLE 3

В настоящем примере покрытие с низкой излучательной способностью наносится на стеклянную подложку с образованием многослойной системы, имеющей следующую конфигурацию: стекло толщиной примерно 1/8 дюйма/3-15 нм SiAl_xN_yO_w/ 3-10 нм ZnAlyO_x/ 8-12 нм Ag/ 1-4 нм NiCrO_x/ 1,5-3,0 нм NiCr/ 55-65 нм SiAl_xNyO_w/ 3-10 нм ZnAlyO_x/10-15 нм Ag/ 1-4 нм NiCrO_x/ 0,7-2,2 нм NiCr/ 24-32 нм SiAl_xNyO_w/ слой верхнего покрытия, при необходимости. Верхнее покрытие, при его нанесении, может быть выбрано из слоев углерода толщиной 1-5 им, ZrО₂или ZrSiO₂ толщиной 1-10 нм, или иных материалов. Покрытие в данном примере обладает светопропусканием примерно от 42% до 46%, при измерении на стеклопакете, коэффициентом солнечного теплопритока менее примерно 0,30 и нейтральной характеристикой цветового пропускания, которой может быть придан зеленоватый или голубоватый оттенок. Стеклопакет включает стекло толщиной 1/8'' с покрытием в положении 2, непокрытое стекло толщиной 1/8'' с зазором между ними 1/2''. Покрытие улучшило механическую и химическую стойкость. Двойной слой NiCrO_x/NiCr помогает достичь заданных характеристик. Вследствие специфического расположения NiCr покрытие может быть нанесено с использование существующих установок, которые, в основном, предназначены для покрытий с низкой излучательной способностью. При этом не требуется специальной изоляции распыляемой мишени NiCr. Характеристики вышеупомянутых многослойных систем, использованных в качестве примера, сведены в следующей ниже таблице.In the present example, a low emissivity coating is applied to the glass substrate to form a multilayer system having the following configuration: glass about 1/8 inch / 3-15 nm thick SiAl _x N _y O _w / 3-10 nm ZnAlyO _x / 8-12 nm Ag / 1-4 nm NiCrO _x / 1.5-3.0 nm NiCr / 55-65 nm SiAl _x NyO _w / 3-10 nm ZnAlyO _x / 10-15 nm Ag / 1-4 nm NiCrO _x / 0 , 7-2.2 nm NiCr / 24-32 nm SiAl _x NyO _w / topcoat, if necessary. The top coating, when applied, can be selected from carbon layers 1-5 nm thick, ZrO ₂ or ZrSiO ₂ 1-10 nm thick, or other materials. The coating in this example has a light transmission of from about 42% to 46%, when measured on a double-glazed window, with a solar heat gain of less than about 0.30 and a neutral color transmittance characteristic that can be given a greenish or bluish tint. The double-glazed window includes glass 1/8 '' thick coated in position 2, uncoated glass 1/8 '' thick with a gap between them 1/2 ''. Coating improved mechanical and chemical resistance. A double layer of NiCrO _x / NiCr helps to achieve specified performance. Due to the specific location of NiCr, the coating can be applied using existing plants, which are mainly designed for coatings with low emissivity. In this case, special isolation of the sprayed NiCr target is not required. The characteristics of the above multilayer systems used as an example are summarized in the following table.

Пример 1Example 1 Пример 2Example 2 Пример 3Example 3 Эстетические характеристикиAesthetic characteristics нейтральныеneutral нейтральныеneutral нейтральныеneutral КСТПCCTT ниже 0,30below 0.30 ниже 0,30below 0.30 ниже 0,30below 0.30 Эстетические характеристикиAesthetic characteristics хорошиеgood ones хорошиеgood ones хорошиеgood ones Угловая стабильностьAngular stability хорошаяgood хорошаяgood хорошаяgood ВлагостойкостьMoisture resistance хорошаяgood хорошаяgood хорошаяgood Химическая стойкостьChemical resistance хорошаяgood хорошаяgood хорошаяgood Механическая стойкостьMechanical resistance хорошаяgood хорошаяgood хорошаяgood

ПРИМЕР 4EXAMPLE 4

Настоящий пример представляет предпочтительный вариант осуществления незакаливаемого покрытия, толщина слоев которого соответствует предложенному в изобретении. Толщины измерялись посредством профилометра DekTak. При измерении толщин первоначальное измерение толщины выполнялось на всем пакете многослойной системы. Затем верхний слой был снят в установке для нанесения покрытий и снова произведено измерение толщины пакета минус верхний слой SiAlO_yN_x. Слои снимались по одному и измерения толщины повторялись до тех пор, пока не доходила очередь до измерения толщины последнего слоя SiAlO_yN_x. Точность измерения составляла приблизительно ±0,5 нм.The present example represents a preferred embodiment of a non-hardenable coating, the layer thickness of which corresponds to that proposed in the invention. Thicknesses were measured with a DekTak profilometer. When measuring thicknesses, the initial thickness measurement was performed on the entire package of the multilayer system. Then, the top layer was removed in a coating unit and again the thickness of the bag minus the top layer SiAlO _y N _{x was} measured. The layers were removed one at a time and thickness measurements were repeated until the turn came to measure the thickness of the last layer of SiAlO _y N _x . The measurement accuracy was approximately ± 0.5 nm.

СлойLayer Толщина отдельного слоя (нм)Single layer thickness (nm) Верхний SiAlOxNyUpper SiAlOxNy 33,433,4 Верхний NiCrUpper NiCr 0,50.5 AgAg 13,513.5 ZnAlOxZnAlOx 6,26.2 Средний SiAlOxNyMedium SiAlOxNy 68,268,2 Нижний NiCrLower NiCr 3,03.0 NiCrOxNiCrOx 1,31.3 AgAg 10,610.6 ZnAlOxZnAlOx 9,09.0 Нижний SiAlOxNyLower SiAlOxNy 23,023.0

ПРИМЕР 5EXAMPLE 5

Настоящий пример представляет предпочтительный вариант осуществления закаливаемого покрытия, включающего, согласно предложенному изобретению, углеродное верхнее покрытие. Толщины измерялись посредством профилометра DekTak, как и в приведенном выше Примере 4. В этих измерениях толщины верхнего слоя SiAlO_xN_y и слоя углерода не разделялись. Толщина слоя углерода оценивалась приблизительно в 5 нм, что дает толщину верхнего слоя SiAlO_xN_y равной приблизительно 33 нм.The present example represents a preferred embodiment of a hardenable coating comprising, according to the proposed invention, a carbon top coating. The thicknesses were measured using a DekTak profilometer, as in Example 4 above. In these measurements, the thicknesses of the upper SiAlO _x N _y layer and the carbon layer were not separated. The thickness of the carbon layer was estimated at approximately 5 nm, which gives a thickness of the upper layer of SiAlO _x N _y equal to approximately 33 nm.

СлойLayer Толщина отдельного слоя (нм)Single layer thickness (nm) Верхний SiAlOxNy + слой углеродаTop SiAlOxNy + carbon layer 38,638.6 Верхний NiCrUpper NiCr 0,10.1 AgAg 13,213,2 ZnAlOxZnAlOx 9,49,4 Средний SiAlOxNyMedium SiAlOxNy 67,467.4 Нижний NiCrLower NiCr 3,63.6 NiCrOxNiCrOx 1,01,0 AgAg 9,89.8 ZnAlOxZnAlOx 10.710.7 Нижний SiAlOxNyLower SiAlOxNy 23,323.3

ПРИМЕР 6EXAMPLE 6

В приведенной ниже таблице представлены результаты оптических и электрических измерений, выполненных с покрытиями, предложенными в изобретении. Продукт "А" с низким коэффициентом солнечного теплопритока (low-g А) подвергнут отжигу и не подвергался термической обработке. Продукт "Т" с низким коэффициентом солнечного теплопритока (low-g Т) представляет собой закаливаемый продукт, имеющий верхнее покрытие, согласно настоящему изобретению. "ВВ" (before bake - перед термообработкой) представляет результаты измерений, проведенных до закалки, а "АВ" (after bake - после термообработки) представляет результаты измерений, выполненных после закалки. Обозначение "N/A" соответствует случаю, когда в процессе получения данных по этому конкретному примеру измерения не проводились.The table below shows the results of optical and electrical measurements made with the coatings proposed in the invention. Product "A" with a low coefficient of solar heat gain (low-g A) was subjected to annealing and was not subjected to heat treatment. Product “T” with a low coefficient of solar heat gain (low-g T) is a hardenable product having a topcoat according to the present invention. "BB" (before bake - before heat treatment) represents the results of measurements carried out before hardening, and "AB" (after bake - after heat treatment) represents the results of measurements performed after hardening. The designation "N / A" corresponds to the case when measurements were not taken in the process of obtaining data for this particular example.

Low-g А (без термообработки)Low-g A (without heat treatment) Low-g ТLow-g T Только ВВBB only ВВBB АВAB Пропускание Y (интегрально по стеклу 1/8'')Transmission Y (1/8 '' Integrally Along the Glass) 44,744.7 42,942.9 45,3745.37 a*t (на пропускание): (интегрально по стеклу 1/8'')a * t (transmittance): (1/8 '' integrated glass) -5,1-5.1 -5,1-5.1 5,35.3 b*t (на пропускание): (интегрально по стеклу 1/8'')b * t (transmittance): (1/8 '' integrated glass) -4,3-4.3 1,591,59 -4,3-4.3 RtY (отражение снаружи): (интегрально по стеклу 1/8'')RtY (reflection outside): (1/8 '' integrated glass) 11,511.5 11,411,4 11,911.9 a*t (на отражение снаружи): (интегрально по стеклу 1/8'')a * t (for reflection from the outside): (1/8 '' integrally on the glass) -1,7-1.7 -4,8-4.8 -2,7-2.7 b*t (на отражение снаружи): (интегрально по стеклу 1/8'')b * t (for reflection from the outside): (integrated on the glass 1/8 '') -4,2-4.2 -6,7-6.7 -4,6-4.6 КСТП: (в стеклопакете)KSTP: (in a double-glazed window) 0,230.23 N/AN / a N/AN / a SCSC 0,260.26 N/AN / a N/AN / a T_{ультрафиолет} T _UV 0,1780.178 N/AN / a N/AN / a R_S R _s 2,32,3 2,32,3 1,91.9 Прошедший ΔЕ* (дельта L*a*b*) (интегрально по стеклу 1/8'')Past ΔЕ * (delta L * a * b *) (1/8 '' integral glass) 12,112.1 Отражение со стороны стекла ΔЕ* (дельта L*a*b*) (интегрально по стеклу 1/8'')Reflection from the side of the glass ΔЕ * (delta L * a * b *) (integral over the glass 1/8 '') 3,13,1

ПРИМЕР 7EXAMPLE 7

В данном примере приводится сводка характеристик покрытий, предложенных в настоящем изобретении. Оптические и электрические свойства предпочтительных вариантов осуществления незакаливаемых и закаливаемых покрытий в соответствии с изобретением находятся в пределах характеристик, приведенных в нижеследующей таблице.This example provides a summary of the characteristics of the coatings proposed in the present invention. The optical and electrical properties of the preferred embodiments of hardenable and hardenable coatings in accordance with the invention are within the characteristics given in the table below.

Цветовая характеристика покрытия с низким коэффициентом солнечного теплопритока при нормальном паденииColor characteristic of the coating with a low coefficient of solar heat gain in normal incidence ПропусканиеSkipping Отражение со стороны стеклаGlass side reflection Отражение со стороны пленкиFilm reflection TYTy а*but* b*b * RGYRGY а*but* b*b * RFYRFY а*but* b*b * NCRsNCRs КСТПCCTT Мин.Min 42,042.0 -6,0-6.0 -4,5-4.5 10,010.0 -3,0-3.0 -3,0-3.0 2,02.0 -18,0-18.0 -4.0-4.0 2,02.0 0,220.22 Макс.Max. 46,046.0 -3,0-3.0 -1,5-1.5 12,012.0 -1,0-1.0 -6,0-6.0 6,06.0 -10,0-10.0 4,04.0 2,42,4 0,250.25

Ниже приведены другие примеры покрытий с низким коэффициентом теплопритока в соответствии с настоящим изобретением. Конфигурация примера 1 включает различные конфигурации многослойной системы, охватывая широкий ассортимент поглощающих слоев, а также и различных диэлектриков согласно изобретению. Толщина слоев указана в нм. В примере 2 представлены предпочтительные варианты конфигураций многослойных систем, предложенные в изобретении. В примере 3 представлены дополнительные предпочтительные конфигурации многослойных систем, предложенные в настоящем изобретении, которые особенно хорошо подходят для закалки. Данные включают оптические характеристики, измеренные перед закалкой ("ВВ") и после закалки ("АВ").The following are other examples of coatings with a low coefficient of heat gain in accordance with the present invention. The configuration of example 1 includes various configurations of a multilayer system, covering a wide range of absorbing layers, as well as various dielectrics according to the invention. The thickness of the layers is indicated in nm. Example 2 presents the preferred configurations of the multilayer systems proposed in the invention. Example 3 presents additional preferred configurations of the multilayer systems proposed in the present invention, which are particularly well suited for hardening. Data includes optical characteristics measured before quenching ("BB") and after quenching ("AB").

В примерах конфигураций, обозначение "СРА" относится к определенному размеру распыляемой мишени. Все слои в экспериментальных образцах распыляются с мишеней длиной 1 м, если не используется обозначение СРА. Распыляемая мишень, обозначенная СРА, имеет длину 37 см. Обозначение "em" относится к излучательной способности. Обозначение "Rs" относится к поверхностному сопротивлению (например, сопротивлению листа), измеренному в Омах на квадрат. В то время как настоящее изобретение было описано на примере конкретных вариантов осуществления, оно не сводится к приведенным конкретным деталям, а охватывает различные изменения и модификации, которые может представить себе специалист и которые попадают в область патентных притязаний изобретения, определенного следующей формулой.In configuration examples, the designation "CPA" refers to a specific size of the spray target. All layers in the experimental samples are sprayed from targets with a length of 1 m, unless the designation CPA is used. The spray target, designated CPA, is 37 cm long. The designation “em” refers to emissivity. The designation "Rs" refers to surface resistance (for example, sheet resistance), measured in ohms per square. While the present invention has been described using specific embodiments as an example, it does not come down to the specific details given, but encompasses various changes and modifications that a person skilled in the art could imagine, which fall within the scope of the patent claims of the invention defined by the following claims.

Claims

1. Обладающее низкой излучательной способностью покрытие на подложке, включающее, в порядке от подложки наружу:
первый диэлектрический слой,
первый слой серебра,
первый защитный слой, содержащий оксид никеля и/или хрома,
первый поглощающий слой, содержащий никель и/или хром,
второй диэлектрический слой,
второй слой серебра,
второй поглощающий слой,
третий диэлектрический слой,
в котором либо первый поглощающий слой, либо второй поглощающий слой также используются при необходимости.1. Having a low emissivity coating on the substrate, including, in order from the substrate to the outside:
first dielectric layer
first layer of silver
a first protective layer containing nickel and / or chromium oxide,
a first absorption layer containing nickel and / or chromium,
second dielectric layer
second layer of silver,
second absorbing layer
third dielectric layer
in which either the first absorption layer or the second absorption layer is also used if necessary.

2. Покрытие по п.1, дополнительно содержащее второй защитный слой между вторым серебряным слоем и вторым поглощающим слоем.2. The coating according to claim 1, additionally containing a second protective layer between the second silver layer and the second absorbing layer.

3. Покрытие по п.1, в котором по меньшей мере один из упомянутых первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет субстехиометрический состав.3. The coating according to claim 1, in which at least one of the aforementioned first dielectric layer, second dielectric layer or third dielectric layer has a sub-stoichiometric composition.

4. Покрытие по п.3, в котором каждый из упомянутых первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет субстехиометрический состав.4. The coating according to claim 3, in which each of said first dielectric layer, second dielectric layer or third dielectric layer has a sub-stoichiometric composition.

5. Покрытие по п.1, дополнительно содержащее первый кристаллизующий слой между первым диэлектрическим слоем и первым слоем серебра.5. The coating according to claim 1, additionally containing a first crystallizing layer between the first dielectric layer and the first silver layer.

6. Покрытие по п.1, дополнительно содержащее второй кристаллизующий слой между вторым диэлектрическим слоем и вторым слоем серебра.6. The coating according to claim 1, additionally containing a second crystallizing layer between the second dielectric layer and the second silver layer.

7. Покрытие по п.1, в котором второй поглощающий слой содержит материал, выбранный из группы, состоящей из металла, сплава, силицида, поглощающего оксида и нитрида.7. The coating according to claim 1, in which the second absorbing layer contains a material selected from the group consisting of metal, alloy, silicide, absorbing oxide and nitride.

8. Покрытие по п.1, в котором второй поглощающий слой содержит материал, выбранный из группы, состоящей из Ti, TiN, Si, NiCr, NiCrO_x, Cr, Zr, Mo, W и ZrSi.8. The coating according to claim 1, in which the second absorbing layer contains a material selected from the group consisting of Ti, TiN, Si, NiCr, NiCrO _x , Cr, Zr, Mo, W and ZrSi.

9. Покрытие по п.8, в котором второй поглощающий слой содержит Cr.9. The coating of claim 8, in which the second absorbing layer contains Cr.

10. Покрытие по п.8, в котором второй поглощающий слой содержит NiCr.10. The coating of claim 8, in which the second absorbing layer contains NiCr.

11. Покрытие по п.1, в котором по меньшей мере один слой из первого поглощающего слоя или второго поглощающего слоя способен понизить пропускание покрытия.11. The coating according to claim 1, in which at least one layer of the first absorbing layer or the second absorbing layer is able to reduce the transmittance of the coating.

12. Покрытие по п.11, в котором по меньшей мере один поглощающий слой содержит материал, коэффициент преломления которого на длине волны 550 нм составляет примерно от 1 до 5,5.12. The coating according to claim 11, in which at least one absorbing layer contains a material whose refractive index at a wavelength of 550 nm is from about 1 to 5.5.

13. Покрытие по п.11, в котором по меньшей мере один поглощающий слой содержит материал, коэффициент поглощения которого на длине волны 550 нм составляет примерно от 1,75 до 4,5.13. The coating according to claim 11, in which at least one absorbing layer contains a material, the absorption coefficient of which at a wavelength of 550 nm is from about 1.75 to 4.5.

14. Покрытие по п.11, в котором по меньшей мере один поглощающий слой содержит материал, который имеет положительный угол наклона графика зависимости коэффициента преломления от длины волны на длине волны 550 нм.14. The coating according to claim 11, in which at least one absorbing layer contains a material that has a positive angle of inclination of the graph of the dependence of the refractive index on the wavelength at a wavelength of 550 nm.

15. Покрытие по п.11, в котором по меньшей мере один поглощающий слой содержит материал, который имеет положительный угол наклона графика зависимости коэффициента поглощения от длины волны на длине волны 550 нм.15. The coating according to claim 11, in which at least one absorbing layer contains a material that has a positive angle of inclination of the graph of the absorption coefficient versus wavelength at a wavelength of 550 nm.

16. Покрытие по п.1, в котором первый поглощающий слой толще второго поглощающего слоя.16. The coating according to claim 1, in which the first absorbent layer is thicker than the second absorbent layer.

17. Покрытие по п.1, в котором толщина первого поглощающего слоя составляет от 0,2 до 8 нм.17. The coating according to claim 1, in which the thickness of the first absorbing layer is from 0.2 to 8 nm.

18. Покрытие по п.17, в котором толщина первого поглощающего слоя составляет примерно от 1 до 6 нм.18. The coating of claim 17, wherein the thickness of the first absorbent layer is about 1 to 6 nm.

19. Покрытие по п.18, в котором толщина первого поглощающего слоя составляет от 1,5 до 4 нм.19. The coating of claim 18, wherein the thickness of the first absorbent layer is from 1.5 to 4 nm.

20. Покрытие по п.1, в котором толщина второго поглощающего слоя составляет от 0,1 до 8 нм.20. The coating according to claim 1, in which the thickness of the second absorbing layer is from 0.1 to 8 nm.

21. Покрытие по п.20, в котором толщина второго поглощающего слоя составляет от 0,1 до 5 нм.21. The coating according to claim 20, in which the thickness of the second absorbing layer is from 0.1 to 5 nm.

22. Покрытие по п.21, в котором толщина второго поглощающего слоя составляет от 0,1 до 1 нм.22. The coating according to item 21, in which the thickness of the second absorbing layer is from 0.1 to 1 nm.

23. Покрытие по п.1, в котором толщина первого поглощающего слоя составляет 3 нм.23. The coating according to claim 1, in which the thickness of the first absorbing layer is 3 nm.

24. Покрытие по п.23, в котором толщина второго поглощающего слоя составляет 0,5 нм.24. The coating according to item 23, in which the thickness of the second absorbing layer is 0.5 nm.

25. Покрытие по п.1, в котором толщина первого поглощающего слоя составляет 3,6 нм.25. The coating according to claim 1, in which the thickness of the first absorbing layer is 3.6 nm.

26. Покрытие по п.25, в котором толщина второго поглощающего слоя составляет 0,1 нм.26. The coating of claim 25, wherein the thickness of the second absorbent layer is 0.1 nm.

27. Покрытие по п.1, в котором каждый слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя и третьего диэлектрического слоя независимо содержит материал, выбранный из группы, содержащий оксид, нитрид и оксинитрид, или их комбинации.27. The coating according to claim 1, in which each layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer and the third dielectric layer independently comprises a material selected from the group comprising oxide, nitride and oxynitride, or combinations thereof.

28. Покрытие по п.27, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя и третьего диэлектрического слоя содержит оксид.28. The coating according to item 27, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer and the third dielectric layer contains oxide.

29. Покрытие по п.28, в котором оксид напыляется из мишени, состоящей из Ti, Zn, Sn, сплава ZnSn или Bi.29. The coating of claim 28, wherein the oxide is sprayed from a target consisting of Ti, Zn, Sn, an ZnSn or Bi alloy.

30. Покрытие по п.28, в котором оксид содержит Nb₂O₅.30. The coating of claim 28, wherein the oxide contains Nb ₂ O ₅ .

31. Покрытие по п.29, в котором оксид содержит до 20 мас.% элемента, выбранного из группы, состоящей из Аl и В.31. The coating according to clause 29, in which the oxide contains up to 20 wt.% The element selected from the group consisting of Al and B.

32. Покрытие по п.30, в котором оксид содержит до 10 мас.% элемента, выбранного из группы, состоящей из Аl и В.32. The coating of claim 30, wherein the oxide contains up to 10 wt.% Of an element selected from the group consisting of Al and B.

33. Покрытие по п.27, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя и третьего диэлектрического слоя содержит нитрид или оксинитрид.33. The coating according to item 27, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer and the third dielectric layer contains nitride or oxynitride.

34. Покрытие по п.33, в котором нитрид или оксинитрид представляет собой нитрид или оксинитрид Si, SiAl, SiB или SiZr.34. The coating of claim 33, wherein the nitride or oxy nitride is Si, SiAl, SiB or SiZr nitride or oxy nitride.

35. Покрытие по п.34, в котором нитрид или оксинитрид содержит до 20 мас.% элемента, выбранного из группы, состоящей из Аl и В.35. The coating according to clause 34, in which the nitride or oxynitride contains up to 20 wt.% An element selected from the group consisting of Al and B.

36. Покрытие по п.35, в котором нитрид или оксинитрид содержит до 10 мас.% элемента, выбранного из группы, состоящей из Аl и В.36. The coating of claim 35, wherein the nitride or oxynitride contains up to 10 wt.% Of an element selected from the group consisting of Al and B.

37. Покрытие по п.1, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет коэффициент преломления в интервале от 2,05 до 2,4 на длине волны 550 нм.37. The coating according to claim 1, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer or the third dielectric layer has a refractive index in the range from 2.05 to 2.4 at a wavelength of 550 nm.

38. Покрытие по п.37, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет коэффициент преломления в интервале от 2,1 до 2,3 на длине волны 550 нм.38. The coating according to clause 37, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer or the third dielectric layer has a refractive index in the range from 2.1 to 2.3 at a wavelength of 550 nm.

39. Покрытие по п.1, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет коэффициент поглощения в интервале от 0 до 0,05 на длине волны 550 нм.39. The coating according to claim 1, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer or the third dielectric layer has an absorption coefficient in the range from 0 to 0.05 at a wavelength of 550 nm.

40. Покрытие по п.39, в котором по меньшей мере один слой из первого диэлектрического слоя, второго диэлектрического слоя или третьего диэлектрического слоя имеет коэффициент поглощения в интервале от 0,01 до 0,02 на длине волны 550 нм.40. The coating according to § 39, in which at least one layer of the first dielectric layer, the second dielectric layer or the third dielectric layer has an absorption coefficient in the range from 0.01 to 0.02 at a wavelength of 550 nm.

41. Обладающее низкой излучательной способностью покрытие на подложке, включающее, в порядке от подложки наружу:
первый диэлектрический слой толщиной до 25 нм,
первый слой серебра толщиной от 8 до 15 нм,
первый защитный слой, содержащий оксид никеля и/или хрома и имеющий толщину от 0,1 до 4 нм,
первый поглощающий слой, содержащий никель и/или хром и имеющий толщину от 0,2 до 8 нм,
второй диэлектрический слой толщиной от 40 до 75 нм,
второй слой серебра толщиной от 8 до 15 нм,
второй поглощающий слой толщиной от 0,1 до 8 нм,
третий диэлектрический слой толщиной от 10 до 40 нм.41. Having a low emissivity coating on the substrate, including, in order from the substrate to the outside:
the first dielectric layer up to 25 nm thick,
the first layer of silver with a thickness of 8 to 15 nm,
a first protective layer containing nickel and / or chromium oxide and having a thickness of from 0.1 to 4 nm,
a first absorbing layer containing nickel and / or chromium and having a thickness of from 0.2 to 8 nm,
a second dielectric layer with a thickness of 40 to 75 nm,
a second layer of silver with a thickness of 8 to 15 nm,
a second absorbing layer with a thickness of from 0.1 to 8 nm,
the third dielectric layer with a thickness of 10 to 40 nm.

42. Покрытие по п.41, дополнительно содержащее второй защитный слой толщиной от 0,1 до 4 им, расположенный между вторым слоем серебра и вторым поглощающим слоем.42. The coating according to paragraph 41, further containing a second protective layer with a thickness of 0.1 to 4, located between the second silver layer and the second absorbing layer.

43. Покрытие по п.41, дополнительно содержащее первый кристаллизующий слой между первым диэлектрическим слоем и первым слоем серебра, при этом толщина первого кристаллизующего слоя составляет от 2 до 11 нм.43. The coating according to paragraph 41, further comprising a first crystallizing layer between the first dielectric layer and the first silver layer, wherein the thickness of the first crystallizing layer is from 2 to 11 nm.

44. Покрытие по п.1, дополнительно содержащее второй кристаллизующий слой между вторым диэлектрическим слоем и вторым слоем серебра, при этом толщина второго кристаллизующего слоя составляет от 2 до 11 нм.44. The coating according to claim 1, further comprising a second crystallizing layer between the second dielectric layer and the second silver layer, wherein the thickness of the second crystallizing layer is from 2 to 11 nm.

45. Обладающее низкой излучательной способностью покрытие на подложке, содержащее, в порядке от подложки наружу:
первый диэлектрический слой SiAl_xN_yO_w толщиной от 3 до 30 нм,
первый кристаллизующий слой ZnAl_yO_x толщиной от 3 до 11 нм,
первый слой серебра толщиной от 8 до 12 нм,
первый защитный слой NiCrO_x толщиной от 0,8 до 2 нм,
первый поглощающий слой NiCr толщиной от 1,5 до 4 нм,
второй диэлектрический слой SiAl_xN_yO_w толщиной от 55 до 75 нм,
второй кристаллизующий слой ZnAl_yO_x толщиной от 3 до 10 нм,
второй слой серебра толщиной от 10 до 15 нм,
второй поглощающий слой NiCr толщиной от 0,1 до 2,2 нм,
третий диэлектрический слой SiAl_xN_yO_w толщиной от 24 до 40 нм.45. Having a low emissivity coating on a substrate, containing, in order from the substrate to the outside:
the first dielectric layer SiAl _x N _y O _w with a thickness of 3 to 30 nm,
the first crystallizing layer of ZnAl _y O _x with a thickness of 3 to 11 nm,
the first layer of silver with a thickness of 8 to 12 nm,
the first protective layer of NiCrO _x with a thickness of from 0.8 to 2 nm,
the first absorbing layer of NiCr with a thickness of from 1.5 to 4 nm,
a second dielectric layer of SiAl _x N _y O _w with a thickness of 55 to 75 nm,
a second crystallizing layer of ZnAl _y O _x with a thickness of 3 to 10 nm,
a second layer of silver with a thickness of 10 to 15 nm,
a second absorbing layer of NiCr with a thickness of from 0.1 to 2.2 nm,
the third dielectric layer SiAl _x N _y O _w with a thickness of 24 to 40 nm.

46. Покрытие по п.45, дополнительно включающее второй защитный слой NiCrO_x толщиной от 2 до 4 нм, расположенный между вторым слоем серебра и вторым поглощающим слоем.46. The coating according to item 45, further comprising a second protective layer of NiCrO _x with a thickness of 2 to 4 nm, located between the second silver layer and the second absorbing layer.

47. Покрытие по п.41, в котором отношение толщины первого слоя серебра к толщине второго слоя серебра составляет по меньшей мере 80%.47. The coating according to paragraph 41, in which the ratio of the thickness of the first silver layer to the thickness of the second silver layer is at least 80%.

48. Покрытие по п.41, в котором отношение толщины первого слоя серебра к толщине второго слоя серебра составляет по меньшей мере 50%.48. The coating according to paragraph 41, in which the ratio of the thickness of the first silver layer to the thickness of the second silver layer is at least 50%.

49. Покрытие по п.1, где подложка выполнена из стекла.49. The coating according to claim 1, where the substrate is made of glass.

50. Многослойная система с низкой излучательной способностью, включающая покрытие по любому из пп.1, 41, 45 и 61, характеризующаяся коэффициентом солнечного теплопритока менее 0,30.50. A multilayer system with low emissivity, comprising a coating according to any one of claims 1, 41, 45 and 61, characterized by a coefficient of solar heat gain less than 0.30.

51. Многослойная система по п.50, включающая стеклянную подложку.51. A multilayer system according to claim 50, comprising a glass substrate.

52. Многослойная система по п.51, в которой толщина стеклянной подложки составляет 1/8 дюйма,52. The multilayer system of claim 51, wherein the thickness of the glass substrate is 1/8 inch,

53. Многослойная система по п.52, в которой пропускание света составляет от 42% до 46%, измеренное в стеклопакете.53. The multilayer system according to paragraph 52, in which the transmittance of light is from 42% to 46%, measured in a double-glazed window.

54. Многослойная система по п.50, цветовое пропускание которой характеризуется отрицательным а* и отрицательным b* (по шкале CIE LAB).54. The multilayer system according to claim 50, the color transmission of which is characterized by negative a * and negative b * (according to the CIE LAB scale).

55. Многослойная система по п.50, характеризующаяся улучшенной механической или химической устойчивостью.55. A multilayer system according to claim 50, characterized by improved mechanical or chemical resistance.

56. Способ изготовления многослойной системы с низкой излучательной способностью и низким коэффициентом солнечного теплопритока, включающий нанесение на подложку покрытия по любому из пп.1, 41, 45 и 61.56. A method of manufacturing a multilayer system with low emissivity and low coefficient of solar heat gain, comprising applying to the substrate a coating according to any one of claims 1, 41, 45 and 61.

57. Способ по п.56, в котором нанесение включает магнетронное напыление.57. The method according to p, in which the application includes magnetron sputtering.

58. Многослойная система с низкой излучательной способностью, включающая покрытие по любому из пп.1, 41, 45 и 61, имеющая следующие характеристики:
величина Y пропускания примерно от 30 до 60,
отрицательная величина пропускания а*,
RgY примерно от 8 до 20,
отрицательная величина Rga*,
RfY примерно от 2 до 12,
отрицательная величина Rfa*, и
коэффициент солнечного теплопритока от 0,10 до 0,30.58. A multilayer system with low emissivity, comprising a coating according to any one of claims 1, 41, 45 and 61, having the following characteristics:
transmittance Y from about 30 to 60,
negative transmittance a *,
RgY from about 8 to 20,
negative value Rga *,
RfY from about 2 to 12,
negative Rfa *, and
coefficient of solar heat gain from 0.10 to 0.30.

59. Многослойная система по п.50, характеризующаяся устойчивостью к воздействию закалки или термического упрочнения.59. The multilayer system according to claim 50, characterized by resistance to hardening or thermal hardening.

60. Многослойная система по п.59, в которой ее оптические характеристики не ухудшаются после закалки или термического упрочнения.60. The multilayer system according to § 59, in which its optical characteristics do not deteriorate after hardening or thermal hardening.

61. Обладающее низкой излучательной способностью покрытие на подложке, включающее в порядке от подложки наружу:
первый диэлектрический слой SiAlO_xN_y,
первый кристаллизующий слой ZnAlO_x,
первый слой серебра,
первый защитный слой NiCrO_x,
первый поглощающий слой металлического NiCr,
второй диэлектрический слой SiAlO_xN_y,
второй кристаллизующий слой ZnAlO_x,
второй слой серебра,
второй поглощающий металлический слой NiCr,
третий диэлектрический слой SiAlO_xN_y.61. Having a low emissivity coating on a substrate, including in order from the substrate to the outside:
the first dielectric layer SiAlO _x N _y ,
the first crystallizing layer of ZnAlO _x ,
first layer of silver
the first protective layer of NiCrO _x ,
the first absorbing layer of metallic NiCr,
a second dielectric layer SiAlO _x N _y ,
a second crystallizing layer of ZnAlO _x ,
second layer of silver,
a second absorbing metal layer of NiCr,
third dielectric layer SiAlO _x N _y .

62. Покрытие по любому из пп.1, 41, 45 и 61, в котором NiCrO_x содержит от 15 до 60 атомных процентов кислорода.62. The coating according to any one of claims 1, 41, 45 and 61, in which NiCrO _x contains from 15 to 60 atomic percent oxygen.

63. Покрытие по п.62, в котором NiCrO_x содержит от 20 до 50 атомных процентов кислорода.63. The coating of claim 62, wherein NiCrO _x contains from 20 to 50 atomic percent oxygen.

64. Покрытие по п.63, в котором NiCrO_x содержит 20 атомных процентов кислорода.64. The coating of claim 63, wherein NiCrO _x contains 20 atomic percent oxygen.

65. Покрытие по п.2, в котором второй защитный слой содержит NiCrO_x. 65. The coating according to claim 2, in which the second protective layer contains NiCrO _x .