RU2359221C1 - Method for determination of normal shifts of body surface - Google Patents
Method for determination of normal shifts of body surface Download PDFInfo
- Publication number
- RU2359221C1 RU2359221C1 RU2007136810/28A RU2007136810A RU2359221C1 RU 2359221 C1 RU2359221 C1 RU 2359221C1 RU 2007136810/28 A RU2007136810/28 A RU 2007136810/28A RU 2007136810 A RU2007136810 A RU 2007136810A RU 2359221 C1 RU2359221 C1 RU 2359221C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- preliminary
- shift
- interferogram
- pixels
- bands
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в промышленном и химическом производствах, в материаловедении, космических исследованиях, криминалистике, в частности, при определении упругих характеристик нановолокон, калибровке растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов, исследованиях напряженно-деформированных состояний тел, измерениях малых весов, перепадов давлений и температуры, а также для бесконтактного оптического обнаружения областей повышенных градиентов деформации и измерения параметров деформированного состояния поверхностей деталей ответственных конструкций.The invention relates to measurement technology and can be used in industrial and chemical industries, in materials science, space research, forensics, in particular, in determining the elastic characteristics of nanofibers, calibration of scanning electron and scanning probe microscopes, studies of stress-strain states of bodies, measurements small weights, pressure and temperature drops, as well as for non-contact optical detection of areas of increased deformation gradients and from Eren parameters deformed condition items of critical structures surfaces.
Известен способ спекл-интерферометрии плоского объекта (Джоунс Р., Уайкс К. Голографическая и спекл-интерферометрия. - М., 1986 [1]) для измерения микроскопических перемещений плоских элементов деформируемой поверхности, при котором диффузно рассеивающая поверхность освещается когерентным излучением, которое рассеивается и, пройдя через фокусирующую линзу, попадает на фотопластинку. Экспозиция повторяется после деформации объекта. Полученная двухэкспозиционная сфокусированная спеклограмма интенсивностей просвечивается лазерным лучом. Спекл-структура, связанная с идентичными парами точек объекта, соответствующих исходному и деформированному состояниям, образует на экране интерференционные полосы Юнга. По расстоянию между ними определяется величина перемещения в собственной плоскости участка деформируемой поверхности.There is a method of speckle interferometry of a flat object (Jones R., Wykes K. Holographic and speckle interferometry. - M., 1986 [1]) for measuring microscopic movements of plane elements of a deformable surface, in which a diffusely scattering surface is illuminated by coherent radiation that scatters and, passing through the focusing lens, it lands on a photographic plate. Exposure is repeated after the deformation of the object. The resulting two-exposure focused speckle intensity is transmitted through a laser beam. The speckle structure associated with identical pairs of object points corresponding to the initial and deformed states forms Young interference fringes on the screen. The distance between them determines the amount of displacement in the own plane of the area of the deformable surface.
Однако указанный способ не позволяет измерить нормальные к поверхности объекта перемещения, связанные с наклоном участка, вариация чувствительности незначительна, диапазон измерений узок.However, this method does not allow measuring normal displacements to the surface of the object associated with the slope of the plot, the sensitivity variation is insignificant, the measurement range is narrow.
Известен способ спекл-интерферометрии плоского объекта, при котором для измерения перемещения в плоскости и угла наклона плоского участка поверхности освещают объект когерентным излучением, рассеянное объектом излучение направляют в оптическую систему, которая выполняет интегральное оптическое преобразование - дробное преобразование Фурье (Patten R., Sheridan J.T., Larkin A. Speckle photography and the fractional Fourier transform // Opt. Eng. 2001. 40, N 8. P.1438-1440 [2]). При этом исследуемый участок поверхности, от которого идет рассеянная волна с амплитудой f(x), устанавливается на расстоянии s=f(1-cosφ) от собирающей линзы с фокусным расстоянием f, где 
Однако указанный способ содержит кроме фокусного расстояния линзы лишь один варьируемый параметр 0≤φ≤π, который используется для разделения вкладов перемещения и наклона, что не позволяет существенно изменять чувствительность измерения каждого из параметров деформации. В результате диапазон измерений оказывается узким, чувствительность малой, а проведение измерений сложным.However, this method contains, in addition to the focal length of the lens, only one variable parameter 0≤φ≤π, which is used to separate the contributions of displacement and tilt, which does not allow to significantly change the measurement sensitivity of each of the deformation parameters. As a result, the measurement range is narrow, the sensitivity is small, and the measurement is difficult.
Наиболее близким по своей сущности и достигаемому результату является известный способ спекл-интерферометрии плоского объекта, при котором для измерения перемещения в плоскости и угла наклона плоского участка поверхности освещают объект когерентным излучением, рассеянное объектом излучение направляют в оптическую систему, которая выполняет интегральное оптическое преобразование волнового поля, при этом используют последовательно два преобразования Фурье-Френеля на основе собирающих линз, фиксируют промежуточный и окончательный результаты на фотопластинки, образующие спеклограмму и интерферограмму, при этом объект и фотопластинки располагают на разных варьируемых расстояниях от линзы, за счет чего разделяют измеряемые величины и подбирают желаемые чувствительности измерения, зависящие от фокусного расстояния первой линзы f, параметров первого оптического преобразования Фурье-Френеля φ, δ и от фокусного расстояния второй линзы f, параметра второго оптического преобразования Фурье-Френеля α (RU 2258201 [3]).The closest in essence and the achieved result is the known method of speckle interferometry of a flat object, in which, to measure the displacement in the plane and the angle of inclination of a flat surface area, the object is illuminated with coherent radiation, the radiation scattered by the object is sent to an optical system that performs integral optical wave field conversion , in this case, two Fourier-Fresnel transforms are used sequentially based on collecting lenses, the intermediate and final are fixed the results on photographic plates forming a specklegram and an interferogram, while the object and photographic plates are located at different variable distances from the lens, whereby the measured values are separated and the desired measurement sensitivities are selected, depending on the focal length of the first lens f, the parameters of the first optical Fourier-Fresnel transform φ , δ and from the focal length of the second lens f, the parameter of the second optical Fourier-Fresnel transform α (RU 2258201 [3]).
Недостатком известного способа является сложность и длительность его осуществления, связанная с использованием фотопластинок, требующих их обработки, и относительно невысокая чувствительность, не позволяющая фиксировать смещение поверхности тела, вызванное деформацией, величиной в несколько нанометров.The disadvantage of this method is the complexity and duration of its implementation, associated with the use of photographic plates that require processing, and a relatively low sensitivity that does not allow to fix the displacement of the surface of the body caused by deformation of a few nanometers.
Заявляемый в качестве изобретения способ направлен на повышение чувствительности и расширение диапазона измерений смещения и наклона.The inventive method is aimed at increasing sensitivity and expanding the range of measurements of bias and tilt.
Указанный результат достигается тем, что способ определения нормальных перемещений поверхности тела по смещениям спекл-интерференционных полос включает предварительное перемещение одной из частей выбранного участка поверхности относительно другой по нормали к поверхности тела на величину, большую длины полуволны лазерного излучения, используемого при создании интерференционной картины, регистрацию предварительного перемещения точек участка в памяти и на экране монитора ЭВМ в виде интерферограммы с двумя и более интерференционными полосами, отображающими линии уровня предварительного перемещения, определение координат центров полос интерферограммы в пикселях экрана монитора, осуществление дополнительного перемещения на этом участке, измеряемая нормальная компонента которого мала по отношению к предварительному перемещению, фиксацию изменений положений центров полос интерферограммы предварительного перемещения без изменения общего количества зарегистрированных полос и расчет измеряемой компоненты перемещения w по формуле:The specified result is achieved by the fact that the method of determining normal displacements of the body surface by the displacements of speckle interference fringes involves preliminary moving one of the parts of the selected surface section relative to the other normal to the body surface by an amount greater than the half-wavelength of laser radiation used to create the interference pattern, registration preliminary movement of the points of the plot in the memory and on the computer monitor screen in the form of an interferogram with two or more interference and strips showing the lines of the preliminary displacement level, determining the coordinates of the centers of the interferogram stripes in pixels of the monitor screen, performing additional movement in this section, the measured normal component of which is small with respect to the preliminary displacement, fixing changes in the positions of the centers of the interferogram strips of the preliminary displacement without changing the total number of registered bands and the calculation of the measured components of the displacement w by the formula:
где w - величина смещения тела по нормали к его поверхности, м;where w is the magnitude of the displacement of the body along the normal to its surface, m;
λ - длина волны применяемого в интерферометре лазера;λ is the wavelength of the laser used in the interferometer;
m - число учитываемых при расчете полос интерферограммы предварительного перемещения (m≥2);m is the number of interferograms of preliminary displacement taken into account when calculating the bands (m≥2);
N - число пикселей экрана монитора между центрами крайних из учитываемых полос;N is the number of pixels of the monitor screen between the centers of the extreme of the considered bands;
n1 - величина равного сдвига центров крайних полос в пикселях экрана монитора, характеризующая перемещение участка поверхности между ними как жесткого целого;n 1 - the value of the equal shift of the centers of the extreme bands in the pixels of the monitor screen, characterizing the movement of the surface area between them as a rigid whole;
n2 - величина относительного сдвига между центрами крайних полос в пикселях экрана монитора, характеризующая относительное смещение с изменением угла наклона участка поверхности между полосами в сравнении с их уровнями для предварительного смещения.n 2 - the value of the relative shift between the centers of the extreme bands in the pixels of the monitor screen, characterizing the relative displacement with a change in the angle of inclination of the surface area between the bands in comparison with their levels for preliminary displacement.
Предварительное перемещение одной из частей выбранного участка поверхности относительно другой по нормали к поверхности тела на величину, большую длины полуволны лазерного излучения, используемого при создании интерференционной картины, позволяет создать базу измерения, величина которой может быть принята за эталонную и на основании которой могут быть определены с высокой точностью дальнейшие более малые перемещения исследуемого тела, что, как минимум, на один-два порядка может повысить точность определения величины дополнительного перемещения наблюдаемого участка исследуемого тела.The preliminary displacement of one part of the selected surface region relative to the other normal to the body surface by an amount greater than the half-wavelength of the laser radiation used to create the interference pattern allows you to create a measurement base, the value of which can be taken as a reference and based on which it can be determined with high accuracy further smaller movements of the investigated body, which, at least one or two orders of magnitude, can increase the accuracy of determining the value of additional moving the test body observation portion.
Регистрация предварительного перемещения точек участка в памяти и на экране монитора ЭВМ в виде интерферограммы с двумя и более интерференционными полосами, отображающими линии уровня предварительного перемещения, необходима для установления величины первоначального смещения исследуемого тела в пикселях экрана монитора ЭВМ, на котором воспроизводится эта интерферограмма.Registration of the preliminary movement of the site points in the memory and on the computer monitor screen in the form of an interferogram with two or more interference bands displaying the lines of the preliminary displacement level is necessary to establish the initial displacement of the body under study in the pixels of the computer monitor screen on which this interferogram is reproduced.
Определение координат центров полос интерферограммы в пикселях экрана монитора позволяет вычислить предварительное смещение наблюдаемого участка исследуемого тела и оценить соответствие величины реального смещения к числу пикселей экрана монитора.Determining the coordinates of the centers of the bands of the interferogram in pixels of the monitor screen allows you to calculate the preliminary displacement of the observed portion of the body under study and to evaluate the correspondence of the actual displacement value to the number of pixels of the monitor screen.
Фиксация изменений положений центров полос интерферограммы предварительного перемещения после осуществления дополнительного воздействия на исследуемое тело, приводящее к его малому измеряемому перемещению, происходящему, в том числе, без изменения общего количества зарегистрированных полос, позволяет определить величину этого дополнительного перемещения участка поверхности исследуемого тела в пикселях экрана монитора, что в свою очередь позволяет существенно повысить точность измерения. Повышение точности измерения обусловлено тем, что величина нормального перемещения поверхности, эквивалентная сдвигу полосы на один пиксель экрана монитора, много меньше длины полуволны лазерного излучения, используемого для формирования спекл-интерферограммы, поскольку смещение по нормали к поверхности тела, эквивалентное длине полуволны, определяющее номинальную чувствительность интерферометра, равно экранному расстоянию между центрами полос интерферограммы.Fixing changes in the positions of the centers of the interferogram stripes of preliminary displacement after additional exposure to the test body, leading to its small measurable displacement, which occurs, including without changing the total number of recorded strips, allows us to determine the magnitude of this additional displacement of the surface of the test body in pixels of the monitor screen , which in turn allows you to significantly increase the accuracy of the measurement. The increase in the measurement accuracy is due to the fact that the normal surface displacement equivalent to a strip shift by one pixel of the monitor screen is much smaller than the half-wavelength of laser radiation used to form a speckle interferogram, since the normal displacement to the body surface, equivalent to the half-wavelength, determines the nominal sensitivity interferometer is equal to the screen distance between the centers of the bands of the interferogram.
Использование для расчета измеряемой компоненты перемещения w по формуле:Using to calculate the measured components of the displacement w according to the formula:
где w - величина смещения тела по нормали к его поверхности, м;where w is the magnitude of the displacement of the body along the normal to its surface, m;
λ - длина волны применяемого в интерферометре лазера;λ is the wavelength of the laser used in the interferometer;
m - число учитываемых при расчете полос интерферограммы предварительного перемещения (m≥2);m is the number of interferograms of preliminary displacement taken into account when calculating the bands (m≥2);
N - число пикселей экрана монитора между центрами учитываемых полос;N is the number of pixels of the monitor screen between the centers of the considered bands;
n1 - величина равного сдвига центров полос в пикселях экрана монитора, характеризующая перемещение участка поверхности между ними как жесткого целого;n 1 - the value of the equal shift of the centers of the strips in the pixels of the monitor screen, characterizing the displacement of a portion of the surface between them as a rigid whole;
n2 - величина изменения расстояния между центрами крайних полос в пикселях экрана монитора, характеризующая относительное смещение точек поверхности на участке между полосами в сравнении с их расположением после предварительного перемещения.n 2 - the magnitude of the change in the distance between the centers of the extreme bands in the pixels of the monitor screen, characterizing the relative displacement of surface points in the area between the bands in comparison with their location after preliminary movement.
Обе эти величины (n1 и n2) позволяют определить дополнительное перемещение наблюдаемого участка тела по нормали к его поверхности, происходящее, в том числе, без изменения общего количества зарегистрированных на участке полос по числу пикселей, на которое произошел сдвиг центров интерференционных полос, фиксируемый на экране монитора.Both of these values (n 1 and n 2 ) make it possible to determine the additional displacement of the observed part of the body along the normal to its surface, which occurs, inter alia, without changing the total number of bands recorded in the section by the number of pixels by which the centers of interference fringes shift, fixed on the monitor screen.
Сущность заявляемого способа поясняется примерами его реализации и чертежами. На Фиг.1 представлена принципиальная схема реализации способа; на Фиг.2 представлена принципиальная схема установки, с помощью которой реализуется заявленный способ; на Фиг.3 показаны интерферограмма предварительного перемещения, снятая с экрана монитора ЭВМ (а), и координаты местонахождения центров полос (б); на Фиг.4 показаны интерферограмма результирующего: предварительного и дополнительного (произведенного без увеличения числа полос) перемещений на наблюдаемом участке поверхности тела, снятая с экрана монитора ЭВМ (а), и координаты местонахождения центров полос и их сдвиг (б).The essence of the proposed method is illustrated by examples of its implementation and drawings. Figure 1 presents a schematic diagram of the implementation of the method; figure 2 presents a schematic diagram of the installation with which the claimed method is implemented; figure 3 shows the interferogram of the preliminary movement taken from the computer monitor screen (a), and the coordinates of the location of the centers of the bands (b); figure 4 shows the interferogram of the resulting: preliminary and additional (without increasing the number of bands) movements on the observed part of the body surface, taken from the computer monitor screen (a), and the coordinates of the location of the centers of the bands and their shift (b).
Пример 1. В самом общем случае способ может быть реализован с помощью принципиальной схемы, представленной на фиг.1. Принципиальная схема содержит лазер 1, полупрозрачные зеркала 2 и 3, образец 4, перемещение которого исследуется, и средство 5 наблюдения и регистрации, в качестве которого может быть использована видеокамера, подключенная к компьютеру (на чертеже не показан), снабженному соответствующим программным обеспечением.Example 1. In the most general case, the method can be implemented using the circuit diagram shown in figure 1. The circuit diagram contains a laser 1, translucent mirrors 2 and 3, a
Способ реализуется следующим образом. Сначала исследуемый образец 4 перемещается любым известным способом так, чтобы произошло некоторое смещение освещенного лазером 1 участка поверхности относительно нормали к поверхности тела на величину, большую длины полуволны излучения лазера 1. В результате того, что излучение от лазера 1 попадает на видеокамеру двумя путями - непосредственно на камеру 5 через полупрозрачные зеркала 2 и 3 и с отражением от образца 4, фоточувствительная матрица видеокамеры 5 регистрирует спекл-картину состояния поверхности тела, которая транслируется в ЭВМ и при наложении на аналогичную картину недеформированного состояния поверхности образует спекл-интерферограмму (см, фиг.3(a)), полосы которой при дополнительном перемещении образца 4 сдвигаются (см. фиг.4(a)).The method is implemented as follows. First, the
Зафиксировав интерферограмму, определяют координаты центров полос - темных и светлых, как это показано на фиг.3(б) в виде прямых линий. Если после этого осуществить дополнительное перемещение, которое много меньше предварительного перемещения, и фиксировать смещение центров полос в пикселях экрана монитора ЭВМ, то, зная величину предварительного, как бы эталонного, перемещения, можно по приведенной в формуле изобретения математической зависимости определить величину этого дополнительного смещения, которое может быть на 2 порядка меньше длины волны лазерного излучения.Having fixed the interferogram, the coordinates of the centers of the bands — dark and light — are determined, as shown in Fig. 3 (b) in the form of straight lines. If after this an additional displacement is carried out, which is much less than the preliminary displacement, and the displacement of the center of the bands in the pixels of the computer monitor screen is fixed, then, knowing the magnitude of the preliminary, as it were, reference displacement, it is possible to determine the magnitude of this additional displacement from the mathematical formula given in the claims, which can be 2 orders of magnitude less than the wavelength of laser radiation.
Таким образом, можно зафиксировать величину смещения исследуемого образца на 0,01λ, т.е. порядка нескольких нанометров.Thus, it is possible to fix the magnitude of the displacement of the test sample by 0.01λ, i.e. about several nanometers.
Пример 2. Метрологическая оценка измеряемых перемещений в нано-масштабном диапазоне может быть выполнена с помощью экспериментальной модели, схема которой показана на Фиг.2. В качестве чувствительного элемента (образца 4) используется вытянутая металлическая пластина, установленная на центральную опору в форме лезвия ножа 7, перпендикулярного оси пластины, не препятствующей ее повороту в вертикальной плоскости. Один из концов пластины находится в контакте с кулачком малого радиуса, насаженным на часовую ось механизма электромеханических часов 9. Оптический блок 6 электронного спекл-интерферометра, который включает лазер 1, зеркала 2 и 3, видеокамеру 5, размещается вблизи центральной опоры пластины так, чтобы область наблюдения и регистрации перемещений пластины была симметрична относительно этой опоры.Example 2. A metrological assessment of the measured displacements in the nano-scale range can be performed using the experimental model, a diagram of which is shown in Figure 2. An elongated metal plate mounted on a central support in the form of a
При включении механизма электромеханических часов 9 кулачок 8 осуществляет равномерное вращательное движение, передавая его через точку контакта на пластину 4. В результате пластина медленно поворачивается в вертикальной плоскости относительно центральной опоры 7. Эти перемещения регистрируются интерферометром в виде накоплений интерференционных полос по обе стороны от, практически неподвижной, нулевой полосы над опорой и смещений полос к опоре. Фиксируя расположения полос через последовательные короткие промежутки времени, можно получить изображения видимого участка пластины с одним и тем же количеством зарегистрированных полос, но с несколько иным расположением их относительно нулевой полосы. Определив сдвиг полос, а по нему - нормальное перемещение выбранного места пластины, можно проконтролировать его величину по перемещению того же места пластины, заданного кулачком.When the mechanism of the
В частности, для пластины с размерами 600×20×3 мм при исходном - горизонтальном положении кулачка и расстоянием от его оси вращения до точки контакта с краем пластины - 7 мм, областью наблюдения по вытянутой оси пластины - 13 мм край пластины в полусекундный интервал времени проходит расстояние в 0,5 мкм, граница зоны наблюдения перемещается по нормали к исходной поверхности на 10 нм, а точки пластины, находящиеся на центральной линии темной полосы, ближайшей к нулевой (при пяти темных полосах для предварительного перемещения), имеют нормальные перемещения в 3 нм. Расположение интерференционных полос при дополнительном смещении показано на Фиг.4(а), а ее координатная сетка, содержащая только центры полос, предварительного и результирующего перемещений при одинаковом числе полос на наблюдаемом участке поверхности тела представлена на Фиг.4(б).In particular, for a plate with dimensions of 600 × 20 × 3 mm at the initial - horizontal position of the cam and the distance from its axis of rotation to the point of contact with the edge of the plate - 7 mm, the observation area along the elongated axis of the plate is 13 mm edge of the plate in a half second time interval a distance of 0.5 μm passes, the boundary of the observation zone moves normal to the initial surface by 10 nm, and the points of the plate located on the center line of the dark band closest to zero (with five dark bands for preliminary movement) have normal room at 3 nm. The location of the interference fringes at an additional offset is shown in FIG. 4 (a), and its coordinate grid containing only the centers of the fringes, the preliminary and resulting displacements for the same number of fringes on the observed portion of the body surface, is shown in FIG. 4 (b).
Claims (1)
где w - величина смещения тела по нормали к его поверхности, м;
λ - длина волны применяемого в интерферометре лазера, м;
m - число учитываемых при расчете полос интерферограммы предварительного перемещения (m≥2);
N - число пикселей экрана монитора между центрами крайних из учитываемых полос;
n1 - величина одинакового сдвига центров крайних полос в пикселях экрана монитора, характеризующая перемещение участка поверхности между ними как жесткого целого;
n2 - величина относительного сдвига между центрами крайних полос в пикселях экрана монитора, характеризующая относительное смещение с изменением угла наклона участка поверхности между полосами в сравнении с их уровнями для предварительного смещения. A method for determining normal displacements of a body surface by displacements of interference fringes, including the preliminary displacement of one part of a selected surface portion relative to the other normal to the body surface by an amount greater than the half-wavelength of laser radiation used to create the interference pattern, registering the preliminary displacement of the site points in memory and on the computer monitor screen in the form of an interferogram with two or more interference bands displaying level lines of measuring movement, determining the coordinates of the centers of the interferogram stripes in pixels of the monitor screen, performing additional movement in this section, the measured normal component of which is small with respect to the preliminary movement, fixing changes in the positions of the centers of the interferogram stripes of the preliminary movement without changing the total number of recorded bands and calculating the measured movement component w by the formula:
where w is the magnitude of the displacement of the body along the normal to its surface, m;
λ is the wavelength of the laser used in the interferometer, m;
m is the number taken into account when calculating the bands of the interferogram of preliminary displacement (m≥2);
N is the number of pixels of the monitor screen between the centers of the extreme of the considered bands;
n 1 - the value of the same shift of the centers of the extreme bands in the pixels of the monitor screen, characterizing the movement of the surface area between them as a rigid whole;
n 2 - the value of the relative shift between the centers of the extreme bands in the pixels of the monitor screen, characterizing the relative displacement with a change in the angle of inclination of the surface area between the bands in comparison with their levels for preliminary displacement.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007136810/28A RU2359221C1 (en) | 2007-10-05 | 2007-10-05 | Method for determination of normal shifts of body surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007136810/28A RU2359221C1 (en) | 2007-10-05 | 2007-10-05 | Method for determination of normal shifts of body surface |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2359221C1 true RU2359221C1 (en) | 2009-06-20 |
Family
ID=41025998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007136810/28A RU2359221C1 (en) | 2007-10-05 | 2007-10-05 | Method for determination of normal shifts of body surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2359221C1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2479063C1 (en) * | 2011-11-16 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Surface relief determining method |
| RU2559797C1 (en) * | 2014-05-14 | 2015-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Method of dilatometry |
| RU2615310C2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-04-04 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие космического приборостроения "Квант" (ОАО "НПП КП "Квант") | Holographic method of lifting height measurement above object surface within earth's atmosphere |
-
2007
- 2007-10-05 RU RU2007136810/28A patent/RU2359221C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2479063C1 (en) * | 2011-11-16 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Surface relief determining method |
| RU2559797C1 (en) * | 2014-05-14 | 2015-08-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Method of dilatometry |
| RU2615310C2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-04-04 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие космического приборостроения "Квант" (ОАО "НПП КП "Квант") | Holographic method of lifting height measurement above object surface within earth's atmosphere |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2447545T3 (en) | Fourier transform deflectometry system and method | |
| JPWO2013136620A1 (en) | Method, apparatus, and program for analyzing phase distribution of fringe image using high-dimensional luminance information | |
| CN104833311A (en) | Image sequence and evaluation method and system for structured illumination microscopy | |
| Dhanasekar et al. | Digital speckle interferometry for assessment of surface roughness | |
| Höfling et al. | Phase reflection: a new solution for the detection of shape defects on car body sheets | |
| RU2359221C1 (en) | Method for determination of normal shifts of body surface | |
| Rayas et al. | Using a single-cube beam-splitter as a fringe pattern generator within a structured-light projection system for surface metrology | |
| Dhanotia et al. | Improved accuracy in slope measurement and defect detection using Fourier fringe analysis | |
| RU2559797C1 (en) | Method of dilatometry | |
| Vannoni et al. | Speckle interferometry experiments with a digital photocamera | |
| US20160021305A1 (en) | Method and apparatus for measuring optical systems and surfaces with optical ray metrology | |
| De Backer | In-plane displacement measurement by speckle interferometry | |
| Mujeeb et al. | Electronic Speckle Pattern Interferometry techniques for non-destructive evaluation: a review | |
| JP5518187B2 (en) | Deformation measurement method | |
| JP6196841B2 (en) | Transmitted wavefront measuring apparatus and transmitted wavefront measuring method | |
| Surrel | Some metrological issues in optical full-field techniques | |
| Morimoto et al. | Theory and application of sampling moiré method | |
| Bhaduri et al. | Digital speckle pattern interferometry (DSPI) with increased sensitivity: Use of spatial phase shifting | |
| Gonzalez-Pena et al. | Displacement measurements in structural elements by optical techniques | |
| Rose et al. | Non-contact laser speckle sensor for measuring one-and two-dimensional angular displacement | |
| RU2258201C2 (en) | Method of speckle interferometry of flat object | |
| RU2807409C1 (en) | Method and system of non-contact ranging and profilometry | |
| Brillaud et al. | Digital correlation of grainy shadow images for surface profile measurement | |
| Chien et al. | Nanoscale deformation measurement by using the hybrid method of gray-level and holographic interferometry | |
| Rajamanickam et al. | Application of Fast Fourier Transform (FFT) in Laser Speckle Image Pattern Correlation technique for the metrological measurement |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20121006 |