RU2334195C2 - Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions - Google Patents
Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions Download PDFInfo
- Publication number
- RU2334195C2 RU2334195C2 RU2006118624/28A RU2006118624A RU2334195C2 RU 2334195 C2 RU2334195 C2 RU 2334195C2 RU 2006118624/28 A RU2006118624/28 A RU 2006118624/28A RU 2006118624 A RU2006118624 A RU 2006118624A RU 2334195 C2 RU2334195 C2 RU 2334195C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- controlled object
- intensity
- calibration
- point
- image
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для бесконтактного измерения формы поверхности сложных трехмерных объектов в машиностроении, медицине, стоматологии, судебно-медицинской экспертизе и т.д.The invention relates to the field of measuring equipment and can be used for non-contact measurement of the surface shape of complex three-dimensional objects in mechanical engineering, medicine, dentistry, forensic examination, etc.
Известен способ, реализующий принцип сканирующей подсветки, который используется в трехмерной компьютерной анимации и некоторых других приложениях для регистрации формы поверхности. Способ заключается в том, что последовательно сканируют отдельные контуры поверхности светящейся полосой и судят о контролируемых размерах по степени искажения изображения полосы и местоположению полосы в декартовой системе координат (см., например, Техническое зрение роботов /Под. ред. А.Пью, пер. с англ. - М.: Машиностроение, 1987, с.56-57).A known method that implements the principle of scanning backlight, which is used in three-dimensional computer animation and some other applications for recording surface shapes. The method consists in sequentially scanning individual surface contours with a luminous strip and judging the controlled sizes by the degree of distortion of the image of the strip and the location of the strip in the Cartesian coordinate system (see, for example, Technical Vision of Robots / Ed. By A. Pugh, per. from English - M.: Mechanical Engineering, 1987, p. 56-57).
Недостатком известного способа является низкая точность и длительное время контроля, связанные с наличием операции и блока сканирования.The disadvantage of this method is the low accuracy and long monitoring time associated with the presence of the operation and the scanning unit.
Известен способ контроля линейных размеров трехмерных объектов по трем декартовым координатам. Способ заключается в том, что на объект проецируется система разноцветных полос, создаваемая путем пространственной модуляции вдоль одной координаты интенсивности зондирующего оптического излучения. Система разноцветных полос носит периодический характер и создает структурированную подсветку. В результате в одном кадре регистрируется целиком вся попадающая в поле зрения фотоприемного устройства часть поверхности контролируемого объекта и наложенное на поверхность искаженное изображение структурированной подсветки. О контролируемых размерах судят по степени искажений изображения множества полос и местоположению полос в декартовой системе координат (см., например, описание изобретения к патенту РСТ WO 00/70303, РСТ / US99 / 70303, кл. G01В 11/24, 23.11.2000).A known method of controlling the linear dimensions of three-dimensional objects in three Cartesian coordinates. The method consists in the fact that a system of multi-colored stripes is projected onto the object, created by spatial modulation along one coordinate of the intensity of the probe optical radiation. The system of multi-colored stripes is periodic in nature and creates a structured backlight. As a result, in a single frame, the entire part of the surface of the monitored object falling into the field of view of the photodetector and the distorted image of the structured illumination superimposed on the surface are recorded. Controlled sizes are judged by the degree of distortion of the image of the multiple bands and the location of the bands in the Cartesian coordinate system (see, for example, the description of the invention to the PCT patent WO 00/70303, PCT / US99 / 70303, CL G01B 11/24, 11.23.2000) .
Недостатком известного способа является низкая точность, связанная с невозможностью однозначно интерпретировать разрывы в изображении полос, искаженных либо рельефом поверхности контролируемого объекта, либо низким значением спектрального коэффициента отражения, зависящего от материала и цвета какого-либо участка поверхности контролируемого объекта.The disadvantage of this method is the low accuracy associated with the inability to unambiguously interpret the gaps in the image of the bands distorted either by the surface topography of the controlled object, or by a low spectral reflection coefficient, depending on the material and color of any part of the surface of the controlled object.
Известен способ контроля линейных размеров трехмерных объектов по трем декартовым координатам. Способ заключается в том, что на объект проецируется система концентрических полос, создаваемая путем подсветки когерентным излучением, содержащим спекл-структуру либо в виде системы концентрических полос, либо в виде хаотично расположенных зон, форма которых единообразна. Искаженная рельефом поверхности структурированная подсветка регистрируется при изменении длины волны излучения, по меньшей мере, два раза. Полученная таким образом псевдоголограмма содержит систему интерференционных полос, расстояние между которыми в разных точках соответствует высоте рельефа. Соответствующая обработка на ЭВМ совокупности данных о величине вышеуказанных расстояний позволяет судить о рельефе поверхности контролируемого объекта (см., например, М.Франсон. Оптика спеклов. - М.: Мир, 1980, с.141-143).A known method of controlling the linear dimensions of three-dimensional objects in three Cartesian coordinates. The method consists in the fact that a system of concentric bands is projected onto the object, created by illumination with coherent radiation containing a speckle structure either in the form of a system of concentric bands or in the form of randomly arranged zones, the shape of which is uniform. The structured illumination distorted by the surface topography is detected when the radiation wavelength changes at least two times. The pseudo-hologram thus obtained contains a system of interference fringes, the distance between which at different points corresponds to the height of the relief. Appropriate processing on a computer of a set of data on the magnitude of the above distances allows you to judge the surface topography of the controlled object (see, for example, M. Franson. Speckle Optics. - M .: Mir, 1980, p. 141-143).
Недостатком известного способа является низкая достоверность получаемых данных о контролируемой поверхности на участках поверхности, отражение которых резко отличается от диффузного.The disadvantage of this method is the low reliability of the data obtained on the controlled surface on the surface, the reflection of which differs sharply from diffuse.
Известен способ контроля линейных размеров трехмерных объектов по трем декартовым координатам. Способ заключается в формировании на поверхности контролируемого объекта зондирующей структурированной подсветки путем освещения поверхности контролируемого объекта пучком оптического излучения, пространственно модулированного по интенсивности, регистрации изображения искаженной рельефом поверхности контролируемого объекта структуры зондирующей подсветки и определении с помощью цифрового электронного вычислителя высоты рельефа поверхности контролируемого объекта по величине искажений изображения структуры зондирующей подсветки, а двух других координат - по положению искажений структуры подсветки в зарегистрированном изображении (см., например, описание изобретения к патенту РСТ WO 99/58930, PCT / US99 / 106777, кл. G01В 11/24 1999 г.)A known method of controlling the linear dimensions of three-dimensional objects in three Cartesian coordinates. The method consists in forming a probing structured illumination on the surface of the controlled object by illuminating the surface of the controlled object with a beam of optical radiation spatially modulated in intensity, registering the image of the surface of the controlled object with the sounding structure of the probing illumination distorted by the relief, and determining the height of the surface relief of the controlled object using the amount of distortion using a digital electronic calculator images of the probe structure threads, and the other two coordinates - position by distortion backlight structure in the registered image (see, for example, the specification of PCT patent WO 99/58930, PCT / US99 / 106777, cl G01V 11/24 1999.).
Недостатками известного способа является высокая погрешность, обусловленая тем, что при направлении на поверхность контролируемого объекта модулированного по одной координате транспарантом с неизменной периодической структурой оптического изучения нельзя предусмотреть либо заранее учесть искажения картины, вызванные различными отражательными свойствами поверхности и глубокими впадинами, которые невозможно идентифицировать без априорной информации о макроструктуре поверхности контролируемого объекта.The disadvantages of this method is the high error due to the fact that when directing to the surface of the controlled object modulated along one coordinate with a transparency with a constant periodic structure of the optical study, it is impossible to foresee or take into account picture distortions caused by various reflective properties of the surface and deep depressions that cannot be identified without a priori information about the macrostructure of the surface of the controlled object.
Наиболее близким из известных по своей технической сущности и достигаемому результату является выбранный в качестве прототипа способ контроля линейных размеров трехмерных объектов по трем декартовым координатам. Способ заключается в многократном формировании на поверхности контролируемого объекта зондирующей структурированной подсветки, каждый раз с управлением пространственной модуляцией интенсивности пучка оптического излучения по одной координате, так, что на поверхности контролируемого объекта создается изображение структурированной подсветки в виде апериодической совокупности полос, регистрации изображений искаженной рельефом поверхности контролируемого объекта структуры зондирующей подсветки, которую производят путем накопления суммарного изображения, определения положения искажений структуры подсветки в зарегистрированных изображениях по расстоянию вдоль полосы и номеру полосы, формируемому логическим суммированием двоичных чисел, кодирующих положение полос в каждой из реализации апериодической совокупности полос так, что единица соответствует наличию полосы, а нуль - отсутствию полосы (см., например, описание изобретения к патенту РФ №2185598, кл. G01B 11/24, 2003 г.).The closest known for its technical nature and the achieved result is the selected as a prototype method of controlling the linear dimensions of three-dimensional objects in three Cartesian coordinates. The method consists in repeatedly generating a probing structured illumination on the surface of the controlled object, each time with spatial spatial modulation of the intensity of the optical beam in one coordinate, so that a structured illumination image is created on the surface of the controlled object in the form of an aperiodic set of bands, recording images of the contoured surface of the controlled surface object structure probing backlight, which is produced by accumulated of the total image, determining the position of the distortion of the backlight structure in the recorded images by the distance along the strip and the strip number, formed by the logical summation of binary numbers that encode the position of the bands in each of the aperiodic set of bands so that one corresponds to the presence of the strip and zero to the absence of the strip ( see, for example, the description of the invention to the patent of the Russian Federation No. 2185598, CL G01B 11/24, 2003).
Недостатком известного способа является низкая точность определения линейных размеров, ограниченная точностью определения координат формируемой полосы на регистраторе изображения. Низкая точность определения координат полосы обусловлена сложностью детектирования полосы на участках объекта, имеющих различные отражательные свойства. Кроме того, поперечный размер полосы на регистраторе, влияющий на точность определения координат, зависит от угла между нормалью к поверхности и осью излучения структурированной подсветки.The disadvantage of this method is the low accuracy of determining linear dimensions, limited by the accuracy of determining the coordinates of the formed strip on the image recorder. The low accuracy of determining the coordinates of the strip is due to the complexity of detecting the strip in areas of the object having different reflective properties. In addition, the transverse size of the strip on the recorder, affecting the accuracy of determining the coordinates, depends on the angle between the normal to the surface and the radiation axis of the structured backlight.
Сущность заявляемого изобретения выражается в совокупности существенных признаков, достаточных для достижения предполагаемым изобретением технического результата, который выражается в повышении точности контроля линейных размеров трехмерных объектов и расширении возможностей при проведении контроля.The essence of the claimed invention is expressed in the aggregate of essential features sufficient to achieve the technical result of the proposed invention, which is expressed in increasing the accuracy of control of the linear dimensions of three-dimensional objects and expanding the capabilities of the control.
Заявленная совокупность существенных признаков находится в прямой причинно-следственной связи с достигаемым результатом.The claimed combination of essential features is in direct causal connection with the achieved result.
Новизна предложенного способа усматривается в том, что для каждой точки контролируемого объекта определяют зависимость интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения, используют полученные калибровкой калибровочной поверхности зависимости интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения для точек калибровочной поверхности при ее различных расстояниях до поверхности, определенной как базовая, и для определения высоты рельефа поверхности контролируемого объекта, определяют расстояние от базовой поверхности до точки калибровочной поверхности, в которой зависимость интенсивности освещения от номера изображения в наибольшей степени подобна зависимости в исследуемой точке контролируемого объекта.The novelty of the proposed method is seen in the fact that for each point of the monitored object, the dependence of the registered radiation intensity on the image number is determined, the dependences of the registered radiation intensity on the image number obtained on the calibration number for the points of the calibration surface obtained at calibration at various distances to the surface defined as the base, and to determine the height of the surface relief of the controlled object, determine the distance from the base th surface to the surface of the calibration point in which the intensity of illumination of the image numbers are most similar to the dependence in the investigated point of the controlled object.
Сравнение заявленного способа с прототипом позволило установить соответствие его критерию "новизна", так как оно неизвестно из уровня техники.Comparison of the claimed method with the prototype made it possible to establish compliance with its criterion of "novelty", since it is unknown from the prior art.
Предложенный способ бесконтактного измерения линейных размеров трехмерных объектов является промышленно применимым существующими средствами и соответствует критерию "изобретательский уровень", т.к. он явным образом не следует из уровня техники, при этом из последнего не выявлено каких-либо преобразований, характеризуемых отличительными от прототипа существенными признаками, направленных на достижение указанного технического результата.The proposed method of non-contact measurement of the linear dimensions of three-dimensional objects is industrially applicable existing means and meets the criterion of "inventive step", because it does not explicitly follow from the prior art, while the latter does not reveal any transformations characterized by significant features distinctive from the prototype aimed at achieving the specified technical result.
Таким образом, предложенное техническое решение соответствует установленным условиям патентоспособности изобретения.Thus, the proposed technical solution meets the established conditions of patentability of the invention.
Других технических решений аналогичного назначения с подобными существенными признаками заявителем не обнаружено.No other technical solutions of a similar purpose with similar essential features have been found by the applicant.
На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ. Устройство содержит источник оптического излучения 1, пространственный модулятор интенсивности 2, фоторегистратор 3, цифровой электронный блок 4, блок регистрации результатов 5. Вход цифрового электронного блока 4 соединен с выходом фоторегистратора 3, а выход соединен с управляющим входом модулятора 2.The drawing shows a diagram of a device that implements the proposed method. The device contains an optical radiation source 1, a spatial intensity modulator 2, a photorecorder 3, a digital electronic unit 4, a results recording unit 5. The input of the digital electronic unit 4 is connected to the output of the photorecorder 3, and the output is connected to the control input of the modulator 2.
Способ бесконтактного контроля линейных размеров трехмерных объектов осуществляют следующим образом.The method of contactless control of the linear dimensions of three-dimensional objects is as follows.
Интенсивность оптического излучения, выходящего из источника 1, модулируется пространственным модулятором света 2. Созданная таким образом структурируемая подсветка проецируется на поверхность контролируемого объекта, рельеф которой известным образом искажает изображение структурируемой подсветки. Фоторегистратор 3 регистрирует изображение контролируемого объекта и передает на вход электронного блока 4. Электронный блок 4 преобразует сигнал с выхода фоторегистратора 3 и записывает очередное изображение структурируемой подсветки во внутреннее запоминающее устройство. Одновременно в памяти электронного блока 4 записывается изображение структурированной подстветки, созданной пространственным модулятором 2. Перечисленная выше последовательность повторяется второй раз, но при этом по сигналу с выхода цифрового электронного блока 4 модулятор 2 формирует структурированную подсветку, соответствующую второй реализации. Число повторений вышеописанного цикла и количество реализации структурированных подсветок устанавливаются в зависимости от требуемой точности определения линейных размеров контролируемого объекта и, практически, ничем не ограничены. Направления освещения и наблюдения устанавливаются различными. Профиль поверхности восстанавливается из величины искажений наблюдаемых изображений структурируемых подсветок.The intensity of the optical radiation emerging from the source 1 is modulated by the spatial light modulator 2. The structured illumination created in this way is projected onto the surface of the controlled object, the relief of which in a known manner distorts the image of the structured illumination. Photoregistrator 3 registers the image of the monitored object and transfers it to the input of electronic unit 4. Electronic unit 4 converts the signal from the output of photoregistrator 3 and records the next image of the structured backlight into an internal storage device. At the same time, the image of a structured backlight created by the spatial modulator 2 is recorded in the memory of the electronic unit 4. The above sequence is repeated a second time, but at the same time, the signal from the output of the digital electronic unit 4 forms a structured backlight corresponding to the second implementation. The number of repetitions of the above cycle and the number of sales of structured highlights are set depending on the required accuracy of determining the linear dimensions of the controlled object and are practically unlimited. Directions of lighting and observation are set different. The surface profile is restored from the magnitude of the distortion of the observed images of the structured backlight.
Для увеличения точности контроля перед проведением измерения контролируемого объекта можно выполнять калибровку калибровочной поверхностью, на которую нанесены координатные метки. Калибровка заключается в проведении вышеописанного цикла измерений калибровочной поверхности, в результате которого во внутреннем запоминающем устройстве электронного блока 4 формируется набор изображений поверхности. Далее проводится серия аналогичных измерений для калибровочной поверхности, параллельно смещаемой по направлению от источника освещения на некоторые интервалы с сохранением результатов в электронном блоке 4. Самая удаленная поверхность определяется как базовая.To increase the accuracy of control before measuring the controlled object, you can calibrate the calibration surface, which marked the coordinate marks. Calibration consists in carrying out the above-described cycle of measurements of the calibration surface, as a result of which a set of surface images is formed in the internal memory of the electronic unit 4. Next, a series of similar measurements is carried out for the calibration surface, which is parallelly shifted in the direction from the light source at certain intervals with the results being stored in the electronic unit 4. The most remote surface is determined as the base.
Поскольку зависимость интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения однозначно определяет высоту рельефа поверхности контролируемого объекта, а две другие координаты определяются по положению искажений структуры подсветки в зарегистрированных изображениях, то для каждой точки измеренной поверхности определяется точка на базовой поверхности, в которой зависимость интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения была аналогичной.Since the dependence of the registered radiation intensity on the image number uniquely determines the height of the relief of the surface of the monitored object, and the other two coordinates are determined by the position of the distortion of the backlight structure in the recorded images, for each point of the measured surface, a point on the base surface is determined, in which the dependence of the registered radiation intensity on the number The image was similar.
После получения изображений контролируемого объекта для каждой точки на изображениях контролируемого объекта определяются точки на изображениях калибровочной поверхности, соответствующие различным расстояниям от измеряемой поверхности до базовой, в которых была аналогичная зависимость интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения. С помощью интерполяции определяется расстояние от базовой поверхности до поверхности, на которой в исследумой точке зависимость интенсивности зарегистрированного излучения от номера изображения в наибольшей степени подобна зависимости интенсивности от номера изображения в исследуемой точке контролируемого объекта. По координатам исследуемой точки с помощью координатных меток, нанесенных на калибровочную поверхность, определяются координаты точки в двумерном пространстве, определенном калибровочной поверхностью. С помощью линейного преобразования определяются 2 декартовые координаты в плоскости, перпендикулярной направлению перемещения калибровочной поверхности. Таким образом, для каждой исследуемой точки изображения определяются 3 декартовые координаты: одна в направлении перемещения калибровочной поверхности и 2 в плоскости, перпендикулярной направлению перемещения калибровочной поверхности. Использование функции зависимости интенсивности освещения от номера изображения, устойчивой к ошибке определения интенсивности, обеспечивает устойчивость способа к определению поля координат контролируемого объекта. Способ позволяет определять линейные размеры трехмерных объектов независимо от отражательных свойств поверхности и наличия глубоких впадин. В результате повышается точность и достоверность контроля.After obtaining images of the controlled object for each point on the images of the controlled object, the points on the images of the calibration surface corresponding to different distances from the measured surface to the base are determined, in which there was a similar dependence of the registered radiation intensity on the image number. Using interpolation, the distance from the base surface to the surface is determined at which the dependence of the intensity of the detected radiation on the image number at the point under study is most similar to the dependence of the intensity on the number of the image at the studied point of the controlled object. The coordinates of the point under study using coordinate marks on the calibration surface determine the coordinates of the point in the two-dimensional space defined by the calibration surface. Using a linear transformation, 2 Cartesian coordinates are determined in a plane perpendicular to the direction of movement of the calibration surface. Thus, for each investigated image point, 3 Cartesian coordinates are determined: one in the direction of movement of the calibration surface and 2 in the plane perpendicular to the direction of movement of the calibration surface. Using the function of the dependence of the light intensity on the image number, which is resistant to the error in determining the intensity, ensures the stability of the method to determine the coordinate field of the controlled object. The method allows to determine the linear dimensions of three-dimensional objects, regardless of the reflective properties of the surface and the presence of deep depressions. As a result, the accuracy and reliability of the control increases.
Таким образом, использование предлагаемого способа позволяет измерять линейные размеры трехмерных объектов любой сложности, с высокой точностью, не зависящей от отражательных свойств поверхности.Thus, the use of the proposed method allows you to measure the linear dimensions of three-dimensional objects of any complexity, with high accuracy, not depending on the reflective properties of the surface.
Способ может с успехом использоваться в технологических процессах создания объектов сложной формы (лопатки турбин и т.п.). Кроме того, способ может быть использован в различных приложениях компьютерной трехмерной графики.The method can be successfully used in technological processes of creating objects of complex shape (turbine blades, etc.). In addition, the method can be used in various computer three-dimensional graphics applications.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006118624/28A RU2334195C2 (en) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006118624/28A RU2334195C2 (en) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2006118624A RU2006118624A (en) | 2007-12-10 |
RU2334195C2 true RU2334195C2 (en) | 2008-09-20 |
Family
ID=38903564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006118624/28A RU2334195C2 (en) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2334195C2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2491503C1 (en) * | 2012-04-23 | 2013-08-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУВПО "СГГА") | Method of recognising three-dimensional form of objects |
RU2695596C1 (en) * | 2018-12-29 | 2019-07-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Ice field photogrammetry method in ice basin |
RU2772088C1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-05-16 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук | Method for non-contact measurement of linear dimensions of rotating three-dimensional objects |
-
2006
- 2006-05-29 RU RU2006118624/28A patent/RU2334195C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2491503C1 (en) * | 2012-04-23 | 2013-08-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУВПО "СГГА") | Method of recognising three-dimensional form of objects |
RU2695596C1 (en) * | 2018-12-29 | 2019-07-24 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Ice field photogrammetry method in ice basin |
RU2772088C1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-05-16 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук | Method for non-contact measurement of linear dimensions of rotating three-dimensional objects |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2006118624A (en) | 2007-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107430772B (en) | Motion measurement system for a machine and method for operating a motion measurement system | |
CN105960569B (en) | The method of three-dimension object is checked using two dimensional image processing | |
JP6072814B2 (en) | 3D oral measurement using optical multiline method | |
US9295532B2 (en) | 3D intraoral measurements using optical multiline method | |
US20130057650A1 (en) | Optical gage and three-dimensional surface profile measurement method | |
US7130059B2 (en) | Common-path frequency-scanning interferometer | |
JP4670341B2 (en) | Three-dimensional shape measurement method, three-dimensional shape measurement device, and three-dimensional shape measurement program | |
JP2004333498A (en) | Device and method for detecting two-dimensional absolute position | |
JP2011117917A (en) | Localization method of speckle and localization system therefor | |
Jecić et al. | The assessment of structured light and laser scanning methods in 3D shape measurements | |
MX2014005207A (en) | Apparatus and method for simultaneous three-dimensional measuring of surfaces with multiple wavelengths. | |
Zhang et al. | Four-pattern, phase-step non-sensitive phase shifting method based on Carré algorithm | |
RU2334195C2 (en) | Method of contactless measurement of three-dimensional object linear dimensions | |
JP2004354381A (en) | Apparatus and method for specifying surface properties | |
RU2439489C1 (en) | Contactless measurement of 3d object geometry | |
RU2148793C1 (en) | Process measuring form and spatial position of surface of object | |
US10801834B2 (en) | Fringe projection for determining topography of a body | |
TWI428568B (en) | Distance measurement method and system, and processing software thereof | |
RU2433372C2 (en) | Method for contactless measurement of linear dimensions of three-dimensional objects | |
RU2184933C1 (en) | Gear for contactless test of linear dimensions of three- dimensional objects | |
US20210241437A1 (en) | Method and arrangement for determining a position of an object | |
US7304745B2 (en) | Phase measuring method and apparatus for multi-frequency interferometry | |
US11454493B2 (en) | Method and arrangement for determining a position and/or an alignment of a movable object of an arrangement of objects | |
RU2185598C1 (en) | Procedure of contactless control over linear dimensions of three-dimensional objects | |
US20050117162A1 (en) | Diffractive non-contact laser gauge |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080530 |
|
QB4A | Licence on use of patent |
Effective date: 20090420 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140530 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20160420 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190530 |