RU2333500C1 - Method of temperature error compensation of vibration element pickup - Google Patents
Method of temperature error compensation of vibration element pickup Download PDFInfo
- Publication number
- RU2333500C1 RU2333500C1 RU2007112869/28A RU2007112869A RU2333500C1 RU 2333500 C1 RU2333500 C1 RU 2333500C1 RU 2007112869/28 A RU2007112869/28 A RU 2007112869/28A RU 2007112869 A RU2007112869 A RU 2007112869A RU 2333500 C1 RU2333500 C1 RU 2333500C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- temperature
- resistance
- capacitance
- frequency
- generator
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
Изобретение касается усовершенствования преобразователей с вибрирующими элементами и может быть использовано в измерительной технике при измерении силы, давления, ускорения и т.п.The invention relates to the improvement of transducers with vibrating elements and can be used in measuring technique for measuring force, pressure, acceleration, etc.
При изменении температуры окружающей среды изменяется температура датчика, что сказывается на изменении выходного сигнала, следовательно, появляется дополнительная погрешность измерения. Влияние на изменение собственной частоты колебаний вибрирующего элемента оказывает как изменение геометрических размеров первичного преобразователя вследствие наличия у любого материала коэффициента линейного расширения, так и модуля упругости из-за присущего любому материалу температурного коэффициента модуля упругости. Изменение первого приводит к появлению аддитивной температурной погрешности, а изменение модуля упругости приводит к возникновению мультипликативной температурной погрешности.When the ambient temperature changes, the temperature of the sensor changes, which affects the change in the output signal, therefore, an additional measurement error appears. The change in the natural frequency of vibrations of a vibrating element is influenced both by a change in the geometric dimensions of the primary transducer due to the presence of a linear expansion coefficient for any material and to an elastic modulus due to the temperature coefficient of elasticity inherent in any material. A change in the first leads to the appearance of an additive temperature error, and a change in the elastic modulus leads to a multiplicative temperature error.
Проведенное моделирование с использованием метода конечных элементов начальной частоты собственных колебаний и девиации частоты собственных колебаний вибрирующего элемента от воздействия измеряемого параметра в зависимости от воздействия температуры для конструкции вибрирующего элемента, представленного в патенте США №4813271 от 21.03.1989 г., показало следующие результаты:The simulation using the finite element method of the initial frequency of natural vibrations and the deviation of the frequency of natural vibrations of the vibrating element from the influence of the measured parameter depending on the temperature effect for the design of the vibrating element, presented in US patent No. 4813271 from 03/21/1989, showed the following results:
- при температуре минус 60°С начальная частота собственных колебаний f-60 составила 53019 Гц;- at a temperature of minus 60 ° C, the initial frequency of natural vibrations f -60 was 53019 Hz;
- при температуре +60°С начальная частота собственных колебаний f+60 составила 52095 Гц;- at a temperature of + 60 ° C, the initial frequency of natural vibrations f +60 amounted to 52095 Hz;
- девиация начальной частоты собственных колебаний Δf в диапазоне температур ΔT=120°C составила 924 Гц;- the deviation of the initial frequency of natural oscillations Δf in the temperature range ΔT = 120 ° C was 924 Hz;
- при температуре минус 60°С девиация частоты собственных колебаний Δfp-60 в диапазоне измеряемого давления ΔР=3 атм составила 2355 Гц;- at a temperature of minus 60 ° С the deviation of the frequency of natural oscillations Δf p-60 in the range of the measured pressure ΔР = 3 atm was 2355 Hz;
- при температуре +60°С девиация частоты собственных колебаний Δfp+60 в диапазоне измеряемого давления ΔР=3 атм составила 2502 Гц;- at a temperature of + 60 ° С the deviation of the frequency of natural oscillations Δf p + 60 in the range of the measured pressure ΔР = 3 atm was 2502 Hz;
- изменение девиации частоты собственных колебаний Δfp, в диапазоне температур ΔT=120°С составило 147 Гц.- the change in the deviation of the frequency of natural oscillations Δf p , in the temperature range ΔT = 120 ° C was 147 Hz.
Если принять девиацию частоты собственных колебаний вибрирующего элемента от измеряемого параметра (например, давления величиной 3 атм) ΔfH=2500 Гц, то приведенная дополнительная аддитивная температурная погрешность составит 
или переводя в аддитивную температурную чувствительность 
Приведенная дополнительная мультипликативная температурная погрешность составит 
или, переходя к мультипликативной температурной чувствительности 
Полученные количественные оценки дополнительной аддитивной температурной погрешности и чувствительности не позволяют использовать подобные конструкции без применения специальных методов компенсации температурной погрешности, в особенности в высокоточных датчиках.The obtained quantitative estimates of the additional additive temperature error and sensitivity do not allow the use of such structures without the use of special methods for compensating the temperature error, especially in high-precision sensors.
В настоящее время наибольшее распространение получил способ компенсации температурной погрешности, заключающийся во введении в конструкцию датчика термозависимого элемента (например, терморезистора), с которого снимается информация о температуре, с последующей ее обработкой и корректировкой информационного сигнала (например, патент США №4724707 от 20.08.1986 г.). Однако использование данного способа компенсации имеет ряд недостатков:Currently, the most widely used method of compensating for temperature errors is the introduction of a temperature-dependent element (for example, a thermistor) into the sensor design, from which temperature information is taken, with its subsequent processing and correction of the information signal (for example, US Patent No. 4,724,707 dated 08.20. 1986). However, the use of this compensation method has several disadvantages:
1. Вводится дополнительный канал измерения температуры.1. An additional temperature measurement channel is introduced.
2. Требуется математическая обработка сигнала с дополнительного канала и корректировка информационного сигнала с учетом дополнительного сигнала.2. Requires mathematical processing of the signal from the additional channel and the adjustment of the information signal taking into account the additional signal.
3. Отсутствует раздельная компенсация аддитивной и мультипликативной температурной погрешности и как результат не обеспечивается заданная точность измерения температуры для компенсации температурной погрешности.3. There is no separate compensation for the additive and multiplicative temperature errors, and as a result, the specified accuracy of temperature measurement is not provided to compensate for the temperature errors.
Наибольшим недостатком данного метода является обеспечение заданной точности компенсации температурной погрешности. Так для высокоточных датчиков класса не более δ≤0.05% мультипликативная температурная чувствительность должна быть Sot≤0.5·10-5 1/°С, что на порядок меньше полученной количественной оценки суммарной температурной погрешности датчиков с монокристаллическим вибрирующим элементом. Тогда для обеспечения заданной точности канал для измерения температуры должен иметь погрешность не более 0.06°С (для рассмотренного ранее случая изменения температуры в диапазоне 120°С), что при существующих методах измерения температуры является проблематичным.The biggest disadvantage of this method is the provision of a given accuracy of temperature error compensation. So for high-precision sensors of class no more than δ≤0.05%, the multiplicative temperature sensitivity should be S ot ≤0.5 · 10 -5 1 / ° С, which is an order of magnitude less than the obtained quantitative estimate of the total temperature error of sensors with a single-crystal vibrating element. Then, to ensure the given accuracy, the channel for measuring temperature should have an error of not more than 0.06 ° С (for the previously considered case of temperature changes in the range of 120 ° С), which is problematic with existing methods of measuring temperature.
По режиму работы преобразователи с частотным выходом классифицируются следующим образом: работающие в режиме свободных колебаний, автоколебаний и вынужденных колебаний. В предлагаемом способе рассматриваются преобразователи с частотным выходом, работающие в режиме автоколебаний, которые включают в себя вибрирующий элемент (резонатор) и схему поддержания колебаний вибрирующего элемента, которая состоит из приемника сигналов для регистрации колебаний вибрирующего элемента, схемы настройки генератора, генератора гармонических колебаний и системы возбуждения (например, см. Боднер В.А. Приборы первичной информации: Учебник для авиационных вузов. - М.: Машиностроение, 1981). Схема работы таких преобразователей следующая: сигнал с генератора гармонических колебаний подается на систему возбуждения колебаний. Поскольку частота сигнала возбуждения близка к частоте собственных колебаний резонатора, то резонатор начинает колебаться на одной из гармоник, при этом амплитуда колебаний соответствует резонансной кривой этого резонатора. Максимальная амплитуда колебаний резонатора достигается при равенстве частоты сигнала возбуждения и частоты собственных колебаний резонатора. Колебания резонатора воспринимаются приемником сигналов, далее снятый сигнал преобразуется нормирующим усилителем. Сигнал с выхода нормирующего усилителя представляет собой гармонический сигнал требуемой амплитуды, частота которого соответствует частоте собственных колебаний резонатора. Кроме того, нормирующий усилитель можно рассматривать как часть схемы настройки генератора гармонических колебаний. С выхода нормирующего усилителя сигнал, предварительно преобразованный в сигнал постоянного напряжения, подается на генератор, а частота генератора определяется величиной подаваемого сигнала. При воздействии внешних факторов (давление, сила, температура и пр.) изменяется частота собственных колебаний резонатора, соответственно изменяется величина сигнала обратной связи (управляющего сигнала), подаваемого на генератор гармонических колебаний, частота генератора изменяется пропорционально изменению величины управляющего сигнала. Поскольку частота генератора становится равной измененной частоте собственных колебаний резонатора, то колебания резонатора опять происходят с максимальной амплитудой в резонансе. Таким образом, режим генерации обусловлен подачей сигнала положительной обратной связи с резонатора после усиления вновь на резонансный контур, при этом обратная связь включает в себя схему настройки генератора и генератор гармонических колебаний, управляемый напряжением.According to the operating mode, converters with a frequency output are classified as follows: operating in the mode of free oscillations, self-oscillations and forced oscillations. The proposed method considers converters with a frequency output operating in self-oscillation mode, which include a vibrating element (resonator) and a circuit for maintaining the vibrations of the vibrating element, which consists of a signal receiver for registering vibrations of the vibrating element, the tuning circuit of the generator, harmonic oscillator and system excitation (for example, see Bodner, V.A. Instruments of primary information: Textbook for aviation universities. - M.: Mechanical Engineering, 1981). The operation scheme of such converters is as follows: the signal from the harmonic oscillation generator is supplied to the oscillation excitation system. Since the frequency of the excitation signal is close to the frequency of the natural oscillations of the resonator, the resonator begins to oscillate at one of the harmonics, and the amplitude of the oscillations corresponds to the resonance curve of this resonator. The maximum oscillation amplitude of the resonator is achieved when the frequency of the excitation signal is equal to the frequency of the natural oscillations of the resonator. Oscillations of the resonator are perceived by the receiver of signals, then the captured signal is converted by a normalizing amplifier. The signal from the output of the normalizing amplifier is a harmonic signal of the required amplitude, the frequency of which corresponds to the resonator natural frequency. In addition, the normalizing amplifier can be considered as part of the tuning circuit of the harmonic oscillator. From the output of the normalizing amplifier, the signal previously converted into a constant voltage signal is supplied to the generator, and the frequency of the generator is determined by the value of the supplied signal. Under the influence of external factors (pressure, force, temperature, etc.), the frequency of the natural oscillations of the resonator changes, the value of the feedback signal (control signal) supplied to the harmonic oscillator changes accordingly, the frequency of the generator changes in proportion to the change in the value of the control signal. Since the frequency of the generator becomes equal to the changed frequency of the natural oscillations of the resonator, the oscillations of the resonator again occur with a maximum amplitude in resonance. Thus, the generation mode is due to the supply of a positive feedback signal from the resonator after amplification again to the resonant circuit, while the feedback includes a generator tuning circuit and a voltage controlled harmonic oscillator.
Сущность изобретения заключается в следующем.The invention consists in the following.
Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является разработка способа компенсации температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом с выходным сигналом в виде девиации частоты, который позволил бы повысить точность минимизации температурной погрешности в условиях стационарных температурных режимов.The problem to which the claimed invention is directed is to develop a method for compensating for the temperature error of a sensor with a vibrating element with an output signal in the form of a frequency deviation, which would improve the accuracy of minimizing the temperature error under stationary temperature conditions.
Технический результат заключается в повышении точности минимизации температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом в условиях стационарных температурных режимов.The technical result consists in increasing the accuracy of minimizing the temperature error of the sensor with a vibrating element in stationary temperature conditions.
Указанный технический результат достигается следующим образом:The specified technical result is achieved as follows:
- в обратную связь включается инвертирующий сумматор, который производит сложение двух сигналов: постоянное напряжение для обеспечения начальной частоты собственных колебаний резонатора и выходной сигнал с детектора, преобразующего синусоидальное напряжение, поступающее с нормирующего усилителя, в постоянное напряжение, величина которого пропорциональна амплитуде синусоидального напряжения;- the inverting adder is included in the feedback, which adds two signals: a constant voltage to provide the initial frequency of the resonator's own oscillations and an output signal from a detector that converts the sinusoidal voltage coming from the normalizing amplifier into a constant voltage, the value of which is proportional to the amplitude of the sinusoidal voltage;
- мультипликативная составляющая температурной погрешности компенсируется путем введения в схему инвертирующего сумматора термозависимого сопротивления Rα, которое изменяет наклон градуировочной характеристики таким образом, что девиация частоты генератора от измеряемого параметра не зависит от температуры измерительного преобразователя, где расположено термозависимое сопротивление;- the multiplicative component of the temperature error is compensated by introducing a thermally dependent resistance R α into the inverting adder circuit, which changes the slope of the calibration characteristic so that the deviation of the generator frequency from the measured parameter does not depend on the temperature of the transducer where the thermally dependent resistance is located;
- аддитивная составляющая температурной погрешности компенсируется путем введения в генератор, управляемый напряжением, термозависимой емкости Сβ, которая изменяет свою емкость таким образом, что начальный уровень частоты генератора при изменении температуры не изменяется.- the additive component of the temperature error is compensated by introducing into the voltage-controlled generator a thermally dependent capacitance C β , which changes its capacitance in such a way that the initial level of the generator frequency does not change with temperature.
На фиг.1 приведена структурная схема преобразователя: 7 - генератор, управляемый напряжением, 2 - вибрирующий элемент (резонатор), 3 - нормирующий усилитель, 4 - детектор, преобразующий синусоидальный сигнал в постоянное напряжение, 5 - термозависимое сопротивление Rα для компенсации мультипликативной температурной погрешности, 6 - термозависимая емкость Сβ для компенсации аддитивной температурной погрешности, 7 - инвертирующий сумматор, Т - внешний воздействующий фактор - температура, Р - измеряемый параметр, например давление. Выход преобразователя представляет собой синусоидальный сигнал, девиация частоты которого соответствует девиации частоты колебаний вибрирующего элемента 2 от измеряемого параметра Р.Figure 1 shows the structural diagram of the converter: 7 - voltage-controlled generator, 2 - vibrating element (resonator), 3 - normalizing amplifier, 4 - detector that converts the sinusoidal signal to a constant voltage, 5 - thermally dependent resistance R α to compensate for the multiplicative temperature errors, 6 - thermally dependent capacitance C β to compensate for the additive temperature error, 7 - inverting adder, T - external influence factor - temperature, P - measured parameter, for example pressure. The converter output is a sinusoidal signal whose frequency deviation corresponds to the deviation of the oscillation frequency of the vibrating
На фиг.2 представлена резонансная кривая, которая описывает зависимость амплитуды колебаний Х вибрирующего элемента от частоты возбуждения f (в рассматриваемом случае - частоты генератора).Figure 2 presents the resonance curve, which describes the dependence of the oscillation amplitude X of the vibrating element on the excitation frequency f (in this case, the oscillator frequency).
На фиг.3 приведена зависимость амплитуды колебаний вибрирующего элемента от частоты сигнала возбуждения при воздействии температуры. Резонансные кривые приведены без учета температурной аддитивной составляющей изменения амплитуды колебаний вибрирующего элемента от температуры. Вид резонансных кривых зависит от характеристик используемого материала, в частности, коэффициента внутреннего трения (демпфирования).Figure 3 shows the dependence of the amplitude of the vibrations of the vibrating element on the frequency of the excitation signal when exposed to temperature. Resonance curves are given without taking into account the temperature additive component of the change in the amplitude of the vibrations of the vibrating element from temperature. The shape of the resonance curves depends on the characteristics of the material used, in particular, the coefficient of internal friction (damping).
На фиг.4 представлен вариант генератора прямоугольных импульсов, управляемого напряжением, который реализован на двух операционных усилителях типа LM301: 8 - источник управляющего напряжения (в дальнейшем «R1Г»), 9 - сопротивление (в дальнейшем «R1Г»), 10 - тиристор (например, 2N6087), 11 - емкость (в дальнейшем «С1Г»), 12, 15 - операционный усилитель LM301, 13 - емкость, 14 - источник опорного напряжения (в дальнейшем «Е2»), 16 - сопротивление величиной 100 кОм, 17 - сопротивление величиной 35 кОм.Figure 4 presents a variant of a voltage-controlled rectangular pulse generator, which is implemented on two operational amplifiers of the LM301 type: 8 - a source of control voltage (hereinafter "R 1G "), 9 - resistance (hereinafter "R 1G "), 10 - thyristor (for example, 2N6087), 11 - capacitance (hereinafter referred to as "C 1G "), 12, 15 - operational amplifier LM301, 13 - capacitance, 14 - reference voltage source (hereinafter "E 2 "), 16 - resistance of 100 kOhm, 17 - resistance of 35 kOhm.
На фиг.5 приведен пример инвертирующего сумматора: 18 - напряжение Е0, соответствующее начальному уровню частоты генератора, 19 - сопротивление R1, 20 - напряжение ЕΔ, пропорциональное амплитуде колебаний вибрирующего элемента, 21 - сопротивление R2, 22 - сопротивление обратной связи ROC, 23 - операционный усилитель, 24 - сопротивление нагрузки RH.Figure 5 shows an example of an inverting adder: 18 - voltage E 0 corresponding to the initial level of the frequency of the generator, 19 - resistance R 1 , 20 - voltage E Δ proportional to the oscillation amplitude of the vibrating element, 21 - resistance R 2 , 22 - feedback resistance R OC , 23 - operational amplifier, 24 - load resistance R H.
Рассмотрим способ компенсации аддитивной температурной погрешности на примере резонансной кривой, представленной на фиг.2. При номинальной температуре и отсутствии измеряемого параметра амплитуда колебаний Х0 вибрирующего элемента усиливается при помощи усилителя и преобразуется в постоянное напряжение детектором такой величины, чтобы частота генератора f0 была равна частоте собственных колебаний вибрирующего элемента, т.е. колебания вибрирующего элемента происходят в резонансе. При увеличении измеряемого параметра (например, давления) вследствие несоответствия частоты генератора f0 частоте собственных колебаний вибрирующего элемента, которая увеличивается при увеличении измеряемого параметра и становится равной некоторой частоте f1 (для которой амплитуда колебаний вибрирующего элемента уменьшается до X1 без учета влияния обратной связи), уменьшается и напряжение, подаваемое на вход управляемого напряжением генератора. Частота генератора в соответствии с изменением управляющего напряжения также изменится на величину, определяемую функциональной зависимостью частоты генератора от управляющего напряжения, и становится равной частоте собственных колебаний f1 вибрирующего элемента. Работа преобразователя при номинальной температуре всегда соответствует колебаниям вибрирующего элемента в резонансе (поскольку частота собственных колебаний вибрирующего элемента совпадает с частотой возбуждения генератора, управляемого напряжением), соблюдается постоянство амплитуды колебаний вибрирующего элемента. Диапазон работы преобразователя составляет от начальной частоты собственных колебаний f0 вибрирующего элемента (при отсутствии измеряемого параметра) до максимального значения частоты собственных колебаний fmax вибрирующего элемента (при действии максимально допустимого значения измеряемого параметра).Consider the method of compensating the additive temperature error on the example of the resonance curve shown in figure 2. At the rated temperature and the absence of the measured parameter, the oscillation amplitude X 0 of the vibrating element is amplified by an amplifier and converted to direct voltage by a detector of such a magnitude that the generator frequency f 0 is equal to the natural frequency of the vibrating element, i.e. vibrations of the vibrating element occur in resonance. With an increase in the measured parameter (for example, pressure) due to the mismatch of the generator frequency f 0 with the natural frequency of the vibrating element, which increases with increasing the measured parameter and becomes equal to a certain frequency f 1 (for which the vibration amplitude of the vibrating element decreases to X 1 without taking into account the influence of feedback ), the voltage supplied to the input of the voltage-controlled generator decreases. The frequency of the generator in accordance with the change in the control voltage will also change by a value determined by the functional dependence of the frequency of the generator on the control voltage, and becomes equal to the natural frequency f 1 of the vibrating element. The operation of the converter at the nominal temperature always corresponds to the vibrations of the vibrating element in resonance (since the natural frequency of the vibrating element coincides with the excitation frequency of the generator controlled by voltage), the amplitude of the vibrations of the vibrating element is constant. The range of operation of the converter is from the initial frequency of natural oscillations f 0 of the vibrating element (in the absence of the measured parameter) to the maximum value of the natural frequency of oscillations f max of the vibrating element (under the action of the maximum permissible value of the measured parameter).
С другой стороны, изменение температуры измерительного преобразователя при отсутствии измеряемого параметра ведет к изменению частоты собственных колебаний вибрирующего элементы, появляется несоответствие между частотой генератора и частотой собственных колебаний вибрирующего элемента, т.е. колебания вибрирующего элемента происходят не в резонансе, значит амплитуда колебаний вибрирующего элемента уменьшается в соответствии с резонансной кривой, и обратная связь отработает изменение частоты сигнала генератора. Это приводит к появлению дополнительной аддитивной температурной погрешности. Для уменьшения этой погрешности уменьшение амплитуды колебаний вибрирующего элемента при изменении температуры не должно отразиться на частоте сигнала на выходе управляемого напряжением генератора, т.е. частота генератора должна остаться прежней. Это может быть достигнуто путем введения в управляющую цепь генератора термозависимого элемента и выбора функциональной связи изменения величины термозависимого элемента от температуры преобразователя таким образом, чтобы напряжение, подаваемое на вход управляемого напряжением генератора, оставалось постоянным при изменении температуры.On the other hand, a change in the temperature of the measuring transducer in the absence of a measured parameter leads to a change in the frequency of the natural vibrations of the vibrating elements, a mismatch appears between the frequency of the generator and the natural frequency of the vibrating element, i.e. the vibrations of the vibrating element do not occur in resonance, which means that the amplitude of the vibrations of the vibrating element decreases in accordance with the resonance curve, and the feedback will work out the change in the frequency of the generator signal. This leads to the appearance of an additional additive temperature error. To reduce this error, a decrease in the amplitude of vibrations of the vibrating element with a change in temperature should not affect the signal frequency at the output of the voltage-controlled generator, i.e. the generator frequency should remain the same. This can be achieved by introducing a thermo-dependent element into the control circuit of the generator and selecting a functional relationship between the change in the value of the thermo-dependent element and the temperature of the converter so that the voltage supplied to the input of the voltage-controlled generator remains constant when the temperature changes.
Следовательно, колебания вибрирующего элемента происходят в резонансе при любом значении измеряемого параметра, но только при номинальной температуре. При изменении температуры начальная частота генератора будет оставаться постоянной и уже не будет соответствовать частоте собственных колебаний вибрирующего элемента. Это приводит к уменьшению амплитуды колебаний вибрирующего элемента без воздействия измеряемого параметра (см. точки А, фиг.2, которая соответствует резонансу, и А', которые соответствуют случаю рассогласования частоты генератора и частоты собственных колебаний вибрирующего элемента при изменении температуры). А так как выходным сигналом является частота, то изменение амплитуды не сказывается на точности измерения.Therefore, the vibrations of the vibrating element occur in resonance at any value of the measured parameter, but only at the nominal temperature. When the temperature changes, the initial frequency of the generator will remain constant and will no longer correspond to the frequency of natural vibrations of the vibrating element. This leads to a decrease in the amplitude of the vibrations of the vibrating element without affecting the measured parameter (see point A, Fig. 2, which corresponds to the resonance, and A ', which correspond to the case of a mismatch between the generator frequency and the natural frequency of the vibrating element when the temperature changes). And since the output signal is the frequency, the change in amplitude does not affect the measurement accuracy.
Недостатком данного способа является возникновение неопределенности при изменении температуры при отсутствии измеряемого параметра, заключающейся в том, что амплитуда колебаний вибрирующего элемента изменяется при изменении температуры в соответствии с резонансной кривой, см. точки А', т.е. уменьшается как при уменьшении, так и при увеличении температуры. Тогда направление изменения частоты собственных колебаний вибрирующего элемента невозможно определить по знаку изменения амплитуды колебаний, а значит, и по знаку изменения управляющего напряжения. В этом случае необходимо использовать только одну ветвь резонансной кривой: левую - от частоты fmin до частоты f0 либо правую - от частоты f0 до частоты fmax. В случае использования левой ветви резонансной кривой частота fmin соответствует минимальной начальной рабочей частоте резонатора, т.е. при максимальной температуре преобразователя и при отсутствии измеряемого параметра, а частота f0 соответствует максимальной рабочей частоте преобразователя, т.е. при минимальной температуре преобразователя и при номинальном значении измеряемого параметра. В случае использования правой ветви резонансной кривой частота f0 соответствует минимальной начальной частоте генератора, т.е. при максимальной температуре преобразователя и при отсутствии измеряемого параметра, а частота fmax соответствует максимальной рабочей частоте преобразователя при номинальном значении измеряемого параметра. Выбор ветви резонансной кривой, по которой в дальнейшем работает преобразователь, зависит от функции преобразования генератора.The disadvantage of this method is the occurrence of uncertainty when the temperature changes in the absence of a measured parameter, namely that the amplitude of the vibrating element changes when the temperature changes in accordance with the resonance curve, see points A ', i.e. decreases both with decreasing and with increasing temperature. Then the direction of the change in the frequency of natural vibrations of the vibrating element cannot be determined by the sign of the change in the amplitude of the oscillations, and therefore, by the sign of the change in the control voltage. In this case, it is necessary to use only one branch of the resonance curve: the left - from the frequency f min to the frequency f 0 or the right - from the frequency f 0 to the frequency f max . In the case of using the left branch of the resonance curve, the frequency f min corresponds to the minimum initial operating frequency of the resonator, i.e. at the maximum temperature of the converter and in the absence of a measured parameter, and the frequency f 0 corresponds to the maximum operating frequency of the converter, i.e. at the minimum temperature of the converter and at the nominal value of the measured parameter. In the case of using the right branch of the resonance curve, the frequency f 0 corresponds to the minimum initial frequency of the generator, i.e. at the maximum temperature of the converter and in the absence of the measured parameter, and the frequency f max corresponds to the maximum operating frequency of the converter at the nominal value of the measured parameter. The choice of the branch of the resonance curve, according to which the converter subsequently operates, depends on the function of the generator transformation.
Рассмотрим способ компенсации мультипликативной погрешности. На фиг.3 приведена зависимость амплитуды колебаний вибрирующего элемента от частоты сигнала возбуждения при воздействии температуры без учета влияния аддитивной составляющей температурной погрешности и без учета влияния обратной связи. Частота f0 равна частоте собственных колебаний вибрирующего элемента, что соответствует резонансу. Поскольку при изменении температуры изменяется крутизна резонансной кривой от изменения модуля упругости и, предполагая, что правая ветвь резонансной кривой относительно частоты f0 является рабочей, тогда кривая 1 соответствует минимальной рабочей температуре, а кривая 2 соответствует максимальной рабочей температуре. Девиация амплитуды колебаний вибрирующего элемента при минимальной рабочей температуре составляет Х0-Х-, что соответствует девиации частоты собственных колебаний вибрирующего элемента от f0 (при отсутствии измеряемого параметра) до f- (при воздействии номинального значения измеряемого параметра), для максимальной рабочей температуры девиация амплитуды колебаний вибрирующего элемента составляет Х0-Х+, а девиация частоты собственных колебаний составляет от f0 (при отсутствии измеряемого параметра) до f+ (при воздействии номинального значения измеряемого параметра).Consider a method of compensating for the multiplicative error. Figure 3 shows the dependence of the amplitude of vibrations of the vibrating element on the frequency of the excitation signal when exposed to temperature, without taking into account the influence of the additive component of the temperature error and without taking into account the influence of feedback. The frequency f 0 is equal to the natural frequency of the vibrating element, which corresponds to resonance. Since with a change in temperature, the steepness of the resonance curve changes from a change in the elastic modulus and, assuming that the right branch of the resonance curve with respect to frequency f 0 is operational, then curve 1 corresponds to the minimum operating temperature, and
При максимальной рабочей температуре и отсутствии измеряемого параметра амплитуда колебаний Х0 вибрирующего элемента усиливается при помощи нормирующего усилителя и преобразуется в постоянное напряжение детектором такой величины, чтобы частота генератора f0 была равна частоте собственных колебаний вибрирующего элемента, т.е. колебания вибрирующего элемента происходят в резонансе. При увеличении измеряемого параметра (например, давления) и максимальной рабочей температуры вследствие несоответствия частоты генератора f0 частоте собственных колебаний вибрирующего элемента, которая увеличивается при увеличении измеряемого параметра и становится равной некоторой частоте f+, уменьшается и амплитуда колебаний вибрирующего элемента до величины Х+ (без учета влияния обратной связи), уменьшается напряжение, подаваемое на вход управляемого напряжением генератора. Частота генератора в соответствии с изменением управляющего напряжения также изменится на величину, определяемую функциональной зависимостью частоты генератора от управляющего напряжения, и становится равной частоте собственных колебаний f+ вибрирующего элемента. Таким образом, поддерживаются колебания вибрирующего элемента в резонансе при любом значении измеряемого параметра. При минимальной рабочей температуре изменению величины измеряемого параметра от минимального до номинального соответствует изменение частоты собственных колебаний вибрирующего элемента от f0 до f-, а амплитуда колебаний уменьшается от Х0 до Х- (без учета обратной связи). Поскольку благодаря обратной связи колебания вибрирующего элемента поддерживаются в резонансе, то частота генератора также изменяется от f0 до f- при изменении величины измеряемого параметра от минимального до номинального. Разница между значениями девиации частоты генератора от измеряемого параметра при максимальной и минимальной рабочих температурах и отражает величину мультипликативной температурной чувствительности, которая может быть скомпенсирована путем введения в обратную связь термозависимого элемента, тогда колебания вибрирующего элемента происходят в резонансе при любом значении измеряемого параметра, но только при той температуре, при которой производилась настройка схемы поддержания колебаний вибрирующего элемента. Изменение температуры приводит к изменению величины термозависимого элемента, следовательно, и частоты генератора. Это означает, что изменяется функциональная зависимость между изменением амплитуды колебаний вибрирующего элемента и требуемым изменением частоты генератора, поэтому колебания вибрирующего элемента происходят не в резонансе при изменении температуры и измеряемого параметра. При этом функциональная зависимость между изменением амплитуды колебаний вибрирующего элемента и требуемым изменением частоты генератора должна быть такой, чтобы девиация частоты выходного сигнала от измеряемого параметра оставалась постоянной при любом изменении температуры преобразователя.At the maximum operating temperature and the absence of the measured parameter, the oscillation amplitude X 0 of the vibrating element is amplified using a normalizing amplifier and converted to direct voltage by a detector of such a magnitude that the generator frequency f 0 is equal to the natural frequency of the vibrating element, i.e. vibrations of the vibrating element occur in resonance. With an increase in the measured parameter (for example, pressure) and the maximum operating temperature due to the mismatch of the generator frequency f 0 with the natural frequency of the vibrating element, which increases with increasing the measured parameter and becomes equal to a certain frequency f + , the vibration amplitude of the vibrating element decreases to X + ( without taking into account the influence of feedback), the voltage supplied to the input of the voltage-controlled generator decreases. The frequency of the generator in accordance with the change in the control voltage will also change by a value determined by the functional dependence of the frequency of the generator on the control voltage, and becomes equal to the natural frequency f + of the vibrating element. Thus, the vibrations of the vibrating element in resonance are supported at any value of the measured parameter. At the minimum operating temperature, a change in the value of the measured parameter from minimum to nominal corresponds to a change in the frequency of natural vibrations of the vibrating element from f 0 to f - , and the amplitude of the oscillations decreases from X 0 to X - (without taking into account feedback). Since, thanks to the feedback, the vibrations of the vibrating element are maintained in resonance, the generator frequency also changes from f 0 to f - when the measured parameter changes from minimum to nominal. The difference between the values of the frequency deviation of the generator from the measured parameter at the maximum and minimum operating temperatures reflects the magnitude of the multiplicative temperature sensitivity, which can be compensated by introducing a thermally dependent element into feedback, then the vibrations of the vibrating element occur in resonance at any value of the measured parameter, but only at the temperature at which the adjustment of the circuit for maintaining the vibrations of the vibrating element was made. A change in temperature leads to a change in the value of the thermally dependent element, and therefore, in the frequency of the generator. This means that the functional dependence changes between the change in the amplitude of the vibrations of the vibrating element and the desired change in the frequency of the generator, therefore, the vibrations of the vibrating element do not occur in resonance when the temperature and the measured parameter change. In this case, the functional relationship between the change in the amplitude of oscillations of the vibrating element and the required change in the frequency of the generator should be such that the deviation of the frequency of the output signal from the measured parameter remains constant at any change in the temperature of the converter.
Возбуждение колебаний вибрирующего элемента производится путем подачи сигнала с генератора на электрод возбуждения. Чаще всего используется синусоидальный сигнал, но в силу инерционности вибрирующего элемента может использоваться и сигнал в виде прямоугольных импульсов. Пример генератора прямоугольных импульсов, управляемого напряжением, приведен на фиг.4, который реализован на двух операционных усилителях типа LM301. Функция преобразования этого генератора, дающая связь частоты генерации f с управляющим напряжением E1, имеет вид:Excitation of vibrations of the vibrating element is made by applying a signal from the generator to the excitation electrode. Most often, a sinusoidal signal is used, but due to the inertia of the vibrating element, a signal in the form of rectangular pulses can also be used. An example of a voltage-controlled square-wave generator is shown in FIG. 4, which is implemented on two operational amplifiers of the LM301 type. The conversion function of this generator, which gives the connection of the generation frequency f with the control voltage E 1 , has the form:
где Е2 - опорное напряжение, получаемое от основного источника питания генератора.where E 2 is the reference voltage received from the main power source of the generator.
Инвертирующий сумматор имеет следующую функцию преобразования:The inverting adder has the following conversion function:
где U - выходное напряжение;where U is the output voltage;
ROC - сопротивление в обратной связи операционного усилителя;R OC is the resistance in the feedback of the operational amplifier;
E0 - входное напряжение, соответствующее начальному уровню частоты генерации генератора;E 0 - input voltage corresponding to the initial level of the oscillator generation frequency;
R1 - сопротивление в цепи Е0;R 1 - resistance in the circuit E 0 ;
EΔ - входное напряжение, пропорциональное амплитуде колебаний вибрирующего элемента;E Δ is the input voltage proportional to the amplitude of the vibrations of the vibrating element;
R2 - сопротивление в цепи EΔ.R 2 is the resistance in the circuit E Δ .
Общая функция преобразования инвертирующего сумматора и генератора имеет вид:The general conversion function of the inverting adder and generator is:
Как видно из выражения (3) путем изменения номиналов сопротивлений R1, R2, ROC, R1Г и емкости С1Г можно регулировать частоту генератора.As can be seen from expression (3) by changing the nominal values of the resistances R 1 , R 2 , R OC , R 1G and capacitance C 1G, you can adjust the frequency of the generator.
Рассмотрим случай, когда термозависимыми элементами выступают емкость С1Г генератора и сопротивление R2 инвертирующего сумматора. Однако при одновременной компенсации погрешностей указанные элементы влияют друг на друга. Емкость С1Г изменяет начальный уровень частоты генератора, а сопротивление R2 изменяет наклон градуировочной характеристики. Поскольку изменение величины каждого из термозависимых элементов влияет на статическую характеристику преобразователя, которая описывает зависимость частоты выходного сигнала от измеряемого параметра, то необходимо рассматривать одновременную компенсацию как аддитивной температурной погрешности, так и мультипликативной температурной погрешности с учетом взаимного влияния сопротивления R2 и емкости С1Г.Consider the case when the thermally dependent elements are the capacitance C 1G of the generator and the resistance R 2 of the inverting adder. However, while compensating for errors, these elements affect each other. The capacitance C 1G changes the initial level of the generator frequency, and the resistance R 2 changes the slope of the calibration characteristic. Since a change in the magnitude of each of the thermally dependent elements affects the static characteristic of the converter, which describes the dependence of the output signal frequency on the measured parameter, it is necessary to consider the simultaneous compensation of both the additive temperature error and the multiplicative temperature error, taking into account the mutual influence of the resistance R 2 and the capacitance С 1Г .
В соответствии с функцией преобразования генератора (1) частота f увеличивается при увеличении управляющего напряжения E1, поэтому в цепь управляемого генератора необходимо ввести инвертирующий сумматор, который позволяет увеличивать управляющее напряжение E1 с уменьшением амплитуды колебаний вибрирующего элемента, что соответствует увеличению частоты собственных колебаний. В этом случае диапазоном работы преобразователя будет являться правая ветвь резонансной кривой. При этом генератор настраивается в резонанс с вибрирующим элементом при максимальной рабочей температуре и отсутствии измеряемого параметра, поскольку при максимальной рабочей температуре частота собственных колебаний вибрирующего элемента минимальна. Тогда с увеличением измеряемого параметра увеличивается частота собственных колебаний вибрирующего элемента, что приводит к уменьшению амплитуды колебаний в соответствии с резонансной кривой. Это изменение амплитуды колебаний вибрирующего элемента отрабатывается положительной обратной связью и частота генератора вновь становится равной частоте собственных колебаний вибрирующего элемента. Таким образом, колебания вибрирующего элемента происходят в резонансе, но только для той температуры, при которой производилась настройка схемы поддержания колебаний, т.е. для максимальной рабочей температуры. При изменении температуры колебания вибрирующего элемента происходят не в резонансе, но поскольку выходной сигнал преобразователя представляет собой зависимость девиации частоты от измеряемого параметра, то изменение амплитуды колебаний вибрирующего элемента не сказывается на точности измерения.In accordance with the generator conversion function (1), the frequency f increases with increasing control voltage E 1 ; therefore, an inverting adder must be introduced into the circuit of the controlled generator, which allows increasing the control voltage E 1 with decreasing vibration amplitude of the vibrating element, which corresponds to an increase in the frequency of natural vibrations. In this case, the range of operation of the converter will be the right branch of the resonance curve. In this case, the generator is tuned in resonance with the vibrating element at the maximum operating temperature and the absence of the measured parameter, since at the maximum operating temperature the natural frequency of the vibrating element is minimal. Then, with an increase in the measured parameter, the frequency of natural vibrations of the vibrating element increases, which leads to a decrease in the amplitude of the oscillations in accordance with the resonance curve. This change in the amplitude of the vibrations of the vibrating element is worked out by positive feedback and the frequency of the generator again becomes equal to the frequency of the natural vibrations of the vibrating element. Thus, the vibrations of the vibrating element occur in resonance, but only for the temperature at which the oscillation maintenance circuit was set up, i.e. for maximum operating temperature. When the temperature changes, the vibrations of the vibrating element do not occur in resonance, but since the output signal of the converter is a dependence of the frequency deviation on the measured parameter, the change in the amplitude of the vibrations of the vibrating element does not affect the measurement accuracy.
Введем следующие обозначения:We introduce the following notation:
- начальная частота генератора f0+при максимальной рабочей температуре:- the initial frequency of the generator f 0+ at the maximum operating temperature:
где EΔ+ - величина напряжения, пропорциональная амплитуде колебаний вибрирующего элемента при максимальной рабочей температуре и отсутствии измеряемого параметра;where E Δ + is the voltage value proportional to the oscillation amplitude of the vibrating element at the maximum operating temperature and the absence of the measured parameter;
С1Г+ - емкость С1Г при максимальной рабочей температуре;С 1Г + - С 1Г capacity at maximum operating temperature;
R2+ - сопротивление R2 при максимальной рабочей температуре;R 2+ - resistance R 2 at maximum operating temperature;
- начальная частота генератора f0- при минимальной рабочей температуре:- the initial frequency of the generator f 0- at the minimum operating temperature:
где ЕΔ- - величина напряжения, пропорциональная амплитуде колебаний вибрирующего элемента при минимальной рабочей температуре и отсутствии измеряемого параметра;where E Δ- is the voltage proportional to the amplitude of the vibrations of the vibrating element at the minimum operating temperature and the absence of the measured parameter;
C1Г- - емкость C1Г при минимальной рабочей температуре;C 1G- - capacity C 1G at the minimum operating temperature;
R2- - сопротивление R2 при минимальной рабочей температуре;R 2- - resistance R 2 at the minimum operating temperature;
- частота генератора fp+ при максимальной рабочей температуре и номинальном значении измеряемого параметра:- generator frequency f p + at the maximum operating temperature and the nominal value of the measured parameter:
где EΔp+ - величина напряжения, пропорциональная амплитуде колебаний вибрирующего элемента при максимальной рабочей температуре и номинальном значении измеряемого параметра;where E Δp + is the voltage value proportional to the oscillation amplitude of the vibrating element at the maximum operating temperature and the nominal value of the measured parameter;
- частота генератора fp- при минимальной рабочей температуре и номинальном значении измеряемого параметра:- generator frequency f p- at minimum operating temperature and nominal value of the measured parameter:
где ЕΔр- - величина напряжения, пропорциональная амплитуде колебаний вибрирующего элемента при минимальной рабочей температуре и номинальном значении измеряемого параметра;where Е Δр- is the magnitude of the voltage proportional to the amplitude of the vibrations of the vibrating element at the minimum operating temperature and the nominal value of the measured parameter;
- девиация частоты генератора Δf+ от измеряемого параметра при максимальной рабочей температуре:- the deviation of the generator frequency Δf + from the measured parameter at the maximum operating temperature:
- девиация частоты генератора Δf- от измеряемого параметра при минимальной рабочей температуре:- the frequency deviation of the generator Δ f- from the measured parameter at the minimum operating temperature:
Условие компенсации аддитивной температурной погрешности заключается в том, что частота генератора остается постоянной при изменении температуры, т.е. f0+=f0-:The condition for compensating the additive temperature error is that the frequency of the generator remains constant when the temperature changes, i.e. f 0+ = f 0- :
Условие компенсации мультипликативной температурной погрешности заключается в сохранении постоянной девиации частоты генератора при изменении температуры, т.е. Δf+=Δf-:The condition for compensation of the multiplicative temperature error is to maintain a constant deviation of the frequency of the generator with a change in temperature, i.e. Δf + = Δf - :
Для получения требуемого номинала компенсационного элемента и требуемой величины изменения номинала компенсационного элемента при изменении температуры в большинстве случаев используют последовательное (или параллельное) соединение термонезависимого элемента и термозависимого элемента. Поэтому емкость C1Г состоит из соединенных параллельно термонезависимой емкости С1ГН и термозависимой емкости Сβ для компенсации аддитивной температурной погрешности, а общая емкость определяется как С1Г=С1ГН+Сβ. При этом величина термозависимой емкости Сβ изменяется от температуры по зависимости Сβt=Сβ·(1+αβ·ΔT), где Сβ - начальное значение термозависимой емкости, т.е. величина емкости при нормальной температуре, αβ - температурный коэффициент емкости (ТКЕ) термозависимой емкости Сβ, ΔT - диапазон изменения температуры.To obtain the required nominal value of the compensation element and the required magnitude of the change in the nominal value of the compensation element when the temperature changes, in most cases a serial (or parallel) connection of a thermally independent element and a thermally dependent element is used. Therefore, the capacitance C 1G consists of a thermally independent capacitance C 1HN and a thermally dependent capacitance C β connected in parallel to compensate for the additive temperature error, and the total capacity is defined as C 1G = C 1HN + C β . In this case, the value of the thermally dependent capacitance C β varies with temperature according to the dependence C βt = C β · (1 + α β · ΔT), where C β is the initial value of the thermally dependent capacity, i.e. the value of the capacitance at normal temperature, α β is the temperature coefficient of the capacitance (TKE) of the thermally dependent capacitance C β , ΔT is the temperature range.
Аналогично емкости C1Г сопротивление R2 состоит из соединенных последовательно термонезависимого сопротивления R2H и термозависимого сопротивления Rα для компенсации мультипликативной температурной погрешности, а общее сопротивление определяется как R2=R2H+Rα. При этом величина термозависимого сопротивления Rα изменяется от температуры по зависимости Rαt=Rα·(1+αα·ΔT), где Rα - начальное значение термозависимого сопротивления, т.е. величина сопротивления при нормальной температуре, αα - температурный коэффициент сопротивления (ТКС) термозависимого сопротивления Rα, ΔT - диапазон изменения температуры.Similarly to capacitance C 1G, resistance R 2 consists of thermally independent resistance R 2H connected in series and thermally dependent resistance R α to compensate for the multiplicative temperature error, and the total resistance is defined as R 2 = R 2H + R α . In this case, the value of the thermally dependent resistance R α varies with temperature according to the dependence R αt = R α · (1 + α α · ΔT), where R α is the initial value of the thermally dependent resistance, i.e. resistance value at normal temperature, α α - temperature coefficient of resistance (TCS) of thermally dependent resistance R α , ΔT - temperature variation range.
Введем следующие обозначения: величина термозависимого сопротивления Rα при максимальной рабочей температуре Rα+=Rα·(1+αα·ΔT1), где ΔT1 - диапазон изменения температуры от нормальной до максимальной рабочей температуры; величина термозависимого сопротивления Rα при минимальной рабочей температуре Rα-=Rα·(1+αα·ΔT2), где ΔT2 - диапазон изменения температуры от нормальной до минимальной рабочей температуры; величина термозависимой емкости Сβ при максимальной рабочей температуре Сβ+=Сβ·(1+αβ·ΔT1); величина термозависимой емкости Сβ при минимальной рабочей температуре Сβ-=Сβ·(1+αβ·ΔТ2). Поскольку настройка рассматриваемой схемы производится при максимальной рабочей температуре, то величина емкости C1Г, полученная при предварительной настройке, равна C1Г+=С1ГН+Сβ+, а сопротивление R2 равно R2+=R2H+Rα+.We introduce the following notation: temperature-dependent resistance value R α at the maximum operating temperature of + R α = R α · (1 + α α · ΔT 1) where ΔT 1 - range of temperature changes from normal to the maximum operating temperature; the value of the temperature-dependent resistance R α at the minimum operating temperature R α- = R α · (1 + α α · ΔT 2 ), where ΔT 2 is the temperature range from normal to minimum operating temperature; the value of the thermally dependent capacitance C β at the maximum operating temperature C β + = C β · (1 + α β · ΔT 1 ); the value of the thermally dependent capacitance C β at the minimum operating temperature C β- = Cβ · (1 + α β · ΔT 2 ). Since the configuration of the circuit under consideration is performed at the maximum operating temperature, the value of the capacitance C 1G obtained by pre-setting is equal to C 1G + = C 1GN + C β + , and the resistance R 2 is equal to R 2+ = R 2H + R α + .
Выражение (10) преобразуем к следующему виду:We transform expression (10) to the following form:
где 
где 
находят требуемые значения термозависимых сопротивления Rα и емкости Сβ. Для полупроводниковых материалов может быть получен отрицательный ТКС, абсолютная величина которого лежит в пределах 0.003÷0.2 1/°С, для нихрома Х20Н80, используемого при формировании напыляемых сопротивлений, ТКС не превышает 1·10-3 1/°С, для сплава Х20Н75Ю ТКС не превышает 5·10-4 1/°С, для сплава на основе силицидов П65ХС ТКС не превышает 1-10-4 1/°С. Поскольку требуемый номинал термозависимого сопротивления Rα всегда отличается от номинала реально напыленного сопротивления, то последний изготавливается заведомо меньшей величины с последующей его подгонкой номинала до расчетного значения, например, с использованием методов электроэрозионной или лазерной подгонки. Аналогично поступают и с термозависимой емкостью Сβ: емкость изготавливают заведомо большей величины, а путем уменьшения площадей электродов подгоняют номинал до расчетного значения.find the required values of thermally dependent resistance R α and capacitance C β . For semiconductor materials, a negative TCS can be obtained, the absolute value of which lies in the range 0.003 ÷ 0.2 1 / ° С, for the nichrome Х20Н80 used in the formation of sprayed resistances, the TCS does not exceed 1 · 10 -3 1 / ° С, for the alloy Х20Н75Ю ТКС does not exceed 5 · 10 -4 1 / ° С, for an alloy based on silicides P65XC TKS does not exceed 1-10 -4 1 / ° С. Since the required nominal value of the thermally dependent resistance R α always differs from the nominal value of the actually deposited resistance, the latter is made of a known lower value with its subsequent adjustment of the nominal value to the calculated value, for example, using EDM or laser fitting methods. The same applies to the temperature-dependent capacitance C β : the capacitance is made of a known larger value, and by reducing the area of the electrodes, the nominal is adjusted to the calculated value.
Пример.Example.
Для получения частоты генератора 52095 Гц, что соответствует начальному уровню частоты при максимальной рабочей температуре рассматриваемого преобразователя, выбираем следующие номиналы элементов генератора в соответствии с функцией преобразования (1): сопротивление R1Г=1 кОм, емкость С1Г+=7.678 нФ, опорное напряжение Е2=6 В, управляющее напряжение Е1=2 В. Тогда в соответствии с выражением (2) 
Пусть величины сопротивлений ROC=R1=R2=1 кОм. Предположим, что выходное напряжение с детектора составляет -EΔ+=0.5 В (величина выходного напряжения зависит от схемной реализации детектора, выходное напряжение которого пропорционально амплитуде входного напряжения). Тогда требуемое значение напряжения Е0 в соответствии с последним выражением равно минус 2.5 В для получения управляющего напряжения E1=2 В. Для получения частоты генератора 53019 Гц при минимальной рабочей температуре величина выходного напряжения с детектора должна быть равна 
Кроме того, при номинальном значении измеряемого параметра и максимальной рабочей температуре выходной сигнал с детектора 
что соответствует девиации частоты от измеряемого параметра при максимальной температуре Δf+60=2502 Гц. Выходной сигнал с детектора при минимальной рабочей температуре 
что соответствует девиации частоты от измеряемого параметра при минимальной температуре Δf-60=2355 Гц.which corresponds to the frequency deviation from the measured parameter at the minimum temperature Δf -60 = 2355 Hz.
Для рассматриваемого случая система уравнений (14) имеет решение при положительном ТКС αα и отрицательном ТКЕ αβ. Предположим, что при изготовлении ТКС αα получился равным 0.001 1/К, а ТКЕ αβ равным минус 0.001 1/К, что может быть получено на практике. Тогда требуемые значения сопротивлений в соответствии с системой уравнений (14) Rα=508.35 Ом (при нормальной температуре), R2Н 471.31 Ом и емкостей Сβ=0.153 нФ (при нормальной температуре), С1ГН=7.531нФ.For the case under consideration, system of equations (14) has a solution for a positive TCE α α and a negative TKE α β . Suppose that in the manufacture of TKS α α turned out to be equal to 0.001 1 / K, and TKE α β equal to minus 0.001 1 / K, which can be obtained in practice. Then the required resistance values in accordance with the system of equations (14) R α = 508.35 Ohm (at normal temperature), R 2H 471.31 Ohm and capacitances C β = 0.153 nF (at normal temperature), C 1H = 7.531nF.
Подставляя найденные значения сопротивлений и емкостей в выражения (4) и (5):Substituting the found values of resistances and capacitances in expressions (4) and (5):
видим, что начальный уровень частоты генератора не зависит от температуры, что означает компенсацию аддитивной температурной погрешности при максимальной и минимальной рабочих температурах.we see that the initial level of the generator frequency is independent of temperature, which means compensation of the additive temperature error at the maximum and minimum operating temperatures.
Подставляя найденные значения сопротивлений и емкостей в выражения (8) и(9):Substituting the found values of resistances and capacitances in expressions (8) and (9):
видим, что девиация частоты генератора от измеряемого параметра не зависит от температуры, что означает компенсацию мультипликативной температурной погрешности при максимальной и минимальной рабочих температурах.we see that the frequency deviation of the generator from the measured parameter does not depend on temperature, which means compensation for the multiplicative temperature error at the maximum and minimum operating temperatures.
Таким образом, производится одновременная компенсация аддитивной и мультипликативной температурной погрешности рассматриваемого преобразователя с вибрирующим элементом.Thus, the simultaneous compensation of the additive and multiplicative temperature errors of the transducer under consideration with a vibrating element is made.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007112869/28A RU2333500C1 (en) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | Method of temperature error compensation of vibration element pickup |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007112869/28A RU2333500C1 (en) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | Method of temperature error compensation of vibration element pickup |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2333500C1 true RU2333500C1 (en) | 2008-09-10 |
Family
ID=39867024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007112869/28A RU2333500C1 (en) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | Method of temperature error compensation of vibration element pickup |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2333500C1 (en) |
-
2007
- 2007-04-06 RU RU2007112869/28A patent/RU2333500C1/en not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ВАВИЛОВ В.Д. «Интегральные датчики», Изд-во НГТУ, 2003. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001267847A (en) | Temperature compensated crystal oscillator and method for compensating temperature or the oscillator | |
| US20090212877A1 (en) | Mems oscillator | |
| JP2014072715A (en) | Oscillation circuit, vibration device, electronic apparatus, mobile unit, and vibration device adjustment method and sensitivity adjustment circuit | |
| US8593230B2 (en) | Circuit and method for correcting temperature dependence of frequency for piezoresistive oscillators | |
| JP5205827B2 (en) | Oscillation frequency control method and oscillator | |
| JP2000258162A (en) | Temperature compensator piezoelectric oscillator | |
| JPH1144540A (en) | Vibration-type angular velocity sensor | |
| JP2000201072A (en) | Pll circuit using temperature compensating vco | |
| US10141887B2 (en) | Oscillator for detecting temperature of atmosphere | |
| RU2331856C1 (en) | Method of temperature error compensation for sensor with vibration element | |
| Raspopov et al. | Tuning and calibration of a coriolis vibratory gyroscope with a metal resonator to operate in angular rate sensor mode | |
| RU2322652C1 (en) | Method for compensating for temperature error of sensor with vibrating element | |
| RU2333500C1 (en) | Method of temperature error compensation of vibration element pickup | |
| JP6680615B2 (en) | Adjusting device, adjusting method, and oscillating device | |
| RU2318193C1 (en) | Method for compensating temperature error of a sensor with vibrating element | |
| RU2315269C1 (en) | Mode of compensation of additive temperature error of the sensor with a vibrating element | |
| RU2319121C1 (en) | Method of compensating temperature error of pickup with vibrating member | |
| RU2300739C2 (en) | Method for compensating additive temperature error of indicator with vibrating element | |
| RU2323422C2 (en) | Mode of compensation of multiplicative temperature error of sensor with vibratory element (variants) | |
| RU2306530C2 (en) | Method of compensating additive temperature error of pickup with vibration member | |
| RU2307329C2 (en) | Method of compensating multiplicative temperature error of pickup with vibration member | |
| CN114785310A (en) | Silicon MEMS resonator and self-compensation method for realizing frequency drift by body piezoresistance heat thereof | |
| WO2024057606A1 (en) | Mechanical resonator-based oscillators and related methods for generation of a phase used to compensate for temperature-dependent frequency errors | |
| RU2665753C2 (en) | Gas pressure measurement device | |
| RU2282162C1 (en) | Method of compensating additive temperature error of pickup with vibrating member |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090407 |