RU2308416C1 - Установка для непрерывного получения кристобалита - Google Patents

Установка для непрерывного получения кристобалита Download PDF

Info

Publication number
RU2308416C1
RU2308416C1 RU2006101946/15A RU2006101946A RU2308416C1 RU 2308416 C1 RU2308416 C1 RU 2308416C1 RU 2006101946/15 A RU2006101946/15 A RU 2006101946/15A RU 2006101946 A RU2006101946 A RU 2006101946A RU 2308416 C1 RU2308416 C1 RU 2308416C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
crucible
working chamber
quartz
cristobalite
gas
Prior art date
Application number
RU2006101946/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006101946A (ru
Inventor
Александр Калистратович Лесников (RU)
Александр Калистратович Лесников
н Мэнцюань Цз (RU)
Мэнцюань Цзян
Original Assignee
Александр Калистратович Лесников
Мэнцюань Цзян
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Александр Калистратович Лесников, Мэнцюань Цзян filed Critical Александр Калистратович Лесников
Priority to RU2006101946/15A priority Critical patent/RU2308416C1/ru
Publication of RU2006101946A publication Critical patent/RU2006101946A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2308416C1 publication Critical patent/RU2308416C1/ru

Links

Landscapes

  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к производству чистого кварцевого стекла, используемого в оптике, электронике, солнечной энергетике и химии получения чистых и сверхчистых веществ. Установка для непрерывного получения кристобалита включает рабочую камеру 1 и систему нагревателей 4. Внутри рабочей камеры вертикально расположен тигель 2, выполненный в виде усеченного конуса. Нагреватели 4 выполнены в виде стержней из вольфрама и расположены внутри рабочей камеры 1. Внутри тигля 2 установлены вертикальные трубки 5 для удаления газовых продуктов и газово-жидких включений, которые объединены общим коллектором 14, выход которого установлен в скруббере 6, заполненном раствором солей. В верхней части рабочей камеры установлен бункер 17 для загрузки шихты, а нижняя часть тигля 2 соединена с приемным бункером 16 готового продукта. Результат изобретения: получение конечного продукта высокой чистоты, обеспечение стабильности и надежности процесса в длительном цикле. 5 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.

Description

Изобретение относится к производству чистого кварцевого стекла, используемого в оптике, электронике, солнечной энергетике и химии получения чистых и сверхчистых веществ. Получаемый кристобалит предназначен, в основном, для плавки особо чистого оптического и непрозрачного кварцевого стекла.
Целью изобретения является получение кристобалита высокой степени чистоты непрерывным способом без контакта с другими материалами, имеющими взаимодействие с двуокисью кремния в широком температурном интервале.
Известно непрерывное получение кристобалита из природного минерального сырья (патент SU №1513817, 1994) на установке, включающей шарнирно укрепленную на раме с возможностью поворота относительно оси подвески рабочую камеру с системой нагревателей и контейнером из кварцевого стекла с шейками на концах. Торцовые нагреватели расположены у основания шеек внутри рабочей камеры. Устройства подвода и отвода реагентов одновременно обеспечивают подвод нейтрального или инертного газа в кольцевой зазор между шейками и рабочими вставками. Указанный угол наклона контейнера обеспечивает не только наибольшую эффективность распределения продукта в рабочей зоне контейнера, но и высокую степень очистки SiO2 от примесей. Весь цикл кристобализации синтетического диоксида кремния проводят при непрерывной продувке объема контейнера активными газами (в частности O2 и HCl).
Наиболее близким по технической сущности является устройство, в котором засыпку из частиц SiO2 нагревают в реакторе с ориентированной по вертикали центральной осью и подвергают воздействию газа для обработки (патент RU 2198138, 2003). Газ направляют в реактор и производят засыпку снизу вверх с заданной скоростью потока. Используемый для обработки газ содержит хлор. В области засыпки для газа устанавливают температуру обработки, по меньшей мере, 1000°С и скорость потока, по меньшей мере, 10 см/с. В устройстве согласно изобретению для подачи газа предусмотрен газовый душ, который под засыпкой имеет большое число распределенных по сторонам относительно центральной оси сопловых отверстий для ввода газа в засыпку.
Задачей изобретения является разработка установки для перекристаллизации α-кварца в кристобалит.
Технический результат от использования изобретения заключается в получении конечного продукта высокой чистоты и обеспечении стабильности и надежности процесса в длительном цикле.
Установка для непрерывного получения кристобалита включает рабочую камеру и систему нагревателей. Внутри рабочей камеры вертикально расположен тигель, выполненный в виде усеченного конуса. Нагреватели выполнены в виде стержней из вольфрама и расположены внутри рабочей камеры. Внутри тигля установлены вертикальные трубки для удаления газовых продуктов и газово-жидких включений, которые объединены общим коллектором, выход которого установлен в скруббере, заполненном раствором солей. В верхней части рабочей камеры установлен бункер для загрузки шихты, а нижняя часть тигля соединена с приемным бункером готового продукта.
Тигель выполнен в виде усеченного конуса, при этом соотношение верхнего и нижнего диаметров составляет 2,0:0,3, а диаметр верхней части не должен превышать 250 мм.
Футеровка тигля выполнена из кварцевой керамики, а внешняя часть тигля из металла, например из молибдена, при этом общая длина кварцевой вставки превышает длину металлической, например, молибденовой, наружной оболочки не менее чем на 300 мм.
Трубки для отвода газожидкостных включений, расположенные внутри тигля, выполнены из кварцевого стекла.
Футеровка рабочей камеры выполнена из кварцевой керамики.
Установка имеет приемный бункер, футерованный кварцевым стеклом или керамикой, и снабжена вакуумным насосом для транспортировки кристобалита, также футерованным кварцевым стеклом.
На чертеже приведена установка для осуществления способа, где 1 - рабочая камера, 2 - тигель, расположенный в вертикальном положении, наружный слой 10 которого изготовлен из металла, а внутренний 11 - из кварцевой керамики. Внутри рабочей камеры 1 расположены вольфрамовые нагреватели 4. Рабочая камера футерована особо чистой кварцевой керамикой 12. Установка имеет бункер 17 для загрузки смеси α-кварца с раствором кислот, содержащих HCL и HF. Внутри тигля 2 вертикально расположены трубки из кварцевого стекла 5, через которые удаляются газовые продукты и газожидкостные включения 9, выделяемые из шихты 3. Трубки объединены общим коллектором 14. Через коллектор 14 газы и газожидкостные включения 9 поступают в скруббер 6 с раствором солей для связывания газообразных Cl и F в нерастворимые соли и факел 13 для дожига водорода и других горючих газов. В нижней части установки расположен бункер 16 для приема готового продукта кристобалита, который посредством вакуумного насоса по трубопроводу 15 поступает на затарку.
В рабочую камеру дополнительно подают водород через трубопровод 18.
Пример 1.
В расходный бункер 17, футерованный кварцевым стеклом, подается предварительно термообработанный при температуре 1100-1200°С α-кварц в виде зерна диаметром 0,1-5,0 мм, смешанный с раствором кислот HCl и HF, взятых в соотношении 80% HCl и 20% HF, в объеме 10% от массы α-кварца. Смесь (шихта) 3 α-кварца и раствор кислот перемещается вертикально вниз через рабочую зону тигля 2, нагретого до температуры 1470°С. При этой температуре происходит процесс перекристаллизации α-кварца в кристобалит, сопровождающийся разрушением кристаллической решетки α-кварца и резким увеличением активной поверхности зерна, которая вступает в контакт с активными газами Cl и F. Последние в результате взаимодействия с примесями переводят их в газообразное состояние и удаляются из зоны возможной конденсации с температурой 1200°С через кварцевые трубки 5 и общий коллектор 14 в скруббер (ванну) 6. Готовый продукт - кристобалит 7 - при движении из зоны кристобализации охлаждается и попадает в приемный бункер 16, из которого вакуумным насосом 8 поступает на затарку.
Пример 2.
В расходный бункер (17), футерованный кварцевым стеклом, подается предварительно термообработанный при температуре 1100-1200°С α-кварц в виде зерна диаметром 0,1-5,0 мм, смешанный с раствором кислот HCl и HF, взятых в соотношении 90% HCl и 10 HF в объеме 10% от массы α-кварца. Смесь (шихта) 3 α-кварца и раствор кислот перемещается вертикально вниз через рабочую зону тигля 2, нагретого до температуры 1550°С. При этой температуре происходит процесс перекристаллизации α-кварца в кристобалит, сопровождающийся разрушением кристаллической решетки α-кварца и резким увеличением активной поверхности зерна, которая вступает в контакт с активными газами Cl и F. Последние в результате взаимодействия с примесями переводят их в газообразное состояние и удаляются из зоны возможной конденсации с температурой не выше 1200°С через кварцевые трубки 5 и общий коллектор 14 в скруббер (ванну) 6. Готовый продукт - кристобалит 7 - при движении из зоны кристобализации охлаждается и попадает в приемный бункер 16, из которого вакуумным насосом 8 поступает на затарку.
Полученный готовый продукт кристобалит обладает высокой чистотой, которая связана с тем, что внутренняя поверхность тигля футерована кварцевой керамикой. Кроме того, высокая чистота кристобалита, стабильность и надежность процесса его получения обеспечивается за счет удаления газовых продуктов и газово-жидких включений, образуемых в процессе перекристаллизации не в холодной зоне, а в зоне температур выше 1200°С.
В таблице 1, 2 приведены характеристики полученного продукта. Показатели таблицы 2 характеризуют межплоскостное расстояние в Å для наиболее сильных линий рентгенограмм d и I - их относительных интенсивностей по стабильной шкале.
Таблица 1
Показатели преломления Nβ Np
кварц 1,553 1,544
кристобалит 1,487 1,484
Таблица 2
α-кварц d 1,372 1,198 1,182 1,080 3,34 1,813 1,539 1,380
I 90 80 80 80 100 90 90 80
кристобалит d 4,03 3,13 2,834 2,481 1,924 1,867
I 100 60 70 80 60 60
Спектральные характеристики, приведенные в таблице 2, указывают на получение 100% кристобалита в разработанном устройстве.

Claims (6)

1. Установка для непрерывного получения кристобалита, включающая рабочую камеру и систему нагревателей, отличающаяся тем, что внутри рабочей камеры вертикально расположен тигель, выполненный в виде усеченного конуса, внутри рабочей камеры расположены нагреватели, выполненные в виде стержней из вольфрама, внутри тигля установлены вертикальные трубки для удаления газовых продуктов и газово-жидких включений, которые объединены общим коллектором, выход которого установлен в скруббере, заполненном раствором солей, в верхней части рабочей камеры расположен бункер для загрузки шихты, а нижняя часть тигля соединена с приемным бункером готового продукта.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что тигель выполнен в виде усеченного конуса, при этом соотношение верхнего и нижнего диаметров составляет 2,0:0,3, а диаметр верхней части не превышает 250 мм.
3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что футеровка тигля выполнена из кварцевой керамики, а внешняя часть тигля - из металла, например из молибдена, при этом общая длина кварцевой вставки превышает длину металлической, например молибденовой наружной оболочки, не менее чем на 300 мм.
4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что трубки для отвода газожидкостных включений, расположенные внутри тигля, выполнены из кварцевого стекла.
5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что футеровка рабочей камеры выполнена из кварцевой керамики.
6. Установка по п.1, отличающаяся тем, что тигель снабжен приемным бункером, который футерован кварцевым стеклом или керамикой, и снабжена вакуумным насосом для транспортировки кристобалита, футерованным кварцевым стеклом.
RU2006101946/15A 2006-01-25 2006-01-25 Установка для непрерывного получения кристобалита RU2308416C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006101946/15A RU2308416C1 (ru) 2006-01-25 2006-01-25 Установка для непрерывного получения кристобалита

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006101946/15A RU2308416C1 (ru) 2006-01-25 2006-01-25 Установка для непрерывного получения кристобалита

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006101946A RU2006101946A (ru) 2007-08-10
RU2308416C1 true RU2308416C1 (ru) 2007-10-20

Family

ID=38510575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006101946/15A RU2308416C1 (ru) 2006-01-25 2006-01-25 Установка для непрерывного получения кристобалита

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2308416C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2006101946A (ru) 2007-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI622556B (zh) Fluidized bed reactor and method for preparing high-purity granular polycrystalline silicon therewith
US5478396A (en) Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications
TWI521566B (zh) 在流體化床反應器中藉由二氯矽烷之熱分解製備多晶矽
TWI397617B (zh) Metal silicon purification device
CN102713001A (zh) 流化床反应器
JPS60500172A (ja) 弗化珪素酸から珪素を得る方法および装置
JP2000511154A (ja) 発熱反応を利用したポリシリコンの調製方法
CA1310472C (en) Process for the production of ultra high purity polycrystalline silicon
JPH11510560A (ja) 流動床反応炉におけるシリコン沈積方法及び装置
FR2617832A1 (fr) Four de spherulisation et procede de fabrication de perles de verre
US5382419A (en) Production of high-purity polycrystalline silicon rod for semiconductor applications
US20060086310A1 (en) Production of high grade silicon, reactor, particle recapture tower and use of the aforementioned
RU2308416C1 (ru) Установка для непрерывного получения кристобалита
CN106957061A (zh) 一种低光气含量的三氯化硼生产装置及方法
CN107098351A (zh) 一种卧式石英砂高温气化提纯装置
KR100966755B1 (ko) 금속실리콘의 정제방법 및 그 정제장치
KR20140018460A (ko) 입자형 다결정실리콘 제조장치
JP4014451B2 (ja) 四フッ化珪素の製造法
CN202131105U (zh) 多晶硅还原炉电极棒分布结构
KR101675947B1 (ko) 고순도 황산 제조 장치
KR101983748B1 (ko) 고순도 석영유리 분말 제조장치
JPH08169797A (ja) 多結晶シリコン棒の製造方法及び製造装置
CN103449442A (zh) 一种流化床多晶硅颗粒的制备***及利用该***制备多晶硅的工艺
CN104058407B (zh) 纯化四氯化硅的***
JP2528367B2 (ja) 多結晶シリコンの加熱装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110126