RU2304762C1 - Method and device for measuring pressure - Google Patents
Method and device for measuring pressure Download PDFInfo
- Publication number
- RU2304762C1 RU2304762C1 RU2006110266/28A RU2006110266A RU2304762C1 RU 2304762 C1 RU2304762 C1 RU 2304762C1 RU 2006110266/28 A RU2006110266/28 A RU 2006110266/28A RU 2006110266 A RU2006110266 A RU 2006110266A RU 2304762 C1 RU2304762 C1 RU 2304762C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- bridge
- pressure
- analog
- outputs
- digital converter
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных сред.The invention relates to measuring technique and can be used to measure the pressure of liquid and gaseous media.
Известен способ измерения давления, заключающийся в размещении сенсора давления на основе тензорезистивного моста в исследуемую среду, регистрации выходного сигнала моста и определении по этому сигналу давления среды (см. «Интегральные микросхемы: Микросхемы для аналого-цифрового преобразования и средств мультимедиа». Выпуск 1-М, ДОДЭКА, 1996 г., - с.278-280). Устройство, применяемое фирмой ANALOG DEVICE, состоит из источника напряжения, тензорезистивного моста, "сигма-дельта" АЦП и микроконтроллера. Недостатком данного способа и устройства является отсутствие коррекции дополнительной температурной погрешности измерения давления, вызываемой изменением параметров тензорезистивного моста от изменения его температуры.There is a method of measuring pressure, which consists in placing a pressure sensor based on a strain gauge bridge in the test medium, registering the output signal of the bridge and determining the medium pressure from this signal (see "Integrated circuits: Microcircuits for analog-to-digital conversion and multimedia". Issue 1- M, DODEKA, 1996, - p. 278-280). The device used by ANALOG DEVICE consists of a voltage source, a strain gauge bridge, a sigma-delta ADC and a microcontroller. The disadvantage of this method and device is the lack of correction of the additional temperature error of pressure measurement caused by a change in the parameters of the strain gauge bridge from a change in its temperature.
Известно устройство для измерения давления (патент РФ №2196970, МПК 7 G01L 9/04, заявл. 21.02.2001, опубл. 20.01.2003). Способ измерения давления заключается в размещении сенсора давления на основе тензорезистивного моста и датчика температуры в исследуемую среду, корректировке выходного сигнала моста, регистрации откорректированного сигнала моста и выходного сигнала датчика температуры, определении по этим сигналам давления среды. Устройство состоит из источника напряжения, тензорезистивного моста, датчика температуры тензорезистивного моста, температурного корректора, АЦП, микропроцессора и постоянного запоминающего устройства. Недостатком данного способа и устройства является наличие дополнительной операции корректировки выходного сигнала моста и соответствующего устройства (температурного корректора), что приводит к дополнительной погрешности измерения давления и излишнему усложнению устройства.A device for measuring pressure is known (RF patent No. 2196970, IPC 7 G01L 9/04, claimed. 02.21.2001, published. 01.20.2003). The method of measuring pressure consists in placing a pressure sensor based on a strain gauge bridge and a temperature sensor in the test medium, adjusting the bridge output signal, registering the corrected bridge signal and the temperature sensor output signal, and determining the pressure of the medium from these signals. The device consists of a voltage source, a strain gauge bridge, a temperature gauge of a strain gauge bridge, a temperature corrector, an ADC, a microprocessor, and read-only memory. The disadvantage of this method and device is the additional operation of adjusting the output signal of the bridge and the corresponding device (temperature corrector), which leads to an additional error in the measurement of pressure and unnecessarily complicated device.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу и устройству является преобразователь давления в электрический сигнал (свидетельство на полезную модель РФ №19324, МПК 7 G01L 9/04, заявл. 03.01.2001, опубл. 20.08.2001). Способ измерения давления заключается в размещении сенсора давления на основе тензорезистивного моста в исследуемую среду, регистрации выходного сигнала моста, формировании сигнала, на величину которого влияет изменение общего сопротивления тензорезистивного моста вследствие изменения его температуры, регистрации этого сигнала и определении по этим сигналам давления среды. Устройство состоит из источника напряжения, тензорезистивного моста, образцового резистора, двухканального АЦП, процессора и постоянного запоминающего устройства. Выходы измерительной диагонали тензорезистивного моста и выводы образцового резистора подключены к первым и вторым дифференциальным входам АЦП.The closest in technical essence to the claimed method and device is a pressure transducer into an electrical signal (certificate for a utility model of the Russian Federation No. 19324, IPC 7 G01L 9/04, declared. 03.01.2001, publ. 20.08.2001). The method of measuring pressure is to place a pressure sensor based on the strain gage bridge in the medium under study, register the output signal of the bridge, generate a signal whose value is affected by a change in the total resistance of the strain gage bridge due to a change in its temperature, registration of this signal, and determination of the medium pressure from these signals. The device consists of a voltage source, a strain gauge bridge, a model resistor, a two-channel ADC, a processor, and read-only memory. The outputs of the measuring diagonal of the strain gage bridge and the outputs of the reference resistor are connected to the first and second differential inputs of the ADC.
Недостатком данных способов и устройств является отсутствие текущей диагностики параметров тензорезистивного моста, которые ухудшаются от времени, что приводит к увеличению погрешности измерения давления. Данная диагностика особенно необходима для опасных технологических производств (например, для атомных станций), где выход из строя датчика в неподходящий момент может привести к большим финансовым затратам и угрозе безопасности производства. Наличие текущей диагностики погрешности измерения давления позволяет прогнозировать выход датчика из строя и своевременно его заменить.The disadvantage of these methods and devices is the lack of current diagnostics of the parameters of the strain gauge bridge, which worsen with time, which leads to an increase in the error of pressure measurement. This diagnosis is especially necessary for hazardous technological industries (for example, for nuclear plants), where failure of the sensor at the wrong time can lead to large financial costs and a threat to production safety. The presence of current diagnostics of the error of pressure measurement allows us to predict the failure of the sensor and replace it in a timely manner.
Целью предлагаемого изобретения является расширение функциональных возможностей за счет введения дополнительной функции текущей диагностики погрешности измерения давления среды.The aim of the invention is to expand the functionality by introducing an additional function of the current diagnosis of the error in measuring the pressure of the medium.
Поставленная цель достигается тем, что в способе измерения давления, заключающемся в размещении сенсора давления на основе тензорезистивного моста в исследуемую среду, регистрации выходного сигнала моста, регистрации сигнала, соответствующего температуре тензорезистивного моста, определении по этим сигналам давления среды, согласно изобретению размещают на сенсоре давления датчик температуры тензорезистивного моста, формируют сигнал, соответствующий общему сопротивлению тензорезистивного моста, по этому сигналу и выходным сигналам моста и датчика температуры определяют функцию диагностики, по отклонению которой от номинального значения судят о погрешности измерения давления.This goal is achieved by the fact that in the method of measuring pressure, which consists in placing a pressure sensor based on a strain gauge bridge in the test medium, registering the output signal of the bridge, registering a signal corresponding to the temperature of the strain gauge bridge, determining the pressure of the medium from these signals, according to the invention, is placed on the pressure sensor temperature sensor of the strain gage bridge, form a signal corresponding to the total resistance of the strain gage bridge, this signal and the output signal m bridge and a temperature sensor determine the diagnostic function of the deviation from the nominal value which is judged on the pressure measurement error.
В устройство для измерения давления, содержащее источник напряжения, тензорезистивный мост, образцовый резистор, двухканальный аналого-цифровой преобразователь (АЦП), микроконтроллер, тензорезистивный мост, последовательно через образцовый резистор подключенный к источнику напряжения, при этом выходы измерительной диагонали тензорезистивного моста подключены к первым дифференциальным входам АЦП, выводы цифрового интерфейса АЦП подключены к первым выводам микроконтроллера, согласно изобретению введен датчик температуры тензорезистивного моста, выводы датчика температуры соединены со вторыми выводами микроконтроллера, выводы питания тензорезистивного моста дополнительно подключены ко вторым дифференциальным входам АЦП, выводы образцового резистора дополнительно подключены к дифференциальным входам опорного напряжения АЦП.To a pressure measuring device comprising a voltage source, a strain gauge bridge, a model resistor, a two-channel analog-to-digital converter (ADC), a microcontroller, a strain gauge bridge connected in series through a model resistor to the voltage source, while the outputs of the measuring diagonal of the strain gauge bridge are connected to the first differential ADC inputs, ADC digital interface outputs are connected to the first outputs of the microcontroller, according to the invention, a strain gauge temperature sensor is introduced tive bridge, a temperature sensor leads are connected to second terminals of microcontroller tensoresistive bridge power terminals further connected to the second differential inputs of the ADC, the findings further exemplary resistor connected to the differential inputs of the ADC reference voltage.
Введение в способ измерения давления операций измерения общего сопротивления тензорезистивного моста и вычисления функции диагностики, как функции только от изменения общего сопротивления тензорезистивного моста от времени и не зависящей от влияния на общее сопротивление тензорезистивного моста его температуры и измеряемого давления, позволяет диагностировать по отклонению функции диагностики от номинального значения изменение погрешности измерения давления и производить своевременную замену данного датчика давления.Introduction to the method of measuring pressure of operations for measuring the total resistance of the strain gage bridge and calculating the diagnostic function, as a function of only the change in the total resistance of the strain gage bridge as a function of time and not depending on the influence on the total resistance of the strain gage bridge of its temperature and measured pressure, allows diagnosing the deviation of the diagnostic function from nominal value, change the measurement error of pressure and make timely replacement of this pressure sensor.
Заявляемое изобретение обладает новизной в сравнении с прототипом, отличаясь от него наличием таких существенных признаков, как введение в способ измерения давления дополнительных операций измерения общего сопротивления тензорезистивного моста, измерения его температуры, вычисления функции диагностики. В устройство для осуществления способа дополнительно введен датчик температуры и изменены связи между элементами.The claimed invention has a novelty in comparison with the prototype, differing from it by the presence of such essential features as the introduction to the method of measuring pressure of additional operations of measuring the total resistance of the strain gauge bridge, measuring its temperature, calculating the diagnostic function. In the device for implementing the method, a temperature sensor is additionally introduced and the connections between the elements are changed.
Заявителю не известны технические решения, обладающие указанными отличительными признаками, обеспечивающими получение заданного результата, поэтому он считает, что заявляемое техническое решение соответствует критерию "изобретательский уровень".The applicant is not aware of technical solutions that have the indicated distinguishing features that provide the desired result, so he believes that the claimed technical solution meets the criterion of "inventive step".
Заявляемый способ измерения давления и устройство для его осуществления может найти широкое применение в измерительной технике и поэтому соответствует критерию "промышленная применимость".The inventive method of measuring pressure and a device for its implementation can be widely used in measuring equipment and therefore meets the criterion of "industrial applicability".
Изобретение иллюстрируется функциональной схемой устройства, представленной на чертеже.The invention is illustrated by a functional diagram of the device shown in the drawing.
Устройство состоит из источника напряжения 1, выходы которого подключены к последовательно соединенным тензорезистивному мосту 2 и образцовому резистору 3. Выходы измерительной диагонали моста соединены с первыми дифференциальными входами АЦП 4, вторые дифференциальные входы которого соединены с входами питания моста 2. Выводы резистора 3 соединены с дифференциальными входами опорного напряжения АЦП 4. Выводы цифрового интерфейса АЦП 4 соединены с первыми выводами микроконтроллера 5, вторые выводы которого соединены с выводами датчика температуры 6 тензорезистивного моста 2.The device consists of a voltage source 1, the outputs of which are connected to a series-connected strain gauge bridge 2 and an exemplary resistor 3. The outputs of the measuring diagonal of the bridge are connected to the first differential inputs of the ADC 4, the second differential inputs of which are connected to the power inputs of the bridge 2. The outputs of the resistor 3 are connected to differential ADC reference voltage inputs 4. The ADC 4 digital interface outputs are connected to the first outputs of the microcontroller 5, the second outputs of which are connected to the terminals of the t temperature 6 of the strain gauge bridge 2.
Изобретение осуществляют следующим образом.The invention is as follows.
Измеряемое давление воздействует на тензорезистивный мост 2, изменяя сопротивление тензорезисторов. Регистрация выходного сигнала тензорезистивного моста заключается в преобразовании изменяющейся части сопротивления тенорезисторов в код и запоминании этого кода в микроконтроллере 5.The measured pressure acts on the strain gauge bridge 2, changing the resistance of the strain gauges. Registration of the output signal of the strain gage bridge is to convert the changing part of the resistance of the resistance resistors into a code and storing this code in the microcontroller 5.
Напряжение U1 разбаланса моста 2, пропорциональное измеряемому давлению, преобразуют с помощью АЦП 4 в код Nr. Работа АЦП 4 описывается следующей формулой:The voltage U1 of the unbalance of the bridge 2, proportional to the measured pressure, is converted using the ADC 4 into the code Nr. The operation of the ADC 4 is described by the following formula:
где n - разрядность АЦП 4;where n is the resolution of the ADC 4;
Uref - опорное напряжение, подающееся на соответствующие входы АЦП 4.Uref - reference voltage applied to the corresponding inputs of the ADC 4.
Так как U1 можно выразить из следующей формулы:Since U1 can be expressed from the following formula:
где i - ток, протекающий по последовательной цепи: тензорезистивный мост 2 и резистор 3;where i is the current flowing through the serial circuit: the strain gauge bridge 2 and the resistor 3;
Δr - обобщенный разбаланс сопротивлений моста 2,Δr is the generalized imbalance of resistances of the bridge 2,
а Uref - из формулыand Uref from the formula
где R0 - сопротивление образцового резистора 3,where R0 is the resistance of the reference resistor 3,
то выходной код АЦП 4 будет равенthen the ADC 4 output code will be
Полученный в результате преобразования код Nr передают в микроконтроллер 5.The resulting code Nr is transmitted to the microcontroller 5.
Формирование сигнала, соответствующего общему сопротивлению тензорезистивного моста, заключается в преобразовании этого сопротивления в код с помощью второго канала АЦП 4 и запоминании этого кода в микроконтроллере 5.The formation of the signal corresponding to the total resistance of the strain gauge bridge is to convert this resistance into a code using the second channel of the ADC 4 and storing this code in the microcontroller 5.
Выходной код NR АЦП, полученный от преобразования общего сопротивления Rm моста 2, будет аналогично описываться формулойThe output code NR of the ADC obtained from the conversion of the total resistance Rm of the bridge 2 will be similarly described by the formula
Полученный в результате преобразования код NR передают в микроконтроллер 5.The resulting NR code is transmitted to the microcontroller 5.
Определение давления среды производят путем вычисления микроконтроллером 5 давления Np, например, по формулеThe determination of the medium pressure is carried out by calculating the pressure Np by the microcontroller 5, for example, by the formula
где а0...а9 - коэффициенты полинома, характеризующие индивидуальные параметры датчика;where a0 ... a9 are the polynomial coefficients characterizing the individual parameters of the sensor;
Nt - код температуры тензорезистивного моста 2, полученный с помощью датчика температуры 6.Nt is the temperature code of the strain gauge bridge 2 obtained using temperature sensor 6.
Коэффициенты полинома рассчитываются на предприятии-изготовителе следующим образом.The polynomial coefficients are calculated at the manufacturing plant as follows.
Устройство помещается в термокамеру, где устанавливается максимальная температура t1, при которой устройство должно работать. Давление создается с помощью высокоточного задатчика давления, на котором по очереди выставляются три значения (минимальное р1, среднее р2 и максимальное р3 диапазона изменения измеряемого давления). При этом выходные коды Nr1 и NR1, Nr2 и NR2, Nr3 и NR3 и Nt1 регистрируются. В термокамере устанавливается температура нормальных условий t2. С помощью задатчика давления задают по очереди четыре значения (минимальное р4, два средних р5 и р6 и максимальное р7 диапазона изменения измеряемого давления). При этом выходные коды Nr4 и NR4, Nr5 и NR5, Nr6 и NR6, Nr7 и NR7 и Nt2 регистрируются.The device is placed in a heat chamber, where the maximum temperature t1 is set at which the device should work. The pressure is created using a high-precision pressure regulator, on which three values are set in turn (minimum p1, average p2 and maximum p3 of the range of variation of the measured pressure). In this case, the output codes Nr1 and NR1, Nr2 and NR2, Nr3 and NR3 and Nt1 are recorded. The temperature chamber sets the temperature of normal conditions t2. Using the pressure adjuster, four values are set in turn (minimum p4, two middle p5 and p6 and maximum p7 of the measured pressure range). In this case, the output codes Nr4 and NR4, Nr5 and NR5, Nr6 and NR6, Nr7 and NR7 and Nt2 are recorded.
В термокамере устанавливается минимальная температура t3, при которой устройство должно работать. С помощью задатчика давления задают по очереди три значения (минимальное р8, среднее р9 и максимальное р10 диапазона изменения измеряемого давления). При этом выходные коды Nr8 и NR8, Nr9 и NR9, N10 и NR10 и Nt3 регистрируются. Коэффициенты полинома а0...а9 находятся из решения системы уравнений:The temperature chamber sets the minimum temperature t3 at which the device should work. Using the pressure adjuster, three values are set in turn (minimum p8, average p9 and maximum p10 of the range of variation of the measured pressure). In this case, the output codes Nr8 and NR8, Nr9 and NR9, N10 and NR10 and Nt3 are recorded. The coefficients of the polynomial a0 ... a9 are found from the solution of the system of equations:
Рассчитанные коэффициенты а0...а9 записываются в память данных микроконтроллера 5.The calculated coefficients a0 ... a9 are recorded in the data memory of the microcontroller 5.
Функцию диагностики F вычисляют в микроконтроллере 5, например, по следующей формулеThe diagnostic function F is calculated in the microcontroller 5, for example, according to the following formula
Коэффициенты полинома k0...k9 находятся из решения системы уравнений:The coefficients of the polynomial k0 ... k9 are found from the solution of the system of equations:
где Fn - номинальное значение функции диагностики. Рассчитанные коэффициенты k0...k9 записываются в память данных микроконтроллера 5.where Fn is the nominal value of the diagnostic function. The calculated coefficients k0 ... k9 are recorded in the data memory of the microcontroller 5.
На функцию диагностики F влияет только изменение общего сопротивления тензорезистивного моста от времени и не влияет изменение температуры моста и измеряемого давления. Отклонение функции диагностики от номинального значения показывает происходящие изменения в характеристике тензорезистивного моста от времени и по величине отклонения можно судить об изменении погрешности измерения давления.The diagnostic function F is affected only by a change in the total resistance of the strain gauge bridge over time and is not affected by a change in the temperature of the bridge and the measured pressure. The deviation of the diagnostic function from the nominal value shows the ongoing changes in the characteristic of the strain gage bridge from time to time and the deviation can be used to judge the change in the error of pressure measurement.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006110266/28A RU2304762C1 (en) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Method and device for measuring pressure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006110266/28A RU2304762C1 (en) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Method and device for measuring pressure |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2304762C1 true RU2304762C1 (en) | 2007-08-20 |
Family
ID=38511990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006110266/28A RU2304762C1 (en) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | Method and device for measuring pressure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2304762C1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2526586C2 (en) * | 2012-10-24 | 2014-08-27 | Антон Александрович Синицын | Controlled medium pressure measurement |
| RU2544886C1 (en) * | 2013-08-26 | 2015-03-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ВИП" | Method of pressure measurement |
| RU2585486C1 (en) * | 2015-04-07 | 2016-05-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (МИЭТ) | Method of measuring pressure and calibration based on tensobridge integrated pressure transducer |
| RU2614197C2 (en) * | 2015-06-15 | 2017-03-23 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Method of static pressure determining in high-pressure uncalibrated chamber |
| RU194642U1 (en) * | 2019-08-02 | 2019-12-18 | Акционерное общество "Научно-внедренческий центр "Вагоны" (АО "НВЦ "Вагоны") | MULTI-CHANNEL DIGITAL TENSOR RESISTANCE SENSOR |
| RU2745106C1 (en) * | 2020-08-06 | 2021-03-19 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южно-Уральский государственный университет (национальный исследовательский университет)" ФГАОУ ВО "ЮУрГУ (НИУ)" | Method and a device for measuring pressure with correction of the dynamic measurement error |
| CN113624397A (en) * | 2021-08-16 | 2021-11-09 | 苏州司南传感科技有限公司 | Silicon piezoresistive pressure sensor calibration compensation method |
| CN114864124A (en) * | 2022-03-24 | 2022-08-05 | 中国核动力研究设计院 | Measurement system, method and medium for nuclear safety level pressure transmitter identification test |
-
2006
- 2006-03-30 RU RU2006110266/28A patent/RU2304762C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2526586C2 (en) * | 2012-10-24 | 2014-08-27 | Антон Александрович Синицын | Controlled medium pressure measurement |
| RU2544886C1 (en) * | 2013-08-26 | 2015-03-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ВИП" | Method of pressure measurement |
| RU2585486C1 (en) * | 2015-04-07 | 2016-05-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (МИЭТ) | Method of measuring pressure and calibration based on tensobridge integrated pressure transducer |
| RU2614197C2 (en) * | 2015-06-15 | 2017-03-23 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" | Method of static pressure determining in high-pressure uncalibrated chamber |
| RU194642U1 (en) * | 2019-08-02 | 2019-12-18 | Акционерное общество "Научно-внедренческий центр "Вагоны" (АО "НВЦ "Вагоны") | MULTI-CHANNEL DIGITAL TENSOR RESISTANCE SENSOR |
| RU2745106C1 (en) * | 2020-08-06 | 2021-03-19 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южно-Уральский государственный университет (национальный исследовательский университет)" ФГАОУ ВО "ЮУрГУ (НИУ)" | Method and a device for measuring pressure with correction of the dynamic measurement error |
| CN113624397A (en) * | 2021-08-16 | 2021-11-09 | 苏州司南传感科技有限公司 | Silicon piezoresistive pressure sensor calibration compensation method |
| CN114864124A (en) * | 2022-03-24 | 2022-08-05 | 中国核动力研究设计院 | Measurement system, method and medium for nuclear safety level pressure transmitter identification test |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2304762C1 (en) | Method and device for measuring pressure | |
| JP3583787B2 (en) | Method for calibrating a differential pressure fluid flow measurement system | |
| US20130218502A1 (en) | Temperature compensated pressure transducer | |
| TWI261270B (en) | Transformer monitoring system | |
| US5648605A (en) | Flowmeter calibration method | |
| KR20050116394A (en) | Flow sensor signal conversion | |
| WO2007087199A2 (en) | Measuring apparatuses and methods of using them | |
| FR2640381A1 (en) | CALIBRATION METHOD FOR MEASURING THE RELATIVE CONCENTRATION OF GAS OR STEAM AND SOUNDABLE SENSOR FOR PERFORMING THIS MEASURE | |
| EP2887057A1 (en) | Device and method of humidity compensated gas concentration monitoring by thermal conductivity measurements | |
| US10436659B2 (en) | Pressure sensor device and method for testing the pressure sensor device | |
| JP6476111B2 (en) | Process control loop current verification | |
| US8930157B2 (en) | Temperature compensated digital pressure transducer | |
| RU2349886C1 (en) | Pressure measurement method and device | |
| US20100011835A1 (en) | Error-correction method and error-correction device for an acceleration sensor | |
| KR20090011396A (en) | Calibration method for current-driven sensor and the apparatus thereof | |
| RU2418275C1 (en) | Method of measuring pressure | |
| CN111637983A (en) | Detection system and method of resistance type temperature sensor | |
| CN116208152A (en) | High-precision analog quantity acquisition device and method | |
| JP2006279839A (en) | A/d-converting device, and sensor device with a/d-converting device | |
| TW201241463A (en) | Calibration method and device | |
| RU2515079C2 (en) | Method to measure pressure and intelligent pressure sensor on its basis | |
| RU2745106C1 (en) | Method and a device for measuring pressure with correction of the dynamic measurement error | |
| RU2303247C1 (en) | Mode and an arrangement for measuring of temperature | |
| JPH11118617A (en) | Temperature controller | |
| KR100439160B1 (en) | Pressure calibration system and method through deadweight tester |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080331 |