RU2273847C2 - Способ измерения общей концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов - Google Patents
Способ измерения общей концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2273847C2 RU2273847C2 RU2003135635/28A RU2003135635A RU2273847C2 RU 2273847 C2 RU2273847 C2 RU 2273847C2 RU 2003135635/28 A RU2003135635/28 A RU 2003135635/28A RU 2003135635 A RU2003135635 A RU 2003135635A RU 2273847 C2 RU2273847 C2 RU 2273847C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hydrocarbons
- oxygen
- carbon monoxide
- concentration
- carbon
- Prior art date
Links
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 title claims abstract description 28
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 title claims abstract description 28
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 title claims abstract 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title abstract 4
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 title abstract 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 title description 11
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 21
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 238000001871 ion mobility spectroscopy Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 4
- HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N oxopalladium Chemical group [Pd]=O HBEQXAKJSGXAIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910003445 palladium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical class O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 abstract 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000012429 reaction media Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
- G01N27/622—Ion mobility spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
- G01N31/005—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods investigating the presence of an element by oxidation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/004—CO or CO2
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0047—Organic compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
- Y10T436/24—Nuclear magnetic resonance, electron spin resonance or other spin effects or mass spectrometry
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области количественного анализа содержащихся в кислороде примесей - окислов углерода и углеводородов. Технический результат изобретения: повышение точности. Сущность: способ включает следующие операции - превращение окиси углерода и углеводородов, присутствующих в потоке кислорода, в двуокись углерода; измерение концентрации двуокиси углерода в кислороде после превращения; и определение по результатам измерения в соответствии с предыдущей операцией общей исходной концентрации окиси углерода и углеводородов. 6 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Данное изобретение относится к способу измерения общей концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов.
Кислород широко применяется в качестве химически активного газа в производстве интегральных схем для того, чтобы создавать оксидные слои, которые, в основном, действуют как электрическая изоляция между различными активными частями схемы. Как известно, при производстве таких устройств чистота всех применяемых материалов имеет особую важность; фактически, примеси, которые могут присутствовать в реагентах или реакционной среде, могут попадать в твердые устройства, таким образом, изменяя их электрические характеристики и увеличивая отходы производства. Характеристики чистоты газов, применяемых в производственных процессах, могут меняться в зависимости от производителя и конкретного процесса, в котором применяется газ. Обычно газ считается приемлемым для производственных целей, если содержание в нем примесей не превышает 10 ч/млн (частей на миллион, а именно молекула примеси на 109 молекул газа); предпочтительно содержание примесей должно быть ниже 1 ч/млн. Таким образом, возможность точно и воспроизводимо измерять очень низкие концентрации примесей в газах становится очень важной.
Методикой, которая может применяться для данной цели, является спектрометрия подвижности ионов, известная в данной области техники под аббревиатурой СПИ; та же аббревиатура применяется для обозначения прибора, с помощью которого осуществляется данная методика, означая в этом случае «спектрометр для определения подвижности ионов». Интерес к данной методике обусловлен ее крайне высокой чувствительностью, а также ограниченным размером и стоимостью прибора; при работе в подходящих условиях возможно определение типов, в газовой или паровой фазе, в газовой среде, в количествах порядка пикограммов (пг, 10-12 г) или в концентрациях порядка частей на триллион (ч/тлн, эквивалентно одной молекуле анализируемого вещества на 1012 молекул газа). СПИ-приборы и методы анализа, с которыми они работают, описаны, например, в патентах США 5457316 и 5955886, переуступленных американской фирме PCP Inc.
Физико-химические основы методики очень сложные, как и интерпретация результатов анализа СПИ. Для объяснения этих основ и результатов можно обратиться к книге "Ion Mobility Spectrometry", авторы G.A. Eiceman и Z. Karpas, опубликованной в 1994 в CRC Press.
Коротко, СПИ-прибор в основном состоит из реакционной зоны, зоны разделения и коллектора заряженных частиц.
Внутри реакционной зоны происходит ионизация образцов, включающих анализируемые газы или пары в газе-носителе, обычно с помощью β-излучения, испускаемого 63Ni. Ионизация в основном происходит в газе-носителе с образованием так называемых «ионов-реагентов», заряд которых затем распределяется на присутствующие виды в зависимости от их сродства к электрону или протону или от их потенциалов ионизации.
Реакционная зона отделена от зоны разделения решеткой, которая при поддерживании подходящего потенциала предотвращает проникновение ионов, полученных в реакционной зоне, в зону разделения. Аналитический «нулевой момент» устанавливается в момент, когда потенциал решетки аннулируется, допуская ионы в зону разделения.
Зона разделения состоит из ряда электродов, которые создают такое электрическое поле, в котором ионы направляются от решетки к коллектору. В этой зоне, в которой поддерживается атмосферное давление, присутствует поток газа, имеющий направление, противоположное движению ионов. Противоточный газ (называемый в данной области техники «дрейфующий газ») представляет собой крайне чистый газ, который может либо соответствовать газу, в котором определяется наличие примесей, или быть другим газом. Скорость движения ионов зависит от электрического поля и сечения тех же ионов в газообразной среде, таким образом, что различным ионам требуется различное время пересечения зоны разделения и попадания в коллектор частиц. Время, прошедшее с «нулевого момента» до момента попадания в коллектор частиц, называется «время прохождения». Коллектор подсоединен к обрабатывающей сигналы системе, которая превращает текущие значения, полученные как функция от времени, в конечный график, в котором пики, соответствующие различным ионам, показаны как функция от «времени прохождения»; определив это время и зная условия тестирования, можно выявить присутствие веществ, которые являются объектом анализа, в то время как, исходя из площади пиков, можно рассчитать, применяя подходящие алгоритмы вычислений, концентрацию соответствующих молекул.
Наиболее часто СПИ-анализ проводят для молекул, имеющих положительный заряд. Наоборот, при анализе кислорода в реакционной зоне также образуются отрицательно заряженные молекулы. В таких условиях (отрицательный режим) СПИ-анализ может быть чувствительным только к тем видам, сродство к электрону у которых выше, чем у кислорода, и которые, следовательно, могут получить заряд от этого газа; обычно это происходит для двуокиси углерода, СО2. Поэтому анализ примесей в кислороде ограничен. Среди молекул, концентрация которых в кислороде может представлять интерес, могут быть названы, например, окись углерода, СО, и углеводороды, в частности метан, СН4.
Объектом данного изобретения является способ измерения общей концентрации СО и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов.
Согласно данному изобретению указанный объект представляет собой способ, включающий следующие операции:
а) превращение окиси углерода и углеводородов, присутствующих в потоке кислорода, в двуокись углерода;
b) измерение концентрации двуокиси углерода в кислороде после превращения в соответствии с пунктом а); и
с) определение по результатам измерения в соответствии с пунктом b) общей исходной концентрации окиси углерода и углеводородов.
Согласно второму варианту способ согласно изобретению применяется для кислорода, уже исходно содержащего двуокись углерода в качестве примеси (это условие должно быть установлено с помощью предварительного оценочного теста, проводимого для кислорода, не претерпевшего превращения СО и углеводородов). В этом случае при проведении СПИ-анализа получают значение концентрации, соответствующее сумме исходно присутствующего СО2 и СО2, полученного при превращении СО и углеводородов. В этом случае применяют вариант способа согласно изобретению, включающий следующие операции:
а) превращение окиси углерода и углеводородов, присутствующих в потоке кислорода, в двуокись углерода;
b) измерение концентрации двуокиси углерода в кислороде после превращения в соответствии с пунктом а);
b') измерение концентрации двуокиси углерода в потоке кислорода, не претерпевшем операцию превращения в соответствии с пунктом а);
с) определение по результатам сравнения концентраций двуокиси углерода в соответствии с пунктами b) и b') исходной концентрации окиси углерода и углеводородов.
Данное изобретение далее описывается с помощью единственного чертежа, на котором схематически показана система для практического осуществления способа согласно изобретению.
Согласно способу в соответствии с изобретением СО и углеводороды, которые являются молекулами, не определяемыми в кислороде при применении стандартного СПИ-анализа, количественно превращаются в двуокись углерода, СО2, которая в отличие от предыдущих является определяемым данным анализом видом молекул.
Способ согласно изобретению может быть осуществлен на практике с применением системы обработки газа, схематически изображенной на чертеже. Система 10 состоит из входного отверстия 11, в которое подается исследуемый газ; вдоль линии 11 установлена система 12, которая превращает СО и углеводороды в СО2; система 10 также включает в себя два трехпутевых распределителя, V1 и V2, расположенных выше и ниже системы 12, которые отделяют систему 12 от потока газа, направляя последний вдоль вторичной линии 11'. Ниже системы 12 или линии 11' находится СПИ-анализатор 13; он состоит из реакционной зоны 14, отделенной от зоны разделения 15 решеткой 16; в конце зоны 15, напротив зоны 14 расположен коллектор частиц 17 (детали, такие как входное и выходное отверстия для «дрейфующего газа», не показаны); коллектор имеет электрическое соединение с устройством 18, имеющим электронную секцию, которое превращает электрические импульсы, исходящие из коллектора 17, в числовые данные и расчетную секцию (например, микропроцессор) для обработки полученных данных; устройство 18 может быть физически интегрировано в единое целое с устройством СПИ; наконец, устройство 18 выдает в качестве результата анализа спектр 19, в котором записаны пики, соответствующие различным химическим видам, определенные как функция от времени их прохождения в приборе 13.
В первом варианте способа согласно изобретению весь поток кислорода, подаваемый в систему 10, посылают в систему 12 для превращения, переключая распределители V1 и V2 в соответствующие положения, осуществляют превращение СО и углеводородов, и обработанный газ посылают в СПИ-анализатор 13 для проведения анализа.
Во втором варианте способа согласно изобретению операцию b) проводят так же, как и в первом варианте, а операцию b') проводят, направляя поток кислорода, подаваемого в систему 10, в анализатор 13 через линию 11', отделяя его от системы 12 переключением распределителей V1 и V2 в соответствующее положение.
Система 12 для превращения СО и углеводородов СО2 содержит, по меньшей мере, катализатор окисления; непрерывному восстановлению такого соединения благоприятствует то, что СО и углеводороды присутствуют в виде следов в атмосфере, практически полностью состоящей из кислорода. Катализаторы, применяемые для данного превращения, представляют собой, например, оксиды некоторых благородных металлов, таких как рутений, родий, палладий и платина; предпочтительным является оксид палладия, PdO. Оптимальная рабочая температура PdO составляет от около 200 до около 350°С. Оксид палладия или даже готовые системы для превращения СО и углеводородов, содержащие это соединение, коммерчески доступны и продаются, например, заявителем, немецкой фирмой Degussa-Hüls AG и американской фирмой Engelhard Co.
Claims (7)
1. Способ измерения концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов, включающий следующие операции:
a) превращение окиси углерода и углеводородов, присутствующих в потоке кислорода, в двуокись углерода;
b) измерение концентрации двуокиси углерода в кислороде после превращения в соответствии с пунктом а) и
c) определение по результатам измерения в соответствии с пунктом b) общей исходной концентрации окиси углерода и углеводородов.
2. Способ по п.1, который дополнительно включает операцию b'), которая включает измерение концентрации двуокиси углерода в потоке кислорода, не претерпевшем операцию превращения в соответствии с пунктом а); и операцию с) проводят сравнением концентраций двуокиси углерода, измеренных в соответствии с операциями b) и b').
3. Способ по п.1, в котором операцию а) проводят с применением системы (10) для обработки газа, включающей входную линию (11) для исследуемого газа, систему (12) для превращения окиси углерода и углеводородов, СПИ-анализатор (13) и определяющее и обрабатывающее данные устройство (18), причем весь поток газа, поданный в указанную систему (10) обработки, направляют в систему (12) для превращения окиси углерода и углеводородов переключением в соответствующее положение двух трехпутевых распределителей (V1; V2), расположенных выше и ниже указанной системы (12) превращения.
4. Способ по п.2, в котором операцию b) проводят с применением системы (10) для обработки газа, включающей входную линию (11) для исследуемого газа, систему (12) для превращения окиси углерода и углеводородов, СПИ-анализатор (13) и определяющее и обрабатывающее данные устройство (18), причем весь поток газа, поданный в указанную систему (10) обработки, направляют в анализатор через вторичную линию (11), избегая прохождения через указанную систему (12) превращения окиси углерода и углеводородов, переключением в соответствующее положение двух трехпутевых распределителей (V1; V2), расположенных выше и ниже указанной системы (12) превращения.
5. Способ по любому из пп.3 и 4, где указанная система (12) превращения окиси углерода и углеводородов включает, по меньшей мере, один катализатор, применяемый для окисления углеводородов, выбранный из оксидов благородных металлов.
6. Способ по п.5, в котором указанным катализатором является оксид палладия.
7. Способ по п.6, в котором температуру оксида палладия во время проведения операции b) поддерживают в диапазоне 200-350°С.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITMI2001A000929 | 2001-05-07 | ||
| IT2001MI000929A ITMI20010929A1 (it) | 2001-05-07 | 2001-05-07 | Metodo per la misura della concentrazione complessiva in ossigena di monossido di carbonio e idrocarburi mediante spettroscopia di mobilita' |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003135635A RU2003135635A (ru) | 2005-03-20 |
| RU2273847C2 true RU2273847C2 (ru) | 2006-04-10 |
Family
ID=11447600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003135635/28A RU2273847C2 (ru) | 2001-05-07 | 2002-04-23 | Способ измерения общей концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6770873B2 (ru) |
| EP (1) | EP1386146B1 (ru) |
| JP (1) | JP2004520600A (ru) |
| KR (1) | KR100796840B1 (ru) |
| CN (1) | CN1462369A (ru) |
| AT (1) | ATE365315T1 (ru) |
| CA (1) | CA2429854A1 (ru) |
| DE (1) | DE60220781T2 (ru) |
| IL (2) | IL156149A0 (ru) |
| IT (1) | ITMI20010929A1 (ru) |
| MX (1) | MXPA03005234A (ru) |
| MY (1) | MY129323A (ru) |
| RU (1) | RU2273847C2 (ru) |
| TW (1) | TW569007B (ru) |
| WO (1) | WO2002090959A2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2474915C2 (ru) * | 2007-03-09 | 2013-02-10 | Смитс Детекшн-Уотфорд Лимитед | Спектрометры подвижности ионов |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100520360C (zh) * | 2006-07-19 | 2009-07-29 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 开放式天然气泄漏多路监测方法和光路结构 |
| US7709788B2 (en) * | 2007-12-31 | 2010-05-04 | Implant Sciences Corporation | Chemical calibration method and system |
| GB0813060D0 (en) * | 2008-07-16 | 2008-08-20 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| US11813926B2 (en) | 2020-08-20 | 2023-11-14 | Denso International America, Inc. | Binding agent and olfaction sensor |
| US11881093B2 (en) | 2020-08-20 | 2024-01-23 | Denso International America, Inc. | Systems and methods for identifying smoking in vehicles |
| US11636870B2 (en) | 2020-08-20 | 2023-04-25 | Denso International America, Inc. | Smoking cessation systems and methods |
| US11828210B2 (en) | 2020-08-20 | 2023-11-28 | Denso International America, Inc. | Diagnostic systems and methods of vehicles using olfaction |
| US12017506B2 (en) | 2020-08-20 | 2024-06-25 | Denso International America, Inc. | Passenger cabin air control systems and methods |
| US11932080B2 (en) | 2020-08-20 | 2024-03-19 | Denso International America, Inc. | Diagnostic and recirculation control systems and methods |
| US11760169B2 (en) | 2020-08-20 | 2023-09-19 | Denso International America, Inc. | Particulate control systems and methods for olfaction sensors |
| US11760170B2 (en) | 2020-08-20 | 2023-09-19 | Denso International America, Inc. | Olfaction sensor preservation systems and methods |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3457613A (en) * | 1967-11-29 | 1969-07-29 | Charles A Mcclure | Strand treatment |
| US3787333A (en) * | 1971-11-16 | 1974-01-22 | Nippon Shokubai Kogyo Co Ltd | Method for the production of an automotive exhaust gas catalyst |
| US4777363A (en) | 1986-08-29 | 1988-10-11 | Research Corporation Technologies, Inc. | Ion mobility spectrometer |
| JPH03296659A (ja) * | 1990-04-17 | 1991-12-27 | Osaka Oxygen Ind Ltd | ガス中の一酸化炭素の分析方法 |
| US5457316A (en) * | 1994-12-23 | 1995-10-10 | Pcp, Inc. | Method and apparatus for the detection and identification of trace gases |
| US5955886A (en) * | 1997-07-10 | 1999-09-21 | Pcp, Inc. | Microliter-sized ionization device and method |
| IL125595A (en) * | 1997-08-14 | 2001-08-26 | Praxair Technology Inc | Ultra high purity gas analysis using atmospheric pressure ionization mass spectrometry |
-
2001
- 2001-05-07 IT IT2001MI000929A patent/ITMI20010929A1/it unknown
-
2002
- 2002-04-12 TW TW091107488A patent/TW569007B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-04-23 DE DE60220781T patent/DE60220781T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-23 RU RU2003135635/28A patent/RU2273847C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2002-04-23 EP EP02733212A patent/EP1386146B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-23 CN CN02801564A patent/CN1462369A/zh active Pending
- 2002-04-23 JP JP2002588170A patent/JP2004520600A/ja active Pending
- 2002-04-23 IL IL15614902A patent/IL156149A0/xx not_active IP Right Cessation
- 2002-04-23 WO PCT/IT2002/000261 patent/WO2002090959A2/en active IP Right Grant
- 2002-04-23 CA CA002429854A patent/CA2429854A1/en not_active Abandoned
- 2002-04-23 KR KR1020037000177A patent/KR100796840B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-04-23 AT AT02733212T patent/ATE365315T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-04-23 MX MXPA03005234A patent/MXPA03005234A/es active IP Right Grant
- 2002-05-03 MY MYPI20021616A patent/MY129323A/en unknown
-
2003
- 2003-05-27 IL IL156149A patent/IL156149A/en unknown
- 2003-06-05 US US10/454,878 patent/US6770873B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2474915C2 (ru) * | 2007-03-09 | 2013-02-10 | Смитс Детекшн-Уотфорд Лимитед | Спектрометры подвижности ионов |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY129323A (en) | 2007-03-30 |
| TW569007B (en) | 2004-01-01 |
| WO2002090959A8 (en) | 2003-04-10 |
| DE60220781T2 (de) | 2008-03-06 |
| WO2002090959A3 (en) | 2003-01-30 |
| DE60220781D1 (de) | 2007-08-02 |
| JP2004520600A (ja) | 2004-07-08 |
| ATE365315T1 (de) | 2007-07-15 |
| US6770873B2 (en) | 2004-08-03 |
| MXPA03005234A (es) | 2003-10-06 |
| RU2003135635A (ru) | 2005-03-20 |
| CA2429854A1 (en) | 2002-11-14 |
| CN1462369A (zh) | 2003-12-17 |
| IL156149A (en) | 2006-07-05 |
| ITMI20010929A0 (it) | 2001-05-07 |
| KR20030022849A (ko) | 2003-03-17 |
| EP1386146A2 (en) | 2004-02-04 |
| ITMI20010929A1 (it) | 2002-11-07 |
| WO2002090959A2 (en) | 2002-11-14 |
| IL156149A0 (en) | 2003-12-23 |
| EP1386146B1 (en) | 2007-06-20 |
| KR100796840B1 (ko) | 2008-01-22 |
| US20030209663A1 (en) | 2003-11-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2273847C2 (ru) | Способ измерения общей концентрации окиси углерода и углеводородов в кислороде с помощью спектрометрии подвижности ионов | |
| RU2277238C2 (ru) | Способ измерения концентрации примесей в азоте, водороде и кислороде методом спектрометрии подвижности ионов | |
| US6895339B2 (en) | Method for measuring the concentration of water in argon, hydrogen, nitrogen and helium by ionization mobility spectrometry | |
| KR100809131B1 (ko) | 이온 이동 분광분석에 의해 질소 내의 메탄 및 수소의농도를 측정하는 방법 | |
| AU2002217443A1 (en) | A method for measuring the concentration of impurities in nitrogen, hydrogen and oxygen by means of ion mobility spectrometry | |
| JP2004514137A (ja) | イオン移動度スペクトル分析法によりアルゴン中の窒素濃度を測定する方法 | |
| EP1350093B1 (en) | A method for measuring the concentration of impurities in helium by ion mobility spectrometry | |
| AU2002304285A1 (en) | A method for measuring the total concentration of carbon monoxide and hydrocarbons in oxygen by means of ion mobility spectrometry | |
| Pilzecker et al. | Calibration of Low Resolution IMS by FT-IR to Monitor the Quality of SF6 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080424 |