RU2266808C1 - Пьезоэлектрический привод микроманипулятора - Google Patents

Пьезоэлектрический привод микроманипулятора Download PDF

Info

Publication number
RU2266808C1
RU2266808C1 RU2004116755/02A RU2004116755A RU2266808C1 RU 2266808 C1 RU2266808 C1 RU 2266808C1 RU 2004116755/02 A RU2004116755/02 A RU 2004116755/02A RU 2004116755 A RU2004116755 A RU 2004116755A RU 2266808 C1 RU2266808 C1 RU 2266808C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
rod
piezoelectric
transducers
diameter
disc
Prior art date
Application number
RU2004116755/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2004116755A (ru
Inventor
О.В. Даринцев (RU)
О.В. Даринцев
А.Б. Мигранов (RU)
А.Б. Мигранов
Original Assignee
Институт механики Уфимского научного центра Российской академии наук
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт механики Уфимского научного центра Российской академии наук filed Critical Институт механики Уфимского научного центра Российской академии наук
Priority to RU2004116755/02A priority Critical patent/RU2266808C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2266808C1 publication Critical patent/RU2266808C1/ru
Publication of RU2004116755A publication Critical patent/RU2004116755A/ru

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам микроробототехники. Привод содержит цилиндрический корпус с установленными внутри него пьезоэлектрическими преобразователями, шток, расположенный соосно с корпусом. По крайней мере, два пьезоэлектрических преобразователя выполнены в форме стрежней, которые расположены параллельно оси штока, имеют регулируемую длину и одним из концов соединены с торцом корпуса, а другим концом соединены с пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска. Диск имеет центральное отверстие регулируемого диаметра, сквозь которое проходит шток. При максимальном диаметре отверстия шток имеет возможность свободного возвратно-поступательного перемещения, а при минимальном диаметре отверстия шток жестко фиксируется пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска. Изобретение позволит упростить конструкцию и технологический процесс изготовления и сборки привода, улучшить массовые и габаритные показатели, обеспечить возможность прецизионного перемещения штока микроманипулятора в большем диапазоне. 4 ил.

Description

Изобретение относится к устройствам микроробототехники, в частности к приводам микроманипуляторов.
Известен привод микроманипулятора, содержащий основание, входное звено, соединенное с вибратором и выполненное в виде цилиндра с зубчатым венцом на его боковой поверхности, выходное звено, связанное со столом, снабженным направляющими, и электромагниты [авторское свидетельство СССР №1366386, кл. B 25 J 7/00, 1988].
Недостатками данного устройства являются нелинейность и инерционность характеристик при определенных режимах работы. Кроме того, привод микроманипулятора может вызывать электромагнитные наводки на объекты микросреды.
Также известен привод микроманипулятора, выполненный в виде пьезонасоса, состоящего из деформируемого и подвижного пьезоэлемента, регулируемого с помощью винта, и первого и второго деформируемых элементов конструкции, при этом в первом и втором каналах пьезонасоса расположены первый и второй клапаны, которые представляют собой первый и второй пьезокристаллы, установленные каждый соответственно в первом и во втором стаканах, и рабочей жидкостью, причем первый и второй каналы соединены с полостью цилиндра, к поршню которого прикреплен схват [патент РФ №2175601, кл. В 25 J 7/00, 2001].
Основным недостатком данного устройства является его высокая стоимость, связанная со сложностью изготовления и сборки. Кроме того, устройство имеет неудовлетворительные массу и габариты.
К наиболее близкому по технической сущности к заявляемому изобретению можно отнести привод микроманипулятора, содержащий установленный в корпусе пьезопреобразователь, включающий, по крайней мере, две прямоугольные призмы, выполненные из пьезоматериала и расположенные вдоль штока с закрепленной на нем зубчатой рейкой. Шток установлен в корпусе на шариковых направляющих. Призмы соединены обращенными друг к другу основаниями с корпусом, а на одной из граней каждой из призм, обращенной к зубчатой рейке штока, установлена накладка с выступом по форме впадины между зубьями рейки. На каждой из двух других, расположенных противоположно гранях закреплены параллельно ребрам призмы два электрода, при этом призмы подпружинены к корпусу пружинами в направлении к штоку [авторское свидетельство СССР №1271738, кл. В 25 J 7/00, 1986].
Основным недостатком данного устройства является то, что конструктивная сложность и наличие достаточно большого числа механических передач приводит к неудовлетворительным массогабаритным характеристикам. Также у прототипа конструктивно ограничен диапазон прецизионного перемещения штока.
Задача, решаемая изобретением, заключается в упрощении конструкции и технологического процесса изготовления и сборки, улучшении массовых и габаритных показателей, возможности прецизионного перемещения штока микроманипулятора в большем диапазоне.
Решение поставленной задачи достигается тем, что в пьезоэлектрическом приводе микроманипулятора, содержащем цилиндрический корпус с установленными внутри него пьезоэлектрическими преобразователями, шток, расположенный соосно с корпусом, в отличие от прототипа, по крайней мере два пьезоэлектрических преобразователя выполнены в форме стержней, которые расположены параллельно оси штока, имеют регулируемую длину и одним из концов соединены с торцом корпуса, а другим концом соединены с пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска, имеющего центральное отверстие регулируемого диаметра, сквозь которое проходит шток, причем при максимальном диаметре отверстия шток имеет возможность свободного возвратно-поступательного перемещения, а при минимальном диаметре отверстия шток жестко фиксируется пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска.
На фиг.1 представлена конструкция пьезоэлектрического привода микроманипулятора; на фиг.2, а - сужение окружного дифференциального отверстия пьезоэлектрического преобразователя в форме диска и зажатие в нем штока; 2, б - перемещение штока, вызванное деформацией растяжения пьезоэлектрических преобразователей в форме стержней; на фиг.3 - последовательность управляющих импульсов, подаваемых на пьезоэлектрические преобразователи; на фиг.4 - эпюра движения штока по моментам времени.
Пьезоэлектрический привод микроманипулятора (фиг.1) содержит цилиндрический корпус 1, шток 2, пьезоэлектрические преобразователи 3, которые выполнены в форме стержней, расположены параллельно оси штока, работают на растяжение-сжатие и одним из концов соединены с торцом корпуса 1, а другим концом соединены с пьезоэлектрическим преобразователем 4 в форме диска, имеющего центральное отверстие регулируемого диаметра, сквозь которое проходит шток 2, причем при максимальном диаметре отверстия шток 2 имеет возможность свободного возвратно-поступательного перемещения, а при минимальном диаметре отверстия шток 2 жестко фиксируется пьезоэлектрическим преобразователем 4 в форме диска.
Пьезоэлектрический привод микроманипулятора работает следующим образом.
Основой реализации движений являются пьезоэлектрические преобразователи, которые под действием электрического напряжения деформируются: пьезоэлектрические преобразователи 3 в форме стержней изменяют свою длину, а пьезоэлектрический преобразователь 4 в форме диска изменяет диаметр своего центрального отверстия. Определенная последовательность управляющих импульсов, подаваемая на каждый из пьезоэлектрических преобразователей, позволяет реализовать два основных режима работы привода микроманипулятора - прямой и обратный ход штока 2.
Рассмотрим подробнее втягивание штока 2 (обратный ход).
В момент времени t1 на пьезоэлектрический преобразователь 4 подается прямоугольный импульс U1 (фиг.3), что вызывает сужение центрального отверстия и зажатие им штока 2 (фиг.2, а). В момент времени t2 на все пьезоэлектрические преобразователи 3 одновременно подается прямоугольный импульс U2 (фиг.3), под действием которого происходит их растяжение на величину ΔS. Поскольку одним из концов они соединены с торцом корпуса 1, а другим концом соединены с пьезоэлектрическим преобразователем 4, то происходит также смещение пьезоэлектрического преобразователя 4 на величину ΔS. В этот момент времени указанный преобразователь жестко связан со штоком 2, поэтому перемещение штока 2 составит также величину ΔS (фиг.2, б). К моменту времени t3, когда переходные процессы в преобразователях 3 и 4 завершатся и результирующее движение штока составит ΔS (фиг.4), импульс U1 снимается, тем самым центральное отверстие преобразователя 4 расширяется и жесткая связь между преобразователем 4 и штоком 2 нарушается. В момент времени t4 снимается импульс U2, что также вызывает обратную деформацию преобразователей 3, то есть их сжатие и обратное смещение преобразователя 4. На этом первый цикл обратного хода привода микроманипулятора (втягивание штока 2) завершается и, начиная с момента времени t5, последовательность подачи импульсов U1, U2 циклически повторяется, тем самым реализуется второй, третий, четвертый и т.д. циклы. Следует отметить, что рассмотренная реализация движений не ограничивает диапазон прецизионного перемещения штока, то есть конструктивно диапазон перемещений зависит только от длины штока.
Прямой ход (выдвижение штока 2) осуществляется полностью аналогично обратному ходу, за исключением того, что зажатие преобразователем 4 штока 2 происходит в момент, когда на преобразователях 3 уже присутствуют управляющие импульсы, а разжатие - при отсутствии управляющих импульсов.
Итак, заявляемое изобретение позволяет существенно упростить конструкцию, упростить технологический процесс изготовления и сборки привода, улучшить массовые и габаритные показатели, а также обеспечивает возможность прецизионного перемещения штока микроманипулятора в большем диапазоне.

Claims (1)

  1. Пьезоэлектрический привод микроманипулятора, содержащий цилиндрический корпус с установленными внутри него пьезоэлектрическими преобразователями, шток, расположенный соосно с корпусом, отличающийся тем, что, по крайней мере, два пьезоэлектрических преобразователя выполнены в форме стрежней, которые расположены параллельно оси штока, имеют регулируемую длину и одним из концов соединены с торцом корпуса, а другим концом соединены с пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска, имеющего центральное отверстие регулируемого диаметра, сквозь которое проходит шток, причем при максимальном диаметре отверстия шток имеет возможность свободного возвратно-поступательного перемещения, а при минимальном диаметре отверстия шток жестко фиксируется пьезоэлектрическим преобразователем в форме диска.
RU2004116755/02A 2004-06-01 2004-06-01 Пьезоэлектрический привод микроманипулятора RU2266808C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004116755/02A RU2266808C1 (ru) 2004-06-01 2004-06-01 Пьезоэлектрический привод микроманипулятора

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2004116755/02A RU2266808C1 (ru) 2004-06-01 2004-06-01 Пьезоэлектрический привод микроманипулятора

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2266808C1 true RU2266808C1 (ru) 2005-12-27
RU2004116755A RU2004116755A (ru) 2006-01-10

Family

ID=35870339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004116755/02A RU2266808C1 (ru) 2004-06-01 2004-06-01 Пьезоэлектрический привод микроманипулятора

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2266808C1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
RU2004116755A (ru) 2006-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2001059852A2 (en) Monolithic electroactive polymers
CN102185519A (zh) 模态转换型压电螺纹传动直线超声电机
JPS6246722B2 (ru)
US6291928B1 (en) High bandwidth, large stroke actuator
CN103701358A (zh) 配重式变接触力压电电机
RU2266808C1 (ru) Пьезоэлектрический привод микроманипулятора
JP6901478B2 (ja) 調整要素を動作させるためのアクチュエータ
CN108398061A (zh) 一种压电液压混合式双通道舵机及作动方法
CN107414811B (zh) 两相流并联变阻抗驱动器及机器人和控制方法
RU2475354C2 (ru) Устройство для точного позиционирования
CN207766157U (zh) 一种多支撑双向压电驱动器
CN103856101B (zh) 贴片式盘形结构超声波啮合马达
Uchino Piezoelectric motors for camera modules
CN110198141B (zh) 差动箝位式尺蠖型压电直线电机
RU2259913C1 (ru) Двухсторонний пьезоэлектромеханический микропривод
RU2266811C1 (ru) Ротационный привод микроманипулятора
CN112217415A (zh) 一种框架式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
KR102558860B1 (ko) 선형 구동기
RU2440563C2 (ru) Установка для испытания образца
CN103856099B (zh) 贴片式盘形结构旋转直线超声电机
Kurniawan et al. A Design Analysis of High Flow Rate Serial Connection Multi-Chamber Piezoelectric Micropump for Drug Delivery System
EP4128515A1 (en) Method of controlling at least two interacting piezoelectric actuators
RU2466004C2 (ru) Привод микроперемещений и микроподач
CN108054949B (zh) 一种多压电振子双向旋转驱动器
RU2266809C1 (ru) Термокапиллярный поршневой микропривод

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20060602